專(zhuān)利名稱(chēng)：場(chǎng)發(fā)射電子器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種場(chǎng)發(fā)射電子器件，尤其涉及一種大面積場(chǎng)發(fā)射電子器件。
背景技術(shù)：
場(chǎng)發(fā)射電子器件在低溫或者室溫下工作，與電真空器件中的熱發(fā)射電子器件相比具有功耗低、響應(yīng)速度快以及低放氣等優(yōu)點(diǎn)，因此用場(chǎng)發(fā)射電子器件有望替代電真空器件中的熱發(fā)射電子器件。大面積場(chǎng)發(fā)射電子器件在大屏幕顯示器等裝置中有著廣闊的應(yīng)用前景，因此，制備大面積場(chǎng)發(fā)射電子器件成為目前研究的一個(gè)熱點(diǎn)。
請(qǐng)參閱圖l,現(xiàn)有技術(shù)中提供一種大面積場(chǎng)發(fā)射電子器件ioo，包括一絕
緣基底102,多個(gè)電子發(fā)射單元120設(shè)置于該絕緣基底102上，以及多個(gè)行電極引線104與多個(gè)列電極引線106設(shè)置于該絕緣基底102上。其中，所述的多個(gè)行電極引線104與多個(gè)列電極引線106分別平行且等間隔設(shè)置于絕緣基底102上。所述多個(gè)行電極引線104與多個(gè)列電極引線106相互交叉設(shè)置，且在行電極引線104與列電才及引線106交叉處由一介質(zhì)絕緣層116隔離，以防止短路。每?jī)蓚€(gè)相鄰的行電極引線104與兩個(gè)相鄰的列電極引線106形成一網(wǎng)格118，且每個(gè)網(wǎng)格118定位一個(gè)電子發(fā)射單元120。
所述多個(gè)電子發(fā)射單元120按照預(yù)定規(guī)律排列，間隔設(shè)置于上述網(wǎng)格118中，且每個(gè)網(wǎng)格118中設(shè)置一個(gè)電子發(fā)射單元120。每個(gè)電子發(fā)射單元120包括一行電極IIO， 一列電極112以及一電子發(fā)射體108設(shè)置于該行電極110與列電極112上。該行電極110與列電極112對(duì)應(yīng)且間隔設(shè)置。該電子發(fā)射體108兩端分別與行電極110和列電極112電連接。每個(gè)行電極110分別和與其對(duì)應(yīng)的行電極引線104電連接，每個(gè)列電極112分別和與其對(duì)應(yīng)的列電極引線106電連接。
所述的電子發(fā)射體108包括一電子發(fā)射區(qū)114。該電子發(fā)射區(qū)114位于電子發(fā)射體108上，且該電子發(fā)射區(qū)114包括一個(gè)或數(shù)個(gè)間隙用于發(fā)射電子，通常所述間隙是自發(fā)斷裂形成的。所述的電子發(fā)射體108為 一 包含金屬化合物(如
4氧化鈀等)的導(dǎo)電薄膜(請(qǐng)參見(jiàn)，表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射顯示技術(shù)進(jìn)展，液晶與
顯示，牟強(qiáng)等，V21,P226-231 (2006))。當(dāng)在電子發(fā)射體108的兩端加上適當(dāng)?shù)碾妷簳r(shí)，由于隧道效應(yīng)，電子將從電子發(fā)射體108的電子發(fā)射區(qū)114的間隙的一端飛向另一端，從而實(shí)現(xiàn)電子發(fā)射。然而，采用包含金屬化合物的導(dǎo)電薄膜作為電子發(fā)射體108的大面積場(chǎng)發(fā)射電子器件100在工作時(shí)，流過(guò)電子發(fā)射體108的電流較大，所以發(fā)射電子的功耗大。同時(shí)，對(duì)該電子發(fā)射體108的激活需要較高的電壓和較長(zhǎng)的時(shí)間。另外，由于間隙是自發(fā)斷裂形成的，對(duì)電子發(fā)射體108進(jìn)行激活形成電子發(fā)射區(qū)114時(shí)，難以精確控制電子發(fā)射區(qū)114的形狀和位置，所以電子發(fā)射體108的電子發(fā)射特性有差異，從而導(dǎo)致發(fā)射的電子整體均勻性較差。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，確有必要提供一種功耗低，發(fā)射的電子整體均勻性好的大面積場(chǎng)發(fā)射電子器件。
