第一子聚光鏡212a定義為第一側(cè)邊緣區(qū)域，將第一子驅(qū)動(dòng)裝置216右下側(cè)的部分第一子聚光鏡212a定義為第二側(cè)邊緣區(qū)域，同理將第二子驅(qū)動(dòng)裝置217表面上的部分第二子聚光鏡213a定義為中間區(qū)域，將第二子驅(qū)動(dòng)裝置217左上側(cè)的部分下部分聚光鏡213定義為第一側(cè)邊緣區(qū)域，將第二子驅(qū)動(dòng)裝置217右上側(cè)的部分下部分聚光鏡213定義為第二側(cè)邊緣區(qū)域。當(dāng)?shù)谝蛔泳酃忡R212a和第二子聚光鏡213a是沿順時(shí)鐘方向旋轉(zhuǎn)掃描過程中，第一側(cè)邊緣區(qū)域會(huì)產(chǎn)生向橢球性外側(cè)方向的彈性形變，第二側(cè)邊緣區(qū)域會(huì)產(chǎn)生向橢球性內(nèi)側(cè)方向的彈性形變，因而本實(shí)施中，所述第一子聚光鏡212a和第二子聚光鏡213a的第一側(cè)邊緣區(qū)域具有向橢球型內(nèi)側(cè)偏移的第一偏移量，以補(bǔ)償?shù)谝粋?cè)邊緣區(qū)域向橢球性內(nèi)側(cè)方向的彈性形變，所述第一子聚光鏡212a和第二子聚光鏡213a的第二側(cè)邊緣區(qū)域具有向橢球型外側(cè)偏移的第二偏移量，以補(bǔ)償?shù)诙?cè)邊緣區(qū)域向橢球性內(nèi)側(cè)方向的彈性形變。
[0076]在另一具體的實(shí)施例中，直線掃描方向?yàn)閄軸負(fù)方向(以圖2中的坐標(biāo)系作為參考)，上部分聚光鏡和下部分聚光鏡的旋轉(zhuǎn)掃描方向?yàn)槟鏁r(shí)鐘方向(俯視)，第一反射鏡和第二反射鏡的旋轉(zhuǎn)掃描方向也為逆時(shí)鐘方向，第一子驅(qū)動(dòng)裝置底部的部分第一子聚光鏡定義為中間區(qū)域，將第一子驅(qū)動(dòng)裝置左下側(cè)的部分第一子聚光鏡定義為第二側(cè)邊緣區(qū)域，將第一子驅(qū)動(dòng)裝置右下側(cè)的部分第一子聚光鏡定義為第一側(cè)邊緣區(qū)域，同理將第二子驅(qū)動(dòng)裝置表面上的部分第二子聚光鏡定義為中間區(qū)域，將第二子驅(qū)動(dòng)裝置左上側(cè)的部分下部分聚光鏡定義為第二側(cè)邊緣區(qū)域，將第二子驅(qū)動(dòng)裝置右上側(cè)的部分下部分聚光鏡定義為第一側(cè)邊緣區(qū)域。當(dāng)?shù)谝蛔泳酃忡R和第二子聚光鏡是逆時(shí)鐘方向旋轉(zhuǎn)掃描過程中，第一側(cè)邊緣區(qū)域會(huì)產(chǎn)生向橢球性外側(cè)方向的彈性形變，第二側(cè)邊緣區(qū)域會(huì)產(chǎn)生向橢球性內(nèi)側(cè)方向的彈性形變，因而本實(shí)施中，所述第一子聚光鏡和第二子聚光鏡的第一側(cè)邊緣區(qū)域具有向橢球型內(nèi)側(cè)偏移的第一偏移量，以補(bǔ)償?shù)谝粋?cè)邊緣區(qū)域向橢球性內(nèi)側(cè)方向的彈性形變，所述第一子聚光鏡和第二子聚光鏡的第二側(cè)邊緣區(qū)域具有向橢球型外側(cè)偏移的第二偏移量，以補(bǔ)償?shù)诙?cè)邊緣區(qū)域向橢球性內(nèi)側(cè)方向的彈性形變。
[0077]所述液滴陣列201包括若干噴嘴21，所述EUV光源還包括液滴原料供應(yīng)腔(圖中未示出)，所述液滴原料供應(yīng)腔用于存儲(chǔ)液滴原料，若干噴嘴21通過中間管道(圖中未示出)與液滴原料供應(yīng)腔相連，液滴原料供應(yīng)腔中存儲(chǔ)的液滴原料通過噴嘴21噴出。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，所述液滴原料供應(yīng)腔可以為多個(gè)，若干噴嘴21通過中間管道與相應(yīng)的液滴原料供應(yīng)腔連接。所述液滴陣列201還包括與若干噴嘴21對應(yīng)的若干開關(guān)，每個(gè)開關(guān)控制對應(yīng)的噴嘴21是否噴吐液滴，所述開關(guān)可以設(shè)置在噴嘴21和液滴原料供應(yīng)腔之間的中間管道上，通過開關(guān)的閉合控制噴嘴與中間管道中液滴的通斷，以使每個(gè)噴嘴21能間隔的向輻射位置噴吐液滴22。所述開關(guān)為信號控制的機(jī)械開關(guān)，通過電信號控制開關(guān)的打開和關(guān)閉，以使噴嘴向下噴吐液滴和不噴吐液滴。在一具體的實(shí)施例中，所述開關(guān)可以為電子擠壓開關(guān)。
