行加熱時不會發(fā)泡。
[0197] 關(guān)于如此得到的光波導(dǎo)形成用樹脂膜，能夠通過卷繞成例如輥狀而容易地進(jìn)行保 存。或者，也能夠通過將輥狀的膜切成合適的尺寸而以薄片狀進(jìn)行保存。
[0198] 本發(fā)明的光波導(dǎo)形成用樹脂組合物作為光波導(dǎo)形成用樹脂組合物是合適的，同樣 地，本發(fā)明的光波導(dǎo)形成用樹脂膜作為光波導(dǎo)形成用樹脂膜是合適的。
[0199] 以下，對本發(fā)明的光波導(dǎo)進(jìn)行說明。圖2是表示本發(fā)明的光波導(dǎo)的構(gòu)成例的截面 圖。
[0200] 如圖2(a)所示，光波導(dǎo)1由形成于基材7上且高折射率的包含芯部形成用樹脂組合 物的芯部2以及低折射率的包含包覆層形成用樹脂組合物的下部包覆層6和上部包覆層5構(gòu) 成。
[0201] 本發(fā)明的光波導(dǎo)形成用樹脂組合物和光波導(dǎo)形成用樹脂膜優(yōu)選用于光波導(dǎo)1的下 部包覆層6、芯部2和上部包覆層5中的至少1者。其中，從能夠利用包含堿性水溶液的顯影液 來形成圖案的觀點(diǎn)出發(fā)，它們之中進(jìn)一步優(yōu)選至少用于芯部2。
[0202] 通過使用光波導(dǎo)形成用樹脂膜，能夠更加提高包覆層與芯的層間密合性、光波導(dǎo) 芯圖案形成時的圖案形成性(細(xì)線或窄線間應(yīng)對性），能夠形成線寬、線間小的微細(xì)圖案。此 外，能夠提供可一次性制造大面積的光波導(dǎo)這樣的生產(chǎn)性優(yōu)異的工藝。
[0203]在光波導(dǎo)1中，作為基材7,能夠使用硅基板、玻璃基板或FR-4等玻璃環(huán)氧樹脂基板 那樣的硬基板。光波導(dǎo)1可以使用具有柔軟性和強(qiáng)韌性的上述基材膜代替上述基板而制成 柔性光波導(dǎo)。
[0204]此外，可以使具有柔軟性和強(qiáng)韌性的基材膜作為光波導(dǎo)1的覆蓋膜8發(fā)揮功能。通 過配置覆蓋膜8,能夠?qū)獠▽?dǎo)1賦予覆蓋膜8的柔軟性、強(qiáng)韌性。而且，光波導(dǎo)1不會受到污 染、損傷，因此操作容易性提尚。
[0205] 從以上觀點(diǎn)出發(fā)，可以像圖2(b)那樣在上部包覆層5的外側(cè)配置覆蓋膜8,或者像 圖2(c)那樣在下部包覆層6和上部包覆層5二者的外側(cè)配置覆蓋膜8。
[0206] 如果光波導(dǎo)1具備充分的柔軟性、強(qiáng)韌性，則也可以像圖2(d)那樣不配置覆蓋膜8。
[0207] 下部包覆層6的厚度沒有特別限制，優(yōu)選為2~200μπι。如果大于或等于2μπι，則容易 將傳播光封入芯內(nèi)部，如果小于或等于200μπι，則光波導(dǎo)1整體的厚度不會過大。予以說明的 是，下部包覆層6的厚度是指，從芯部2和下部包覆層6的邊界至下部包覆層6的下表面的值。 對于下部包覆層形成用樹脂膜的厚度沒有特別限制，可以調(diào)整厚度以使固化后的下部包覆 層6的厚度為上述范圍。
[0208] 芯部2的高度沒有特別限制，優(yōu)選為10~100μπι。如果芯部的高度大于或等于ΙΟμπι， 則在光波導(dǎo)形成后與受發(fā)光元件或光纖耦合時定位公差不會變小，如果小于或等于?ΟΟμπι， 則在光波導(dǎo)形成后與受發(fā)光元件或光纖耦合時，耦合效率不會變小。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，芯部 的高度進(jìn)一步優(yōu)選為15~80μπι，特別優(yōu)選為20~70μπι。另外，對于芯部形成用樹脂膜的厚度 沒有特別限制，可以調(diào)整厚度以使固化后的芯部高度為上述范圍。
