專利名稱：光罩的檢測方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光罩制作工藝，尤其涉及一種在生產(chǎn)過程中對不規(guī)則形狀光罩進(jìn)行檢測的方法及裝置。
背景技術(shù)：
光罩是含有鉻等金屬薄膜的基板(Blanks)上，形成復(fù)雜Geometry (任何圖形)的Mask，例如在半導(dǎo)體的曝光制程中，利用光罩以及曝光能夠在硅基板上形成電路Patten?，F(xiàn)在，隨著LCD的大型化和高效能化，光罩也隨著提高精細(xì)化和不斷的大型化，對于線寬必須達(dá)到數(shù)微米的高度精確的要求。光罩制程簡單來說，是在基板(Blanks)上涂上光阻材料，利用雷射電子束設(shè)備描繪出所需的各種Geometry (任何圖形)，并且進(jìn)行顯影的制程，去除掉基板(Blanks)上不需要的光阻材料，再透過蝕刻的制程，去除掉不被光阻材料覆蓋的鉻膜，最后再清洗殘留下來的光阻材料，最后便會依照鉻膜的線路，讓Geometry留在玻璃基板上。
在制造完光罩后還必須進(jìn)行檢査、測量確認(rèn)是否正確的形成了Geometry、以及其精度是否符合設(shè)計(jì)要求，傳統(tǒng)的量測方式通常會使用干涉儀或測長儀對光罩進(jìn)行精度確認(rèn)。這種方案的缺點(diǎn)是，它們只能對規(guī)則形狀的光罩進(jìn)行檢測。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種光罩的檢測方法，該方法可準(zhǔn)確、方便地檢測不規(guī)則形狀光罩的精度，這種固定點(diǎn)測量技術(shù)還可節(jié)省測試時間，正負(fù)效果的圖形還可以同時測試，有便于工藝的調(diào)整。
本發(fā)明進(jìn)一步所要解決的技術(shù)問題是提供一種光罩的檢測裝置，該裝置可準(zhǔn)確、方便地檢測不規(guī)則形狀光罩的精度。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
一種光罩的檢測方法，其特征在于，該方法包括以下步驟
在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下邊緣處各放置一個用于檢測光罩總長度的十字形標(biāo)識；
在光罩上擺放多組不同長度的線形標(biāo)識和多組不同長度的方形標(biāo)識；
分別測量從所述左中處十字形標(biāo)識到右中處十字形標(biāo)識之間的距離、從所述中上處十字形標(biāo)識到中下處十字形標(biāo)識之間的距離，得出光罩的總長度；
通過測量所述線形標(biāo)識和方形標(biāo)識，分別得出光罩的線條精度和方格精度。 相應(yīng)地，本發(fā)明還公開了一種光罩的檢測裝置，該裝置包括有
分別擺放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下邊緣處的用于 檢測光罩總長度的十字形標(biāo)識；
多組用于檢測光罩線條精度的線形標(biāo)識；以及 多組用于檢測光罩方格精度的方形標(biāo)識。 本發(fā)明的有益效果是
本發(fā)明的實(shí)施例通過設(shè)置多組十字形、線形和方形標(biāo)識，從而實(shí)現(xiàn)了準(zhǔn)確、方便地檢測 不規(guī)則形狀光罩的精度，這種固定點(diǎn)測量技術(shù)還可節(jié)省測試時間，正負(fù)效果的圖形還可以同 時測試，有便于工藝的調(diào)整。
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。


圖l是本發(fā)明提供的光罩的檢測裝置一個實(shí)施例中十字形標(biāo)識的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是是本發(fā)明提供的光罩的檢測裝置一個實(shí)施例中正極性線形標(biāo)識和方形標(biāo)識的結(jié)構(gòu) 示意圖。
圖3是是本發(fā)明提供的光罩的檢測裝置一個實(shí)施例中負(fù)極性方形標(biāo)識的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面詳細(xì)描述本發(fā)明提供的光罩的檢測方法的一個實(shí)施例。 本實(shí)施例實(shí)現(xiàn)一次光罩的檢測流程包括以下步驟
在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下邊緣處各放置一個用于 檢測光罩總長度的十字形標(biāo)識；
在光罩上擺放多組不同長度的線形標(biāo)識和多組不同長度的方形標(biāo)識；
分別測量從所述左中處十字形標(biāo)識到右中處十字形標(biāo)識之間的距離、從所述中上處十字 形標(biāo)識到中下處十字形標(biāo)識之間的距離，得出光罩的總長度；
通過測量所述線形標(biāo)識和方形標(biāo)識，分別得出光罩的線條精度和方格精度。 其中，所述十字形標(biāo)識的中心位于同一水平線上。
具體實(shí)現(xiàn)時，每組線形標(biāo)識或方形標(biāo)識的線寬可為O. 001-0. 005mm，每組線形標(biāo)識可包 括有一個O. 01-0. 05mm的長標(biāo)、以及分布在所述長標(biāo)兩側(cè)且長度為所述長標(biāo)長度的一半的多 個短標(biāo)，每組方形標(biāo)識可為由25個方塊構(gòu)成的陣列。參考圖2、圖3，本實(shí)施例中，所述線形標(biāo)識和方形標(biāo)識各為三組，每組的線寬規(guī)格分別 為0.001mm、 0.003mm、及O. 005mm。
