帶有固化膜的透明基材的制造方法、感光性樹(shù)脂組合物、感光性元件及電子部件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及帶有固化膜的透明基材的制造方法、該方法中使用的感光性樹(shù)脂組合 物及感光性元件以及電子部件。
【背景技術(shù)】
[0002] 從個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視等大型電子設(shè)備到汽車(chē)導(dǎo)航裝置、手機(jī)、電子辭典等小型電子 設(shè)備、0A、FA設(shè)備等顯示設(shè)備等中均使用液晶顯示元件或觸摸面板（觸摸傳感器）。這些液 晶顯示元件或觸摸面板中設(shè)有由透明導(dǎo)電電極材料構(gòu)成的電極。作為透明導(dǎo)電電極材料， 已知氧化銦錫（Indium-Tin-Oxide :ΙΤ0)、氧化銦或氧化錫。這些材料由于顯示高的可見(jiàn)光 透過(guò)率，因此作為液晶顯示元件用基板等中使用的電極材料成為主流。
[0003] 觸摸面板已經(jīng)實(shí)用化了各種方式。近年來(lái)，靜電電容方式的觸摸面板的利用有所 發(fā)展。靜電電容方式觸摸面板中，當(dāng)作為導(dǎo)電體的指尖接觸到觸摸輸入面時(shí)，靜電電容在指 尖與導(dǎo)電膜之間結(jié)合、形成電容器。因此，靜電電容方式觸摸面板通過(guò)捕捉指尖接觸位置處 的電荷變化來(lái)檢測(cè)其坐標(biāo)。
[0004] 特別是投影型靜電電容方式的觸摸面板由于能夠進(jìn)行指尖的多點(diǎn)檢測(cè)，因此具備 可進(jìn)行復(fù)雜指示這一良好的操作性。投影型靜電電容方式的觸摸面板由于其操作性良好， 因此作為手機(jī)、便攜型音樂(lè)播放器等具有小型顯示裝置的設(shè)備中的顯示面上的輸入裝置， 利用有所發(fā)展。
[0005] -般來(lái)說(shuō)，投影型靜電電容方式的觸摸面板中，為了表現(xiàn)由X軸和Y軸構(gòu)成的2維 坐標(biāo)，多個(gè)X電極和正交于該X電極的多個(gè)Y電極形成了 2層結(jié)構(gòu)。作為這些電極，使用 ITOo
[0006] 然而，觸摸面板的邊框區(qū)域是無(wú)法檢測(cè)到觸摸位置的區(qū)域，因此縮窄該邊框區(qū)域 的面積是用于提高產(chǎn)品價(jià)值的重要要素。邊框區(qū)域上，為了傳遞觸摸位置的檢測(cè)信號(hào)而需 要金屬配線，但為了謀求邊框面積的狹小化，需要縮窄金屬配線的寬度。一般來(lái)說(shuō)，金屬配 線使用銅。
[0007] 但是，在上述的觸摸面板中，被指尖接觸到時(shí)，有時(shí)水分、鹽分等腐蝕成分會(huì)從傳 感區(qū)域侵入到內(nèi)部。當(dāng)腐蝕成分侵入到觸摸面板的內(nèi)部時(shí)，有金屬配線發(fā)生腐蝕、電極與驅(qū) 動(dòng)用電路之間的電阻增加、或者斷線的危險(xiǎn)。
[0008] 為了防止金屬配線的腐蝕，公開(kāi)了在金屬上形成有絕緣膜等固化膜的靜電電容方 式的投影型觸摸面板（例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。該觸摸面板中，利用等離子體化學(xué)氣相沉積法（等 離子體CVD法）在金屬上形成二氧化硅層，防止了金屬的腐蝕。但是，該手法由于使用等離 子體CVD法，因此具有需要高溫處理、基材受限這樣制造成本提高等問(wèn)題。
[0009] 作為在需要的部位設(shè)置抗蝕膜等固化膜的方法，已知在規(guī)定的基材上設(shè)置由感光 性樹(shù)脂組合物形成的感光層并對(duì)該感光層進(jìn)行曝光、顯影的方法（例如專(zhuān)利文獻(xiàn)2~4)。 [0010] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0011] 專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0012] 專(zhuān)利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2011-28594號(hào)公報(bào)
