專利名稱：濾色器的缺陷修正方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及修正濾色器的缺陷的缺陷修正方法。
背景技術(shù)：
已知在液晶顯示裝置用濾色器的制造工序中，為了改善成品率而修正 濾色器上的缺陷。在缺陷修正方法中，有例如，通過(guò)使抗蝕劑附著在針的 頂端，在缺陷部分中滴加該抗蝕劑來(lái)進(jìn)行修正的方法。
另外，作為其他的缺陷修正方法，有膜轉(zhuǎn)印方法。在該方法中，使具 有單色著色層的單色膜粘附于濾色器基板的沒(méi)有著色層的白色缺陷部分， 從膜上以每1種顏色對(duì)著色層進(jìn)行轉(zhuǎn)印，從而進(jìn)行缺陷部分的修正(例如， 參照專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-95971號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，在缺陷部分中滴加抗蝕劑的方法中，由于通過(guò)抗蝕劑的粘度來(lái) 變化滴加量，因此難以控制滴加量或修正精密度，穩(wěn)定并修正困難。另外， 需要干燥工序，在修正中需要長(zhǎng)時(shí)間，生產(chǎn)率低。特別是在缺陷部分的尺 寸大的情況下，例如，在缺陷部分的長(zhǎng)徑超過(guò)100pm的情況下，難以在 短時(shí)間內(nèi)修正缺陷部分，不得不放棄修正。
另外，在上述的膜轉(zhuǎn)印方法中，可以在短時(shí)間內(nèi)修正缺陷部分，但由 于使用單色膜，因此，特別是在涉及多種顏色而產(chǎn)生缺陷部分這樣的情況 等中、或者在缺陷部分的尺寸大的情況等中，缺陷修正困難，而且只能進(jìn) 行修正部位在目測(cè)下可以容易識(shí)別的程度的修正，結(jié)果成為在液晶顯示裝 置的情況下顯示品質(zhì)降低的重要原因。
本發(fā)明是鑒于上述而進(jìn)行的，其目的在于提供一種濾色器的缺陷修正 方法，其可以在短時(shí)間內(nèi)對(duì)涉及多種顏色的濾色器的缺陷部分容易地進(jìn)行
修正，且難以識(shí)別修正部分。
本發(fā)明提供濾色器的缺陷修正方法。本發(fā)明的第一方式是具有圖案轉(zhuǎn) 印工序的濾色器的缺陷修正方法，所述圖案轉(zhuǎn)印工序?yàn)樵诨迳系闹?圖像脫落區(qū)域上使用具有黑色圖案、或2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜， 對(duì)上述黑色圖案、或上述彩色圖案的至少一部分進(jìn)行轉(zhuǎn)印。
用于解決上述課題的具體方法如下。
<1>一種濾色器的缺陷修正方法，其具有圖案轉(zhuǎn)印工序，所述圖案轉(zhuǎn) 印工序中，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜，將 所述黑色圖案或者所述彩色圖案的至少一部分轉(zhuǎn)印到基板上的著色圖像 脫落區(qū)域。
<2>上述<1>所述的濾色器的缺陷修正方法，其還具有通過(guò)激光照射將 基板上的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，所述著色圖像脫落區(qū)域是 通過(guò)激光照射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去而形成的區(qū)域。
<3>上述<1>或<2>所述的濾色器的缺陷修正方法，其還包括著色層形 成工序，所述著色層形成工序中，在被轉(zhuǎn)印后的所述黑色圖案劃分的所述 著色圖像脫落區(qū)域的至少一部分上，形成規(guī)定的著色層。
<4>上述<3>所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述著色層形成工
序是使用噴墨法來(lái)形成所述著色層的工序。
<5>上述<1>或<2>所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述轉(zhuǎn)印膜 在臨時(shí)支承體上具有黑色圖案和被所述黑色圖案隔離的至少1種顏色的圖 像圖案。
