專利名稱：一種慢波結(jié)構(gòu)制造的工藝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空電子器件領(lǐng)域，特別涉及一種慢波結(jié)構(gòu)制造的工 藝方法。
背景技術(shù)：
對于大功率行波管的慢波結(jié)構(gòu)，用得較多的是采用耦合腔慢波結(jié) 構(gòu)形式，而休斯型慢波結(jié)構(gòu)在耦合腔行波管中應(yīng)用較多。休斯型慢波 結(jié)構(gòu)的示意圖由圖l所示。
和毫米波波段的器件相比，厘米波波段的行波管，由于電子束半 徑較大，所需要的聚束磁場較弱，所以耦合腔的外圍尺寸可以做的相 對較大。從制造工藝來看，這樣做既可以使慢波結(jié)構(gòu)的釬焊更容易， 慢波結(jié)構(gòu)更牢固，而且也可以較容易地實(shí)現(xiàn)磁場對電子注的聚焦；而 毫米波波段的行波管，由于電子束半徑較小，需要的聚束磁場很大， 所以耦合腔的外圍尺寸必須做小。這樣給慢波結(jié)構(gòu)的裝配和釬焊帶來 很大的困難首先由于外圍尺寸變小，零件的機(jī)械牢固性降低，零件 容易產(chǎn)生變形，給慢波結(jié)構(gòu)的裝配帶來較大困難；其次由于外圍尺寸 變小，焊料融化后會輕易流到慢波結(jié)構(gòu)內(nèi)部，改變了慢波結(jié)構(gòu)的尺寸; 第三，由于零件整體尺寸變小，使得釬焊后的慢波結(jié)構(gòu)的整體機(jī)械牢 固性變差，容易漏氣和發(fā)生變形。雖然采用強(qiáng)化的彌散無氧銅后對慢 波結(jié)構(gòu)整體強(qiáng)度情況有所改善，但效果不甚明顯，且制造成本大大提 高，因此，必須從制造工藝角度尋找解決辦法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是，針對大功率行波管慢波結(jié)構(gòu)的機(jī) 械強(qiáng)度下降，對中裝配帶來一定困難的情況下，如何改進(jìn)結(jié)構(gòu)關(guān)系， 在不影響慢波結(jié)構(gòu)內(nèi)部尺寸的情況下，加強(qiáng)慢波結(jié)構(gòu)的機(jī)械強(qiáng)度，如 何在零件尺寸小的情況下，裝配出機(jī)械牢固且氣密性良好的慢波結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的方法基于以下理解由于毫米波慢波系統(tǒng)的零件尺寸小, 釬焊后，易影響慢波系統(tǒng)的尺寸精度，從而影響整個(gè)慢波系統(tǒng)的各項(xiàng) 參數(shù)。而且由于零件的尺寸小，真空氣密性很難保證。所以為了使釬 焊后系統(tǒng)的尺寸不受影響，保證系統(tǒng)的氣密性和機(jī)械牢固性，可以在 慢波系統(tǒng)的外部加一層真空氣密性和機(jī)械牢固性好的外殼。本發(fā)明是 依靠以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的， 一種慢波結(jié)構(gòu)制造的工藝方法，包括慢 波結(jié)構(gòu)的零件檢驗(yàn)、清洗、裝配和釬焊，其特征在于，裝配和釬焊過 程按以下步驟操作
1. 將慢波結(jié)構(gòu)的零件，用真空蒸發(fā)的方式進(jìn)行表面鍍銀，鍍銀的厚度 控制在l微米范圍內(nèi)；
2. 進(jìn)行慢波結(jié)構(gòu)的對中裝配；
3. 在氫爐內(nèi)850° C溫度下進(jìn)行焊接；
4. 在焊好的慢波結(jié)構(gòu)外套上金屬管殼，以保證慢波結(jié)構(gòu)的真空氣密性 和機(jī)械牢固性。