具體實(shí)現(xiàn)時，所述標(biāo)識可置于距光罩邊緣5-10mm處。
具體實(shí)現(xiàn)時，線形標(biāo)識3和方形標(biāo)識3可根據(jù)光罩的極性分別設(shè)置正負(fù)極性，如圖2所示 為正極性，而圖3所示則為負(fù)極性。
下面參考圖l-圖3詳細(xì)描述本發(fā)明提供的光罩的檢測裝置的一個實(shí)施例；如題所示，本 實(shí)施例主要包括有
分別擺放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下邊緣處的用于 檢測光罩總長度的十字形標(biāo)識l;
多組用于檢測光罩線條精度的線形標(biāo)識2;以及
多組用于檢測光罩方格精度的方形標(biāo)識3。
其中，所述十字形標(biāo)識l的中心位于同一水平線上。
具體實(shí)現(xiàn)時，每組線形標(biāo)識2或方形標(biāo)識3的線寬可為0. 001-0. 005mm，每組線形標(biāo)識可 包括有一個O. 01-0. 05mm的長標(biāo)、以及分布在所述長標(biāo)兩側(cè)且長度 以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說， 在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也視為本發(fā)明 的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種光罩的檢測方法，其特征在于，該方法包括以下步驟在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下邊緣處各放置一個用于檢測光罩總長度的十字形標(biāo)識；在光罩上擺放多組不同長度的線形標(biāo)識和多組不同長度的方形標(biāo)識；分別測量從所述左中處十字形標(biāo)識到右中處十字形標(biāo)識之間的距離、從所述中上處十字形標(biāo)識到中下處十字形標(biāo)識之間的距離，得出光罩的總長度；通過測量所述線形標(biāo)識和方形標(biāo)識，分別得出光罩的線條精度和方格精度。
2.如權(quán)利要求l所述的光罩的檢測方法，其特征在于，所述十字形標(biāo)識的中心位于同一水平線上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的光罩的檢測方法，其特征在于，每組線形標(biāo)識或方形標(biāo)識的線寬為O. 001-0. 005mm，每組線形標(biāo)識包括有一個O. 01-0. 05mm的長標(biāo)、以及分布在所述長標(biāo)兩側(cè)且長度為所述長標(biāo)長度的一半的多個短標(biāo)，每組方形標(biāo)識為由25個方塊構(gòu)成的陣列。
4.如權(quán)利要求3所述的光罩的檢測方法，其特征在于，所述線形標(biāo)識和方形標(biāo)識各為三組，每組的線寬規(guī)格分別為O. OOlmm、 0. 003mm、及O. 005mm。
5.如權(quán)利要求4所述的光罩的檢測方法，其特征在于，所述標(biāo)識置于距光罩邊緣5-10mm處。
6. 一種光罩的檢測裝置，其特征在于，該裝置包括有分別擺放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下邊緣處的用于檢測光罩總長度的十字形標(biāo)識；多組用于檢測光罩線條精度的線形標(biāo)識；以及多組用于檢測光罩方格精度的方形標(biāo)識。
7.如權(quán)利要求6所述的光罩的檢測裝置，其特征在于，所述十字形標(biāo)識的中心位于同一水平線上。
8 如權(quán)利要求6或7所述的光罩的檢測裝置，其特征在于，每組線形標(biāo)識或方形標(biāo)識的線寬為O. 001-0. 005mm，每組線形標(biāo)識包括有一個O. 01-0. 05mm的長標(biāo)、以及分布在所述長標(biāo)兩側(cè)且長度為所述長標(biāo)長度的一半的多個短標(biāo)，每組方形標(biāo)識為由25個方塊構(gòu)成的陣列。
9 如權(quán)利要求8所述的光罩的檢測裝置，其特征在于，所述線形標(biāo)識和方形標(biāo)識各為三組，每組的線寬規(guī)格分別為O. OOlmm、 0. 003mm、及O. 005mm。
10 如權(quán)利要求9所述的光罩的檢測裝置，其特征在于，所述標(biāo)識置于距光罩邊緣5-10mm處。
全文摘要
本發(fā)明公開一種光罩的檢測方法，該方法包括以下步驟在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下邊緣處各放置一個用于檢測光罩總長度的十字形標(biāo)識；在光罩上擺放多組不同長度的線形標(biāo)識和多組不同長度的方形標(biāo)識；分別測量從所述左中處十字形標(biāo)識到右中處十字形標(biāo)識之間的距離、從所述中上處十字形標(biāo)識到中下處十字形標(biāo)識之間的距離，得出光罩的總長度；通過測量所述線形標(biāo)識和方形標(biāo)識，分別得出光罩的線條精度和方格精度。本發(fā)明還公開了一種光罩的檢測裝置。本發(fā)明可準(zhǔn)確、方便地檢測不規(guī)則形狀光罩的精度，這種固定點(diǎn)測量技術(shù)還可節(jié)省測試時間，正負(fù)效果的圖形還可以同時測試，便于工藝的調(diào)整。
文檔編號G03F1/00GK101639623SQ20091030611
公開日2010年2月3日 申請日期2009年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月26日
發(fā)明者杜武兵, 偉 林 申請人:深圳市路維電子有限公司