光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于圖紋面的照相制版的制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種光掩模修補(bǔ)的合束系統(tǒng)，尤其涉及一種將光掩模鉻版的修和補(bǔ)技術(shù)集為一體的合束系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，光掩模版是一種形成不透光圖像于玻璃或石英材料基材的圖形轉(zhuǎn)移工具或模版，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于芯片制造、IXD、PCB等技術(shù)領(lǐng)域。常見(jiàn)的光掩模版主要有鉻版、干版、凸版、液體凸版等類別，但均主要由基板和不透光材料兩成分組成。對(duì)于光掩模鉻版而言，基板通常由高純度、低反射率、低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃制成，其不透光層是通過(guò)濺射的方法鍍?cè)诓Ａ路胶窦s0.1um的鉻層。不可避免地，在光掩模鉻版的制作過(guò)程中，由于工藝、設(shè)備、環(huán)境等因素的影響，初次生產(chǎn)出的光掩模鉻版會(huì)存在黑缺陷和/或白缺陷等不足，其中，相對(duì)于設(shè)計(jì)圖形而言，所謂的黑缺陷是指在基材區(qū)域?yàn)R射有多余的鉻層而產(chǎn)生的不透光區(qū)域，對(duì)應(yīng)地，所謂的白缺陷是指在鉻層圖形區(qū)域缺少鉻層而形成的透光區(qū)域。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，為克服這些缺陷，通常，需要用一臺(tái)修光掩模鉻版的設(shè)備對(duì)黑缺陷用激光來(lái)氣化掉多余的鉻層以修復(fù)光掩模鉻版，對(duì)應(yīng)地，需要另一臺(tái)補(bǔ)光掩模鉻版的設(shè)備對(duì)白缺陷用激光化學(xué)輔助沉積鉻層以填補(bǔ)光掩模鉻版，也即，光掩模鉻版的修和補(bǔ)這兩道工序分別需要用兩臺(tái)不同的設(shè)備來(lái)完成。然而，通常，一張光掩模鉻版會(huì)同時(shí)存在有黑缺陷和白缺陷，這樣，在修補(bǔ)光掩模鉻版的過(guò)程中，就需要用到光掩模鉻版的修和補(bǔ)兩臺(tái)不同的設(shè)備來(lái)處理，可以理解地，這就需要一張光掩模鉻版在兩臺(tái)不同設(shè)備上共上下兩次激光，顯然，不僅耗費(fèi)人力，還耗費(fèi)工時(shí)，整個(gè)處理過(guò)程中設(shè)備所占用的面積也較大。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有的光掩模鉻版的修和補(bǔ)兩道工序需要用兩臺(tái)不同的設(shè)備來(lái)分別實(shí)現(xiàn)而導(dǎo)致的耗費(fèi)人力和工時(shí)，以及兩設(shè)備共同占用的面積較大的技術(shù)問(wèn)題。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:提供一種光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)，該合束系統(tǒng)包括合束總成，所述合束總成包括用以發(fā)射出第一分束光的第一分束裝置和用以發(fā)射出第二分束光的第二分束裝置；
[0006]該系統(tǒng)還包括偏振分光元件，用以直接透過(guò)所述第一分束光，以及用以反射所述第二分束光并使反射出的所述第二分束光的光軸與從所述偏振分光元件透出的所述第一分束光的光軸位于同一軸線上；
[0007]該系統(tǒng)還包括光路轉(zhuǎn)折總成，用以輔助傳送從所述偏振分光元件射出的所述第一分束光或所述第二分束光以使照射到光掩模鉻版上。
[0008]進(jìn)一步地，所述第一分束裝置包括第一激光器和用以調(diào)整所述第一激光器發(fā)射出的光線的偏振方向以形成所述第一分束光的第一波片；所述第二分束裝置包括第二激光器和用以調(diào)整所述第一激光器發(fā)射出的光線的偏振方向以形成所述第二分束光的第二波片。
[0009]進(jìn)一步地，所述第一分束裝置還包括用以將所述第一分束光反射至所述偏振分光元件的第一反射鏡。
[0010]進(jìn)一步地，所述第一分束光由后往前垂直射入并透光所述偏振分光元件，所述第二分束光由右往左垂直射入所述偏振分光元件，經(jīng)所述偏振分光元件反射后由后往前射出所述偏振分光兀件。