采用這種方式焊接和裝配，不但可以實(shí)現(xiàn)焊接后慢波的尺寸不受 影響，而且零件表面鍍銀還可以增加零件表面的電導(dǎo)率，減小微波損 耗。為了保證慢波結(jié)構(gòu)的真空氣密性和機(jī)械牢固性，在慢波結(jié)構(gòu)的外 面加管殼。管殼采用旋壓的方法進(jìn)行加工，既可保證真空氣密性、機(jī) 械牢固性，且殼壁薄，不影響強(qiáng)聚焦磁場的實(shí)現(xiàn)。管殼的材料可選用 鎳銅合金。所述慢波結(jié)構(gòu)外套金屬外殼的內(nèi)徑尺寸要和慢波結(jié)構(gòu)外徑 尺寸相配合。
采用管殼封裝的慢波結(jié)構(gòu)，整體對中性能好，真空氣密性高，機(jī) 械牢固性強(qiáng)；節(jié)約成本，降低裝配難度，提高合格率。


圖la為休斯型慢波結(jié)構(gòu)的示意圖的正視圖； 圖lb為休斯型慢波結(jié)構(gòu)的示意圖的側(cè)視圖； 圖2為慢波結(jié)構(gòu)焊接示意圖；圖3為慢波結(jié)構(gòu)套入管殼裝配示意圖； 圖4為慢波結(jié)構(gòu)制造工藝流程圖。 鑄錢益
參照圖la、圖lb，表示傳統(tǒng)休斯型慢波結(jié)構(gòu)示意圖的正視圖和側(cè) 視圖。它是應(yīng)用于大功率行波管的耦合腔式慢波結(jié)構(gòu)，參照圖2、圖3， 表示在大功率行波管中使用的慢波結(jié)構(gòu)的裝配和焊接示意圖，圖中1 表示慢波結(jié)構(gòu)中耦合腔的上、下腔板，它與腔側(cè)壁2依次相疊，周期 性組成連續(xù)的慢波結(jié)構(gòu)，腔板上面開有耦合孔3，用于微波功率耦合， 相鄰耦合孔的位置是交錯(cuò)排列的，4為外套管殼，用于增加整體慢波 結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度和密封性能。參照圖4，表示慢波結(jié)構(gòu)制造過程中的工藝 流程圖。
權(quán)利要求
1. 一種慢波結(jié)構(gòu)制造的工藝方法，包括慢波結(jié)構(gòu)的零件檢驗(yàn)、清洗、裝配和釬焊，其特征在于，裝配和釬焊過程按以下步驟操作a.將慢波結(jié)構(gòu)的零件，用真空蒸發(fā)的方式進(jìn)行表面鍍銀，鍍銀的厚度控制在1微米范圍內(nèi)；b.進(jìn)行慢波結(jié)構(gòu)的對中裝配；c.在氫爐內(nèi)850°C溫度下進(jìn)行焊接；d.在焊好的慢波結(jié)構(gòu)外套上金屬管殼。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的慢波結(jié)構(gòu)制造工藝方法，其特征在于， 所述慢波結(jié)構(gòu)外套金屬外殼的內(nèi)徑尺寸要和慢波結(jié)構(gòu)外徑尺寸相配
全文摘要
一種慢波結(jié)構(gòu)制造的工藝方法，屬于真空電子器件領(lǐng)域，該方法包括慢波結(jié)構(gòu)的零件檢驗(yàn)、清洗、裝配和釬焊，裝配和釬焊過程按以下步驟操作將慢波結(jié)構(gòu)的零件，用真空蒸發(fā)的方式進(jìn)行表面鍍銀，鍍銀的厚度控制在1微米范圍內(nèi)；進(jìn)行慢波結(jié)構(gòu)的對中裝配；在氫爐內(nèi)850℃溫度下進(jìn)行焊接；在焊好的慢波結(jié)構(gòu)外套上金屬管殼。本制造慢波的方法，整體對中性能好，真空氣密性高，機(jī)械牢固性強(qiáng)，節(jié)約成本，降低裝配難度，提高合格率。
文檔編號H01J9/00GK101459020SQ20091000074
公開日2009年6月17日 申請日期2009年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月9日
發(fā)明者任振國, 侯信磊, 盧希躍, 吳華夏, 衛(wèi) 方, 榮 李, 趙艷珩, 鄧清東 申請人:安徽華東光電技術(shù)研究所