[0209] 關(guān)于上部包覆層5的厚度，只要是能夠包埋芯部2的范圍就沒有特別限制，以干燥 后的厚度計優(yōu)選為12~500μπι。作為上部包覆層5的厚度，與最初形成的下部包覆層6的厚度 可以相同也可以不同，但從包埋芯部2這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選比下部包覆層6的厚度厚。予以 說明的是，上部包覆層5的厚度是指，從芯部2和下部包覆層6的邊界至上部包覆層5的上表 面的值。
[0210] 本發(fā)明的光波導(dǎo)能夠?qū)崿F(xiàn)小于或等于0.25dB/cm作為光傳播損失。進(jìn)一步，能夠?qū)?現(xiàn)小于或等于〇.15dB/cm，因此光的損失變小，傳輸信號的強(qiáng)度充分。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，還能 夠?qū)崿F(xiàn)小于或等于〇 · 10dB/cm〇
[0211 ]以下，對使用本發(fā)明的光波導(dǎo)形成用樹脂膜的最合適的光波導(dǎo)制造例進(jìn)行說明。
[0212] 作為芯部形成用樹脂膜的制造過程中使用的基材，只要是透過在后述的芯圖案形 成中使用的曝光用活性光線的基材就沒有特別限制，可列舉例如聚對苯二甲酸乙二醇酯、 聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯，聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴，聚碳酸酯， 聚苯醚，聚芳酯等。
[0213] 它們之中，從曝光用活性光線的透過率、柔軟性和強(qiáng)韌性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為聚對 苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯等聚酯，聚丙烯等聚烯烴。進(jìn)一步，從提高曝光 用活性光線的透過率和減少芯圖案的側(cè)壁龜裂的觀點(diǎn)出發(fā)，進(jìn)一步優(yōu)選使用高透明型的基 材膜。作為這樣的高透明型的基材膜，可列舉東洋紡織株式會社制⑶SM0SHINE A1517、 C0SM0SHINE A4100。另外，從提高與樹脂層的剝離性的觀點(diǎn)出發(fā)，可以根據(jù)需要使用通過有 機(jī)硅系化合物、含氟化合物等實(shí)施了脫模處理的膜。
[0214]芯部形成用樹脂膜的基材膜厚度優(yōu)選為5~50μπι。如果大于或等于5μπι，則作為支 撐體的強(qiáng)度充分，如果小于或等于50μπι，則芯圖案形成時光掩模與芯部形成用樹脂組合物 層的間隙不會變大，圖案形成性良好。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，基材膜的厚度進(jìn)一步優(yōu)選為10~40 Mi，特別優(yōu)選為15~30μηι。
[0215]關(guān)于在上述基材膜上涂布光波導(dǎo)形成用樹脂清漆或光波導(dǎo)形成用樹脂組合物而 制造的光波導(dǎo)形成用樹脂膜，可以根據(jù)需要將上述保護(hù)膜貼附于樹脂層上，制成由基材膜、 樹脂層和保護(hù)膜構(gòu)成的3層結(jié)構(gòu)。
[0216] 這樣得到的光波導(dǎo)形成用樹脂膜能夠通過卷繞成例如輥狀而容易地保存。或者， 也能夠通過將輥狀的膜切成合適的尺寸而以薄片狀進(jìn)行保存。
[0217] 以下，對用于使用光波導(dǎo)形成用樹脂組合物和/或光波導(dǎo)形成用樹脂膜來形成光 波導(dǎo)1的制造方法進(jìn)行說明。
[0218] 作為制造本發(fā)明的光波導(dǎo)1的方法，沒有特別限制，可列舉使用芯部形成用樹脂清 漆和包覆層形成用樹脂組合物利用旋涂法等進(jìn)行制造的方法、或使用芯部形成用樹脂膜和 包覆層形成用樹脂膜利用層疊法進(jìn)行制造的方法等。此外，也能夠組合這些方法而進(jìn)行制 造。它們之中，從能夠提供生產(chǎn)性優(yōu)異的光波導(dǎo)制造工藝這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用光波導(dǎo) 形成用樹脂膜利用層疊法進(jìn)行制造的方法。