[0078]所述噴嘴21的數(shù)量大于等于2個(gè)。
[0079]所述液滴的材料可以為錫、錫合金、錫化合物、氣或鋰。所述錫化合物可以為SnBr4, SnBr2, SnH4等，所述錫合金可以為錫鎵合金、錫銦合金、錫銦鎵合金等。
[0080]根據(jù)選取的液滴的材料的不同，位于輻射位置202的液滴22的溫度可以不相同。
[0081]所述若干噴嘴與輻射位置之間的距離根據(jù)實(shí)際的需要設(shè)定，在此不做限制。
[0082]本實(shí)施例中，定義所述直線掃描方向200為平行于X軸的方向，所述輻射位置202為液滴陣列201正下方與若干噴嘴排布方向(直線掃描方向200)平行的一直線所在的位置，并且所述輻射位置202對應(yīng)聚光鏡的橢球性反射面的第一焦點(diǎn)，中心焦點(diǎn)220對應(yīng)于橢球性反射面的第二焦點(diǎn)位置，第一焦點(diǎn)沿平行于直線掃描方向200的直線方向變化，第一焦點(diǎn)位置變化時(shí)，聚光鏡旋轉(zhuǎn)掃描，使得橢球性反射面第二個(gè)焦點(diǎn)位置保持恒定。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，可以定義其他方向?yàn)閽呙璺椒ā?br>[0083]參考圖4,為本發(fā)明一實(shí)施例的液滴陣列201的放大結(jié)構(gòu)示意圖，所述液滴陣列201包括沿掃描方向200排布的若干噴嘴,所述若干噴嘴沿掃描方向200依次包括第一噴嘴21&1、第二噴嘴21a2、第三噴嘴21a3……第N (N彡3)噴嘴21an。若干噴嘴21??21an沿掃描方向排布具體是指所有噴嘴中心點(diǎn)的連線與掃描方向平行。
[0084]液滴陣列201中兩個(gè)相鄰噴嘴之間的距離D是恒定的，若干噴嘴可以很規(guī)律的依次向環(huán)形輻射位置噴吐液滴22，使得相鄰液滴22的橫向距離W也是恒定的(W = D)，因而激光束沿直線掃描方向掃描，依次轟擊位于福射位置202的液滴22時(shí),下一滴待轟擊的液滴不會(huì)受到前一滴被轟擊的液滴產(chǎn)生的等離子體碎片的影響。
[0085]在一具體的實(shí)施例中，所述相鄰噴嘴中心到中心的間距D為45?75微米，噴嘴噴吐的液滴22的尺寸為25?35微米。
[0086]所述若干噴嘴沿掃描方向200依次包括第一噴嘴21&1、第二噴嘴21a2、第三噴嘴21a3……第N(N彡3)噴嘴21an，若干噴嘴21依次向下方的輻射位置202噴吐液滴22的過程包括:在第一噴嘴21?噴吐第一液滴后，第二噴嘴21?滯后于第一噴嘴21?第一時(shí)間噴吐第二液滴，第三噴嘴21a3滯后于第二噴嘴21a2第一時(shí)間噴吐第三液滴……第N噴嘴21an滯后于第N-1噴嘴21an !第一時(shí)間噴吐第N液滴，一個(gè)第一液滴和相鄰的一個(gè)第二液滴、一個(gè)第三液滴……一個(gè)第N液滴構(gòu)成一排液滴。
[0087]因而，當(dāng)?shù)谝粐娮?1&1噴吐的第一液滴到達(dá)輻射位置202后，第二噴嘴21a2噴吐的第二液滴滯后于第一噴嘴21?噴吐的第一液滴第一時(shí)間到達(dá)輻射位置202，第三噴嘴2Ia3噴吐的第三液滴滯后于第二噴嘴21a2噴吐的第二液滴第一時(shí)間到達(dá)輻射位置202……第N噴嘴21an噴吐的第N液滴滯后于第N-1噴嘴21an !噴吐的第N液滴第一時(shí)間到達(dá)輻射位置202。
[0088]第二噴嘴21第二噴嘴21第二噴嘴21結(jié)合參考圖3和圖4，在若干噴頭依次向下方的輻射位置202噴吐液滴的過程中，所述激光源203使得產(chǎn)生的第一激光束31或第二激光束32沿直線掃描方向掃描，所述激光源203產(chǎn)生的第一激光束31或第二激光束32依次轟擊到達(dá)輻射位置202 —排液滴中的第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴，以第一激光束31轟擊液滴為例，具體過程為:激光源203產(chǎn)生的第一激光束31在轟擊完處于輻射位置202的第一液滴后，激光源203使得產(chǎn)生的第一激光束31沿直線掃描方向掃描，第二液滴到達(dá)輻射位置202時(shí)，第一激光束31轟擊位于輻射位置202的第二液滴，激光源203使得第一激光束31繼續(xù)沿直線掃描方向掃描,第三液滴到達(dá)福射位置202時(shí),第一激光束31轟擊位于輻射位置202的第三液滴……激光源203使得第一激光束31繼續(xù)沿直線掃描方向掃描，當(dāng)?shù)贜液滴到達(dá)輻射位置時(shí)，第一激光束31轟擊位于輻射位置202的第N液滴。
