專利名稱：放電燈及光源裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及出射含有紫外線的光的放電燈及具有該放電燈的光源 裝置。
背景技術(shù)：
為了使涂料硬化或者進(jìn)行半導(dǎo)體晶片或玻璃基板等的表面清洗、周 邊曝光或表面改性等， 一般是使用放電燈對被處理對象物照射含有紫外 線的光進(jìn)行的。具有這種放電燈的光源裝置，例如在專利文獻(xiàn)l所記載 的發(fā)明中，是將從放電燈照出射的光由橢球面聚光鏡等的鏡反射、聚光后，再光導(dǎo)至出射口，通過連接于出射口的光纖束等光導(dǎo)機(jī)構(gòu)(light guide)向外部照射光。在這種光源裝置的外殼內(nèi)，將放電燈的固定用燈頭安裝于在周圍設(shè) 有橢球面聚光鏡的燈座。若放電燈被安裝于燈座的適當(dāng)位置，則放電燈 的輝點與橢球面聚光鏡的第1焦點相一致。另外，還配置有安裝于橢球 面聚光鏡的第2焦點的出射口的光纖束。通過該構(gòu)成可以將從放電燈的 輝點放出射的光高效率地導(dǎo)向光纖束的出射端。專利文獻(xiàn)1日本實用新型登錄3124444號。然而，當(dāng)操作員更換放電燈之時，存在未將上述放電燈的固定用燈 頭充分插入燈座就將夾緊螺桿擰緊了的情況。即使是未將放電燈充分插 入燈座的狀態(tài)，若向燈頭供給電源放電燈則就會點亮。然而，由于放電 燈的輝點未處于橢球面聚光鏡的第1焦點，因此在光纖束的出射端就會 形成照度不足的情況。當(dāng)操作員實際上無法使用光纖束進(jìn)行半導(dǎo)體晶片 或玻璃基板等的表面清洗時候，在調(diào)查故障原因的過程中，才會發(fā)現(xiàn)未 將放電燈的固定用燈頭充分插入燈座。此外，若以放電燈的軸向為Z軸方向，則放電燈的輝點在X-Y面 內(nèi)也發(fā)生變化。放電燈的固定用燈頭具有近似圓筒的形狀，因此，放電 燈可在燈座內(nèi)繞軸旋轉(zhuǎn)。于是，放電燈的輝點的位置從第1焦點位置錯開，由此出現(xiàn)無法得到所需照度的情況。 發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明目的在于提供下述這種的放電燈及具有該放電燈的光 源裝置，操作員對放電燈進(jìn)行安裝時，只要放電燈的輝點的位置未位于 橢球面聚光鏡的第1焦點位置，就無法將放電燈夾緊于燈座?；诘趌觀點的放電燈是在一端具有固定用燈頭的放電燈。而且，該固定用燈頭具備設(shè)有一對切缺部的圓筒形第l主體部；直徑比該第 l主體部大，并且設(shè)有接合部的圃筒形第2主體部；以及直徑與一對切 缺部的間隔相同或較之小，并且形成于第l主體部與第2主體部之間的 槽部，當(dāng)將固定用燈頭插入燈座時，槽部與第l主體部的階梯面相接于 燈座的基準(zhǔn)面?；诘趌觀點的放電燈，由于有一對切缺部，因此第l主體部可以 插入燈座，并且第2主體部不能進(jìn)行規(guī)定程度以上的插入。而且，槽部 的直徑與一對切缺部的間隔相同或較之小，因此，可以在規(guī)定位置上使 放電燈旋轉(zhuǎn)，另外，通過旋轉(zhuǎn)將槽部與第l主體部之間的階梯面與燈座 的基準(zhǔn)面相接。因此，可將放電燈的輝點定位于規(guī)定的位置。基于第2觀點的放電燈，燈座旋轉(zhuǎn)部，該旋轉(zhuǎn)部具有嵌入部并且從 第l位置轉(zhuǎn)向第2位置旋轉(zhuǎn)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)放電燈時，接合部接合于旋轉(zhuǎn)部的 嵌入部，旋轉(zhuǎn)部可從第l位置向第2位置旋轉(zhuǎn)?；诘?觀點的放電燈，由于燈座旋轉(zhuǎn)部的嵌入部接合于第2主體 部的接合部，因此通過固定用燈頭的旋轉(zhuǎn)，燈座的旋轉(zhuǎn)部也跟著旋轉(zhuǎn)。 