靜電放電器件、其制造方法及陣列基板、顯示面板和裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供靜電放電器件、其制造方法及有源陣列基板、顯示面板、顯示裝置。該靜電放電器件包括晶體管，晶體管的源極和漏極之一作為靜電放電器件的輸入端，另一者作為輸出端，晶體管具有：作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層；覆蓋第一導(dǎo)電層的第一絕緣層；位于第一絕緣層上的有源層；覆蓋有源層的第二絕緣層；作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層，位于第二絕緣層上；覆蓋第二導(dǎo)電層的第三絕緣層；及位于第三絕緣層上且分別位于有源層兩側(cè)的彼此隔離的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層，第三導(dǎo)電層作為源極和漏極的一者，第四導(dǎo)電層作為源極和漏極的另一者。
【專利說明】
靜電放電器件、其制造方法及陣列基板、顯示面板和裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及靜電放電(ESD)防護。具體涉及靜電放電器件、其制造方法及有源陣列基板、顯示面板、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示設(shè)備中，為了防止顯示面板等因靜電而造成損傷，一般對顯示面板等設(shè)置靜電放電器件。
[0003]隨著產(chǎn)品的分辨率不斷變高，產(chǎn)品的像素設(shè)計得越來越小，這導(dǎo)致顯示區(qū)域周邊的ESD設(shè)計單元的空間也越來越小。然而，現(xiàn)有技術(shù)中的靜電放電器件所占用的空間面積大且靜電放電能力也需要進一步提高。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明的實施例提供至少能夠大大節(jié)省ESD設(shè)計占用的空間面積并且靜電放電能力增強的靜電放電器件、其制造方法及有源陣列基板、顯示面板、顯示裝置。
[0005]本發(fā)明的一個目的在于提供一種靜電放電器件。
[0006]本發(fā)明的第一方面提供一種靜電放電器件，包括晶體管，所述晶體管的源極和漏極之一作為所述靜電放電器件的輸入端，所述源極和所述漏極的另一者作為所述靜電放電器件的輸出端，其中，所述晶體管具有:作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層;覆蓋所述第一導(dǎo)電層的第一絕緣層;位于所述第一絕緣層上的有源層;覆蓋所述有源層的第二絕緣層;作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層，位于所述第二絕緣層上;覆蓋所述第二導(dǎo)電層的第三絕緣層；以及，位于所述第三絕緣層上且分別位于所述有源層兩側(cè)的彼此隔離的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層，其中所述第三導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的一者，所述第四導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的另一者，所述第一導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第一電容器，所述第一導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第二電容器，所述第二導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第三電容器，所述第二導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第四電容器。
[0007]在一個實施例中，所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層被電連接到一起。
[0008]在一個實施例中，所述晶體管還具有:位于所述第三絕緣層上并與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離的中繼導(dǎo)電層，所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到所述中繼導(dǎo)電層。
[0009 ]在一個實施例中，還包括:覆蓋所述第三絕緣層、所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層的第四絕緣層;和位于所述第四絕緣層上的第五導(dǎo)電層，所述第五導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第五電容器，所述第五導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第六電容器。