一種場(chǎng)發(fā)射電子器件，其包括 一絕緣基底；多個(gè)行電極引線與列電極引線分別平行且等間隔設(shè)置于絕緣基底上，該多個(gè)行電極引線與多個(gè)列電極引線相互交叉設(shè)置，每?jī)蓚€(gè)相鄰的行電極引線與兩個(gè)相鄰的列電極引線形成一個(gè)網(wǎng)格，行電極引線與列電極引線之間電絕緣；多個(gè)電子發(fā)射單元，每個(gè)電子發(fā)射單元對(duì)應(yīng)一個(gè)網(wǎng)格設(shè)置，每個(gè)電子發(fā)射單元進(jìn)一步包括間隔設(shè)置的一陰極電極與 一 陽(yáng)極電極，且該陽(yáng)極電極和陰極電極分別與上述行電極引線與列電極引線電連接，以及一陰極發(fā)射體，該陰極發(fā)射體與陰極電極電連接，且與陽(yáng)極電極間隔設(shè)置。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件中，由于所述陰極發(fā)射體的一端與陰極電極電連接，另一端與陽(yáng)極電極間隔設(shè)置，故該場(chǎng)發(fā)射電子器件在工作時(shí)，陰極電極與陽(yáng)極電極之間不會(huì)形成漏電流，所以功耗低。而且，該場(chǎng)發(fā)射電子器件中，多個(gè)陰極發(fā)射體之間的行距相等，多個(gè)陰極發(fā)射體之間的列距也相等，且每個(gè)陰極發(fā)射體遠(yuǎn)離陰極電極的一端與陽(yáng)極電極之間的間隔相等，所以發(fā)射的電子整體均勻性好。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的場(chǎng)發(fā)射電子器件的俯視圖。
圖2為本發(fā)明實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射電子器件的俯視圖。
圖3為本發(fā)明實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射電子器件的側(cè)^f見(jiàn)圖。片。；、 ,、 、"
圖5為本發(fā)明實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射電子器件的場(chǎng)發(fā)射性能測(cè)試的I-V曲線。圖6為本發(fā)明實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射電子器件的場(chǎng)發(fā)射性能測(cè)試的F-N曲線。
具體實(shí)施例方式
以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的場(chǎng)發(fā)射電子器件作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖2及圖3，本發(fā)明實(shí)施例提供一種場(chǎng)發(fā)射電子器件200，包括一絕緣基底202，多個(gè)電子發(fā)射單元220設(shè)置于該絕緣基底202上，以及多個(gè)行電極引線204與多個(gè)列電極引線206設(shè)置于該絕緣基底202上。所述多個(gè)行電極引線204與列電極引線206分別平行且等間隔設(shè)置于絕緣基底202上。所述多個(gè)行電極引線204與多個(gè)列電極引線206相互交叉設(shè)置，而且，在行電極引線204與列電極引線206交叉處設(shè)置有一介質(zhì)絕緣層216，該介質(zhì)絕緣層216將行電極引線204與列電極引線206電隔離，以防止短路。每?jī)蓚€(gè)相鄰的行電極引線204與兩個(gè)相鄰的列電極引線206形成一網(wǎng)格214，且每個(gè)網(wǎng)格214定位一個(gè)電子發(fā)射單元220。