[0013] 專(zhuān)利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)平7-253666號(hào)公報(bào)
[0014] 專(zhuān)利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2005-99647號(hào)公報(bào)
[0015] 專(zhuān)利文獻(xiàn)4 :日本特開(kāi)平11-133617號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0016] 發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0017] 利用感光性樹(shù)脂組合物的固化膜制作與等離子體CVD法相比，可以期待成本的削 減。但是，當(dāng)在觸摸面板用基材等透明基材上形成固化膜時(shí)，如果固化膜的厚度大，則有時(shí) 有膜的部位與沒(méi)有膜的部位的高度差會(huì)變得明顯。因此，優(yōu)選固化膜盡量地薄。但是，還沒(méi) 有在厚度IOym以下的水平下對(duì)由感光性樹(shù)脂組合物形成的膜的防銹性進(jìn)行過(guò)探討的例 子。
[0018] 另外，在觸摸面板的制造工序中，有時(shí)會(huì)對(duì)觸摸面板自身施加負(fù)荷。特別是，在將 保護(hù)膜等固化膜設(shè)置在撓性顯示器基板上等時(shí)，伴隨著基板的彎曲，對(duì)保護(hù)膜等固化膜的 負(fù)擔(dān)也增大，易于產(chǎn)生龜裂。
[0019] 本發(fā)明的目的在于提供在規(guī)定的透明基材上具有即便是薄的膜也具有所希望的 膜特性、耐開(kāi)裂性?xún)?yōu)異的固化膜的帶有固化膜的透明基材的制造方法、以及可以形成這種 固化膜的感光性樹(shù)脂組合物及感光性元件以及具備帶有固化膜的透明基材的電子部件。
[0020] 用于解決技術(shù)問(wèn)題的方法
[0021] 為了解決上述課題，本發(fā)明人們進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，含有粘合劑聚合物、 特定的光聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑的感光性樹(shù)脂組合物具有充分的顯影性，同時(shí)通過(guò) 光固化所形成的膜即便是薄的膜（例如10 μπι以下）也顯示充分的防銹性，可以充分地防 止銅等金屬的腐蝕，耐開(kāi)裂性?xún)?yōu)異，從而完成了本發(fā)明。
[0022] 本發(fā)明的帶有固化膜的透明基材的制造方法的特征在于，在透明基材上設(shè)置由感 光性樹(shù)脂組合物形成的感光層，所述感光性樹(shù)脂組合物含有：粘合劑聚合物、包含選自具有 從雙三羥甲基丙烷衍生出的骨架的（甲基）丙烯酸酯化合物及具有從二甘油衍生出的骨架 的（甲基）丙烯酸酯化合物中的至少1種（甲基）丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物、以 及光聚合引發(fā)劑，通過(guò)活性光線的照射使感光層的規(guī)定部分固化后，將感光層的規(guī)定部分 以外的部分除去，形成將基材的一部分或全部覆蓋的由上述感光性樹(shù)脂組合物的固化物構(gòu) 成的固化膜。
[0023] 根據(jù)本發(fā)明的帶有固化膜的透明基材的制造方法，通過(guò)使用上述特定的感光性樹(shù) 脂組合物，能夠制造可以在確保顯影性及對(duì)基材的密合性的同時(shí)、具有即便是IOym以下 的薄的膜也具有所希望的膜特性（特別是充分的防銹性）、耐開(kāi)裂性?xún)?yōu)異的固化膜的帶有 固化膜的透明基材。根據(jù)本發(fā)明，由于能夠?qū)袒みM(jìn)行薄膜化，因此能夠制造美觀優(yōu)異的 電子部件（例如觸摸面板），可以謀求制造成本的降低。
[0024] 從進(jìn)一步提高膜特性（特別是防銹性）的觀點(diǎn)出發(fā)，上述（甲基）丙烯酸酯化合 物優(yōu)選是具有4個(gè)以上（甲基）丙烯?；幕衔铩?br>[0025] 然而，考慮到觸摸面板等電子部件的可視性或美觀時(shí)，優(yōu)選固化膜的透明性更高。 但是，另一方面本發(fā)明人們發(fā)現(xiàn)了，當(dāng)對(duì)透明性高的薄膜的感光層進(jìn)行布圖時(shí)，有分辨率降 低的傾向。對(duì)于其原因，本發(fā)明人們考慮這是由于當(dāng)感光層的厚度減小時(shí)，易于受到來(lái)自基 材的光散射的影響，產(chǎn)生暈影。