[0010]在一個實施例中，所述第一導(dǎo)電層以及所述第二導(dǎo)電層中的至少一者和所述第五導(dǎo)電層被電連接到一起。
[0011]在一個實施例中，所述晶體管還具有:位于所述第三絕緣層上并與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離的中繼導(dǎo)電層，所述第一導(dǎo)電層以及所述第二導(dǎo)電層中的至少一者和所述第五導(dǎo)電層經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到所述中繼導(dǎo)電層。
[0012]在一個實施例中，所述第五導(dǎo)電層包括ITO層或Al層。
[0013]本發(fā)明的另一個目的在于提供一種有源陣列基板。
[0014]本發(fā)明的第二方面提供了一種有源陣列基板，所述有源陣列基板具有如上所述的靜電放電器件。
[0015]在一個實施例中，所述靜電放電器件的輸入端被連接到柵線或者數(shù)據(jù)線，所述靜電放電器件的輸出端被接地。
[0016]本發(fā)明的又一個目的在于提供一種顯示面板。
[0017]本發(fā)明的第三方面提供了一種顯示面板，所述顯示面板具有如上所述的有源陣列基板。
[0018]本發(fā)明的另一個目的在于提供一種顯示裝置。
[0019]本發(fā)明的第四方面提供了一種顯示裝置，所述顯示裝置具有如上所述的顯示面板。
[0020]本發(fā)明的再一個目的在于提供一種靜電放電器件的制造方法。
[0021]本發(fā)明的第五方面提供了一種靜電放電器件的制造方法，所述靜電放電器件包括晶體管，所述晶體管的源極和漏極之一作為所述靜電放電器件的輸入端，所述源極和所述漏極的另一者作為所述靜電放電器件的輸出端，所述制造方法中包括:形成作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層;覆蓋所述第一導(dǎo)電層形成第一絕緣層;在所述第一絕緣層上形成有源層;覆蓋所述有源層形成第二絕緣層;在所述第二絕緣層上形成作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層;覆蓋所述第二導(dǎo)電層形成第三絕緣層；以及，在所述第三絕緣層上形成彼此隔離的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層，其中所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層分別位于所述有源層的兩側(cè)，所述第三導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的一者以及所述第四導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的另一者，其中所述第一導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第一電容器，所述第一導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第二電容器，所述第二導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第三電容器，所述第二導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第四電容器。
[0022]在一個實施例中，還包括:將所述第一導(dǎo)電層與所述第二導(dǎo)電層電連接到一起。
[0023]在一個實施例中，還包括:形成貫通所述第一絕緣層、所述第二絕緣層以及所述第三絕緣層并到達所述第一導(dǎo)電層的第一過孔和貫通所述第三絕緣層并到達所述第二導(dǎo)電層的第二過孔;和在所述第三絕緣層上形成與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離且覆蓋并填充所述第一過孔和所述第二過孔的中繼導(dǎo)電層。
[0024]在一個實施例中，還包括:覆蓋所述第三絕緣層、所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層形成第四絕緣層;和在所述第四絕緣層上形成第五導(dǎo)電層，其中所述第五導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第五電容器，所述第五導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第六電容器。
[0025]在一個實施例中，還包括:將所述第一導(dǎo)電層以及所述第二導(dǎo)電層中的至少一者和所述第五導(dǎo)電層電連接到一起。
[0026]在一個實施例中，還包括:形成貫通所述第一絕緣層、所述第二絕緣層以及所述第三絕緣層并到達所述第一導(dǎo)電層的第一過孔和貫通所述第三絕緣層并到達所述第二導(dǎo)電層的第二過孔中的至少一者;在所述第三絕緣層上形成與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離且覆蓋并填充所形成的過孔的中繼導(dǎo)電層;形成貫通所述第四絕緣層且到達所述中繼導(dǎo)電層的第三過孔；以及形成所述第五導(dǎo)電層以覆蓋并填充所述第三過孔。