[0219] 以下，使用圖3對用于將光波導(dǎo)形成用樹脂膜用于下部包覆層、芯部和上部包覆層 而形成光波導(dǎo)1的制造方法進(jìn)行說明。
[0220] 首先，如圖3(a)所示，作為第1工序，將下部包覆層形成用樹脂膜層疊于基材7上而 形成下部包覆層6。作為第1工序中的層疊方式，可列舉使用輥式層壓機(jī)或平板型層壓機(jī)一 邊加熱一邊壓接從而進(jìn)行層疊的方法，但從密合性和追隨性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用平板型 層壓機(jī)在減壓下層疊下部包覆層形成用樹脂膜。予以說明的是，在本發(fā)明中，平板型層壓機(jī) 是指，通過將層疊材料夾持在一對平板之間，并且對平板進(jìn)行加壓，從而使其壓接的層壓 機(jī)，例如，能夠合適地使用真空加壓式層壓機(jī)。此時的加熱溫度優(yōu)選為40~130°C，壓接壓力 優(yōu)選為〇. 1~1. OMPa，但這些條件沒有特別限制。在下部包覆層形成用樹脂膜上存在保護(hù)膜 的情況下，將保護(hù)膜去除后進(jìn)行層疊。
[0221] 另外，也可以在利用真空加壓式層壓機(jī)進(jìn)行層疊之前，使用輥式層壓機(jī)預(yù)先將下 部包覆層形成用樹脂膜暫貼于基材7上。此時，從提高密合性和追隨性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選一 邊壓接一邊進(jìn)行暫貼，壓接時，可以使用具有加熱輥的層壓機(jī)一邊加熱一邊進(jìn)行。層壓溫度 優(yōu)選為20~130°C。如果大于或等于20°C，則下部包覆層6的形成用樹脂膜與基材7的密合性 提高，如果小于或等于130°C，則樹脂層在輥式層壓時不會過于流動，能夠得到需要的膜厚。 從以上觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為40~100°C。壓力優(yōu)選為0.2~0.9MPa，層壓速度優(yōu)選為0.1~3m/ min，但這些條件沒有特別限制。
[0222] 接著，將層疊在基材7上的下部包覆層形成用樹脂膜通過光和/或加熱進(jìn)行固化， 將下部包覆層形成用樹脂膜的基材膜去除，形成下部包覆層6。
[0223] 形成下部包覆層6時的活性光線的照射量優(yōu)選設(shè)為0.1~5J/cm2,加熱溫度優(yōu)選設(shè) 為50~200°C，但這些條件沒有特別限制。
[0224] 接著，如圖3(b)所示，作為第2工序，利用與第1工序同樣的方法層疊芯部形成用樹 脂膜9。這里，芯部形成用樹脂膜9優(yōu)選被設(shè)計成比下部包覆層形成用樹脂膜的折射率高，并 且包含能夠利用活性光線形成芯圖案的感光性樹脂組合物。
[0225] 接著，如圖3(c)所示，作為第3工序，對芯部進(jìn)行曝光，形成光波導(dǎo)的芯圖案(芯部 2)。具體而言，通過被稱為原圖的具有負(fù)或正掩模圖案的光掩模10將活性光線以圖像狀照 射。此外，也可以使用激光直寫而不通過光掩模10來直接將活性光線照射在圖像上。作為活 性光線的光源，可列舉例如碳弧燈、汞蒸氣弧燈、超高壓汞燈、高壓汞燈、氙氣燈等有效放射 紫外線的公知光源。此外，除此之外還可列舉照相用泛光燈、太陽燈等有效放射可見光的光 源。
