專利名稱：激光刻線除塵設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種除塵裝置，尤其涉及一種用于清除激光發(fā)生器對非晶硅太陽 能玻璃基板進(jìn)行刻線時(shí)產(chǎn)生的粉塵的激光刻線除塵設(shè)備。
背景技術(shù)：
在太陽能板制備過程中，尤其是非晶硅太陽能電池板制備過程中每一次的蒸鍍 (或?yàn)R鍍，或覆膜)膜層都需要用激光發(fā)生器對其進(jìn)行激光刻線，而在激光刻線的過程中會(huì) 產(chǎn)生大量帶靜電或不帶電的粉塵并吸附或沉積在刻線槽及板上，刻線后如不清理刻線過程 中產(chǎn)生的粉塵，在下一次蒸鍍(或?yàn)R鍍，或覆膜)過程中上述這些粉塵將被覆蓋，從而造成 板上布局的線路發(fā)生短路；同時(shí)沉積在玻璃表面的粉塵也將影響下一次蒸鍍過程中的薄膜 厚度和均勻度，進(jìn)而降低整塊板的光電轉(zhuǎn)換率。目前應(yīng)用于對激光刻線中產(chǎn)生的粉塵進(jìn)行收集的方式主要有利用大功率抽風(fēng)機(jī) 封閉環(huán)境引流方法及全覆蓋式集風(fēng)箱除塵方法，第一種即將激光刻線工作平臺(tái)用外罩封 閉，利用安裝在刻線非晶硅太陽能板兩側(cè)或其上方的大功率抽風(fēng)機(jī)將封閉空間的氣流引 出，使粉塵隨氣流被抽風(fēng)機(jī)抽出封閉空間；第二種即是在刻線非晶硅太陽能板上方安裝一 個(gè)漏斗形或梯形的集風(fēng)箱，再設(shè)置一抽風(fēng)機(jī)與集風(fēng)箱連通，上述集風(fēng)箱的箱體完全罩住非 晶硅太陽能板，利用抽風(fēng)機(jī)將粉塵吸進(jìn)集風(fēng)箱中；利用上述第一種大功率抽風(fēng)機(jī)封閉環(huán)境引流方法雖然能把不帶靜電的粉塵吸走， 介是對于吸附于薄膜表面和線槽中的帶靜電的粉塵側(cè)無法完全吸除，除塵效率低，一方面， 很難形成大的封閉空間進(jìn)而產(chǎn)生足夠的引出氣流；另一方面，必須引入的大功率抽風(fēng)機(jī)才 能實(shí)現(xiàn)除塵的功能，而大功率抽風(fēng)機(jī)會(huì)造成較大的噪聲污染和能耗增加。利用上述第二種全覆蓋式集風(fēng)箱除塵方法，由于風(fēng)向入口設(shè)置于非晶硅太陽能板 上方，因此同樣需要引入大功率抽風(fēng)機(jī)；并且，無論是利用大功率抽風(fēng)機(jī)封閉環(huán)境引流方式 除塵，還是采用全覆蓋式集風(fēng)箱除塵式除塵方法都只能對刻線空間內(nèi)的粉塵進(jìn)行吸除，而 對于因帶有靜電而吸附于薄膜表面和線槽中的粉塵則無法吸除，造成除塵不完全，導(dǎo)致除 塵效率低。因此，需要一種除塵效率高、噪聲低且耗能少的激光刻線除塵設(shè)備。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種除塵效率高、噪聲低且耗能少的激光刻線除塵設(shè) 備。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種激光刻線除塵設(shè)備，適用于激光發(fā)生器對 非晶硅太陽能玻璃基板刻線時(shí)進(jìn)行除塵，所述激光刻線除塵設(shè)備包括加工單元、吸塵裝置、 第一過濾單元、高壓抽風(fēng)機(jī)及若干個(gè)靜電除塵棒，所述加工單元包括內(nèi)腔及工作臺(tái)，所述工 作臺(tái)及激光發(fā)生器均置于所述內(nèi)腔內(nèi)，所述非晶硅太陽能玻璃基板承載于所述工作臺(tái)的下 