[0089]在第一激光束31依次轟擊第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴時(shí)，第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴被激光束轟擊時(shí)，相應(yīng)的產(chǎn)生等離子體，產(chǎn)生的等離子體向外福射極紫外光時(shí)，同時(shí)所述聚光器215旋轉(zhuǎn)掃描并依次收集第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴被轟擊時(shí)輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220，具體過程為:聚光器215在收集完第一液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220后,聚光器215旋轉(zhuǎn)掃描,聚光器215收集第二液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220，聚光器215繼續(xù)旋轉(zhuǎn)掃描，聚光器215收集第三液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220……聚光器215繼續(xù)旋轉(zhuǎn)掃描，聚光器215收集第N液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220。
[0090]請繼續(xù)參考圖4，本實(shí)施例中，液滴陣列201中的第一噴嘴21?、第二噴嘴21a2、第三噴嘴21a3……第N(N彡3)噴嘴21an依次向下方的輻射位置202噴吐液滴22的具體過程包括:在第一噴嘴21a:噴吐第一滴第一液滴后,第二噴嘴21^2滯后于第一噴嘴21a:第一時(shí)間噴吐第一滴第二液滴，第三噴嘴21a3滯后于第二噴嘴21a2第一時(shí)間噴吐第一滴第三液滴……第N噴嘴21an滯后于第N-1噴嘴21an !第一時(shí)間噴吐第一滴第N液滴；所述第一噴嘴21?在噴吐第一滴第一液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第一液滴、第三滴第一液滴、第四滴第一液滴……第M(M大于等于4)滴第一液滴，同樣，所述第二噴嘴21a2在噴吐第一滴第二液滴后,依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第二液滴、第三滴第二液滴、第四滴第二液滴……第M(M大于等于4)滴第二液滴，第三噴嘴21a3在噴吐第一滴第三液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第三液滴、第三滴第三液滴、第四滴第三液滴……第M(M大于等于4)滴第三液滴，第N噴嘴21an在噴吐第一滴第N液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第
N液滴、第三滴第N液滴、第四滴第N液滴......第M(M大于等于4)滴第N液滴。所述第一滴第一液滴、第一滴第二液滴、第一滴第三液滴......第一滴第N液滴構(gòu)成第一排液滴,所述第二滴第一液滴、第二滴第二液滴、第二滴第三液滴......第二滴第N液滴構(gòu)成第二排液滴，
所述第三滴第一液滴、第三滴第二液滴、第三滴第三液滴......第三滴第N液滴構(gòu)成第三排液滴，依次類推,所述第M滴第一液滴、第M滴第二液滴、第M滴第三液滴......第M滴第N液滴構(gòu)成第M排液滴，相鄰排液滴之間是相互平行的。本發(fā)明的液滴陣列201噴吐液滴的方法，從而實(shí)現(xiàn)液滴向輻射位置202的有規(guī)律的和不間斷的供應(yīng)，增大了單位時(shí)間內(nèi)的液滴的供應(yīng)量，并且使得激光源203 (參考圖3)產(chǎn)生的第一激光束31或第二激光束32可以有規(guī)律的沿直線掃描方向200掃描,依次轟擊位于福射位置202的液滴22,聚光器215 (參考圖3)可以有規(guī)律的旋轉(zhuǎn)掃描并同時(shí)收集輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220 (參考圖3)，提高中心焦點(diǎn)220處的極紫外光的功率。