[0226] 此時的活性光線的照射量優(yōu)選為0.01~lOJ/cm2。如果大于或等于O.OlJ/cm2,則固 化反應(yīng)充分進(jìn)行，不會因后述的顯影工序而使芯部2流失，如果小于或等于lOJ/cm 2,則不會 因曝光量過多而使芯部2增大，能夠形成微細(xì)的圖案，因而是合適的。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu) 選為0 · 05~5J/cm2，特別優(yōu)選為0 · 1~3 J/cm2。
[0227] 另外，曝光后，從提高芯部2的分辨率和密合性的觀點(diǎn)出發(fā)，也可以進(jìn)行曝光后加 熱。紫外線照射至曝光后加熱的時間優(yōu)選為10分鐘以內(nèi)。如果為10分以內(nèi)，則由紫外線照射 產(chǎn)生的活性種不會失活。曝光后加熱的溫度優(yōu)選為40~160°C，時間優(yōu)選為30秒~10分鐘。 [0228]曝光后，如圖3(d)所示，將芯部形成用樹脂膜9的基材膜去除，使用堿性水溶液、水 系顯影液等與上述芯部形成用樹脂膜的組成對應(yīng)的顯影液，通過例如噴霧、搖動浸漬、刷 涂、刮涂、浸涂和旋覆浸沒等公知的方法進(jìn)行顯影。此外，根據(jù)需要還可以并用2種以上顯影 方法。
[0229]作為上述堿性水溶液的堿，沒有特別限制，可列舉例如鋰、鈉或鉀的氫氧化物等氫 氧化堿;鋰、鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫鹽等碳酸堿;磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽;焦 磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽;硼砂、偏硅酸鈉等鈉鹽；四甲基氫氧化銨、三乙醇胺、 乙二胺、二乙三胺、2-氨基-2-羥基甲基-1，3-丙二醇、1，3_二氨基丙醇-2-嗎啉等有機(jī)堿等。 顯影中使用的堿性水溶液的pH優(yōu)選為9~11，其溫度可結(jié)合芯部形成用樹脂組合物層的顯 影性進(jìn)行調(diào)節(jié)。此外，在堿性水溶液中，可以混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量 有機(jī)溶劑等。
[0230] 作為上述水系顯影液，只要是包含水或堿性水溶液和1種以上有機(jī)溶劑的顯影液 就沒有特別限制。水系顯影液的pH優(yōu)選在上述芯部形成用樹脂膜能夠充分顯影的范圍內(nèi)盡 可能小，優(yōu)選為pH8~12,特別優(yōu)選為pH9~10。
[0231]作為上述有機(jī)溶劑，可列舉例如甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇等醇;丙 酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等酮；乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙 醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚等多元醇烷基醚等。
[0232]它們能夠單獨(dú)使用或組合2種以上使用。有機(jī)溶劑的濃度通常優(yōu)選為2~90質(zhì) 量％，其溫度可結(jié)合芯部形成用樹脂組合物的顯影性進(jìn)行調(diào)節(jié)。此外，在水系顯影液中，可 以少量混入表面活性劑、消泡劑等。
[0233]作為顯影后的處理，根據(jù)需要可以使用包含水和上述有機(jī)溶劑的清洗液對光波導(dǎo) 的芯部2進(jìn)行清洗。有機(jī)溶劑能夠單獨(dú)使用或組合2種以上使用。有機(jī)溶劑的濃度通常優(yōu)選 設(shè)為2~90質(zhì)量％，其溫度可結(jié)合芯部形成用樹脂組合物的顯影性進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0234] 作為顯影或清洗后的處理，根據(jù)需要，可以通過進(jìn)行60~250°C程度的加熱或0.1 ~1000mJ/cm2程度的曝光來進(jìn)一步固化芯部2從而使用。