通過該燈座的旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)，由于放電燈被安裝于燈座，因此操作員不 會將固定用燈頭安裝于錯誤的位置?；诘?觀點的放電燈，在第2觀點的基礎(chǔ)上，燈座具有將固定用 燈頭夾緊的夾緊機(jī)構(gòu)，在旋轉(zhuǎn)部處于第l位置的狀態(tài)下，夾緊機(jī)構(gòu)不能 夾緊固定用燈頭，在旋轉(zhuǎn)部處于笫2位置的狀態(tài)下，夾緊機(jī)構(gòu)能夠夾緊 固定用燈頭。在該構(gòu)成中，在旋轉(zhuǎn)部處于第l位置的狀態(tài)下，不能用夾緊機(jī)構(gòu)夾緊固定用燈頭。因此，操作員不會將固定用燈頭安裝于錯誤的位置，故 而，放電燈的輝點可以被可靠地配置于正確的位置?；诘?觀點的放電燈，燈座具有保持固定用燈頭旋轉(zhuǎn)的塞，第1 或第2主體部上形成有插入塞的凹部，在旋轉(zhuǎn)部處于第2位置的狀態(tài)下， 塞可插入于凹部。若固定用燈頭在燈座內(nèi)旋轉(zhuǎn)到第2位置，則固定用燈頭的旋轉(zhuǎn)被保 持于此。另外，操作員通過感覺到塞插入于凹部，則可以判斷已經(jīng)旋轉(zhuǎn) 到第2位置。基于第5觀點的放電燈的凹部，包含銀孔以及在固定用燈頭的軸向 延伸的狹槽。作為形成于第2主體部的凹部，比較容易制造锪孔及狹槽等。利用 該锪孔及狹槽，能夠?qū)⒎烹姛舯３钟诘?位置?；诘?觀點的放電燈，在旋轉(zhuǎn)部的嵌入部上形成有平面，接合部 至少局部具有平面，該嵌入部的平面與該接合部的平面相接合。由于接合部的平面與旋轉(zhuǎn)部的平面相接合，因此由于固定用燈頭的 接合部旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)部也跟著旋轉(zhuǎn)?；诘?觀點的放電燈，在旋轉(zhuǎn)部的外周面上設(shè)有表示第l位置的 第1標(biāo)記、和表示第2位置的第2標(biāo)記，在燈座上形成有窗部，隨著固 定用燈頭的旋轉(zhuǎn)能夠借助窗部確認(rèn)從第1標(biāo)記向第2標(biāo)記轉(zhuǎn)變的情況。通過該構(gòu)成，操作員能夠經(jīng)窗部目視放電燈位于第1位置還是位于 第2位置。特別是，若第l標(biāo)記為紅色的標(biāo)記或"開"文字，操作員則 可以認(rèn)為放電燈還沒有被安裝于正確的位置。另外，若第2標(biāo)記為藍(lán)色 或"閉，，文字，操作員則可以認(rèn)為放電燈被安裝于正確的位置?；诘?觀點的光源裝置，是一種具有具備光導(dǎo)機(jī)構(gòu)的出射口的光 源裝置，具有技術(shù)方案1至技術(shù)方案6所記載的放電燈；用于反射從 放電燈放射的光的反射鏡；插入固定用燈頭并對其進(jìn)行固定的燈座；以 及將放電燈、反射鏡及燈座收納于內(nèi)部，并且形成有出射口的外殼。由于放電燈可靠地夾緊于燈座，因此不會發(fā)生光導(dǎo)機(jī)構(gòu)從光源裝置 導(dǎo)出的光通量比規(guī)定量小的缺點。根據(jù)本發(fā)明，只有在以放電燈輝點的位置位于橢球面聚光鏡第1焦 點位置的方式對放電燈進(jìn)行安裝的情況下，才可以將放電燈的固定用燈 頭固定于燈座。因此，在照度不足的狀態(tài)下，放電燈不會點亮。另外， 來自光源裝置的光導(dǎo)機(jī)構(gòu)的照度也以同樣合適的照度照射。


圖l是表示放電燈的具備固定用燈頭的例子的圖。圖2 (a)是表示固定用燈頭20的第l例的圖，(b)是表示固定用 燈頭20的第2例的圖。圖3 (a)至(d)是從Z軸方向看到的表示固定用燈頭20外形形 狀的平面圖。圖4(a)是燈座50的立體圖，(b)是將夾緊部54的局部切下后的 立體圖。圖5是燈座50的展開圖。圖6是從與圖5相反側(cè)所看到的燈座50的展開圖。圖7是對將放電燈10安裝于燈座50動作進(jìn)行說明的圖。圖8是對在第1主體部21上具有凹部27C的固定用燈頭進(jìn)行說明 的圖。