所述多個(gè)電子發(fā)射單元220對(duì)應(yīng)i殳置于上述網(wǎng)格214中，且每個(gè)網(wǎng)格214中設(shè)置一個(gè)電子發(fā)射單元220。每個(gè)電子發(fā)射單元220包括一陽(yáng)極電極210， 一陰極電極212，以及一陰極發(fā)射體208。該陽(yáng)極電極210與陰極電極212對(duì)應(yīng)且間隔設(shè)置。該陰極發(fā)射體208設(shè)置于陽(yáng)極電極210與陰極電極212之間，且，陰極發(fā)射體208—端與陰極電極212電連接，另一端指向陽(yáng)極電極210。該陰極發(fā)射體208可與絕緣基底202間隔設(shè)置或直接設(shè)置于絕緣基底202上。其中，當(dāng)陰極發(fā)射體208與絕緣基底202間隔設(shè)置，可以增強(qiáng)陰極發(fā)射體208的場(chǎng)發(fā)射能力。本實(shí)施例中，同一行的電子發(fā)射單元220中的陽(yáng)極電極210與同一行電極引線204電連接，同 一列的電子發(fā)射單元220中的陰極電極212與同 一列電極引線206電連接。
所述的絕緣基底202為一絕緣基板，如陶資基板、玻璃基板、樹(shù)脂基板、石英基板等。所述絕緣基底202的大小與厚度不限，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要選擇。本實(shí)施例中，所述絕緣基底202優(yōu)選為一玻璃基板，其厚度大于1毫米，邊長(zhǎng)大于l厘米。
所述行電極引線204與列電極引線206為導(dǎo)電體，如金屬層等。本實(shí)施例中，該多個(gè)行電極引線204與多個(gè)列電極引線206優(yōu)選為采用導(dǎo)電漿料印制的平面導(dǎo)電體，且該多個(gè)行電極引線204的行間距為50微米 2厘米，多個(gè)列電極引線206的列間距為5(M鼓米 2厘米。該行電極引線204與列電極引線206的寬度為30微米 100微米，厚度為10微米 50微米。本實(shí)施例中，該行電極引線204與列電極引線206的交叉角度為10度到90度，優(yōu)選為90度。本實(shí)施例中，可通過(guò)絲網(wǎng)印刷法將導(dǎo)電漿料印制于絕緣基底202上制備行電極引線204與列電極引線206。該導(dǎo)電漿料的成分包括金屬粉、低熔點(diǎn)玻璃粉和粘結(jié)劑。其中，該金屬粉優(yōu)選為銀粉，該粘結(jié)劑優(yōu)選為松油醇或乙基纖維素。該導(dǎo)電漿料中，金屬粉的重量比為50~卯％,低熔點(diǎn)玻璃粉的重量比為2~10%,粘結(jié)劑的重量比為8~40%。
所述陰極電極212與陽(yáng)極電極210為導(dǎo)電體，如金屬層等。本實(shí)施例中，該陰極電極212與陽(yáng)極電極210均為平面導(dǎo)電體，其尺寸依據(jù)網(wǎng)格214的尺寸決定。該陰極電極212和陽(yáng)極電極210直接與上述電極引線連接，從而實(shí)現(xiàn)電連接。所述陰極電極212與陽(yáng)極電極210的長(zhǎng)度為20微米 1.5厘米，寬度為30微米 1厘米，厚度為10微米 500微米。優(yōu)選地，所述陰極電極212與陽(yáng)極電極210的長(zhǎng)度為100微米 700微米，寬度為50微米 500微米，厚度為20微米 100微米。本實(shí)施例中，該陰極電極212與陽(yáng)極電極210的材料為導(dǎo)電漿料，通過(guò)絲網(wǎng)印刷法印制于絕緣基底202上。該導(dǎo)電漿料的成分與上述電極引線所用的導(dǎo)電漿料的成分相同。
所述陰極發(fā)射體208包括多個(gè)平行且等間隔排列的電子發(fā)射體218，如硅線、碳納米管、碳纖維及碳納米管線等中的一種或多種。而且，每個(gè)電子發(fā)射體218包括一電子發(fā)射端222,該電子發(fā)射端222為電子發(fā)射體218遠(yuǎn)離陰極電極212的一端。請(qǐng)一并參閱圖4，本實(shí)施例中，陰極發(fā)射體208包括多個(gè)平行排列的碳納米管線。采用多個(gè)平行排列的碳納米管線作為陰極發(fā)射體208時(shí)，每個(gè)碳納米管線的一端與陰極電極212電連接，另一端指向陽(yáng)極電極210，作為電子發(fā)射體218的電子發(fā)射端222。該電子發(fā)射端222與陽(yáng)極電極210之間