[0091]第一滴第一液滴和第二滴第一液滴之間具有第一間距S，第一滴第二液滴和第二滴第二液滴之間具有第一間距S，第一滴第三液滴和第二滴第三液滴之間具有第一間距S……第一滴第N液滴和第二滴第N液滴之間具有第一間距S，所述第一間距S的大小為45?75微米。
[0092]請接著參考圖3，所述激光源203包括激光器204、反射鏡209、第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述激光器204適于產(chǎn)生激光束，所述反射鏡209適于反射激光束，使得反射的激光束向輻射位置202傳輸，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置與反射鏡209連接，適于驅(qū)動(dòng)所述反射鏡209旋轉(zhuǎn)，使得反射鏡209反射的激光束沿直線掃描方向200掃描，依次轟擊位于輻射位置202的液滴22。
[0093]所述激光器204采用脈沖頻率較高的泵浦激光器，使得產(chǎn)生的激光束在單位時(shí)間內(nèi)完成對更多的液滴的轟擊。所述泵浦激光器可以為調(diào)Q激光器或鎖模激光器等。
[0094]所述激光器204脈沖的發(fā)射需要同液滴的噴吐，反射鏡和聚光鏡旋轉(zhuǎn)掃描同步，當(dāng)液滴到達(dá)輻射位置時(shí)，相應(yīng)的激光束能夠轟擊到液滴，同時(shí)聚光鏡能夠收集該液滴輻射的極紫外光并匯聚于中心焦點(diǎn)。
[0095]在一具體的實(shí)施例中，所述激光器204為CO2激光器，激光器204的輸出功率為10 ?200KW。
[0096]本實(shí)施例中，所述反射鏡209包括分離的第一反射鏡207和第二反射鏡208，第二驅(qū)動(dòng)裝置包括第三子驅(qū)動(dòng)裝置205和第四子驅(qū)動(dòng)裝置206，所述第一反射鏡207位于第二反射鏡208上方，第一反射鏡207反射部分激光束，形成第一激光束31，第三子驅(qū)動(dòng)裝置205與第一反射鏡207連接，第三子驅(qū)動(dòng)裝置205驅(qū)動(dòng)第一反射鏡207旋轉(zhuǎn)，使得第一激光束31沿直線掃描方向200掃描，依次轟擊位于輻射位置202的液滴22 ;第二反射鏡208反射部分激光束，形成第二激光束32，所述第四子驅(qū)動(dòng)裝置206與第二反射鏡208連接，所述第四子驅(qū)動(dòng)裝置206驅(qū)動(dòng)第二反射鏡208旋轉(zhuǎn)，使得第二激光束32沿直線掃描方向200掃描，依次轟擊位于輻射位置202的液滴22。
[0097]第三子驅(qū)動(dòng)裝置205位于第一反射鏡207上方，所述第三子驅(qū)動(dòng)裝置205與第一反射鏡207之間通過軸承連接，所述第四子驅(qū)動(dòng)裝置206位于第二反射鏡208下方，所述第四子驅(qū)動(dòng)裝置206與第二反射鏡208之間通過軸承連接。所述軸承可以為電磁軸承或機(jī)械軸承。
[0098]第三子驅(qū)動(dòng)裝置205驅(qū)動(dòng)第一反射鏡207旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)方式以及第四子驅(qū)動(dòng)裝置206驅(qū)動(dòng)第二反射鏡208旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)方式可以為電磁驅(qū)動(dòng)或壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)。
[0099]第三子驅(qū)動(dòng)裝置205和第四子驅(qū)動(dòng)裝置206中包括動(dòng)力源和驅(qū)動(dòng)電路，所述動(dòng)力源為第一反射鏡207和第二反射鏡208的旋轉(zhuǎn)提供動(dòng)力，所述驅(qū)動(dòng)電路為動(dòng)力源提供驅(qū)動(dòng)信號。所述動(dòng)力源可以為電機(jī)。
[0100]所述激光器204與第一反射鏡207和第二反射鏡208之間的光路上還具有透鏡單元219，所述透鏡單元219用于調(diào)整激光器204發(fā)出的激光束入射到第一反射鏡207和第二反射鏡208上的入射角度，以使第一反射鏡207反射的第一激光束31和第二反射鏡208反射的第二激光束32到達(dá)輻射位置202。