圖9是表示沒有凹部27的固定用燈頭20和旋轉(zhuǎn)環(huán)53的背面的圖。圖IO表示的是在出射口 81具備光纖束83的光源裝置IOO的一例。符號說明IO...放電燈；20…固定用燈頭；21...第1主體部(21B… 基準(zhǔn)階梯面；21H…切缺部);23...第2主體部(23H…接合部)；25... 圓筒形槽部；27...凹部(27A…锪孔；27B…狹槽)；50…燈座；51...座 基部；52...旋轉(zhuǎn)環(huán)托臺；53...旋轉(zhuǎn)環(huán)(53A…突起銷；53B…锪孔；53C...锪孔；53H…線性部；53M…標(biāo)記)；54…夾緊部(54A…長槽部；54T... 延長部)；55...夾緊螺桿；56...限制旋轉(zhuǎn)環(huán)(56A…突起)；70...燈座安 裝支柱；75…橢球面反射鏡；79…外殼；81…出射口； 83…光纖束；85... 散熱風(fēng)扇；100…光源裝置；BP1、 BP2…塞(plunger)。
具體實施方式
具備固定用燈頭的放電燈的構(gòu)造以下，將對本發(fā)明的放電燈實施方式進(jìn)行說明。圖l是用于說明本發(fā)明的放電燈構(gòu)成的概略圖。圖1中，放電燈IO 的一端具有固定用燈頭20。對于放電燈10而言，可以舉例如水^L氙氣 燈10和超高壓水銀燈等，其照射含有紫外線的光。本實施例中，優(yōu)選 地，將輝點為點光源的短弧燈作為放電燈IO。例如，超高壓水銀燈是由 石英玻璃形成玻殼，并且用鎢來形成陽極和陰極。另外，芯柱使用鉬導(dǎo) 電箔，玻殼內(nèi)充填有水銀、惰性氣體。作為燈安裝部分的固定用燈頭20 穩(wěn)定地供給電源。放電燈IO是將固定用燈頭20朝上插入燈座50。將燈座50安裝于 燈座安裝件70。固定用燈頭的構(gòu)造圖2 (a)是表示固定用燈頭20的第l例的圖，(b)是表示固定用 燈頭20的第2例的圖。(al)是第l例的立體圖，(a2)是從Y軸方向 看到的第l例的平面圖，(a3)是從X軸方向看到的第l例的平面圖。 同樣地，(bl)是第2例的立體圖，(b2)是從Y軸方向看到的第2例 的平面圖，(b3)是從X軸方向看到的第2例的平面圖。該固定用燈頭 20被插入于后述的燈座50，并通過夾緊螺桿55 (參照圖1)固定于燈 座50。該固定用燈頭20具有第1主體部21、第2主體部23、以及形成 于第l主體部21與第2主體部23之間的圓筒形槽部25。在形成于固定 用燈頭20的中心軸的開口 29處插入有放電燈10的芯柱，并且芯柱與 開口 29用陶瓷接著劑等固定。第1主體部21是圓筒形形狀，并且切成平面狀的切缺部21H與固定用燈頭20的軸對稱地形成。第2主體部23是圓筒形形狀，并且切成平面狀的接合部23H與固 定用燈頭20的軸對稱地形成。另外，如圖2 (a)所示在第1例的第2 主體部23上形成有凹部27即锪孔27A。如圖2 (b)所示在第2例的第 2主體部23上形成有沿軸向延伸的狹槽27B。在第1主體部21與第2主體部23之間形成有軸向?qū)挾萀25的圓筒 形槽部25。因此，在第1主體部21與圓筒形槽部25上形成有基準(zhǔn)階梯 面21B，在第2主體部23與圓筒形槽部25上形成有停止插入的止動面 23E。另外，圓筒形槽部25的軸向?qū)挾萀25由與后述的夾緊部54之間 的關(guān)系來規(guī)定。圖3是從Z軸方向所看到的固定用燈頭20的平面圖，是表示多個 形成于第1主體部21的切缺部21H、和形成于第2主體部23的接合部 23H各自形狀的圖。形成于第2主體部23的一對接合部23H的距離L23 比形成于第1主體部21的一對切缺部21H的距離L21還大。如圖3 (a)所示的固定用燈頭20，是與圖1及圖2所示的固定用 燈頭20相同的形狀。第1主體部21的圓筒形的直徑RA21,比第2主 體部23的圓筒形的直徑RA23還小。另外，圓筒形槽部25的直徑RA25 是與形成于第l主體部21的一對切缺部21H的距離L21相同的長度或 者較之小。在燈座50上有一對延長部54T,其間隔L54S (參照圖4)比一對 切缺部21H的距離L21還大，并且比一對接合部23H的距離L23還小。 