[0026] 與其相對(duì)，本發(fā)明中，通過(guò)上述光聚合引發(fā)劑含有肟酯化合物及/或氧化膦化合 物，能夠以充分的析像度進(jìn)行布圖。
[0027] 另外，本發(fā)明人們推測(cè)獲得上述效果的理由在于，肟酯化合物所含的肟部位或氧 化膦化合物所含的氧化膦部位在具有較高的光分解效率的同時(shí)、還具有稍有漏光并不會(huì)分 解的適當(dāng)閾值，因而抑制了因漏光導(dǎo)致的影響。
[0028] 本發(fā)明的帶有固化膜的透明基材的制造方法中，可以準(zhǔn)備具備支撐膜和設(shè)置在該 支撐膜上的由上述感光性樹(shù)脂組合物形成的感光層的感光性元件，將該感光性元件的感光 層轉(zhuǎn)印至上述基材上來(lái)設(shè)置上述感光層。此時(shí)，通過(guò)使用感光性元件，可以容易地實(shí)現(xiàn)卷對(duì) 卷工藝，可以縮短溶劑干燥工序等，對(duì)制造工序的縮短及成本降低具有重大貢獻(xiàn)。
[0029] 本發(fā)明還提供用于在透明基材上形成固化膜所使用的（用于帶有固化膜的透明 基材的制造方法的）感光性樹(shù)脂組合物，所述感光性樹(shù)脂組合物含有：粘合劑聚合物、包含 選自具有從雙三羥甲基丙烷衍生出的骨架的（甲基）丙烯酸酯化合物及具有從二甘油衍生 出的骨架的（甲基）丙烯酸酯化合物中的至少1種（甲基）丙烯酸酯化合物的光聚合性化 合物、以及光聚合引發(fā)劑。
[0030] 根據(jù)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，可以在規(guī)定的透明基材上形成即便是薄的膜也 具有所希望的膜特性（特別是充分的防銹性）及耐開(kāi)裂性的固化膜。
[0031] 從進(jìn)一步提高膜特性（特別是防銹性）的觀點(diǎn)出發(fā)，上述（甲基）丙烯酸酯化合 物優(yōu)選是具有4個(gè)以上（甲基）丙烯酰基的化合物。
[0032] 另外，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中，優(yōu)選上述光聚合引發(fā)劑含有肟酯化合物及/ 或氧化膦化合物。此時(shí)，能夠以具有充分析像度的圖案形成透明性高的薄膜的固化膜。
[0033] 本發(fā)明還提供具備支撐膜和設(shè)置在該支撐膜上的由上述本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組 合物形成的感光層的感光性元件。
[0034] 根據(jù)本發(fā)明的感光性元件，可以在規(guī)定的透明基材上形成即便是薄的膜也具有所 希望的膜特性（特別是高的防銹性）及耐開(kāi)裂性的固化膜。
[0035] 上述感光層的厚度可以是10 μπι以下。
[0036] 本發(fā)明還提供具備上述本發(fā)明的帶有固化膜的透明基材的電子部件。
[0037] 發(fā)明效果
[0038] 根據(jù)本發(fā)明，可以提供在規(guī)定的透明基材上具有即便是薄的膜也具有所希望的膜 特性（特別是充分的防銹性）及耐開(kāi)裂性的固化膜的帶有固化膜的透明基材的制造方法、 可以形成這種固化膜的感光性樹(shù)脂組合物及感光性元件、以及具備帶有固化膜的透明基材 的電子部件。
[0039] 另外，根據(jù)本發(fā)明，可以保護(hù)靜電電容式觸摸面板的金屬電極。進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明， 還可對(duì)形成因水分、鹽分等易于生銹的銅等的金屬層而提高了導(dǎo)電性的觸摸面板的邊框區(qū) 域處的電極進(jìn)行保護(hù)。
【附圖說(shuō)明】
[0040] 圖1為表示本發(fā)明的感光性元件的一個(gè)實(shí)施方式的示意截面圖。
[0041] 圖2的（a)及（b)為用于說(shuō)明本發(fā)明的帶保護(hù)膜的觸摸面板用基材的制造方法的 一個(gè)實(shí)施方式的示意截面圖，（c)為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的帶保護(hù)膜的觸摸面板用基材 的示意截面圖。