7的距離為1微米 1000微米。該陰極發(fā)射體208—端與陰極電極212的電連接方式可以為通過(guò)一導(dǎo)電膠電連接，也可以通過(guò)分子間力或者其他方式實(shí)現(xiàn)。該碳納米管線的長(zhǎng)度為10微米 1厘米，且相鄰的碳納米管線之間的間距為l微米 1000微米。該碳納米管線包括多個(gè)沿碳納米管長(zhǎng)度方向排列的碳納米管。具體地，該碳納米管線包括多個(gè)碳納米管片段，該多個(gè)碳納米管片段通過(guò)范德華力首尾相連，每一碳納米管片段包括多個(gè)相互平行并通過(guò)范德華力緊密結(jié)合的碳納米管。所述碳納米管線中的碳納米管包括單壁、雙壁及多壁碳納米管中的一種或多種。所述碳納米管的長(zhǎng)度范圍為10微米 100微米，且碳納米管的直徑小于15納米。
本實(shí)施例中的陰極發(fā)射體208的制備方法具體包括以下步驟
步驟一，提供至少一個(gè)碳納米管膜。
所述碳納米管膜從一碳納米管陣列拉取獲得。該碳納米管膜中包括多個(gè)首尾相連且定向排列的碳納米管。所述碳納米管膜的結(jié)構(gòu)及其制備方法請(qǐng)參見(jiàn)范守善等人于2007年2月9日申請(qǐng)的，于2008年8月13公開(kāi)的第CN101239712A號(hào)中國(guó)大陸公開(kāi)專(zhuān)利申請(qǐng)"碳納米管薄膜結(jié)構(gòu)及其制備方法，，，申請(qǐng)人清華大學(xué)，鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司)。
步驟二，將該碳納米管膜鋪設(shè)覆蓋于多個(gè)電極210， 212上。
可以理解，當(dāng)將至少兩個(gè)碳納米管薄膜重疊鋪設(shè)于多個(gè)電極210, 212上時(shí)，相鄰兩個(gè)碳納米管膜中的碳納米管排列方向相同。將碳納米管膜鋪設(shè)覆蓋于上述電極210, 212上時(shí)，要確該保碳納米管膜中的碳納米管排列方向從陰極電極212向陽(yáng)極電極210延伸。本實(shí)施例中，由于在后續(xù)步驟中要將碳納米管膜加工成多個(gè)平行且等間隔排列的碳納米管線，因此，碳納米管膜的層數(shù)不易太多，優(yōu)選為1 5層。
最后，切割碳納米管膜，使陽(yáng)極電極210與陰極電極212之間的碳納米管膜斷開(kāi)，形成多個(gè)平行排列的碳納米管線固定于陰極電極212上作為陰極發(fā)射體208。
所述切割碳納米管薄膜結(jié)構(gòu)的方法為激光燒蝕法、電子束掃描法或加熱熔斷法。本實(shí)施例中，優(yōu)選采用激光燒蝕法切割碳納米管膜，具體包括以下步驟
首先，采用一定寬度的激光束沿著每個(gè)行電極引線204進(jìn)行掃描，去除不同行的電極之間的碳納米管膜，使得留下的碳納米管膜僅設(shè)置于同 一行的陰
極電才及212與陽(yáng)極電才及210之上。
其次，采用一定寬度的激光束沿著每個(gè)列電極引線206進(jìn)行掃描，去除列電極引線206與相鄰陽(yáng)極電極210之間的碳納米管膜，并使得同 一 網(wǎng)格214中的陰極電極212與陽(yáng)極電極210之間的碳納米管膜與陽(yáng)極電極210斷開(kāi)。該步驟中，在碳納米管膜的斷裂處會(huì)形成多個(gè)電子發(fā)射端222,且電子發(fā)射端222與陽(yáng)極電極210之間形成一間隔。
本實(shí)施例中，所用的激光束的功率為10-50瓦，掃描速度為10~1000毫米/分鐘。所述激光束的寬度為100微米 400微米。
另外，該場(chǎng)發(fā)射電子器件200的每個(gè)電子發(fā)射單元220可以進(jìn)一步包括一固定件224設(shè)置于陰極電極212上，且該固定件224將陰極發(fā)射電極208固定于陰極電極212上。其中，固定件224可由導(dǎo)電材質(zhì)構(gòu)成。
請(qǐng)參閱圖5，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射電子器件200的場(chǎng)發(fā)射性能測(cè)試結(jié)果表明，當(dāng)電壓大于110V時(shí)，該場(chǎng)發(fā)射電子器件200開(kāi)始發(fā)射電子。當(dāng)電壓為150V時(shí)，該場(chǎng)發(fā)射電子器件200的場(chǎng)發(fā)射電流為700nA。每個(gè)電子發(fā)射單元220的功耗為105微瓦。請(qǐng)參閱圖6，表明該場(chǎng)發(fā)射電子器件200的電子發(fā)射為場(chǎng)致發(fā)射。