因此，當(dāng)將放電燈10插入到燈座50時，圖2所示的止動面23E與燈座 50的夾緊部54的延長部54T頂接，放電燈10無法進(jìn)行規(guī)定量以上的 插入。如圖3 (b)所示的固定用燈頭20，在形成于第l主體部21的一對 切缺部21H上形成有U型槽部21C。這樣雖然在該切缺部21H上形成 U型槽部21C，也不會產(chǎn)生功能性問題。雖然未經(jīng)圖示，但代替U型槽 部21C，還可以是V型槽部。如圖3 (c)所示的固定用燈頭20，在形成于第2主體部23的一對接合部23H上形成有U型槽部23C。這樣雖然在接合部23H上形成有 U型槽部23C，但是只要接合部23H與燈座50的旋轉(zhuǎn)環(huán)53 (參照圖4、 圖5)相接合并可以使旋轉(zhuǎn)環(huán)旋轉(zhuǎn)，還可以是V字型槽部(未圖示)。如圖3 (d)所示的固定用燈頭20，在形成于第l主體部21的一對 切缺部21H上形成有凹型槽部21D。這樣雖然形成有該凹型槽部21D， 作為整體只要達(dá)到切缺部的作用，就不會有問題。另外，如(d)所示 的固定用燈頭20,在形成于第2主體部23的一對接合部23H上形成有 鋸齒23D。這樣雖然在接合部23H上形成有鋸齒23D，但是只要接合部 23H與燈座50的旋轉(zhuǎn)環(huán)53相接合，可以旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)環(huán)53就可以。燈座的構(gòu)造圖4 (a)是燈座50的立體圖，(b)是切下其局部的立體圖。另夕卜， 圖5是燈座50的展開圖。圖6是從與圖5相反側(cè)所看到的燈座50的展 開圖。燈座50包括座基部51、旋轉(zhuǎn)環(huán)托臺52、旋轉(zhuǎn)環(huán)53、夾緊部54 以及夾緊螺桿55。將支承旋轉(zhuǎn)環(huán)53的旋轉(zhuǎn)環(huán)托臺52和夾緊部54固定 于座基部51。在旋轉(zhuǎn)環(huán)托臺52上形成有用于使旋轉(zhuǎn)環(huán)53以規(guī)定的面旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn) 面52A，在旋轉(zhuǎn)面52A上形成有塞孔52B,該塞孔52B用于插入定位球 塞BP2 (參照圖7 )。通過該定位球塞BP2,將旋轉(zhuǎn)環(huán)53保持于第1位 置。在旋轉(zhuǎn)環(huán)53的圓形外周面上，嵌入并固定有突起銷53A。該突起銷 53A具有2個作用。 一個作用是控制夾緊螺桿55旋轉(zhuǎn)的作用。另一個旋轉(zhuǎn)的作用。在旋轉(zhuǎn)環(huán)53的下表面，形成有供安裝于旋轉(zhuǎn)環(huán)托臺52的 定位球塞BP2用的锪孔53B (參照圖9)。另外，旋轉(zhuǎn)環(huán)53的內(nèi)周面是 由圓周面和嵌入部即線性面53H組成的。線性面53H與形成于固定用 燈頭20的第2主體部23的接合部23H相接合。因此， 一對線性面53H 的間隔比一對接合部23H的間隔還略大。這樣， 一對線性面53H是用 于使旋轉(zhuǎn)環(huán)23旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，因此，也可以形成為圖3所示的第2主體部23的U字槽部23C或者V字槽部等。如圖6 (a)所示，在旋轉(zhuǎn)環(huán)53的圓形外周面上還形成有藍(lán)色標(biāo)記 53M1和紅色標(biāo)記53M2。藍(lán)色標(biāo)記53M1和紅色標(biāo)記53M2以旋轉(zhuǎn)軸為 中心偏離卯度，藍(lán)色標(biāo)記53M1形成于突起銷53A的相反側(cè)。藍(lán)色標(biāo) 記53M1表示的是，如后述那樣的將放電燈10安裝并旋轉(zhuǎn)90度的狀態(tài)， 表示可以對夾緊螺桿55進(jìn)行擰緊。