<6>上述<5>所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述圖像圖案由選 自紅色、綠色、藍(lán)色以及透明無(wú)色彩中的2種顏色以上的圖案構(gòu)成。
<7>上述<1> <6>中任一項(xiàng)所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，轉(zhuǎn) 印膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部分 相同的圖案。
<8>上述<1〉 <7>中任一項(xiàng)所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所 述著色圖像脫落區(qū)域的最大長(zhǎng)度為100um以上。
本申請(qǐng)主張日本專利申請(qǐng)第2007-227835號(hào)、以及日本專利申請(qǐng)第 2007-308840號(hào)的利益。


圖1是表示濾色器的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。
圖2是表示濾色器的缺陷修正裝置的膜的結(jié)構(gòu)的平面圖。
圖3a是用于i兌朋著色圖像脫落區(qū)域的形成工序的擴(kuò)大截面圖，是表
示在濾色器上附著有異物的狀態(tài)的擴(kuò)大截面圖。
圖3b是用于說(shuō)明著色圖像脫落區(qū)域的形成工序的擴(kuò)大截面圖，是表
示除去異物并形成著色圖像脫落區(qū)域的狀態(tài)的擴(kuò)大截面圖。 圖4是表示濾色器的缺陷修正裝置的膜的結(jié)構(gòu)的概略圖。 圖5a是用于說(shuō)明將黑色圖案(以下有時(shí)也稱為黑矩陣圖案)轉(zhuǎn)印到
著色圖像脫落區(qū)域上的圖案轉(zhuǎn)印工序的擴(kuò)大截面圖，是表示轉(zhuǎn)印膜上的黑 矩陣與加熱塊的位置關(guān)系的擴(kuò)大截面圖。
圖5b是用于說(shuō)明將黑色圖案轉(zhuǎn)印到著色圖像脫落區(qū)域上的圖案轉(zhuǎn)印 工序的擴(kuò)大截面圖，是表示在著色圖像脫落區(qū)域上轉(zhuǎn)印有黑矩陣圖案的狀 態(tài)的擴(kuò)大截面圖。
圖6a是用于說(shuō)明將RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案轉(zhuǎn)印到著色圖 像脫落區(qū)域上的圖案轉(zhuǎn)印工序的擴(kuò)大截面圖，是表示轉(zhuǎn)印膜上的RGB3色 的像素圖案及黑矩陣圖案與加熱塊的位置關(guān)系的擴(kuò)大截面圖。
圖6b是用于說(shuō)明將RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案轉(zhuǎn)印到著色圖 像脫落區(qū)域上的圖案轉(zhuǎn)印工序的擴(kuò)大截面圖，是表示在著色圖像脫落區(qū)域 上轉(zhuǎn)印有RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案的狀態(tài)的擴(kuò)大截面圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的濾色器的缺陷修正方法是設(shè)計(jì)圖案轉(zhuǎn)印工序而構(gòu)成的方法，
其中，所述圖案轉(zhuǎn)印工序?yàn)樵诨迳系闹珗D像脫落區(qū)域上使用具有黑 色圖案、或2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜，對(duì)上述彩色圖案的至少一 部分進(jìn)行轉(zhuǎn)印。該缺陷修正方法，可以根據(jù)需要在圖案轉(zhuǎn)印工序之前預(yù)先 設(shè)計(jì)通過(guò)激光照射來(lái)除去基板上的著色圖像的缺陷部分的除去工序等其 他工序。
在本發(fā)明中，通過(guò)向基板上的著色圖像脫落區(qū)域轉(zhuǎn)印形成為預(yù)先規(guī)定
的圖案狀的黑色圖案、或者2種顏色以上的彩色圖案，可以在短時(shí)間內(nèi)對(duì) 在著色圖像脫落區(qū)域中預(yù)定著色層和/或黑矩陣等黑色層(以下簡(jiǎn)單稱為黑 矩陣)的形成的部分穩(wěn)定地進(jìn)行修正。另外，通過(guò)將選自l種顏色以上的 著色層和黑矩陣中的期望的色相的2種顏色以上的彩色圖案匯集至少2種 顏色進(jìn)行轉(zhuǎn)印來(lái)形成，得到預(yù)定的色相，由此，與以往的通過(guò)滴加抗蝕劑 的方法或膜轉(zhuǎn)印方法相比更簡(jiǎn)易，而且可以再現(xiàn)修正部分難以識(shí)別的濾色 器。