[0011]進(jìn)一步地，所述光路轉(zhuǎn)折總成順次包括第二反射鏡、第一分光鏡、可變狹縫、第二分光鏡、第三分光鏡和反應(yīng)腔，經(jīng)所述偏振分光元件射出的所述第一分束光或所述第二分束光依次經(jīng)所述第二反射鏡、第一分光鏡、可變狹縫、第二分光鏡、第三分光鏡和反應(yīng)腔照射到該光掩模鉻版上。
[0012]進(jìn)一步地，該合束系統(tǒng)還包括反射照明總成，所述反射照明總成順次包括用以發(fā)射出第一照明光線的第一點(diǎn)光源、用以透射該第一照明光線的第一透鏡、用以反射該第一照明光線的第三反射鏡和用以將該第一照明光線透射至所述第三分光鏡的第二透鏡。
[0013]進(jìn)一步地，該合束系統(tǒng)還包括指示照明總成，所述指示照明總成順次包括用以發(fā)射第二照明光線的第二點(diǎn)光源和用以將該第二照明光線透射至所述第一分光鏡的第三透鏡。
[0014]進(jìn)一步地，該合束系統(tǒng)還包括顯微成像總成，所述顯微成像總成順次包括成像器、用以反射所述第一照明光線或所述第二照明光線至所述成像器內(nèi)的第四反射鏡和用以透射從所述第二分光鏡反射出的所述第一照明光線或所述第二照明光線至所述第四反射鏡上的第四透鏡。
[0015]更進(jìn)一步地，所述偏振分光兀件為偏振分光棱鏡。
[0016]更進(jìn)一步地，所述第一分束光為P-偏光，所述第二分束光為S-偏光。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)的有益效果在于:
[0018]通過(guò)在同一設(shè)備平臺(tái)上既設(shè)置用以修復(fù)光掩模鉻版的黑缺陷的第一分束裝置，還設(shè)置用以填補(bǔ)光掩模鉻版的白缺陷的第二分束裝置，并讓第一分束裝置發(fā)出的P-偏光由偏振分光兀件(如偏振分光棱鏡)直接透射而出，還讓第二分束裝置發(fā)出的S-偏光由該偏振分光兀件從上述P-偏光的同一光軸線上反射而出，這樣，即可實(shí)現(xiàn)P-偏光和S-偏光從同一光軸線射出，并經(jīng)由同一光路轉(zhuǎn)折總成處理，最終照射到光掩模鉻版上，由此，一張光掩模鉻版的修和/或補(bǔ)均可在該合束系統(tǒng)上完成，大大地節(jié)省了人力和工時(shí)，一定程度上還節(jié)約了設(shè)備的占用面積。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)中偏振分光元件的將P-偏光和S-偏光的光軸整合到同一直線上的立體的合光原理示意圖；
[0021]圖3是圖2的俯視圖；
[0022]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例中光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)的合束總成的平面結(jié)構(gòu)不意簡(jiǎn)圖；
[0023]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例中光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)的反射照明總成的平面結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖；
[0024]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例中光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)的指示照明總成的平面結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖；
[0025]圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例中光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)的顯微成像總成的平面結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖；
[0026]附圖中的標(biāo)號(hào)如下:
[0027]O光掩模鉻版；
[0028]I合束總成、11第一分束裝置、111第一激光器、1111第一分束光、112第一波片、113第一反射鏡；
[0029]12第二分束裝置、121第二激光器、1211第二分束光、122第二波片；
[0030]2偏振分光兀件；
[0031]3光路轉(zhuǎn)折總成、31第二反射鏡、32第一分光鏡、33可變狹縫、34第二分光鏡、35管鏡、36第三分光鏡、37物鏡、38反應(yīng)腔；
[0032]4反射照明總成、41第一點(diǎn)光源、42第一透鏡、43第三反射鏡、44第二透鏡；