[0027]在一個實施例中，所述第五導(dǎo)電層包括ITO層或Al層。
【附圖說明】
[0028]為了更清楚地說明本發(fā)明的實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅涉及本發(fā)明的一些實施例，而非對本發(fā)明的限制。
[0029]圖1是表示本發(fā)明的一個實施例的靜電放電器件的剖視圖。
[0030]圖2是對應(yīng)于圖1的電路原理圖。
[0031]圖3是表示本發(fā)明的又一個實施例的第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層電連接時的電連接處的剖視圖。
[0032]圖4是對應(yīng)于圖3的電路原理圖。
[0033]圖5是本發(fā)明的一個實施例的靜電放電器件的剖視圖。
[0034]圖6是對應(yīng)于圖5的電路原理圖。
[0035]圖7是本發(fā)明的另一個實施例的第一導(dǎo)電層與第五導(dǎo)電層電連接時的電連接處的剖視圖。
[0036]圖8是對應(yīng)于圖7的電路原理圖。
[0037]圖9是本發(fā)明的再一個實施例的第二導(dǎo)電層與第五導(dǎo)電層電連接時的電連接處的剖視圖。
[0038]圖10是對應(yīng)于圖9的電路原理圖。
[0039]圖11是本發(fā)明的一個實施例的第一導(dǎo)電層、第二導(dǎo)電層和第五導(dǎo)電層都電連接時的電連接處的剖視圖。
[0040]圖12是對應(yīng)于圖11的電路原理圖。
[0041]圖13是表示本發(fā)明的一個實施例的靜電放電器件的制造方法的流程圖。
[0042]圖14是表示本發(fā)明的另一個實施例的靜電放電器件的制造方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0043]為了使本發(fā)明的實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將接合附圖，對本發(fā)明的實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整的描述。顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員在無需創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，也都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0044]當介紹本發(fā)明的元素及其實施例時，冠詞“一”、“一個”、“該”和“所述”旨在表示存在一個或者多個要素。用語“包含”、“包括”、“含有”和“具有”旨在包括性的并且表示可以存在除所列要素之外的另外的要素。
[0045]出于下文表面描述的目的，如其在附圖中被標定方向那樣，術(shù)語“上”、“下”、“左”、“右” “垂直”、“水平”、“頂”、“底”及其派生詞應(yīng)涉及發(fā)明。術(shù)語“上覆”、“在……頂上”、“定位在……上”或者“定位在……頂上”意味著諸如第一結(jié)構(gòu)的第一要素存在于諸如第二結(jié)構(gòu)的第二要素上，其中，在第一要素和第二要素之間可存在諸如界面結(jié)構(gòu)的中間要素。術(shù)語“接觸”意味著連接諸如第一結(jié)構(gòu)的第一要素和諸如第二結(jié)構(gòu)的第二要素，而在兩個要素的界面處可以有或者沒有其它要素。
[0046]除非上下文中另外明確地指出，否則在本文和所附權(quán)利要求中所使用的詞語的單數(shù)形式包括復(fù)數(shù)，反之亦然。因而，當提及單數(shù)時，通常包括相應(yīng)術(shù)語的復(fù)數(shù)。相似地，措辭“包含”和“包括”將解釋為包含在內(nèi)而不是獨占性地。同樣地，術(shù)語“包括”和“或”應(yīng)當解釋為包括在內(nèi)的，除非本文中明確禁止這樣的解釋。在本文中使用術(shù)語“實例”之處，特別是當其位于一組術(shù)語之后時，所述“實例”僅僅是示例性的和闡述性的，且不應(yīng)當被認為是獨占性的或廣泛性的。
[0047]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的各個優(yōu)選實施例進行詳細的說明。
[0048]圖1是表示本發(fā)明的一個實施例的靜電放電器件的剖視圖。圖2是對應(yīng)于圖1的電路原理圖。
[0049]如圖1和圖2所示，靜電放電器件包括晶體管，晶體管的源極201和漏極202之一作為靜電放電器件的輸入端IN，源極201和漏極202的另一者作為靜電放電器件的輸出端0UT，晶體管具有:作為第一浮空柵極203的第一導(dǎo)電層11;覆蓋第一導(dǎo)電層的第一絕緣層12;有源層13，位于第一絕緣層12上;覆蓋有源層13的第二絕緣層14;位于第二絕緣層14上的作為第二浮空柵極204的第二導(dǎo)電層15;覆蓋第二導(dǎo)電層15的第三絕緣層16;以及位于第三絕緣層16上且分別位于有源層13的兩側(cè)的彼此隔離的第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18，并且，第三導(dǎo)電層17作為源極201和漏極202的一者，第四導(dǎo)電層18作為源極201和漏極202的另一者，第一導(dǎo)電層11、第三導(dǎo)電層17以及位于它們之間的第一絕緣層12、第二絕緣層14、第三絕緣層16形成第一電容器205;第一導(dǎo)電層11、第四導(dǎo)電層18以及位于它們之間的第一絕緣層12、第二絕緣層14、第三絕緣層16形成第二電容器206;第二導(dǎo)電層15、第三導(dǎo)電層17以及位于它們之間的第三絕緣層16形成第三電容器207;第二導(dǎo)電層15、第四導(dǎo)電層18以及位于它們之間的第三絕緣層16形成第四電容器208。