上述2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印，可以是選自RGB和含有透明 無(wú)色彩的色相中的2種顏色以上的圖像圖案、或者1種顏色或2種顏色以 上的圖像圖案以及黑矩陣圖案。另外，通過(guò)轉(zhuǎn)印的黑矩陣圖案，對(duì)基板上 形成的凹部進(jìn)行著色，形成著色層，得到預(yù)定的色相，由此，可以再現(xiàn)修 正部分難以識(shí)別的濾色器。
上述著色圖像脫落區(qū)域是基板上沒(méi)有形成構(gòu)成濾色器的著色層和/或 黑矩陣的區(qū)域，可以是在濾色器的制造時(shí)形成的著色圖像脫落區(qū)域，也可 以是除去濾色器的缺陷部分等而形成的著色圖像脫落區(qū)域。
在本發(fā)明中，優(yōu)選的方式為進(jìn)一步設(shè)計(jì)通過(guò)激光照射將基板上構(gòu)成 濾色器的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，通過(guò)對(duì)濾色器中的缺陷部 分照射激光來(lái)將其除去，形成著色圖像脫落區(qū)域，其后進(jìn)行缺陷修正。
在本發(fā)明中，濾色器中的缺陷部分是指基板上著色層和/或黑矩陣沒(méi)有 形成期望的形態(tài)的區(qū)域?？梢粤信e著色層的脫落、著色層的膜厚不足、
著色層的混色、黑矩陣的脫落、著色異物的附著、無(wú)色異物的附著等。這 樣的基板上缺陷部分的存在在構(gòu)成顯示裝置時(shí)，引起顯示裝置的顯示特性 的下降。
本發(fā)明的缺陷修正方法，在上述濾色器上的著色圖像脫落區(qū)域的尺寸 大時(shí)，或者在用黑色圖案(例如所謂的黑矩陣)隔離彩色圖案(例如，紅
(R)、綠(G)、藍(lán)(B)等的著色區(qū)域)而成的圖像圖案中，著色圖像脫 落區(qū)域涉及黑色圖案和跨越該黑色圖案而設(shè)置的圖像圖案時(shí)，與以往通過(guò) 滴加抗蝕劑的方法或膜轉(zhuǎn)印方法相比，更加適宜進(jìn)行涉及多種顏色出現(xiàn)缺 陷部分情況下的缺陷修正，可以進(jìn)行更難以識(shí)別的修正。
另外，作為濾色器中的著色圖像脫落區(qū)域的尺寸，優(yōu)選最大長(zhǎng)度為ioo
"m以上的情況，更優(yōu)選lOOum以上且lOOOum以下的情況。在此，缺 陷部分的最大長(zhǎng)度是指在濾色器中的缺陷部分的形狀中最長(zhǎng)的距離。
本發(fā)明的濾色器的缺陷修正方法，特別是在對(duì)缺陷部分的最大長(zhǎng)度為 100um以上的大缺陷、例如對(duì)涉及多種顏色而形成的缺陷部分進(jìn)行修正 的情況下，在缺陷修正效率和修正部分難以識(shí)別的方面，具有顯著效果。
作為本發(fā)明中的除去工序中使用的激光的光源，只要是可以除去基板 上的缺陷部分的光源即可以使用，沒(méi)有特別的限制。其中，從缺陷除去效 率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為脈沖激光光源。在本發(fā)明中，從缺陷除去效率的觀 點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為YAG激光，更優(yōu)選為Q開關(guān)YAG激光。
另外，本發(fā)明中的激光可以根據(jù)光束成形機(jī)構(gòu)成形為適合于缺陷除去 的光斑形狀。作為光束成形機(jī)構(gòu)，可以使用具有光圈(aperture)、狹縫、 透鏡等的公知的光束成形機(jī)構(gòu)。
作為通過(guò)激光照射來(lái)除去濾色器上的缺陷部分的方法，只要可以除去 構(gòu)成缺陷部分的著色層和黑矩陣即可，沒(méi)有特別的限制。在本發(fā)明中，從 缺陷部分的除去效率、微細(xì)區(qū)域的除去的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為通過(guò)激光的燒 蝕。
