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放電燈及光源裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2934577

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本發(fā)明涉及出射含有紫外線的光的放電燈及具有該放電燈的光源 裝置。背景技術(shù)為了使涂料硬化或者進(jìn)行半導(dǎo)體晶片或玻璃基板等的表面清洗、周 邊曝光或表面改性等, 一般是使用放電燈對(duì)被處理對(duì)象物照射含有紫外 線的光進(jìn)行的。具有這種放電燈的光源裝置,例如在專利文獻(xiàn)l所記載 的發(fā)明中,是將從放電燈照出射的光由橢球面聚光鏡等的鏡反射、聚光后,再光導(dǎo)至出射口,通過連接于出射口的光纖束等光導(dǎo)機(jī)構(gòu)(light guide)向外部照射光。在這種光源裝置的外殼內(nèi),將放電燈的固定用燈...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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