一種用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及光阻干膜生產(chǎn)技術領域，尤其涉及一種用于檢驗激光直接成像干月吳品質(zhì)的曝光機。
【背景技術】
[0002]目前，由于激光直接成像曝光機具有高效能、制作線路精密度高、對位簡單精準等優(yōu)點，在HD1、軟板和軟硬結合的精密線路PCB制作方面的使用明顯增加。而且，適用于激光直接成像曝光機的干膜也越來越多地被生產(chǎn)出來。
[0003]對于干膜生產(chǎn)企業(yè)，生產(chǎn)激光直接成像專用D/F需要用到激光直接成像曝光機以進行產(chǎn)品品質(zhì)的檢驗。但由于目前激光直接成像曝光機產(chǎn)量較少，這種曝光機的價格非常昂貴，為此干膜生產(chǎn)企業(yè)大多是使用印刷電路板企業(yè)使用的、價格相對低廉的普通曝光機進行產(chǎn)品品質(zhì)的檢驗。然而，普通曝光機與激光直接成像曝光機之間處在著很大的差異，主要表現(xiàn)在以下二個方面:
[0004](I)激光直接成像曝光機使用的是激光，發(fā)射出的紫外光為單波長(波長分別為365nm或405nm);而普通曝光機使用的是汞燈，發(fā)射出的紫外光為多波長(波長為250?450nm)。激光直接成像專用D/F對特定波長有一定的吸收，使用普通曝光機會造成激光直接成像專用D/F分辨率變差。
[0005](2)激光直接成像專用D/F的曝光能量較低，一般為10?20mJ/cm2。激光直接成像曝光機的能量如果> 20mJ/cm2會影響產(chǎn)能，而在10?20mJ/cm2能量比較穩(wěn)定，且不影響產(chǎn)能；而普通曝光機能量在10?20mJ/cm2不穩(wěn)定，很難控制在特定的能量，造成激光直接成像專用D/F的分辨率變差。
[0006]由此可見，使用普通曝光機對激光直接成像專用D/F進行品質(zhì)檢測存在著很大的弊端，對于驗證所生產(chǎn)的激光直接成像專用D/F是否為合格品、是否可以在專用激光直接成像曝光上使用非常困難，顯然無法滿足激光直接成像專用D/F的生產(chǎn)發(fā)展需求。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種設計簡單、制作方便，易于實現(xiàn)的用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機，以滿足激光直接成像專用D/F的生產(chǎn)發(fā)展需求。
[0008]本實用新型的目的通過以下技術方案予以實現(xiàn):
[0009]本實用新型提供的一種用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機，為具有框架、銅板的普通曝光機；此外還包括軌道、濾光片、加固板；所述軌道對稱設置在框架內(nèi)的兩邊，所述加固板設置在濾光片的外圍；所述加固板的上端和下端與軌道對應、且活動插設在軌道內(nèi)，所述濾光片的位置與銅板對應。
[0010]本實用新型采用濾光片改進普通曝光機光線波長，將多波長的紫外光轉(zhuǎn)化使之以365nm或405nm單波長輸出，以適用于激光直接成像專用干膜的檢驗。
[0011]進一步地，本實用新型還包括減光片，所述減光片疊加在濾光片上，以便根據(jù)需要降低紫外光能量。
[0012]上述方案中，本實用新型所述軌道的末端設有限位塊，以穩(wěn)定濾光片/加固板的位置。
[0013]本實用新型具有以下有益效果:
[0014](I)本實用新型通過簡單設計改進即可實現(xiàn)不同波長輸出，加工和制作方便，易于實現(xiàn)，適用于不同種類激光直接成像干膜的使用。
[0015](2)本實用新型便于更換濾光片，可根據(jù)實際需要選擇不同波長的濾光片或疊加不同種類的減光片，從而達到改變波長和能量的效果。
【附圖說明】
[0016]下面將結合實施例和附圖對本實用新型作進一步的詳細描述:
[0017]圖1是本實用新型實施例的結構示意圖；
[0018]圖2是圖1的A-A剖視圖。
[0019]圖中:框架1，銅板2，軌道3，濾光板4，加固板5，限位塊6，LDI干膜7
【具體實施方式】
[0020]圖1和圖2所示為本實用新型一種用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機的實施例，如圖1所示，為具有框架1、銅板2的普通曝光機，此外還包括軌道3、濾光板4、加固板5。
[0021]軌道3對稱設置在框架I內(nèi)的兩邊，軌道3的末端設有限位塊6 (見圖2，或末端為封閉式)。加固板5設置在濾光片4的外圍，加固板5的上端和下端與軌道3對應、且活動插設在軌道3內(nèi)。濾光片4的位置與銅板2對應。
[0022]此外，可根據(jù)實際需要選擇不同波長的濾光片，或疊加不同種類的減光片使用以達到改變波長和能量的效果。
[0023]如圖2所示，使用本實施例時，LDI干膜7覆蓋在銅板2表面，曝光時光線直接經(jīng)過濾光片4到達銅板2表面的LDI干膜7，從而實現(xiàn)LDI干膜7的曝光。
【主權項】
1.一種用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機，為具有框架(1)、銅板(2)的普通曝光機；其特征在于:還包括軌道(3)、濾光片(4)、加固板(5);所述軌道(3)對稱設置在框架(I)內(nèi)的兩邊，所述加固板(5)設置在濾光片(4)的外圍；所述加固板(5)的上端和下端與軌道(3)對應、且活動插設在軌道(3)內(nèi)，所述濾光片(4)的位置與銅板(3)對應。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機，其特征在于:還包括減光片，所述減光片疊加在濾光片(4)上。
3.根據(jù)權利要求1所述的用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機，其特征在于:所述軌道(3)的末端設有限位塊(6)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于檢驗激光直接成像干膜品質(zhì)的曝光機，為具有框架、銅板的普通曝光機；此外還包括軌道、濾光片、加固板；所述軌道對稱設置在框架內(nèi)的兩邊，所述加固板設置在濾光片的外圍；所述加固板的上端和下端與軌道對應、且活動插設在軌道內(nèi)，所述濾光片的位置與銅板對應。本實用新型設計簡單，加工和制作方便，易于實現(xiàn)，適用于不同種類激光直接成像干膜的使用，能夠很好地滿足激光直接成像專用D/F的生產(chǎn)發(fā)展需求。
【IPC分類】G03F7-20
【公開號】CN204440009
【申請?zhí)枴緾N201420868020
【發(fā)明人】郭慶秋, 陳東淼, 楊明雄
【申請人】長興（廣州）光電材料有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2014年12月29日