[0050]在所述一個實施例中，第一浮空柵極203與第二浮空柵極204上下重疊，且這兩個浮空柵極分別都與源極201和漏極202形成交疊電容器而得到四個電容器。因此，當有高壓靜電產(chǎn)生時，由四個交疊電容器將浮空柵極的電位拉高，從而使晶體管導(dǎo)通，通過晶體管導(dǎo)通來將輸入端與輸出端連通，從而將高壓靜電釋放至輸出端來避免高壓靜電造成破壞。由于本實施例采用具有四個交疊電容器的結(jié)構(gòu)，因此能節(jié)省電容器的占用面積并且提高靜電放電速度。
[0051]圖3是表示本發(fā)明的又一個實施例的第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層電連接時的電連接處的剖視圖。圖4是對應(yīng)于圖3的電路原理圖。
[0052]如圖3所示，晶體管具有:位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22，并且，第一導(dǎo)電層11和第二導(dǎo)電層15經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到中繼導(dǎo)電層21、22。從而使得第一導(dǎo)電層11和第二導(dǎo)電層15電連接。
[0053]由此，如圖4所示，由于使得由第一導(dǎo)電層11形成的第一浮空柵極203與由第二導(dǎo)電層15形成的第二浮空柵極204電連接，因此能夠進一步提高靜電放電速度。此外，由于利用位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22對第一導(dǎo)電層11和第二導(dǎo)電層15進行電連接，因此，通過在第三絕緣層16上形成一個導(dǎo)電層并將它分離，就可以分別作為源極、漏極和中繼導(dǎo)電層發(fā)揮作用，能簡化結(jié)構(gòu)并降低制造成本。
[0054]圖5是表示本發(fā)明的又一個實施例的靜電放電器件的剖視圖。圖6是對應(yīng)于圖5的電路原理圖。
[0055]如圖5和圖6所示，晶體管還具有:覆蓋第三絕緣層16、第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18的第四絕緣層19和位于第四絕緣層19上的第五導(dǎo)電層20，第五導(dǎo)電層20、第三導(dǎo)電層17以及位于它們之間的第四絕緣層19形成第五電容器209，第五導(dǎo)電層20、第四導(dǎo)電層18以及位于它們之間的第四絕緣層19形成第六電容器210。
[0056]在所述又一個實施例中，由于在第五導(dǎo)電層20與分別作為源極和漏極的第三導(dǎo)電層17、第四導(dǎo)電層18之間也分別形成電容器209、210，所以能大大減小電容器的占用面積且進一步提高靜電放電速度。
[0057]圖7_圖12表示第一導(dǎo)電層11以及第二導(dǎo)電層15中的至少一者和第五導(dǎo)電層20電連接處的剖視圖以及相應(yīng)的電路原理圖。
[0058]具體而言，圖7是本發(fā)明的另一個實施例的第一導(dǎo)電層與第五導(dǎo)電層電連接時的電連接處的剖視圖。圖8是對應(yīng)于圖7的電路原理圖。圖9是本發(fā)明的再一個實施例的第二導(dǎo)電層與第五導(dǎo)電層電連接時的電連接處的剖視圖。圖10是對應(yīng)于圖9的電路原理圖。圖11是本發(fā)明的一個實施例的第一導(dǎo)電層、第二導(dǎo)電層和第五導(dǎo)電層都電連接時的電連接處的剖視圖。圖12是對應(yīng)于圖11的電路原理圖。
[0059]如圖7所示，晶體管具有:位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22，并且，第一導(dǎo)電層11和第五導(dǎo)電層20經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到中繼導(dǎo)電層21、22。
[0060]由此，如圖8所示，由于使得第一浮空柵極203與第五導(dǎo)電層20電連接，因此能夠進一步提高靜電放電速度。此外，由于利用位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22對第一導(dǎo)電層11和第五導(dǎo)電層20進行電連接，因此，通過在第三絕緣層16上形成一個導(dǎo)電層并將它分離，就可以分別作為源極、漏極和中繼導(dǎo)電層發(fā)揮作用，能簡化結(jié)構(gòu)和降低成本。