表面上，所述激光發(fā)生器置于所述工作臺(tái)的上方，所述吸塵裝置具有吸塵口及出塵口，所述吸塵口位于所述工作臺(tái)的正下方，所述吸塵裝置的出塵口與所述第一過濾單元的上端相連 通，所述第一過濾單元的下端與所述高壓抽風(fēng)機(jī)的抽風(fēng)口相連通，所述第一過濾單元的上 端與下端之間設(shè)置有第一過濾網(wǎng)芯，所述高壓抽風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述內(nèi)腔相連通，所述靜 電除塵棒均勻排列的設(shè)置于所述激光發(fā)生器上。較佳地，所述激光刻線除塵設(shè)備還包括補(bǔ)氣裝置，所述補(bǔ)氣裝置與所述第一過濾 單元的上端連通，所述補(bǔ)氣裝置從外界注入空氣并流入所述第一過濾單元的上端。所述補(bǔ) 氣裝置可向所述第一過濾單元補(bǔ)入新鮮空氣，可以減少高壓抽風(fēng)機(jī)的負(fù)載，提高了高壓抽 風(fēng)機(jī)的壽命。較佳地，所述激光刻線除塵設(shè)備還包括提供恒定溫度及恒定濕度環(huán)境的恒溫恒濕 單元，所述恒溫恒濕單元的一端與所述高壓抽風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通，所述恒溫恒濕單元的另 一端與所述內(nèi)腔連通并形成吹風(fēng)口。由于所述激光發(fā)生器長時(shí)間對所述非晶硅太陽能玻璃 基板進(jìn)行刻線，所述內(nèi)腔具有較高的溫度且十分干燥中，所述恒溫恒濕單元通過對輸送到 內(nèi)腔的氣體進(jìn)行恒溫恒濕處理，使內(nèi)腔能保持特定的溫度和濕度，這樣可以有效抑制所述 非晶硅太陽能玻璃基板因高溫而產(chǎn)生的變形，同時(shí)提高所述激光發(fā)生器加工所述非晶硅太 陽能玻璃基板的精確度。具體地，所述激光刻線除塵設(shè)備還包括第二過濾單元，所述第二過 濾單元具有容置于所述內(nèi)腔內(nèi)的第二過濾網(wǎng)芯，所述第二過濾網(wǎng)芯覆蓋于所述激光發(fā)生器 的上方并位于激光發(fā)生器與吹風(fēng)口之間。所述第二過濾單元對空氣進(jìn)行再次過濾，保證吹 入所述內(nèi)腔的空氣的潔凈，也保障了所述激光發(fā)生器加工所述非晶硅太陽能玻璃基板的精 確度。較佳地，所述吸塵裝置的吸塵口面積大于或等于所述非晶硅太陽能玻璃基板的面 積，這樣有利于更干凈徹底地吸塵。具體地，所述吸塵裝置的出塵口與所述第一過濾單元的 上端通過吸塵管連通；所述吸塵管為波紋管，波紋管可方便地折彎并在折彎時(shí)能保持通道 的順暢。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型利用所述靜電除塵棒對所述內(nèi)腔內(nèi)帶電的粉塵 進(jìn)行去靜電，使所述粉塵因?yàn)樽灾囟詣?dòng)掉落，并且將所述吸塵裝置的吸塵口置于所述玻 璃基板一正下方，利用所述高壓高壓抽風(fēng)機(jī)使所述吸塵裝置產(chǎn)生負(fù)壓的高速氣流將粉塵吸 除，經(jīng)過所述第一過濾單元過濾后將吸入的空氣加壓輸送回所述內(nèi)腔，整個(gè)過程形成一回 路，既可為所述激光發(fā)生器及所述非晶硅太陽能玻璃基板提供一高速氣流，使所述粉塵脫 離所述激光發(fā)生器及所述非晶硅太陽能玻璃基板，方便所述吸塵裝置吸塵，又可對所述內(nèi) 腔進(jìn)行降溫散熱，無需使用大功率高壓抽風(fēng)機(jī)就可以很干凈的清除內(nèi)腔內(nèi)的粉塵，除塵效 率高且降低了設(shè)備的能耗，減少了噪聲。