[0101]本實(shí)施例中，所述反射鏡209包括分離的第一反射鏡207和第二反射鏡208，第二驅(qū)動(dòng)裝置包括第三子驅(qū)動(dòng)裝置205和第四子驅(qū)動(dòng)裝置206的目的在于:
[0102]本實(shí)施例中，所述反射鏡209包括分離的第一反射鏡207和第二反射鏡208，第二驅(qū)動(dòng)裝置包括第三子驅(qū)動(dòng)裝置205和第四子驅(qū)動(dòng)裝置206，第三子驅(qū)動(dòng)裝置205和第四子驅(qū)動(dòng)裝置206可以分別驅(qū)動(dòng)第一反射鏡207和第二反射鏡208旋轉(zhuǎn)，第一反射鏡207反射部分激光束，形成第一激光束31，第二反射鏡208反射部分激光束，形成第二激光束32，第一激光束31和第二激光束32可以交替的轟擊不同排的到達(dá)輻射位置202的液滴，當(dāng)單位時(shí)間內(nèi)液滴陣列201供應(yīng)的液滴的數(shù)量較多(相鄰排液滴之間間隔的第二時(shí)間可以很短，單位時(shí)間內(nèi)的液滴數(shù)量增多)時(shí)，第一激光束31和第二激光束32通過交替的掃描轟擊不同排的液滴，可以覆蓋所有的位于輻射位置202的液滴，從而增加了極紫外光的功率。
[0103]在一實(shí)施例中，第一激光束31和第二激光束32交替的轟擊不同排的到達(dá)輻射位置202的液滴過程包括:當(dāng)?shù)贚(L > I)排液滴到達(dá)輻射位置202時(shí)，第三子驅(qū)動(dòng)裝置205驅(qū)動(dòng)第一反射鏡207從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第一反射鏡207反射的第一激光束31沿直線掃描方向200掃描轟擊達(dá)到輻射位置的第L(L ^ I)排液滴，轟擊完成后，第三子驅(qū)動(dòng)裝置205驅(qū)動(dòng)第一反射鏡207回到初始位置；接著，當(dāng)?shù)贚+l (L ^ I)排液滴到達(dá)輻射位置202時(shí)，第四子驅(qū)動(dòng)裝置206驅(qū)動(dòng)第二反射鏡208從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第二反射鏡208反射的第二激光束32沿直線掃描方向200掃描轟擊達(dá)到輻射位置200的第L+l (L ^ I)排液滴，轟擊完成后，第四子驅(qū)動(dòng)裝置206驅(qū)動(dòng)第二反射鏡208回旋到初始位置；接著，當(dāng)?shù)贚+2排液滴到達(dá)福射位置202時(shí),第一激光束31沿直線掃描方向200掃描依次轟擊達(dá)到福射位置202的第L+2排液滴，轟擊完成后，第三子驅(qū)動(dòng)裝置205驅(qū)動(dòng)第一反射鏡207回到初始位置；接著，當(dāng)?shù)贚+3排液滴到達(dá)輻射位置202時(shí)，第二激光束32沿直線掃描方向200掃描依次轟擊達(dá)到輻射位置202的第L+3排液滴，轟擊完成后，第四子驅(qū)動(dòng)裝置206驅(qū)動(dòng)第二反射鏡208回旋到初始位置；如此反復(fù)循環(huán)，以輸出連續(xù)不斷的極紫外光脈沖。
[0104]在另一實(shí)施例中，第一激光束31和第二激光束32交替的轟擊不同排的到達(dá)輻射位置202的液滴過程包括:當(dāng)?shù)贚(L> I)排液滴到達(dá)輻射位置202時(shí)，第四子驅(qū)動(dòng)裝置206驅(qū)動(dòng)第二反射鏡208從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第二反射鏡208反射的第二激光束32沿直線掃描方向200掃描轟擊達(dá)到輻射位置200的第L(L ^ I)排液滴，轟擊完成后，第四子驅(qū)動(dòng)裝置206驅(qū)動(dòng)第二反射鏡208回旋到初始位置；接著，當(dāng)?shù)贚+l (L ^ I)排液滴到達(dá)輻射位置202時(shí)，第三子驅(qū)動(dòng)裝置205驅(qū)動(dòng)第一反射鏡207從初始位置開始旋轉(zhuǎn)，使得第一反射鏡207反射的第一激光束31沿直線掃描方向200掃