[0061]如圖9所示，晶體管具有:位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22，并且，第二導(dǎo)電層15和第五導(dǎo)電層20經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到中繼導(dǎo)電層21、22。
[0062]由此，如圖10所示，由于使得第二浮空柵極204與第五導(dǎo)電層20電連接，因此能夠進一步提高靜電放電速度。此外，由于利用位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22對第二導(dǎo)電層15和第五導(dǎo)電層20進行電連接，因此，通過在第三絕緣層16上形成一個導(dǎo)電層并將它分離，就可以分別作為源極、漏極和中繼導(dǎo)電層發(fā)揮作用，所以能簡化結(jié)構(gòu)。
[0063]如圖11所示，晶體管具有:位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22，并且，第一導(dǎo)電層11、第二導(dǎo)電層15和第五導(dǎo)電層20都經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到中繼導(dǎo)電層21、2 2。
[0064]由此，如圖12所示，由于使得第一浮空柵極203、第二浮空柵極204和第五導(dǎo)電層20都電連接，因此能夠進一步提高靜電放電速度。此外，由于利用位于第三絕緣層16上并與第三導(dǎo)電層17和第四導(dǎo)電層18隔離的中繼導(dǎo)電層21、22對第一導(dǎo)電層11、第二導(dǎo)電層15和第五導(dǎo)電層20進行電連接，因此，通過在第三絕緣層16上形成一個導(dǎo)電層并將它分離，就可以分別作為源極、漏極和中繼導(dǎo)電層發(fā)揮作用，所以能簡化結(jié)構(gòu)和降低制造成本。
[0065]此外，第五導(dǎo)電層20可以包括ITO層或Al層。
[0066]通過使得第五導(dǎo)電層20包括ITO層或Al層，能分別合適地應(yīng)用于透射顯示或反射顯不O
[0067]圖13是表示本發(fā)明的一個實施例的靜電放電器件的制造方法的流程圖。
[0068]如圖13所示，本發(fā)明的實施例所提供的靜電放電器件的制造方法包括:S1.形成作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層;S3.覆蓋第一導(dǎo)電層形成第一絕緣層;S5.在第一絕緣層上形成有源層;S7.覆蓋有源層形成第二絕緣層；S9.在第二絕緣層上形成作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層;SI 1.覆蓋第二導(dǎo)電層形成第三絕緣層；以及，S13.在第三絕緣層上形成彼此隔離的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層。
[0069]并且，其中第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層分別位于有源層的兩側(cè)，第三導(dǎo)電層作為晶體管的源極和漏極的一者且第四導(dǎo)電層作為源極和漏極的另一者，其中第一導(dǎo)電層、第三導(dǎo)電層以及位于第一導(dǎo)電層與第三導(dǎo)電層之間的第一絕緣層、第二絕緣層、第三絕緣層形成第一電容器，第一導(dǎo)電層、第四導(dǎo)電層以及位于第一導(dǎo)電層與第四導(dǎo)電層之間的第一絕緣層、第二絕緣層、第三絕緣層形成第二電容器，第二導(dǎo)電層、第三導(dǎo)電層以及位于第二導(dǎo)電層與第三導(dǎo)電層之間的第三絕緣層形成第三電容器，第二導(dǎo)電層、第四導(dǎo)電層以及位于第二導(dǎo)電層與第四導(dǎo)電層之間的第三絕緣層形成第四電容器。
[0070]所述一個實施例的靜電放電器件的制造方法中，由于使得作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層與作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層上下重疊，且使得這兩個導(dǎo)電層分別都與作為源極和漏極的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層形成交疊電容器而得到四個電容器，因此通過該制造方法能制造具有四個交疊電容器的、能節(jié)省電容器的占用面積并且提高靜電放電速度的靜電放電器件。
[0071]此外，還可以:將第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層電連接到一起。進而，還可以包括:形成貫通第一絕緣層、第二絕緣層以及第三絕緣層并到達第一導(dǎo)電層的第一過孔和貫通第三絕緣層并到達第二導(dǎo)電層的第二過孔;和在第三絕緣層上形成與第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層隔離且覆蓋并填充第一過孔和第二過孔的中繼導(dǎo)電層。