圖1是本實(shí)用新型激光刻線除塵設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型激光刻線除塵設(shè)備100，包括加工單元1、吸塵裝置2、第一 過濾單元3、高壓抽風(fēng)機(jī)4、補(bǔ)氣裝置5、恒溫恒濕單元6、第二過濾單元7及若干個(gè)靜電除塵 棒8。
4[0015]所述加工單元1包括內(nèi)腔11及工作臺(tái)12，所述工作臺(tái)12及激光發(fā)生器200均置 于所述內(nèi)腔11內(nèi)，所述非晶硅太陽能玻璃基板300承載于所述工作臺(tái)12的下表面上，所述 激光發(fā)生器200置于所述工作臺(tái)12的上方。所述吸塵裝置2具有一吸塵口 21、出塵口 22及吸塵管23，所述吸塵口 21正對所 述工作臺(tái)12的下方并完全覆蓋所述非晶硅太陽能玻璃基板300，所述吸塵口 21的面積大于 所述非晶硅太陽能玻璃基板300的面積，這樣有利于更干凈徹底地吸塵。所述吸塵裝2置 的出塵口 22與所述第一過濾單元3的上端通過吸塵管23連通，所述吸塵管23為波紋管， 波紋管可方便地折彎并在折彎時(shí)能保持通道的順暢。所述第一過濾單元3的下端與所述高壓抽風(fēng)機(jī)4的抽風(fēng)口相連通，所述第一過濾 單元3的上端與下端之間設(shè)置有第一過濾網(wǎng)芯31，所述第一過濾網(wǎng)芯31將通過的空氣過濾 后得到潔凈的氣體。所述補(bǔ)氣裝置5安裝于所述第一過濾單元3上并與所述第一過濾單元3的上端連 通，所述補(bǔ)氣裝置5能將空氣注入所述第一過濾單元3的上端，這樣可以減少所述高壓抽風(fēng) 機(jī)4的負(fù)載，提高了所述高壓抽風(fēng)機(jī)4的壽命。所述高壓抽風(fēng)機(jī)4與所述恒溫恒濕單元6通過一加壓管41相連通，所述高壓抽風(fēng) 機(jī)4通過利用加壓管41可將所述潔凈的氣體加壓后送到所述恒溫恒濕單元6內(nèi)。所述恒溫恒濕單元6 —端與所述高壓抽風(fēng)機(jī)4的加壓管41相連通，所述恒溫恒濕 單元6另一端與所述內(nèi)腔11連通形成吹風(fēng)口 11a。由于所述激光發(fā)生器200長時(shí)間對所述 非晶硅太陽能玻璃基板300進(jìn)行刻線，所述內(nèi)腔11具有較高的溫度且十分干燥中，所述恒 溫恒濕單元6通過對輸送到所述內(nèi)腔11的氣體進(jìn)行恒溫恒濕處理，使所述內(nèi)腔11能保持 特定的溫度和濕度，這樣可以有效抑制所述非晶硅太陽能玻璃基板300因高溫而產(chǎn)生的 變形，同時(shí)提高所述激光發(fā)生器200加工所述非晶硅太陽能玻璃基板300的精確度。 所述第二過濾單元7具有容置于所述內(nèi)腔內(nèi)的第二過濾網(wǎng)芯71，所述第二過濾網(wǎng) 芯71覆蓋于所述激光發(fā)生器200的上方并位于激光發(fā)生器200與吹風(fēng)口 Ila之間。所述 第二過濾單元7的過濾等級(jí)高于所述第一過濾單元3，所述第二過濾單元7對空氣進(jìn)行再次 過濾，保證吹入所述內(nèi)腔11的空氣的潔凈，也保障了所述激光發(fā)生器200加工所述非晶硅 太陽能玻璃基板300的精確度。所述靜電除塵棒8均勻排列的設(shè)置于所述激光發(fā)生器200上，帶有靜電的吸附于 所述非晶硅太陽能玻璃基板300表面的粉塵顆粒將通過所述靜電除塵棒8中和后被所述吸 塵裝置2吸除。