感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有機(jī)el顯示裝置及液晶顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物（以下有時(shí)僅稱為"本發(fā)明的組合物")。另外， 還涉及一種使用上述感光性樹脂組合物的硬化膜的制造方法、將感光性組合物硬化而成的 硬化膜、使用上述硬化膜的各種圖像顯示裝置。
[0002] 更詳細(xì)而言，涉及一種適合于形成液晶顯示裝置、有機(jī)電致發(fā)光 (electroluminescence, EL)顯示裝置、集成電路元件、固體攝影元件等電子零件的平坦化 膜、保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜的感光性樹脂組合物以及使用其的硬化膜的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0003] 在有機(jī)EL顯示裝置、或液晶顯示裝置等中設(shè)置有形成有圖案的層間絕緣膜。為了 形成該層間絕緣膜，就用于獲得所必需的圖案形狀的步驟數(shù)少，而且獲得充分的平坦性等 而言，廣泛使用感光性樹脂組合物。感光性樹脂組合物例如已知專利文獻(xiàn)1中記載的。
[0004] 另外，光致抗蝕劑用途中，作為感光性樹脂組合物還已知專利文獻(xiàn)2中記載者。 [0005][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0006] [專利文獻(xiàn)]
[0007] [專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2011-209681號(hào)公報(bào)
[0008] [專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2000-66406號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的課題
[0010] 此處，感光性樹脂組合物要求具有一定水平的感度，另一方面，也正在要求提高顯 影時(shí)的密接性以及耐化學(xué)品性。本申請(qǐng)發(fā)明是以解決上述課題為目的，目的為提供一種不 僅維持高感度，而且顯影時(shí)的密接性以及耐化學(xué)品性優(yōu)異的感光性樹脂組合物。
[0011] 進(jìn)而，目的為提供一種使用此種感光性樹脂組合物的硬化膜的形成方法、硬化膜、 有機(jī)EL顯示裝置、以及液晶顯示裝置。
[0012] 解決問題的技術(shù)手段
[0013] 基于上述狀況而發(fā)現(xiàn)，通過在包含包括具有酸基由酸分解性基保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成 單元的聚合物的組合物中，以一定的比例調(diào)配易溶于特定堿溶液中的聚合物，令人驚訝的 是，不僅可維持感度，而且可提高顯影時(shí)的密接性以及耐化學(xué)品性，從而完成本發(fā)明。
[0014] 具體而言，通過以下的解決手段〈1>，優(yōu)選為通過〈2>~〈11>，來解決上述課題。
[0015] 〈1> 一種感光性樹脂組合物，其含有：
[0016] (A)包含滿足下述（1)及（2)中至少一者的聚合物、以及下述（S)聚合物的聚合物 成分：
[0017] (1)包括（al)具有酸基由酸分解性基保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元、以及（a2)具有交聯(lián) 性基的構(gòu)成單元的聚合物，
[0018] (2)包括（al)具有酸基由酸分解性基保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物、以及包括 (a2)具有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物，及
[0019] (S)重均分子量為1000~50000,而且包括包含羧基的構(gòu)成單元的聚合物；
[0020] (B)光酸產(chǎn)生劑；以及
[0021] (C)溶劑；并且
[0022] 上述⑶聚合物的由式⑴所表示的值為50~3000 :
[0023] 式⑴
[0024] (S)聚合物的固體酸值（單位：mgK0H/g) X相對(duì)于感光性樹脂組合物中的所有固 體成分的（S)聚合物的含有率（單位：質(zhì)量％ )·· (1)。
[0025] 〈2>根據(jù)〈1>所述的感光性樹脂組合物，其中相對(duì)于所有固體成分，⑶聚合物的 含量為〇. 5質(zhì)量％~20. 0質(zhì)量％。
[0026] 〈3>根據(jù)〈1>或〈2>所述的感光性樹脂組合物，其中（S)聚合物為包括下述構(gòu)成單 元A組群的至少一者的聚合物：
[0027] 構(gòu)成單元A組群
[0028] [化 1]
[0029]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種感光性樹脂組合物，其含有： (A) 包含滿足下述（1)及下述（2)的至少一個(gè)的聚合物、以及下述（S)聚合物的聚合物 成分， (1) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元、以及（a2)具有交聯(lián)性基 的構(gòu)成單元的聚合物， (2) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物、以及包括（a2) 具有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物， (S)重均分子量為1000~50000,而且包括包含羧基的構(gòu)成單元的聚合物； (B) 光酸產(chǎn)生劑；以及 (C) 溶劑，并且 所述⑶聚合物的由式⑴所表示的值為50~3000 : 式⑴ (S)聚合物的固體酸值（單位：mgKOH/g) X相對(duì)于感光性樹脂組合物中的所有固體成 分的⑶聚合物的含有率（單位：質(zhì)量％ ).. (1)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中相對(duì)于所有固體成分，（S)聚合物的 含量為〇. 5質(zhì)量％~20. 0質(zhì)量％。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中（S)聚合物為包括下述構(gòu)成單 元A組群的至少一個(gè)的聚合物： 構(gòu)成單元A組群 [化1]
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中（a2)具有交聯(lián)性基的 構(gòu)成單元為能夠與羧基進(jìn)行反應(yīng)的交聯(lián)性基。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其中（a2)具有交聯(lián)性基的 構(gòu)成單元是選自具有環(huán)氧基及/或氧雜環(huán)丁基的構(gòu)成單元、以及具有由-NH-CH 2-O-R(R為 氫原子或者碳數(shù)1~20的烷基）所表示的基團(tuán)的構(gòu)成單元中。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其為正型。
7. -種硬化膜的制造方法，其包括： (1) 將根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上的步驟； (2) 自所涂布的感光性樹脂組合物中去除溶劑的步驟； (3) 利用光化射線對(duì)去除了溶劑的感光性樹脂組合物進(jìn)行曝光的步驟； (4) 利用水性顯影液對(duì)經(jīng)曝光的感光性樹脂組合物進(jìn)行顯影的步驟；以及 (5) 對(duì)經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)行熱硬化的后烘烤步驟。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的硬化膜的制造方法，其中在所述進(jìn)行顯影的步驟后、所述后 烘烤步驟前，包括對(duì)經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進(jìn)行全面曝光的步驟。
9. 一種硬化膜，其是利用根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法來形成。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
11. 一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置或者液晶顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求9或10所述 的硬化膜。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其不僅維持高感度、透明性以及耐化學(xué)品性，并且顯影時(shí)的密接性優(yōu)異。上述感光性樹脂組合物含有：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元以及(a2)具有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物，以及(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護(hù)的基團(tuán)的構(gòu)成單元的聚合物以及包括(a2)具有交聯(lián)性基的構(gòu)成單元的聚合物的至少一者；(S)重均分子量為1000～50000，而且包括包含羧基的構(gòu)成單元的聚合物；(B)光酸產(chǎn)生劑以及(C)溶劑；并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值為50～3000。式(1)(S)聚合物的固體酸值(單位：mgKOH/g)×相對(duì)于感光性樹脂組合物中的所有固體成分的(S)聚合物的含有率(單位：質(zhì)量％)(1)。
【IPC分類】G03F7-004, G03F7-039, G02F1-1333, C08L33-14, C08F20-32, H01L51-50, C08L33-02, H05B33-22, C08F20-06
【公開號(hào)】CN104662474
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380050101
【發(fā)明人】山﨑健太, 霜山達(dá)也
【申請(qǐng)人】富士膠片株式會(huì)社
【公開日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2013年9月20日
【公告號(hào)】WO2014050730A1