專利名稱：Pecvd用硅片載片器的改裝裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能光伏產(chǎn)業(yè)工藝設備，具體地說是用于平板爐PECVD(等離子增強化學氣相沉積)中的配套裝置。
背景技術：
太陽能光伏電池片有多晶、單晶之分，多晶硅片是正四邊形的，單晶硅片是帶有四個圓角的正四邊形。在進行平板爐PECVD的工藝時，和它們相配套的硅片載片器也要與它們的外型相匹配才可以。有些廠家只配置了多晶的(即正四邊形的)硅片載片器，在接到單晶的訂單時，就需要配置新的單晶硅片載片器。由于硅片載片器的價格很貴，代價太高，從而增加了采購成本。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型針對上述問題，提供一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，該裝置安裝于多晶硅片載片器上，可將多晶硅片載片器轉換成單晶硅片載片器，可大幅度降低采購成本。 按照本實用新型的技術方案一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，包括十字形
的板體，所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂，使所述板體
成十字形，各個相鄰的支臂的交叉處設置有過渡圓弧，所述支臂的寬度與多晶硅片載片器
的框桿寬度相等，所述過渡圓弧的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。
本實用新型的技術效果在于本實用新型安裝于相鄰的多晶硅片載片器的交叉
處，將正四邊形的多晶硅片載片器改裝成帶有圓角的正四邊形硅片載片器，用于生產(chǎn)單晶
硅片，可以節(jié)省大量采購成本；拆除本實用新型后，又可以生產(chǎn)多晶硅片，轉換方便。

圖1為多晶硅片載片器中的一個方框的結構示意圖；[0007] 圖2為本實用新型的結構示意圖； 圖3為本實用新型安裝于多晶硅片載片器中的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。 本實用新型是一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，可將多晶硅片載片器改裝成
單晶硅片載片器，用來生產(chǎn)單晶硅片。 圖1為多晶硅片載片器中的一個方框1的結構示意圖。 如圖2所示，本實用新型PECVD用硅片載片器的改裝裝置2，包括板體3，所述板體3的角部以板體3的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂4，使所述板3體成十字形；各個相鄰的支臂4的交叉處設置有過渡圓弧5。支臂4的寬度與多晶硅片載片器框的框桿寬度相等，過渡圓弧5的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。 如圖3所示，本實用新型PECVD用硅片載片器的改裝裝置2安裝于相鄰的多晶硅片載片器的方框1的交叉處，將多晶硅片載片器轉換為單晶硅片載片器，生產(chǎn)單晶硅片，可節(jié)省2/3的硅片載片器成本。拆除本實用新型后又可進行多晶硅片的生產(chǎn)。本實用新型裝卸方便，使用效果好。
權利要求一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，包括板體(3)，其特征是所述板體(3)的角部以板體(3)的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂(10)，使所述板體(3)成十字形，各個相鄰的支臂(4)的交叉處設置有過渡圓弧(5)，所述支臂(4)的寬度與多晶硅片載片器的框桿寬度相等，所述過渡圓弧(5)的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。
專利摘要本實用新型涉及一種PECVD用硅片載片器的改裝裝置，其包括十字形的板體，所述板體的角部以板體的中心為中心呈輻射狀向外延伸有四個支臂，使所述板體成十字形，各個相鄰的支臂的交叉處設置有過渡圓弧，所述支臂的寬度與多晶硅片載片器的框桿寬度相等，所述過渡圓弧的直徑與單晶硅片載片器的圓角直徑相等。本實用新型安裝于相鄰的多晶硅片載片器的交叉處，將正四邊形的多晶硅片載片器改裝成帶有圓角的正四邊形的硅片載片器，用于生產(chǎn)單晶硅片，可以節(jié)省大量采購成本；拆除本實用新型后，又可以生產(chǎn)多晶硅片，轉換方便。
文檔編號H01J37/32GK201473587SQ200920234830
公開日2010年5月19日 申請日期2009年8月7日 優(yōu)先權日2009年8月7日
發(fā)明者尤耀明 申請人:無錫綠波新能源設備有限公司