因此，除了藍(lán)色標(biāo)記以外，還可以 做成"閉"或者"OK"等刻印。紅色標(biāo)記53M2與其相反，可做成"開，， 或者"NG"等刻印。夾緊部54具備長槽部54A與圓形夾緊面54C。長槽部54A設(shè)有 插入夾緊螺桿55的孔54B及螺紋54F。夾緊部54由座基部51的三個 位置的螺紋孔51B固定，長槽部54A的一端未被固定。因此，若將夾 緊螺桿55擰緊，長槽部54A則變窄而使夾緊面54C將第2主體部23 擰緊。另外，夾緊部54具備基準(zhǔn)面54S,基準(zhǔn)面54S具有從圓形夾緊 面54C的內(nèi)周向中心軸向延伸的延長部54T。 一對延長部54T的間隔 L54S比第1主體部21的切缺部21H的距離L21還大，并且比第1主 體部21的圓筒形直徑(RA21*2)還小。另外，延長部54T軸向的寬度 L54T比固定用燈頭20的圓筒形槽部25的寬度L25還小。因此，固定 用燈頭20的圓筒形槽部25貫通延長部54T，固定用燈頭20可在該延 長部54T上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。圖2所示的固定用燈頭20的止動面23E頂接于夾緊部54的延長部 54T的下表面。因此，放電燈10的固定用燈頭20無法進(jìn)行規(guī)定量以上 的插入。該延長部54T的軸向的寬度L54T比圓筒形槽部25的軸向的 寬度L25還略小。因此，將固定用燈頭20插入夾緊部54，固定用燈頭20的止動面 23E頂接于延長部54T的下表面后，固定用燈頭20可旋轉(zhuǎn)90度。另外， 旋轉(zhuǎn)卯度后，若手放開放電燈IO，則放電燈IO由于其自重下降，第l 主體部21的基準(zhǔn)階梯面21B與夾緊部54的基準(zhǔn)面54S相接，從而被定 位在Z軸方向上的放電燈10的輝點。此外，夾緊部54上還設(shè)有限動銷54D,限制旋轉(zhuǎn)環(huán)53的突起銷53A 使其無法進(jìn)行超出規(guī)定的旋轉(zhuǎn)。另外，在夾緊部54的圓形夾緊面54C上，形成有插入定位球塞BP1 (參照圖7)的塞孔54P，以使固定用燈 頭20無法進(jìn)行超出規(guī)定的旋轉(zhuǎn)。將定位球塞BP1安裝于該夾緊部54 的塞孔54P。定位球塞BP1與圖2( a )所示的第2主體部23的锪孔27A 或者圖2(b)所示的狹槽27B相接觸。另外，如圖6所示，在夾緊部54上且在塞孔54P的下側(cè)形成有窗 部54W。如圖6(b)所示，操作員從窗部54W可以對藍(lán)色標(biāo)記53M1 或紅色標(biāo)記53M2進(jìn)行確認(rèn)。在未安裝放電燈10的狀態(tài)下，操作員可 以從窗部54W看到紅色標(biāo)記53M2。另一方面，若操作員IO安裝放電 燈10并將放電燈10繞軸中心旋轉(zhuǎn)90度，則操作員可以從窗部54W看 到由紅色標(biāo)記53M2轉(zhuǎn)換到藍(lán)色標(biāo)記53Ml。夾緊螺桿55由把手部55A與螺紋部55B構(gòu)成。在把手部55A與螺 紋部55B之間，設(shè)有用于安裝限制旋轉(zhuǎn)環(huán)56的安裝面55C。把手部55A 與限制旋轉(zhuǎn)環(huán)56之間的距離L55，比夾緊部54的長槽部54A的一端寬 度L54略大，限制夾緊螺桿55的旋入量。因此，操作員可多次旋轉(zhuǎn)夾 緊螺桿55，由此縮小或松緩?qiáng)A緊部54的長槽部54A的寬度。另外，除 了夾緊螺桿55以外，只要是可以擰緊夾緊部54的機(jī)構(gòu)，也可以使用其 他的機(jī)構(gòu)例如帶螺紋凸輪等。限制旋轉(zhuǎn)環(huán)56具有2個突起56A，在2個突起部56A之間形成有 供旋轉(zhuǎn)環(huán)53的突起銷53A進(jìn)入的間隙。在2個突起部56A之間存在突 起銷53A的狀態(tài)下，即使欲檸緊夾緊螺桿55也不能檸緊。