[0235]接著，如圖3(e)所示，作為第4工序，利用與第1和第2工序同樣的方法層疊上部包 覆層形成用樹脂膜而形成上部包覆層5。這里，上部包覆層形成用樹脂膜被設(shè)計為比芯部形 成用樹脂膜的折射率低。此外，上部包覆層5的厚度優(yōu)選比芯部2的高度大。
[0236] 接著，利用與第1工序同樣的方法利用光和/或熱將上部包覆層形成用樹脂膜固 化，從而形成上部包覆層5。
[0237] 在上述包覆層形成用樹脂膜的基材膜為PET的情況下，活性光線的照射量優(yōu)選為 0.1~5J/cm2。另一方面，在基材膜為聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞 胺、聚醚酰亞胺、聚苯醚、聚醚硫化物、聚醚砜、聚砜等的情況下，由于與PET相比不易通過紫 外線等短波長的活性光線，因此活性光線的照射量優(yōu)選為0.5~30J/cm 2。如果大于或等于 0.5J/cm2，則固化反應(yīng)充分進(jìn)行，如果小于或等于30J/cm 2，則光照射的時間不會過長。從以 上觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為3~27J/cm2，特別優(yōu)選為5~25J/cm 2。
[0238]另外，為了使其更加固化，可以使用能夠從兩面同時照射活性光線的兩面曝光機(jī)。 此外，也可以一邊進(jìn)行加熱一邊照射活性光線?；钚怨饩€照射中和/或照射后的加熱溫度優(yōu) 選為50~200°C，但對于這些條件沒有特別限制。
[0239]形成上部包覆層5后，有需要的話將基材膜去除，從而能夠制作光波導(dǎo)1。
[0240]本發(fā)明的光波導(dǎo)由于透明性和光傳播性優(yōu)異因此可以用作光模塊的光傳輸路徑。 作為光模塊的形態(tài)，可列舉例如將光纖連接于光波導(dǎo)兩端的帶光纖的光波導(dǎo)、將連接器連 接于光波導(dǎo)兩端的帶連接器的光波導(dǎo)、光波導(dǎo)和印刷配線板復(fù)合化而成的光電復(fù)合基板、 組合光波導(dǎo)以及將光信號和電信號相互轉(zhuǎn)換的光/電轉(zhuǎn)換元件而成的光電轉(zhuǎn)換模塊、組合 光波導(dǎo)和分波濾光器而成的波分復(fù)用器等。另外，在光電復(fù)合基板中，作為復(fù)合化的印刷配 線板，沒有特別限制，可以使用玻璃環(huán)氧基板等剛性基板、聚酰亞胺基板等柔性基板中的任 一種。
[0241 ]實(shí)施例
[0242] 以下，進(jìn)一步具體說明本發(fā)明的實(shí)施例。
[0243] <合成例1>
[0244][包覆層形成用基體聚合物；（甲基)丙烯酸聚合物(P-1)的制作]
[0245]向具備攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗和溫度計的燒瓶中稱量丙二醇單甲 醚乙酸酯46質(zhì)量份和乳酸甲酯23質(zhì)量份，一邊導(dǎo)入氮?dú)庖贿呥M(jìn)行攪拌。使液溫升至65°C，將 甲基丙烯酸甲酯47質(zhì)量份、丙烯酸丁酯33質(zhì)量份、甲基丙烯酸-2-羥基乙酯16質(zhì)量份、甲基 丙烯酸14質(zhì)量份、2,2'_偶氮雙(2,4_二甲基戊腈)3質(zhì)量份、丙二醇單甲醚乙酸酯46質(zhì)量份 和乳酸甲酯23質(zhì)量份的混合物經(jīng)3小時滴下后，以65°C攪拌3小時，進(jìn)一步以95°C繼續(xù)攪拌1 小時，得到（甲基)丙烯酸聚合物(P-1)溶液(固體成分45質(zhì)量％)。
[0246][酸值的測定]
[0247]測定P-1的酸值，結(jié)果為79mgK0H/g。予以說明的是，酸值是從中和P-1溶液所需的 O.lmol/L氫氧化鉀水溶液量算出的。此時，將作為指示劑而添加的酚酞從無色變?yōu)榉凵?點(diǎn)設(shè)為中和點(diǎn)。