[0072]通過將第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層電連接到一起，能夠進一步提高靜電放電速度。此外，通過利用位于第三絕緣層上并與第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層隔離的中繼導(dǎo)電層經(jīng)由相應(yīng)的過孔對第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層進行電連接，能簡化制造工序并降低制造成本。
[0073]圖14是表示本發(fā)明的另一個實施例的靜電放電器件的制造方法的流程圖。
[0074]如圖14所示，本發(fā)明的另一個實施例所提供的靜電放電器件的制造方法包括:S1.形成作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層;S3.覆蓋第一導(dǎo)電層形成第一絕緣層;S5.在第一絕緣層上形成有源層；S7.覆蓋有源層形成第二絕緣層；S9.在第二絕緣層上形成作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層；Sll.覆蓋第二導(dǎo)電層形成第三絕緣層；S13.在第三絕緣層上形成彼此隔離的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層；S15.覆蓋第三絕緣層、第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層形成第四絕緣層；以及S17.在第四絕緣層上形成第五導(dǎo)電層。
[0075]并且，其中第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層分別位于有源層的兩側(cè)，將第三導(dǎo)電層作為晶體管的源極和漏極的一者，將第四導(dǎo)電層作為源極和漏極的另一者，通過第一導(dǎo)電層、第三導(dǎo)電層以及位于它們之間的第一絕緣層、第二絕緣層、第三絕緣層形成第一電容器，通過第一導(dǎo)電層、第四導(dǎo)電層以及位于它們之間的第一絕緣層、第二絕緣層、第三絕緣層形成第二電容器，通過第二導(dǎo)電層、第三導(dǎo)電層以及位于它們之間的第三絕緣層形成第三電容器，通過第二導(dǎo)電層、第四導(dǎo)電層以及位于它們之間的第三絕緣層形成第四電容器，通過第五導(dǎo)電層、第三導(dǎo)電層以及位于它們之間的第四絕緣層形成第五電容器，通過第五導(dǎo)電層、第四導(dǎo)電層以及位于它們之間的第四絕緣層形成第六電容器。
[0076]在所述另一個實施例的靜電放電器件的制造方法中，由于使得作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層、作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層、第五導(dǎo)電層上下重疊，且使得這三個導(dǎo)電層分別都與作為源極和漏極的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層形成交疊電容器而得到六個電容器，因此通過該制造方法能制造具有六個交疊電容器的、能節(jié)省電容器的占用面積并且提高靜電放電速度的靜電放電器件。
[0077]此外，還可以:將第一導(dǎo)電層以及第二導(dǎo)電層中的至少一者和第五導(dǎo)電層電連接到一起。進而還可以包括:形成貫通第一絕緣層、第二絕緣層以及第三絕緣層并到達第一導(dǎo)電層的第一過孔和貫通第三絕緣層并到達第二導(dǎo)電層的第二過孔中的至少一者;在第三絕緣層上形成與第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層隔離且覆蓋并填充所形成的過孔的中繼導(dǎo)電層;形成貫通第四絕緣層且到達中繼導(dǎo)電層的第三過孔；以及形成第五導(dǎo)電層以覆蓋并填充第三過孔。
[0078]通過將第一導(dǎo)電層以及第二導(dǎo)電層中的至少一者和第五導(dǎo)電層電連接到一起，能夠進一步提高靜電放電速度。此外，通過利用位于第三絕緣層上并與第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層隔離的中繼導(dǎo)電層經(jīng)由相應(yīng)的過孔對第一導(dǎo)電層以及第二導(dǎo)電層中的至少一者和第五導(dǎo)電層進行電連接，能簡化制造工序并降低制造成本。
[0079]此外，第五導(dǎo)電層可以包括ITO層或Al層。通過使得第五導(dǎo)電層包括ITO層或Al層，能分別合適地應(yīng)用于透射顯示或反射顯示。
[0080]本發(fā)明的實施例還提供一種有源陣列基板，其中，該有源陣列基板具有如上所述的靜電放電器件。在所述有源陣列基板中，可以在靜電放電器件的輸入端連接?xùn)啪€或者數(shù)據(jù)線，并在靜電放電器件的輸出端接地。
[0081]通過使得靜電放電器件的輸入端為柵線或者數(shù)據(jù)線，能夠?qū)︼@示區(qū)域更可靠地進行靜電防護。
[0082]本發(fā)明的實施例還提供一種顯示面板，其中，該顯示面板具有如上所述的有源陣列基板。