本發(fā)明實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射電子器件200中，陰極發(fā)射體208的 一端與陰極電極212電連接，另一端與陽(yáng)極電極210間隔設(shè)置，所以，該場(chǎng)發(fā)射電子器件200工作時(shí)，陰極電極212與陽(yáng)極電極210之間不會(huì)形成漏電流，所以功耗低。而且，該大面積場(chǎng)發(fā)射電子器件200中，多個(gè)陰極發(fā)射體208之間的行距相等，多個(gè)陰極發(fā)射體208之間的列距也相等，且每個(gè)陰極發(fā)射體208遠(yuǎn)離陰極電極212的 一端與陽(yáng)極電極210之間的間隔相等，每個(gè)陰極發(fā)射體208包括多個(gè)平行且等間隔設(shè)置的電子發(fā)射體218，所以發(fā)射的電子整體均勻性好。進(jìn)一步，通過(guò)減小電子發(fā)射端222與陽(yáng)極電極210之間的距離，或增加陰極發(fā)射體208懸空部分的長(zhǎng)度可以減小場(chǎng)發(fā)射電子器件200開(kāi)啟電壓。
另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可在本發(fā)明精神內(nèi)做其他變化，當(dāng)然，這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
9
權(quán)利要求
1. 一種場(chǎng)發(fā)射電子器件，其包括一絕緣基底；多個(gè)行電極引線與列電極引線分別平行且等間隔設(shè)置于絕緣基底上，該多個(gè)行電極引線與多個(gè)列電極引線相互交叉設(shè)置，每?jī)蓚€(gè)相鄰的行電極引線與兩個(gè)相鄰的列電極引線形成一個(gè)網(wǎng)格，行電極引線與列電極引線之間電絕緣；多個(gè)電子發(fā)射單元，每個(gè)電子發(fā)射單元對(duì)應(yīng)一個(gè)網(wǎng)格設(shè)置，每個(gè)電子發(fā)射單元進(jìn)一步包括間隔設(shè)置的一陰極電極與一陽(yáng)極電極，且該陽(yáng)極電極和陰極電極分別與上述行電極引線與列電極引線電連接，以及一陰極發(fā)射體，該陰極發(fā)射體與陰極電極電連接；其特征在于，所述陰極發(fā)射體與陽(yáng)極電極間隔設(shè)置。
2. 如權(quán)利要求l所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述陰極發(fā)射體包括 兩端，且一端與陰極電極電連接，另一端與陽(yáng)才及電極間隔設(shè)置。
3. 如權(quán)利要求2所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述陰極發(fā)射體遠(yuǎn)離 陰極電極的一端指向陽(yáng)極電極。
4. 如權(quán)利要求2所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述陰極發(fā)射體遠(yuǎn)離 陰極電極的一端與陽(yáng)極電極之間的間距大于等于1微米且小于等于1000微 米。
5. 如權(quán)利要求l所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述陰極發(fā)射體與絕 緣基底間隔設(shè)置。
6. 如權(quán)利要求l所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述陰極發(fā)射體包括 多個(gè)平行且等間隔排列的電子發(fā)射體。
7. 如權(quán)利要求6所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述電子發(fā)射體之間 的間距為l孩i米 1000孩i米。