綜合上述并結(jié)合圖1，下面對本實(shí)用新型激光刻線除塵設(shè)備200的工作原理進(jìn)行 詳細(xì)描述，如下工作時(shí)，電機(jī)啟動(dòng)，所述高壓抽風(fēng)機(jī)4轉(zhuǎn)動(dòng)，所述吸塵裝置2將所述內(nèi)腔11內(nèi)的空 氣吸走。所述激光發(fā)生器200產(chǎn)生激光沿固定軌道運(yùn)動(dòng)使所述非晶硅太陽能玻璃基板300 上的膜層301表面形成刻線，在刻線過程中產(chǎn)生粉塵，而其中一部分粉塵帶有靜電另一部 分不帶電，所述吸塵裝置2將彌散于的吸塵口 21附近的不帶靜電的粉塵吸走，而帶有靜電 的粉塵吸附于所述非晶硅太陽能玻璃基板300和膜層301的線槽中。此時(shí)，所述靜電除塵 棒8將帶電的粉塵吸引并中和，中和后的粉塵側(cè)從所述靜電除塵棒8自由脫落并被所述吸 塵裝置2吸走，粉塵隨空氣經(jīng)過所述第一過濾單元3。同時(shí)，所述補(bǔ)氣裝置5從外界補(bǔ)充新鮮的空氣與帶有粉塵的空氣一起進(jìn)行過濾，過濾后產(chǎn)生潔凈的氣體，氣體通過所述高壓抽 風(fēng)機(jī)4，所述高壓抽風(fēng)機(jī)4對氣體加壓及所述恒溫恒濕單元6對氣體處理后輸送回所述內(nèi)腔 11，氣體在內(nèi)腔11內(nèi)形一從上而下的氣流，氣流經(jīng)過所述第二過濾單元7的第二過濾網(wǎng)芯 71再次過濾后吹向所述激光發(fā)生器200及加工單元1上，將加工而產(chǎn)生的粉塵向下吹到所 述吸塵口 21附近，方便所述吸塵裝置2吸塵。由于本實(shí)用新型利用所述靜電除塵棒8對所述內(nèi)腔11內(nèi)帶電的粉塵進(jìn)行去靜 電，使所述粉塵因?yàn)樽灾囟詣?dòng)掉落，并且將所述吸塵裝置2的吸塵口 21置于所述非晶硅 太陽能玻璃基板300 —正下方，利用所述高壓抽風(fēng)機(jī)4使所述吸塵裝置2產(chǎn)生負(fù)壓的高速 氣流將粉塵吸除，經(jīng)過所述第一過濾單元3過濾后將吸入的空氣加壓輸送回所述內(nèi)腔11， 整個(gè)過程形成一回路，既可為所述激光發(fā)生器200及所述非晶硅太陽能玻璃基板300提供 一高速氣流，使所述粉塵脫離所述激光發(fā)生器200及所述非晶硅太陽能玻璃基板300，方便 所述吸塵裝置2吸塵，又可對所述內(nèi)腔11進(jìn)行降溫散熱，無需使用大功率抽風(fēng)機(jī)就可以很 干凈的清除內(nèi)腔11內(nèi)的粉塵，除塵效率高且降低了設(shè)備的能耗，減少了噪聲。本實(shí)用新型激光刻線除塵設(shè)備100所涉及到的吸塵裝置2的尺寸大小、安裝方法 及恒溫恒濕單元6的工作原理均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說明。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新型 之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬于本實(shí)用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種激光刻線除塵設(shè)備，適用于激光發(fā)生器對非晶硅太陽能玻璃基板刻線時(shí)進(jìn)行除塵，其特征在于所述激光刻線除塵設(shè)備包括加工單元、吸塵裝置、第一過濾單元、高壓抽風(fēng)機(jī)及若干個(gè)靜電除塵棒，所述加工單元包括內(nèi)腔及工作臺(tái)，所述工作臺(tái)及激光發(fā)生器均置于所述內(nèi)腔內(nèi)，所述非晶硅太陽能玻璃基板承載于所述工作臺(tái)的下表