一種薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，包括激光刻線機(jī)、太陽能電池板和固定架，太陽能電池板水平放置，激光刻線機(jī)位于太陽能電池板的下方，激光刻線機(jī)的激光發(fā)射孔正對太陽能電池板，太陽能電池板的上方設(shè)置有吸塵器和圖像傳感器，吸塵器和圖像傳感器均固定在固定架上，吸塵器的吸塵口朝向太陽能電池板并正對于激光刻線機(jī)的激光發(fā)射孔，圖像傳感器的圖像采集端正對太陽能電池板，吸塵器的吸塵口與固定架之間的最小距離大于圖像傳感器的圖像采集端與固定架之間的最小距離。本實用新型可以監(jiān)控到每個產(chǎn)品的激光刻蝕效果，能夠簡化或取消人為抽檢過程，提高生產(chǎn)效率，降低人力成本，提高產(chǎn)品質(zhì)量、良率。
【專利說明】一種薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及激光刻線工序在線檢測【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]薄膜太陽電池激光刻線工序，通過對不同膜層進(jìn)行三道激光刻蝕，把大面積電池分割成若干獨(dú)立單元電池，并形成集成結(jié)構(gòu)把單元電池串聯(lián)起來。在電池中，三道激光刻線區(qū)域叫死區(qū)，不能將太陽光轉(zhuǎn)化為電能，減小刻線間距有利于提高電池的轉(zhuǎn)化效率。通常三道激光刻線線寬、線間距只有幾十微米，與設(shè)備機(jī)械精度在同一數(shù)量級，生產(chǎn)中需要對刻線寬度、線間距進(jìn)行管控，保證產(chǎn)品良率，減少報廢損失。
[0003]激光刻線工序是薄膜太陽能電池的制造環(huán)節(jié)，需要三次激光刻線實現(xiàn)。激光工藝效果通過抽檢確認(rèn)，具體方法:使用手持式顯微鏡觀察線寬、線距、刻線是否有殘渣等；也可以在剛刻蝕完第一道激光刻線和鍍完背電極之后，測量每對相鄰刻線之間的電阻或電壓，根據(jù)電阻、電壓值確認(rèn)第一條、第三條刻線是否刻斷。
[0004]使用手持式顯微鏡觀察的缺點(diǎn)有:1、效率低，并且需要離線檢查，需要將產(chǎn)品從生產(chǎn)線取出、放回，中間容易對產(chǎn)品造成污染；2、人為抽檢不能覆蓋所有產(chǎn)品，良品率較低且受抽檢頻率限制，抽檢頻率影響人力成本；3、通過電阻、電壓測量檢驗只能判斷出第一道、第三道激光是否刻斷，無法得第二道激光刻蝕效果及第一道、第三道刻線寬度、線間距信息；4、測量過程中探針需要接觸電池，會對電池造成一定損傷。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置。
[0006]本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)上述目的:
[0007]一種薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，包括激光刻線機(jī)、太陽能電池板和固定架，所述太陽能電池板水平放置，所述激光刻線機(jī)位于所述太陽能電池板的下方，所述激光刻線機(jī)的激光發(fā)射孔正對所述太陽能電池板，所述太陽能電池板的上方設(shè)置有吸塵器和圖像傳感器，所述吸塵器和所述圖像傳感器均固定在所述固定架上，所述吸塵器的吸塵口朝向所述太陽能電池板并正對于所述激光刻線機(jī)的激光發(fā)射孔，所述圖像傳感器的圖像采集端正對所述太陽能電池板，所述吸塵器的吸塵口與所述固定架之間的最小距離大于所述圖像傳感器的圖像采集端與所述固定架之間的最小距離。
[0008]進(jìn)一步地，所述圖像傳感器和所述吸塵器均通過同一塊固定板安裝在所述固定架上。
[0009]更進(jìn)一步地，所述圖像傳感器和所述吸塵器設(shè)置在所述固定板上，所述固定板通過沉頭螺栓固定安裝在所述固定架上。
[0010]本實用新型的有益效果在于:
[0011]本實用新型所述薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，可以監(jiān)控到每個產(chǎn)品的激光刻蝕效果，能夠簡化或取消人為抽檢過程，提高生產(chǎn)效率，降低人力成本，減少或排除人為接觸對產(chǎn)品的污染，不會對太陽能電池板造成損傷，提高產(chǎn)品質(zhì)量、良率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型所述薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是本實用新型所述薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置的正視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3是本實用新型刻有三道激光刻線的所述太陽能電池板的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明:
[0016]如圖1、圖2和圖3所示，本實用新型包括激光刻線機(jī)6、太陽能電池板6和固定架1，太陽能電池板6水平放置，激光刻線機(jī)6位于太陽能電池板5的下方，激光刻線機(jī)6的激光發(fā)射孔正對太陽能電池板5，太陽能電池板5的上方設(shè)置有吸塵器3和圖像傳感器4，吸塵器3和圖像傳感器4均固定在固定架I上，吸塵器3的吸塵口朝向太陽能電池板5并正對于激光刻線機(jī)6的激光發(fā)射孔，圖像傳感器4的圖像采集端正對太陽能電池板5，吸塵器3的吸塵口與固定架I之間的最小距離大于圖像傳感器4的圖像采集端與固定架I之間的最小距離。
[0017]在本實施例中，圖像傳感器4和吸塵器3均通過同一塊固定板2安裝在固定架I上，圖像傳感器4和吸塵器3設(shè)置在固定板2上，固定板2通過沉頭螺栓7固定安裝在固定架I上，這樣的結(jié)構(gòu)拆卸和安裝各個部分都非常方便。
[0018]本實用新型所述薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，在激光刻蝕工序中，激光刻線機(jī)6在被刻蝕太陽能電池板6下方，激光由下向上聚焦在太陽能電池板6需要刻蝕的膜層上，太陽能電池板6上方的吸塵器3將刻蝕產(chǎn)生的粉末、氣體吸除，整個在線監(jiān)控裝置可以借助外部設(shè)備使得吸塵器3跟隨激光做同步運(yùn)動，圖像傳感器4與吸塵器3相隔一定距離，使圖像傳感器4視場正對剛刻蝕完的刻線，對刻線進(jìn)行圖形采集。
[0019]圖3中所示的刻有三道激光刻線的太陽能電池板中，Pl第一道激光刻線；P2是第二道激光刻線；P3是第三道激光刻線。圖像傳感器4采集的刻線圖像中，三道刻線和背景相比存在色差，可以借助外部控制器在刻線垂直方向取一條線，在刻線邊緣色差陡變，獲取色差陡變點(diǎn)的坐標(biāo)，就獲得了三道激光刻線邊緣的坐標(biāo)，最終便可知道三道激光刻線的線寬和線間距。
[0020]本實用新型所述薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，可以監(jiān)控到每個產(chǎn)品的激光刻蝕效果，可以簡化或取消人為抽檢過程，提高生產(chǎn)效率，降低人力成本，減少或排除人為接觸對產(chǎn)品的污染，不會對太陽能電池板造成損傷，提高產(chǎn)品質(zhì)量、良率。
[0021]以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，包括激光刻線機(jī)和太陽能電池板，所述太陽能電池板水平放置，所述激光刻線機(jī)位于所述太陽能電池板的下方，所述激光刻線機(jī)的激光發(fā)射孔正對所述太陽能電池板，其特征在于:還包括固定架，所述太陽能電池板的上方設(shè)置有吸塵器和圖像傳感器，所述吸塵器和所述圖像傳感器均固定在所述固定架上，所述吸塵器的吸塵口朝向所述太陽能電池板并正對于所述激光刻線機(jī)的激光發(fā)射孔，所述圖像傳感器的圖像采集端正對所述太陽能電池板，所述吸塵器的吸塵口與所述固定架之間的最小距離大于所述圖像傳感器的圖像采集端與所述固定架之間的最小距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，其特征在于:所述圖像傳感器和所述吸塵器均通過同一塊固定板安裝在所述固定架上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜太陽電池激光刻線工序在線監(jiān)控裝置，其特征在于:所述圖像傳感器和所述吸塵器設(shè)置在所述固定板上，所述固定板通過沉頭螺栓固定安裝在所述固定架上。
【文檔編號】H01L31/18GK204144296SQ201420568335
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年9月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月29日
【發(fā)明者】羅洋, 蘇菁, 楊明久, 陳年果, 李 遠(yuǎn), 敬雪碧, 馬海文, 汪濤 申請人:四川漢能光伏有限公司