另外，在缺陷部分的除去中，從修復(fù)效率的觀點(diǎn)出發(fā)，除了缺陷部分 之外，也可以同時(shí)除去缺陷部分的周邊區(qū)域。
在本發(fā)明中的圖案轉(zhuǎn)印工序中使用的轉(zhuǎn)印膜是在臨時(shí)支承體上設(shè)置 黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案而構(gòu)成的轉(zhuǎn)鄰膜。該2種顏色以上 的彩色圖案可以由選自黑色層、黑色以外的有彩色的著色層、以及實(shí)質(zhì)上 未著色的無(wú)彩色的透明無(wú)色彩層中的著色樹脂層構(gòu)成。另外，在上述臨時(shí) 支承體與上述著色樹脂層之間可以具有熱增塑性樹脂層。另外，轉(zhuǎn)印膜在 上述著色樹脂層上還具有保護(hù)膜。
上述臨時(shí)支承體化學(xué)和熱穩(wěn)定，另外可以由可撓性的物質(zhì)構(gòu)成。進(jìn)一 步優(yōu)選由不吸收上述激光的物質(zhì)構(gòu)成。具體而言，可以使用Teflon (特氟 隆)(注冊(cè)商標(biāo))、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯等薄 片或它們的層疊物。支承體的厚度，可以為5 300um，特別可以為20 150u m。
上述著色樹脂層，在構(gòu)成為透明無(wú)色彩時(shí)可以至少含有固化性組合
物，在構(gòu)成為黑色或有彩色時(shí)可以至少含有著色劑和固化性組合物。
作為著色劑，可以從可形成著色層或黑矩陣的著色劑中沒(méi)有特別限制 地選擇公知的顏料和染料來(lái)使用。例如可以列舉日本特開2005-17716
號(hào)公報(bào)

中記載的顏料和染料、日本特開2004-361447號(hào)公報(bào)

中記載的顏料、日本特開2005-17521號(hào)公報(bào)
,7
中記載的著色劑。具體可以列舉脂肪黑HB (C丄26150)、 Monolighf Fast 黑B (C丄色素黑l)以及炭黑等。作為著色樹脂層中的著色劑的含量， 從形成的黑矩陣圖案的光學(xué)濃度與強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30 70質(zhì)量 %，更優(yōu)選為40 60質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為50 55質(zhì)量％。
上述固化性組合物可以為光固化性組合物，也可以為熱固化性組合 物，根據(jù)目的可以適宜選擇。
在本發(fā)明中，用光刻法形成黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案(包 括圖像圖案和黑矩陣圖案，以下同樣)時(shí)，上述固化性組合物優(yōu)選為光固 化性組合物。另外，用噴墨法形成2種顏色以上的彩色圖案時(shí)，上述固化 性組合物優(yōu)選為熱固化性組合物。
上述光固化性組合物可以至少含有粘合劑聚合物、含有乙烯性不飽和 鍵的單體、和光聚合引發(fā)劑而成。
對(duì)于粘合劑聚合物、含有乙烯性不飽和鍵的單體和光聚合引發(fā)劑，沒(méi) 有特別限制，可以使用公知的材料。例如，可以列舉日本特開2005-3861 號(hào)公報(bào)中記載的材料。
另外，上述熱固化性組合物只要是通過(guò)加熱進(jìn)行固化的組合物，可以 沒(méi)有特別限制來(lái)使用，例如可以含有公知的具有熱固化性官能團(tuán)的熱固化 性化合物而成。
作為上述熱固化性組合物，優(yōu)選為具有選自例如環(huán)氧基、羥甲基、烷 氧甲基以及酰氧甲基中的至少一個(gè)基團(tuán)的化合物。
作為進(jìn)一步優(yōu)選的熱固化性化合物，可以列舉a)環(huán)氧化合物；b) 由選自羥甲基、烷氧甲基以及酰氧甲基中的至少一個(gè)取代基取代的三聚氰 胺化合物、胍胺化合物、甘脲化合物或脲化合物；c)由選自羥甲基、垸 氧甲基以及酰氧甲基中的至少一個(gè)取代基取代的苯酚化合物、萘酚化合物 或羥基蒽化合物。其中，作為熱固化性組合物，特別優(yōu)選為多官能環(huán)氧化
合物。
上述著色樹脂層的層厚，可以設(shè)定為與成為修正對(duì)象的濾色器具有的 黑矩陣的膜厚大致相同的膜厚度，例如，可以為l 5Pm。