將放電燈安裝于燈座的順序圖7是對將放電燈安裝于燈座的順序進(jìn)行說明的圖。在(a) ~ (c) 中，是以剖視圖來表示燈座50。在圖7(a)中，從Z軸的下方以使放電燈10的固定用燈頭20朝上 來將放電燈10插入燈座50。這時，操作員若不將形成于第l主體部21 的切缺部21H朝向X軸方向，則無法插入燈座50。這是因為一對延長 部54T的間隔L54S比第1主體部21的圓筒形的直徑(RA21*2 )還小 的緣故。另外，由于旋轉(zhuǎn)環(huán)53被定位球塞BP2和锪口 53B保持于第1 位置，因此不會出現(xiàn)止動面23E碰到旋轉(zhuǎn)環(huán)53的下表面而造成放電燈10的固定用燈頭20無法插入夾緊部54的情況。由于第1主體部21的切缺部21H的距離L21比間隔L54S還小， 因此操作員可將固定用燈頭20插入到夾緊部54的延長部54T。然而， 一對接合部23H的距離L23比間隔L54S還寬，因此止動面23E頂接 于燈座50的夾緊部54的延長部54T,操作員不能將固定用燈頭插入到 規(guī)定位置以上的位置。圖7 (b)示出放電燈IO被插入到最上方的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，旋 轉(zhuǎn)環(huán)53的線性面53H與形成于第2主體部23的接合部23H接合。然 而線性面53H與接合部23H的接合，只要是在旋轉(zhuǎn)時可使旋轉(zhuǎn)環(huán)53旋 轉(zhuǎn)程度的較松的接合即可。因此，如圖7(b)所示的狀態(tài)那樣，若操 作員松開手，放電燈10會因自重而落下。另外，在該狀態(tài)下，操作員 即使欲擰緊夾緊螺桿55,由于在限制旋轉(zhuǎn)環(huán)56的突起部56A之間放置 有旋轉(zhuǎn)環(huán)53的突起銷53A,因此操作員無法擰緊夾緊螺桿55。因此， 操作員在放電燈10被插入到最上方的狀態(tài)下，將放電燈10繞軸中心旋 轉(zhuǎn)90度。于是，處于圖7(c)所示狀態(tài)。通過將放電燈10繞軸中心旋轉(zhuǎn)90度，切缺部21H朝向Y軸方向， 第1主體部21的基準(zhǔn)階梯面21B處于掛于夾緊部54的狀態(tài)。在該狀態(tài) 下，若操作員放開放電燈IO，則放電燈10因自重，處于第1主體部21 的基準(zhǔn)階梯面21B與夾緊部54的基準(zhǔn)面54S相接。該基準(zhǔn)面54S被設(shè) 定為使放電燈10的輝點位于橢球面反射鏡的第1焦點Fi。另外，以使 操作員認(rèn)定已經(jīng)旋轉(zhuǎn)90度，安裝與夾緊部54的塞BP1進(jìn)入形成于第2 主體部23的凹部27。由于塞BP1進(jìn)入凹部27，因此放電燈10被保持 于旋轉(zhuǎn)卯度的狀態(tài)。由于放電燈10繞軸中心旋轉(zhuǎn)90度，也可以調(diào)節(jié) 在X-Y平面(Z軸方向的旋轉(zhuǎn)方向)的位置。另外，由于將放電燈10繞軸中心旋轉(zhuǎn)90度，因此形成于第2主體 部23的接合部23H與旋轉(zhuǎn)環(huán)53的線性面53H頂接，使旋轉(zhuǎn)環(huán)53旋轉(zhuǎn) 90度。于是，旋轉(zhuǎn)環(huán)53的突起銷53A也旋轉(zhuǎn)90度。由于在限制旋轉(zhuǎn) 環(huán)56的2個突起部56A之間，沒有旋轉(zhuǎn)環(huán)53的突起銷53A,因此操作 員可以擰緊夾緊螺桿55。如以上說明，當(dāng)操作員將放電燈10裝于燈座50時，將放電燈10在燈座50上插入到最上端，并且只要不使其旋轉(zhuǎn)，就無法對放電燈IO 進(jìn)行安裝。也就是，無法將放電燈10安裝于與所需位置不同的位置上。 因此，只要能夠安裝放電燈IO，則放電燈10的輝點恰好處于第l焦點 位置，并且可以對X-Y面上所發(fā)生的輝點的若干錯位，及X-Y平面 (Z軸方向的旋轉(zhuǎn)方向)的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。