[0033]5指示照明總成、51第二點(diǎn)光源、52第三透鏡；
[0034]6顯微成像總成、61成像器、62第四反射鏡、63第四透鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0035]為了使本實(shí)用新型的所要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0036]以下結(jié)合具體附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)現(xiàn)進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0037]需說(shuō)明的是，當(dāng)部件被稱為“固定于”或“設(shè)置于”另一個(gè)部件，它可以直接在另一個(gè)部件上或者可能同時(shí)存在居中部件。當(dāng)一個(gè)部件被稱為是“連接于”另一個(gè)部件，它可以是直接連接到另一個(gè)部件或者可能同時(shí)存在居中部件。
[0038]還需說(shuō)明的是，本實(shí)用新型實(shí)施例的附圖中相同或相似的標(biāo)號(hào)對(duì)應(yīng)相同或相似的部件；在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，若有術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此，附圖中描述位置關(guān)系的用語(yǔ)僅用于示例性說(shuō)明，不能理解為對(duì)本專利的限制，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)的具體含義。
[0039]如圖1?圖7所示，為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例提供的一種光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)。
[0040]如圖1?圖7所示，該光掩模鉻版修補(bǔ)的合束系統(tǒng)包括合束總成1，該合束總成I包括第一分束裝置11和第二分束裝置12，需說(shuō)明的是，實(shí)際上，根據(jù)第一分束裝置11和第二分束裝置12發(fā)射出的光線的不同，第一分束裝置11可用以填補(bǔ)白缺陷，對(duì)應(yīng)地，第二分束裝置12可用以修復(fù)黑缺陷，但通常，特別是在本實(shí)施例中，第一分束裝置11主要用以發(fā)射出第一分束光1111以氣化掉多余的鉻層來(lái)修復(fù)光掩模鉻版O的黑缺陷，對(duì)應(yīng)地，第二分束裝置12主要用以發(fā)射出第二分束光1211以化學(xué)輔助沉積鉻層來(lái)填補(bǔ)光掩模鉻版O的白缺陷，因而，本文也將以此種情況為例來(lái)介紹該合束系統(tǒng)。
[0041]在本實(shí)施例中，為便于將第一分束光1111和第二分束光1211整合到同一光軸上射出，該系統(tǒng)還包括偏振分光兀件2，其中，第一分束光1111能直接透過(guò)偏振分光兀件2，不僅如此，第二分束光1211經(jīng)偏振分光元件2反射后再射出，且第二分束光1211經(jīng)反射后射出的光軸與從偏振分光元件2透出的第一分束光1111的光軸位于同一軸線上，這樣，第一分束光1111和第二分束光1211即可整合到同一光軸上。
[0042]另外，在本實(shí)施例中，為便于輔助傳送從偏振分光元件2射出的第一分束光1111或第二分束光1211以使它們均能照射到光掩模鉻版O上，不可或缺地，該系統(tǒng)還包括光路轉(zhuǎn)折總成3，可以理解地，經(jīng)偏振分光元件2發(fā)出的第一分束光1111即可經(jīng)該光路轉(zhuǎn)折總成3照射到光掩模鉻版O上，對(duì)應(yīng)地，第二分束光1211也可經(jīng)該光路轉(zhuǎn)折總成3照射到光掩模鉻版O上。
[0043]還可理解地，第一分束光1111或第二分束光1211從偏振分光元件2發(fā)出后不僅可共用光路轉(zhuǎn)折總成3，還可共用該合束系統(tǒng)中的其它部件，顯然，通過(guò)這種方式即可將光掩模鉻版O的修復(fù)和填補(bǔ)的工序整合到該合束系統(tǒng)中。其中，有關(guān)第一分束光1111和第二分束光1211合束的不意圖如圖2和圖3所不。
[0044]需說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，優(yōu)選地，第一分束光1111為平行偏振光(簡(jiǎn)稱P-偏光)，第二分束光1211為垂直偏振光(簡(jiǎn)稱S-