作為上述保護(hù)膜，例如可以適宜使用日本特開2005-3861號(hào)公報(bào)中記 載的保護(hù)膜。
另外，作為上述熱增塑性樹脂層，例如可以適宜使用日本特開 2005-3861號(hào)公報(bào)、日本特開平11-338134號(hào)公報(bào)等中記載的熱增塑性樹 脂層。
本發(fā)明中的轉(zhuǎn)印膜，從著色樹脂層的轉(zhuǎn)印效率的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為具 有日本特開平11-338134號(hào)公報(bào)中記載的構(gòu)成的轉(zhuǎn)印膜。由此可以得到良 好的轉(zhuǎn)印性，另外，可以從著色樹脂層上同時(shí)剝離支承體和熱增塑性樹脂 層，提高生產(chǎn)率。
本發(fā)明中具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜，可以 通過(guò)使用噴墨法、或光刻法、轉(zhuǎn)印法等在例如聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET) 等的臨時(shí)支承體上預(yù)先形成黑色圖案或者至少2種顏色的彩色圖案來(lái)進(jìn)行
制作。從制作工序上的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選通過(guò)光刻法來(lái)形成黑矩陣，通過(guò)噴 墨法來(lái)形成黑矩陣以外的圖像圖案。
作為彩色圖案，可以設(shè)置用于形成黑矩陣等遮光性圖像的黑色圖案、 黑色圖案以外的在(R)、綠(G)、藍(lán)(B)等中著色的圖像圖案、透明無(wú) 色彩的無(wú)彩色圖案。作為彩色圖案可以設(shè)置左右并列有R與G、 G與B、 B與R、或者R或G或B與透明無(wú)色彩這樣的2種顏色的圖案。圖案可 以根據(jù)作為修正對(duì)象的著色圖像的圖案，適宜選擇條紋狀、矩陣狀等。此 時(shí)，根據(jù)修正的缺陷部分的色相，可以選擇使用的轉(zhuǎn)印的轉(zhuǎn)印膜中的彩色 圖案的顏色組合。
如果形成彩色圖案為RGB三種顏色、或者RGB和透明無(wú)色彩四種顏 色，則可以進(jìn)行更大的缺陷(優(yōu)選最大長(zhǎng)度為100pm以上的著色圖像脫 落區(qū)域)的修正，因此優(yōu)選。另外，該彩色圖案為了能與基板上的著色圖 像的圖案對(duì)應(yīng)，優(yōu)選具有與作為基板上的修正對(duì)象的著色圖像的圖案的一 部分或全部相同的圖案來(lái)形成，更優(yōu)選形成為與作為缺陷修正對(duì)象的著色 圖像的圖案相同或大致相同的圖案。
另外，2種顏色以上的彩色圖案在顏色與顏色之間具有黑矩陣等，優(yōu) 選設(shè)置黑色圖案和由該黑色圖案隔離的1種顏色或2種顏色以上的圖像圖 案。
使用這樣制作的轉(zhuǎn)印膜，將根據(jù)期望選擇的彩色圖案在除去缺陷的著 色圖像脫落區(qū)域上進(jìn)行適宜定位，將該轉(zhuǎn)印膜的黑色圖案或者2種顏色以 上的彩色圖案進(jìn)行轉(zhuǎn)印，可以進(jìn)行著色圖像區(qū)域的修正。
具體而言，具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜，例 如可以如下進(jìn)行制作。
在臨時(shí)支承體上通過(guò)公知的涂布方法來(lái)涂布熱增塑性樹脂層用涂布 液，使其干燥，形成熱增塑性樹脂層，在該熱增塑性樹脂層上再通過(guò)公知 的涂布方法來(lái)涂布調(diào)色成黑色的感光性樹脂組合物(黑色感光性樹脂層形 成用涂布液)，使其干燥，形成黑色感光性樹脂層，由此，制作在臨時(shí)支 承體上層疊有熱增塑性樹脂層和黑色感光性樹脂層的層疊體。接著，隔著 具有所期望的黑矩陣用圖案的掩模進(jìn)行圖案曝光，顯影處理，由此，在臨 時(shí)支承體上的熱增塑性樹脂層上形成黑色感光性樹脂層固化而成的黑矩 陣圖案。接著，在由形成的黑矩陣圖案劃分的多個(gè)凹狀區(qū)域中，通過(guò)噴墨 法將第l色目的色相(例如紅色(R))的著色熱固化性組合物噴出，填充