因此，光源裝置100可穩(wěn)定 地照出射含有紫外線的光。變換例1:圖2中，將锪口 27A形成于第2主體部23,將狹槽27B形成于第2 主體部23。圖8中表示在第1主體部21上形成有锪口 27A的例子。如圖8(a)所示，在第1主體部21上形成锪口 27A而未在第2主 體部23上形成锪口 27A。 (b)中表示的是變換例1的燈座50。在燈座 50的夾緊部54-1上形成有從基準(zhǔn)面54S向上方突出的棱部54Q。在 棱部54Q上形成有插入有定位球塞BP1的塞孔54P。如圖8 (c)所示，在放電燈10被插入到最上方的狀態(tài)下，操作員 將放電燈10繞軸中心旋轉(zhuǎn)90度，安裝于夾緊部54 - 1的定位球塞BP1 進(jìn)入到形成于第1主體部21的锪口 27A。變換例2:圖9是^^用沒有凹部27的固定用燈頭20的變換例2。在該情況下， 在夾緊部54上未設(shè)有定位球塞BP1。取而替代，在旋轉(zhuǎn)環(huán)53的下表面 形成有安裝于旋轉(zhuǎn)環(huán)托臺52的定位球塞BP2用的锪口 53C。旋轉(zhuǎn)環(huán)53的锪口 53B,在插入放電燈10時，將旋轉(zhuǎn)環(huán)53保持于第 l位置。另一方面，旋轉(zhuǎn)環(huán)53的锪口 53C將放電燈10保持于繞軸中心 旋轉(zhuǎn)卯度后的第2位置。由此，放電燈IO也可有沒有凹部27的固定 用燈頭20。光源裝置的構(gòu)造下面，將對本發(fā)明的光源裝置IOO進(jìn)行說明。圖10是在出射口81具有光纖束83的光源裝置100的一例。本發(fā)明的光源裝置100具備 一端具有固定用燈頭20的放電燈10、 安裝放電燈10的燈座安裝件70以及外殼79。燈座安裝件70具備用于 反射的橢球面反射鏡75，并且橢球面反射鏡75朝下配置。放電燈10 從下側(cè)被安裝，如上所述，固定用燈頭20的第1主體部21的基準(zhǔn)階梯 面21B與夾緊部54的基準(zhǔn)面54S，由于自重以懸吊的方式連接。在橢 球面反射鏡75的第1焦點R處發(fā)出的放電燈10的光的局部，被橢球 面反射鏡75反射并朝向出射口 81。由于橢球面反射鏡75的第2焦點 F2處于出射口 81，因此來自放電燈10的光聚光于出射口 81。光纖束可 將在第2焦點F2處聚集的光向外部出射。作為光導(dǎo)機(jī)構(gòu)，除光纖束83 以外還可以使用透鏡或反反射鏡來光導(dǎo)。優(yōu)選地，如圖10所示將光纖束83的一端連接于出射口 81，將由光 纖所引導(dǎo)的光從上述光纖束83的另一端照射到工件。另外，燈座安裝 件70具有使數(shù)值孔徑變化的未圖示的光圏部。優(yōu)選地，在外殼79上安 裝散熱風(fēng)扇85，優(yōu)選地，通過動作散熱風(fēng)扇85來對外殼79內(nèi)的空氣進(jìn) 行排氣，從而來冷卻放電燈IO、橢球面反射鏡75、電源77等。根據(jù)本發(fā)明，操作員只要不將放電燈插入到燈座的規(guī)定位置并使之 旋轉(zhuǎn)，則無法將放電燈夾緊于燈座。因此，不會將具有該固定用燈頭的 放電燈安裝于錯誤的位置。另外，在本實施方式中，固定用燈頭20的第l主體部21的基準(zhǔn)階 梯面21B由于放電燈10的自重連接于夾緊部54的基準(zhǔn)面54S。然而， 也可以不將放電燈IO從下沿著Z軸方向插入燈座50，而是將燈座安裝 件70水平方向配置，將放電燈10沿水平方向插入燈座50。在這種情況 下，也可以利用電磁石等結(jié)合機(jī)構(gòu)，使放電燈10的基準(zhǔn)階梯面21B與 夾緊部54的基準(zhǔn)面54S相接。
權(quán)利要求