8. 如權(quán)利要求6所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述電子發(fā)射體包括 一電子發(fā)射端，且該電子發(fā)射端為電子發(fā)射體遠(yuǎn)離陰極電極的一端。
9. 如權(quán)利要求6所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述電子發(fā)射體包括 硅線、碳納米管、碳纖維及碳納米管線中的一種或多種。
10. 如權(quán)利要求9所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述碳納米管線包括 多個(gè)首尾相連的碳納米管。
11. 如權(quán)利要求10所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述碳納米管的長(zhǎng) 度為10孩克米 10(M鼓米，直徑小于15納米。
12. 如權(quán)利要求l所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述行電極引線與列 電極引線交叉處設(shè)置有一介質(zhì)絕緣層。
13. 如權(quán)利要求l所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述多個(gè)電子發(fā)射單 元對(duì)應(yīng)網(wǎng)格設(shè)置成一陣列，且設(shè)置于同 一行的電子發(fā)射單元的陽(yáng)極電極與 同一個(gè)行電極引線電連接，設(shè)置于同一列的電子發(fā)射單元的陰極電極與同 一個(gè)列電極引線電連接。
14. 如權(quán)刊要求l所述的場(chǎng)發(fā)射電子器件，其特征在于，所述每個(gè)電子發(fā)射單 元進(jìn)一步包括一 固定件位于陰極電極上。
15. —種場(chǎng)發(fā)射電子器件，其包括 一絕緣基底；多個(gè)行電極引線與列電極引線分別平行且等間隔設(shè)置于絕緣基底上，該多 個(gè)行電極引線與多個(gè)列電極引線相互交叉設(shè)置，每?jī)蓚€(gè)相鄰的行電極引線 與兩個(gè)相鄰的列電才及引線形成一個(gè)網(wǎng)格，行電極引線與列電極引線之間電 絕緣；多個(gè)電子發(fā)射單元，每個(gè)電子發(fā)射單元對(duì)應(yīng)一個(gè)網(wǎng)格設(shè)置，每個(gè)電子發(fā)射單元進(jìn)一步包括間隔設(shè)置的 一 陰極電極與 一 陽(yáng)極電極，且該陽(yáng)極電極和陰極電極分別與上述行電極引線與列電極引線電連接；其特征在于，進(jìn)一步包括至少一個(gè)線狀的發(fā)射體設(shè)置于該陰極電極與陽(yáng)極電才及之間。
全文摘要
一種場(chǎng)發(fā)射電子器件，其包括一絕緣基底；多個(gè)行電極引線與列電極引線分別平行且等間隔設(shè)置于絕緣基底上，該多個(gè)行電極引線與多個(gè)列電極引線相互交叉設(shè)置，每?jī)蓚€(gè)相鄰的行電極引線與兩個(gè)相鄰的列電極引線形成一個(gè)網(wǎng)格，行電極引線與列電極引線之間電絕緣；多個(gè)電子發(fā)射單元，每個(gè)電子發(fā)射單元對(duì)應(yīng)一個(gè)網(wǎng)格設(shè)置，每個(gè)電子發(fā)射單元進(jìn)一步包括間隔設(shè)置的一陰極電極與一陽(yáng)極電極，且該陽(yáng)極電極和陰極電極分別與上述行電極引線與列電極引線電連接，以及一陰極發(fā)射體，該陰極發(fā)射體與陰極電極電連接，且與陽(yáng)極電極間隔設(shè)置。
文檔編號(hào)H01J31/12GK101465259SQ20081018868
公開(kāi)日2009年6月24日 申請(qǐng)日期2008年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月19日
發(fā)明者亮 劉, 姜開(kāi)利, 鵬 柳, 范守善 申請(qǐng)人:清華大學(xué);鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司