凹狀區(qū)域的一部分成為圖案狀，使其干燥，形成R圖像圖案。接著，與R 圖像圖案的形成同樣將第2色、第3色的色相(例如綠色(G)、藍(lán)色(B)) 的著色熱固化性組合物依次噴出，反復(fù)干燥，由此，形成第2色、第3色 的圖像圖案(例如G圖像圖案、B圖像圖案)。這樣，制作具有由RGB三 種顏色與黑矩陣構(gòu)成的4種顏色的圖案的轉(zhuǎn)印膜。
在上述中，對(duì)通過(guò)噴墨法進(jìn)行RGB的各圖像圖案的形成的情況進(jìn)行 了說(shuō)明，但可以不通過(guò)噴墨法，與黑矩陣圖案的形成同樣，重復(fù)進(jìn)行涂布、 曝光、顯影來(lái)形成RGB的各圖像圖案，制作具有由RGB三種顏色與黑矩 陣構(gòu)成的4種顏色的圖案的轉(zhuǎn)印膜。
對(duì)于上述噴墨法，在本發(fā)明中可以適宜采用濾色器的制作中使用的一 般方法。作為噴墨法，可以采用連續(xù)地噴射帶電的墨液且通過(guò)電場(chǎng)進(jìn)行 控制的方法、使用壓電元件間歇地噴射墨液的方法、加熱墨液利用其發(fā)泡 間歇地進(jìn)行噴射的方法等各種方法。
墨液可以使用油性、水性中的任一種。另外，該墨液中含有的著色劑 可以用于染料、顏料，從耐久性方面考慮更優(yōu)選使用顏料。另外，也可以 使用用于公知的濾色器的制作時(shí)涂布的著色墨液(例如日本特開
2005-3861號(hào)公報(bào)的段落號(hào)

中記載的著色樹脂組合物)、日 本特開2004-325736號(hào)公報(bào)中記載的著色墨液、日本特開2002-372613號(hào) 公報(bào)中記載的墨液等公知的墨液。對(duì)于在噴墨法中使用的墨液，考慮到賦 予后的工序，可以通過(guò)加熱進(jìn)行固化，或者添加通過(guò)紫外線等能量線進(jìn)行 固化的成分。作為通過(guò)加熱進(jìn)行固化的成分，廣泛使用各種熱固化性樹脂， 作為通過(guò)能量線進(jìn)行固化的成分，例如可以例示在丙烯酸酯衍生物或甲基 丙烯酸酯衍生物中添加有光反應(yīng)引發(fā)劑的成分。特別是考慮耐熱性，更優(yōu) 選為在分子內(nèi)具有多個(gè)丙烯酰基、甲基丙烯?；某煞帧Ｋ鼈兊谋┧狨?衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物可以優(yōu)選使用水溶性的成分，水中難溶性的 成分可以進(jìn)行乳化等來(lái)使用。
這樣，可以制作具有2種顏色以上的彩色圖案、具體而言選自含有 RGB和透明無(wú)色彩的色相中的2種顏色以上的圖像圖案、或者1種顏色或 2種顏色以上的圖像圖案和黑矩陣圖案、或者黑矩陣圖案的轉(zhuǎn)印膜。
在本發(fā)明中，從缺陷修正需要的時(shí)間的觀點(diǎn)、以及大尺寸(優(yōu)選最大 長(zhǎng)度為100um以上)的著色圖像脫落區(qū)域可以缺陷修正的觀點(diǎn)出發(fā)，轉(zhuǎn) 印膜上形成的圖像圖案以及黑矩陣圖案，優(yōu)選為與作為缺陷修正對(duì)象的濾 色器具有的圖像圖案和黑矩陣圖案大致相同的圖案。
在本發(fā)明中，將轉(zhuǎn)印膜的黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案(包 括圖像圖案和黑矩陣圖案)轉(zhuǎn)印到基板上的著色圖像脫落區(qū)域上的圖案轉(zhuǎn) 印工序，可以包括將轉(zhuǎn)印膜固定到作為轉(zhuǎn)印黑色圖案或者2種顏色以上 的彩色圖案的被轉(zhuǎn)印材料的基板上的位置的工序、從轉(zhuǎn)印膜向基板上轉(zhuǎn)印 黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案中的至少一部分的工序。
上述"將轉(zhuǎn)印膜固定到作為轉(zhuǎn)印黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖 案的被轉(zhuǎn)印材料的基板上的位置的工序"，優(yōu)選為將轉(zhuǎn)印膜固定到可以形 成為以下結(jié)構(gòu)的位置的工序，所述結(jié)構(gòu)是，轉(zhuǎn)印膜的黑色圖案、或者2種 顏色以上的彩色圖案與構(gòu)成缺陷修正對(duì)象的濾色器的黑色圖案、或者2種 顏色以上的著色圖像轉(zhuǎn)印后形成連續(xù)的結(jié)構(gòu)。
