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一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11241951閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于多面棱鏡與振鏡高速密集打孔光學(xué)系統(tǒng),包括一次擴束組件、二次擴束組件以及反射打孔組件;一次擴束組件的負焦擴束鏡傾斜設(shè)置,正焦擴束鏡設(shè)在負焦擴束鏡透射光側(cè)下方;二次擴束組件包括聚焦鏡、棱鏡、兩片后擴束鏡;聚焦鏡同軸設(shè)在正焦擴束鏡的下方,棱鏡的分光棱面水平設(shè)置;兩片后擴束鏡對稱設(shè)在多面棱鏡的上方,且兩片后擴束鏡的中心軸交點位于多面棱鏡分光棱面上;反射打孔組件包括的四片反射鏡呈兩組對稱設(shè)置,其中一組的兩片反射鏡分別與兩片后擴束鏡的透射光束呈45度傾斜設(shè)置;每組一側(cè)的反射鏡側(cè)均設(shè)有振鏡,振鏡的掃描光束呈豎直設(shè)置,振鏡掃描光束的下方設(shè)有f?θ鏡。本發(fā)明實現(xiàn)了激光器高速密集打孔。

技術(shù)研發(fā)人員:邵華江
受保護的技術(shù)使用者:上海嘉強自動化技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.18
技術(shù)公布日:2017.09.15
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