[0083]本發(fā)明的實施例還提供了一種顯示裝置，其中，該顯示裝置具有如上所述的顯示面板。
[0084]以上雖然通過一些示例性的實施例詳細地描述了本發(fā)明的具體實施例，但是以上這些實施例并不是窮舉的，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)實現(xiàn)各種變化和修改。因此，本發(fā)明并不限于這些實施例，本發(fā)明的范圍還包括基于本發(fā)明的發(fā)明主旨的各種變形和改進。
【主權(quán)項】
1.一種靜電放電器件，包括晶體管，所述晶體管的源極和漏極之一作為所述靜電放電器件的輸入端，所述源極和所述漏極的另一者作為所述靜電放電器件的輸出端，所述靜電放電器件的特征在于， 所述晶體管具有: 作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層； 覆蓋所述第一導(dǎo)電層的第一絕緣層； 位于所述第一絕緣層上的有源層； 覆蓋所述有源層的第二絕緣層； 作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層，位于所述第二絕緣層上； 覆蓋所述第二導(dǎo)電層的第三絕緣層；以及， 位于所述第三絕緣層上且分別位于所述有源層兩側(cè)的彼此隔離的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層， 其中所述第三導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的一者，所述第四導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的另一者， 所述第一導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第一電容器， 所述第一導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第二電容器， 所述第二導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第三電容器， 所述第二導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第四電容器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電放電器件，其特征在于， 所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層被電連接到一起。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電放電器件，其特征在于， 所述晶體管還具有:位于所述第三絕緣層上并與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離的中繼導(dǎo)電層， 所述第一導(dǎo)電層和所述第二導(dǎo)電層經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到所述中繼導(dǎo)電層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電放電器件，其特征在于，還包括: 覆蓋所述第三絕緣層、所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層的第四絕緣層;和 位于所述第四絕緣層上的第五導(dǎo)電層， 所述第五導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第五電容器， 所述第五導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第六電容器。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靜電放電器件，其特征在于， 所述第一導(dǎo)電層以及所述第二導(dǎo)電層中的至少一者和所述第五導(dǎo)電層被電連接到一起。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的靜電放電器件，其特征在于， 所述晶體管還具有:位于所述第三絕緣層上并與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離的中繼導(dǎo)電層， 所述第一導(dǎo)電層以及所述第二導(dǎo)電層中的至少一者和所述第五導(dǎo)電層經(jīng)由相應(yīng)的過孔被電連接到所述中繼導(dǎo)電層。7.根據(jù)權(quán)利要求4至6中任一項所述的靜電放電器件，其特征在于， 所述第五導(dǎo)電層包括ITO層或Al層。8.—種有源陣列基板，其特征在于，具有權(quán)利要求1至7中任一項所述的靜電放電器件。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有源陣列基板，其特征在于，所述靜電放電器件的輸入端被連接到柵線或者數(shù)據(jù)線，所述靜電放電器件的輸出端被接地。10.