[0248][重均分子量的測定]
[0249] 使用GPC(東曹（株）制"SD-8022"、"DP-8020"和"RI-8020"）測定P-1的重均分子量 (標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯換算），結(jié)果為3.9X10 4。予以說明的是，柱使用日立化成(株）制"Gelpack GL-A150-S"和"Gelpack GL-A160-S"。使用四氫呋喃作為洗脫液，樣品濃度設(shè)為0.5mg/ml， 溶出速度設(shè)為lml/分鐘而測定。
[0250] <合成例2>
[0251][芯層形成用基體聚合物；（甲基)丙烯酸聚合物(P-2)的制作]
[0252]向具備攪拌機(jī)、冷卻管、氣體導(dǎo)入管、滴液漏斗和溫度計的燒瓶中稱量丙二醇單甲 醚乙酸酯42質(zhì)量份和乳酸甲酯21質(zhì)量份，一邊導(dǎo)入氮?dú)庖贿呥M(jìn)行攪拌。使液溫升至65°C，將 N-環(huán)己基馬來酰亞胺14.5質(zhì)量份、丙烯酸芐酯20質(zhì)量份、鄰苯基苯酚1.5質(zhì)量份、丙烯酸酯 39質(zhì)量份、甲基丙烯酸-2-羥基乙酯14質(zhì)量份、甲基丙烯酸12.5質(zhì)量份、2,2'_偶氮雙（2,4_ 二甲基戊腈)4質(zhì)量份、丙二醇單甲醚乙酸酯37質(zhì)量份和乳酸甲酯21質(zhì)量份的混合物經(jīng)3小 時滴下后，以65°C攪拌3小時，進(jìn)一步以95°C繼續(xù)攪拌1小時，得到（甲基)丙烯酸聚合物(P-1)溶液(固體成分45質(zhì)量％ )。
[0253]利用與合成例1同樣的方法測定P-2的酸值和重均分子量，結(jié)果分別為80mgK0H/g、 32,000〇
[0254][包覆層形成用樹脂清漆CLV-1的調(diào)配]
[0255]將作為(A)基體聚合物的上述P-1溶液（固體成分45質(zhì)量％ )84質(zhì)量份（固體成分38 質(zhì)量份）、作為(B)光固化成分的具有聚酯骨架的氨基甲酸酯（甲基)丙烯酸酯(新中村化學(xué) 工業(yè)(株）制"U_200AX"）33質(zhì)量份、具有聚丙二醇骨架的氨基甲酸酯（甲基）丙烯酸酯(新中 村化學(xué)工業(yè)(株)制"UA-4200"）15質(zhì)量份和六亞甲基二異氰酸酯的異氰脲酸酯型三聚物被 甲乙酮Η虧保護(hù)的多官能封端異氰酸酯溶液（固體成分75質(zhì)量％ )(住化Bayer Uerthane(株） 制"SUMIDUR BL3175"）20質(zhì)量份(固體成分15質(zhì)量份）、作為(C)光聚合引發(fā)劑的l-[4-(2-羥 基乙氧基）苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮（汽巴日本(株）制"IRGACURE2959"）1質(zhì)量 份、雙(2，4，6-三甲基苯甲?；┍交趸?汽巴日本(株)制"IRGA⑶RE819"）1質(zhì)量份、以 及作為稀釋用有機(jī)溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯23質(zhì)量份一邊攪拌一邊混合。使用孔徑2μπι 的Polyflon過濾器(ADVANTEC東洋(株)制"PF020"）加壓過濾后，減壓脫泡，得到包覆層形成 用樹脂清漆。
[0256][包覆層形成用樹脂膜CLF-1的制作]
[0257]使用上述涂布機(jī)將上述得到的包覆層形成用樹脂組合物涂布在PET膜（東洋紡織 (株)制"COSMOSHINE A4100"，厚度50μπι)的非處理面上，以100°C干燥20分鐘后，貼附表面脫 模處理PET膜(帝人杜邦膜(株）制"Purex Α3Γ，厚度25μπι)