[0042] 圖3為表示靜電電容式觸摸面板的一例的示意俯視圖。
[0043] 圖4為表示靜電電容式觸摸面板的另一例的示意俯視圖。
[0044] 圖5的（a)為圖3所示的C部分的沿著V-V線的部分截面圖、（b)為表示另一方 式的部分截面圖。
[0045] 圖6為表不透明電極存在于同一平面的靜電電容式觸摸面板之一例的俯視圖。
[0046] 圖7為表示透明電極存在于同一平面的靜電電容式觸摸面板之一例的部分切開(kāi) 立體圖。
[0047] 圖8為沿著圖7中的VI-VI線的部分截面圖。
[0048] 圖9為用于說(shuō)明透明電極存在于同一平面的靜電電容式觸摸面板的制造方法之 一例的圖，（a)為表示具備透明電極的基板的部分切開(kāi)立體圖、（b)為表示所得靜電電容式 觸摸面板的部分切開(kāi)立體圖。
[0049] 圖10為用于說(shuō)明透明電極存在于同一平面的靜電電容式觸摸面板的制造方法之 一例的圖，（a)為沿著圖9中的VIIIa-VIIIa線的部分截面圖、（b)為表示設(shè)置絕緣膜的工 序的部分截面圖、（c)為沿著圖7中的VIIIc-VIIIc線的部分截面圖。
[0050] 圖11為表示在透明電極配線上設(shè)置絕緣膜、在其上設(shè)置引出配線、通過(guò)開(kāi)口部將 透明電極與引出配線連接的觸摸面板之一例的部分俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0051] 以下對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。但本發(fā)明并非限定于以下的實(shí)施 方式。
[0052] 本說(shuō)明書(shū)中，"（甲基）丙烯酸"是指丙烯酸或甲基丙烯酸，"（甲基）丙烯酸酯"是 指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯，"（甲基）丙烯?；?是指丙烯酰基或甲基丙烯?；?br>[0053] 本說(shuō)明書(shū)中，"工序"這一用語(yǔ)不僅是獨(dú)立的工序，在即便是無(wú)法與其他的工序明 確地區(qū)分時(shí)、只要是達(dá)成該工序所預(yù)期的作用，則也包含在本用語(yǔ)中。另外，本說(shuō)明書(shū)中使 用"~"表示的數(shù)值范圍表示將"~"前后所記載的數(shù)值分別作為最小值和最大值并包括在 內(nèi)的范圍。
[0054] 本說(shuō)明書(shū)中，組合物中的各成分的含量在組合物中存在多個(gè)相當(dāng)于各成分的物質(zhì) 時(shí)，只要無(wú)特別限定，則是指組合物中存在的該多個(gè)物質(zhì)的總量。
[0055] 本實(shí)施方式的帶有固化膜的透明基材的制造方法是在透明基材上設(shè)置含有本發(fā) 明的感光性樹(shù)脂組合物的感光層、利用活性光線的照射使感光層的規(guī)定部分固化后，將感 光層的上述規(guī)定部分以外的部分除去，形成將基材的一部分或全部覆蓋的由感光性樹(shù)脂組 合物的固化物構(gòu)成的固化膜（即樹(shù)脂固化膜）。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物含有粘合劑聚 合物、含有后述特定的（甲基）丙烯酸酯化合物的光聚合性化合物、以及光聚合引發(fā)劑。
[0056] 作為上述透明基材，例如可舉出白板玻璃、藍(lán)板玻璃、二氧化硅涂層藍(lán)板玻璃等玻 璃板；聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、環(huán)烯烴聚合物等塑料基板；陶瓷板等基板。透明 基材優(yōu)選在400~700nm的波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)的最小透光率為85%以上。
[0057] 本說(shuō)明書(shū)中，形成在透明基材上的固化膜當(dāng)用于觸摸面板用基材時(shí)，可以設(shè)置在 具有電極的傳感區(qū)域、具有金屬配線的邊框區(qū)域或其他區(qū)域。形成在觸摸面板用基材上的 固化膜可以?xún)H設(shè)