—種顯示面板，其特征在于，具有權(quán)利要求8或9所述的有源陣列基板。11.一種顯示裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求10所述的顯示面板。12.—種靜電放電器件的制造方法，所述靜電放電器件包括晶體管，所述晶體管的源極和漏極之一作為所述靜電放電器件的輸入端，所述源極和所述漏極的另一者作為所述靜電放電器件的輸出端，所述靜電放電器件的制造方法的特征在于，包括: 形成作為第一浮空柵極的第一導(dǎo)電層； 覆蓋所述第一導(dǎo)電層形成第一絕緣層； 在所述第一絕緣層上形成有源層； 覆蓋所述有源層形成第二絕緣層； 在所述第二絕緣層上形成作為第二浮空柵極的第二導(dǎo)電層； 覆蓋所述第二導(dǎo)電層形成第三絕緣層；以及， 在所述第三絕緣層上形成彼此隔離的第三導(dǎo)電層和第四導(dǎo)電層， 其中所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層分別位于所述有源層的兩側(cè)，所述第三導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的一者以及所述第四導(dǎo)電層作為所述源極和所述漏極的另一者，其中所述第一導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第一電容器， 所述第一導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第一導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第一絕緣層、所述第二絕緣層、所述第三絕緣層形成第二電容器， 所述第二導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第三電容器， 所述第二導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第二導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第三絕緣層形成第四電容器。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造方法，其特征在于，還包括: 將所述第一導(dǎo)電層與所述第二導(dǎo)電層電連接到一起。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的靜電放電器件的制造方法，其特征在于， 還包括: 形成貫通所述第一絕緣層、所述第二絕緣層以及所述第三絕緣層并到達所述第一導(dǎo)電層的第一過孔和貫通所述第三絕緣層并到達所述第二導(dǎo)電層的第二過孔;和 在所述第三絕緣層上形成與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離且覆蓋并填充所述第一過孔和所述第二過孔的中繼導(dǎo)電層。15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造方法，其特征在于，還包括: 覆蓋所述第三絕緣層、所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層形成第四絕緣層;和 在所述第四絕緣層上形成第五導(dǎo)電層， 其中所述第五導(dǎo)電層、所述第三導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第三導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第五電容器， 所述第五導(dǎo)電層、所述第四導(dǎo)電層以及位于所述第五導(dǎo)電層與所述第四導(dǎo)電層之間的所述第四絕緣層形成第六電容器。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造方法，其特征在于， 還包括:將所述第一導(dǎo)電層以及所述第二導(dǎo)電層中的至少一者和所述第五導(dǎo)電層電連接到一起。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造方法，其特征在于，還包括: 形成貫通所述第一絕緣層、所述第二絕緣層以及所述第三絕緣層并到達所述第一導(dǎo)電層的第一過孔和貫通所述第三絕緣層并到達所述第二導(dǎo)電層的第二過孔中的至少一者；在所述第三絕緣層上形成與所述第三導(dǎo)電層和所述第四導(dǎo)電層隔離且覆蓋并填充所形成的過孔的中繼導(dǎo)電層； 形成貫通所述第四絕緣層且到達所述中繼導(dǎo)電層的第三過孔；以及 形成所述第五導(dǎo)電層以覆蓋并填充所述第三過孔。18.根據(jù)權(quán)利要求15至17中任一項所述的制造方法，其特征在于， 所述第五導(dǎo)電層包括ITO層或Al層。
【文檔編號】H01L21/77GK106024781SQ201610584181
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年7月22日
【發(fā)明人】蓋翠麗, 王龍彥, 王玲, 李全虎, 林奕呈
【申請人】京東方科技集團股份有限公司