面上，所述激光發(fā)生器置于所述工作臺(tái)的上方，所述吸塵裝置具有吸塵口及出塵口，所述吸塵口位于所述工作臺(tái)的正下方，所述吸塵裝置的出塵口與所述第一過濾單元的上端相連通，所述第一過濾單元的下端與所述高壓抽風(fēng)機(jī)的抽風(fēng)口相連通，所述第一過濾單元的上端與下端之間設(shè)置有第一過濾網(wǎng)芯，所述高壓抽風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述內(nèi)腔相連通，所述靜電除塵棒均勻排列的設(shè)置于所述激光發(fā)生器上。
2.如權(quán)利要求1所述的激光刻線除塵設(shè)備，其特征在于所述激光刻線除塵設(shè)備還包 括補(bǔ)氣裝置，所述補(bǔ)氣裝置與所述第一過濾單元的上端連通，所述補(bǔ)氣裝置從外界注入空 氣并流入所述第一過濾單元的上端。
3.如權(quán)利要求1所述的激光刻線除塵設(shè)備，其特征在于所述激光刻線除塵設(shè)備還包 括提供恒定溫度及恒定濕度環(huán)境的恒溫恒濕單元，所述恒溫恒濕單元的一端與所述高壓抽 風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通，所述恒溫恒濕單元的另一端與所述內(nèi)腔連通并形成吹風(fēng)口。
4.如權(quán)利要求3所述的激光刻線除塵設(shè)備，其特征在于所述激光刻線除塵設(shè)備還包 括第二過濾單元，所述第二過濾單元具有容置于所述內(nèi)腔內(nèi)的第二過濾網(wǎng)芯，所述第二過 濾網(wǎng)芯覆蓋于所述激光發(fā)生器的上方并位于激光發(fā)生器與吹風(fēng)口之間。
5.如權(quán)利要求1所述的激光刻線除塵設(shè)備，其特征在于所述吸塵裝置的吸塵口面積 大于或等于所述非晶硅太陽能玻璃基板的面積。
6.如權(quán)利要求5所述的激光刻線除塵設(shè)備，其特征在于所述吸塵裝置的出塵口與所 述第一過濾單元的上端通過吸塵管連通。
7.如權(quán)利要求6所述的激光刻線除塵設(shè)備，其特征在于所述吸塵管為波紋管。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種激光刻線除塵設(shè)備，包括加工單元、吸塵裝置、第一過濾單元、高壓抽風(fēng)機(jī)及若干個(gè)靜電除塵棒，所述加工單元包括內(nèi)腔及工作臺(tái)，所述工作臺(tái)置于所述內(nèi)腔內(nèi)，所述吸塵裝置具有吸塵口及出塵口，所述吸塵口位于所述工作臺(tái)的正下方，所述吸塵裝置的出塵口與所述第一過濾單元的上端相連通，所述第一過濾單元的下端與所述高壓抽風(fēng)機(jī)的抽風(fēng)口相連通，所述第一過濾單元的上端與下端之間設(shè)置有第一過濾網(wǎng)芯，所述高壓抽風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述內(nèi)腔相連通，所述靜電除塵棒均勻排列的設(shè)置于所述激光發(fā)生器上。本實(shí)用新型激光刻線除塵設(shè)備除塵效率高、噪聲低且能耗少。
文檔編號(hào)B23K26/42GK201693293SQ20102010884
公開日2011年1月5日 申請日期2010年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者楊明生, 藍(lán)劾, 覃海 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司