1.一種放電燈，是在一端具有固定用燈頭的放電燈，其特征在于，該固定用燈頭具備設(shè)有一對切缺部的圓筒形第1主體部；直徑比該第1主體部大，并且設(shè)有接合部的圓筒形第2主體部；以及直徑與上述一對切缺部的間隔相同或較之小，并且形成于上述第1主體部與上述第2主體部之間的槽部，在將上述固定用燈頭插入燈座時，上述槽部與上述第1主體部的階梯面相接于上述燈座的基準(zhǔn)面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電燈，其特征在于，上述燈座具有旋 轉(zhuǎn)部，該旋轉(zhuǎn)部具有嵌入部并且從第1位置向第2位置旋轉(zhuǎn)，當(dāng)上述放電燈旋轉(zhuǎn)時，上述接合部接合于上述旋轉(zhuǎn)部的嵌入部，上 述旋轉(zhuǎn)部能夠從上述第l位置向上述第2位置旋轉(zhuǎn)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電燈，其特征在于，上述燈座具有夾 緊上述固定用燈頭的夾緊機(jī)構(gòu)，在上述旋轉(zhuǎn)部處于上述第l位置的狀態(tài)下，上述夾緊機(jī)構(gòu)不能夾緊 上述固定用燈頭，在上述旋轉(zhuǎn)部處于上述第2位置的狀態(tài)下，上述夾緊 機(jī)構(gòu)能夠夾緊上述固定用燈頭。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的放電燈，其特征在于，上述燈座具 有保持上述固定用燈頭旋轉(zhuǎn)的塞，在上述第1或第2主體部上形成有插入上述塞的凹部，在上述旋轉(zhuǎn) 部處于上述第2位置的狀態(tài)下，上述塞能夠插入于上述凹部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的放電燈，其特征在于，上述凹部包含銀 孔以及在上述固定用燈頭的軸向延伸的狹槽。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的放電燈，其特征在于， 在上述旋轉(zhuǎn)部的嵌入部上形成有平面，上述接合部至少局部具有平面，上述嵌入部的平面與上述接合部的 平面相接合。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的放電燈，其特征在于，在上述旋轉(zhuǎn) 部的外周面上設(shè)有表示上述第l位置的第l標(biāo)記、和表示上述第2位置 的第2標(biāo)記，在上述燈座上形成有窗部，隨著上述固定用燈頭的旋轉(zhuǎn)能夠借助上述窗部確認(rèn)由上述第l標(biāo)記向上述第2標(biāo)記轉(zhuǎn)變的情況。
8. —種光源裝置，是具有具備光導(dǎo)機(jī)構(gòu)的出射口的光源裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求7所記載的放電燈； 用于反射從上述放電燈放射的光的反射鏡； 插入上述固定用燈頭并對其進(jìn)行固定的燈座；以及 將上述放電燈、反射鏡及燈座收納于內(nèi)部，并且形成有上述出射口的外殼。
全文摘要
本發(fā)明提供一種使安裝的穩(wěn)定性提高，并且使出射光的強(qiáng)度穩(wěn)定的放電燈(10)以及具有該放電燈的光源裝置(100)。放電燈(10)的固定用燈頭(20)具備設(shè)有一對切缺部(21H)的圓筒形的第1主體部(21)；直徑比該第1主體部大，并且設(shè)有接合部(23H)的圓筒形第2主體部(23)；直徑與一對切缺部的間隔相同或比之小，并且形成于第1主體部與第2主體部之間的槽部(25)，當(dāng)將固定用燈頭(20)插入燈座(50)時，槽部與第1主體部的階梯面(21B)相接于燈座的基準(zhǔn)面(54S)。
文檔編號F21S6/00GK101271818SQ20081000630
公開日2008年9月24日 申請日期2008年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月20日
發(fā)明者蘆田克己 申請人:豪雅冠得股份有限公司