在上述"從轉(zhuǎn)印膜向基板上轉(zhuǎn)印黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖 案中的至少一部分的工序"中，例如可以通過(guò)加熱和/或壓接將轉(zhuǎn)印膜上的 黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案轉(zhuǎn)印到基板上的著色圖像脫落區(qū) 域。在本發(fā)明中，從轉(zhuǎn)印效率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選通過(guò)熱壓接來(lái)進(jìn)行轉(zhuǎn)印。
對(duì)于熱壓接方法，沒(méi)有特別的限制。從缺陷修正的 :i率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選
通過(guò)由加熱塊(block)引起的熱壓接來(lái)進(jìn)行。
另外，在通過(guò)加熱塊進(jìn)行的熱壓接之前，可以進(jìn)行通過(guò)紅外線等的預(yù) 加熱處理。
參照附圖，對(duì)本發(fā)明的濾色器的缺陷修正方法的實(shí)施方式的一個(gè)例子 進(jìn)行更加詳細(xì)地說(shuō)明。圖1是表示可以用于本發(fā)明的實(shí)施的缺陷修正裝置 的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的概略圖。
該缺陷修正裝置，如圖1所示，在放置于載物臺(tái)7上的作為缺陷修正 對(duì)象的基板6的上方，從基板6側(cè)依次配置轉(zhuǎn)印膜5、物鏡4，在物鏡4 上照射激光的激光光路上，從物鏡4側(cè)依次配置半透半反鏡3、半透半反 鏡ll、 CCD相機(jī)12。從短脈沖激光光源1進(jìn)行照射，使通過(guò)光束成形機(jī) 構(gòu)2成形為光束形狀的激光光束入射到半透半反鏡3，使從燈光源9照射 并通過(guò)過(guò)濾器10的光入射到半透半反鏡11。另外，成為隔著激光光路上 的半透半反鏡3、 11可以由CCD相機(jī)12觀察的結(jié)構(gòu)。轉(zhuǎn)印膜5由2個(gè)膜 巻筒8支承，通過(guò)膜巻筒旋轉(zhuǎn)工具14可以旋轉(zhuǎn)。在物鏡4的下方設(shè)置空 氣的噴出口，連接有用于向該噴出口供給空氣的噴出空氣噴出工具13。
在本實(shí)施方式中，修正缺陷的對(duì)象的基板6是在液晶顯示裝置的液晶 面板上使用的濾色器基板。該濾色器用的基板6通常在透明玻璃基板上設(shè) 置構(gòu)成像素的著色層和黑矩陣。載物臺(tái)7是具有XY驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(未圖示)、 且在XY方向可以移動(dòng)的XY載物臺(tái)，可以使基板6在任意位置上移動(dòng)。 本發(fā)明中的缺陷修正裝置具備用于檢測(cè)基板6的缺陷的缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)、 和用于修正檢測(cè)到的缺陷的缺陷修正機(jī)構(gòu)，在載物臺(tái)7上水平載置基板6， 判斷在濾色器基板的各像素上是否有缺陷，可以進(jìn)行修正。具體而言，通 過(guò)缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)把握缺陷的位置后，通過(guò)缺陷修正機(jī)構(gòu)在基板6的缺陷部 分照射激光，除去缺陷部分，進(jìn)行修正。另外，圖示的缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)和缺 陷修正機(jī)構(gòu)的光學(xué)系等的結(jié)構(gòu)是一個(gè)例子，也可以具有其他的過(guò)濾器、透
鏡、反射鏡等光學(xué)部件。
首先，對(duì)于缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)使用燈光源9、過(guò)
濾器IO、半透半反鏡11和CCD相機(jī)12來(lái)檢測(cè)缺陷。設(shè)置燈光源9作為 觀察用光源，燈光源9射出用于照明基板6的表面的白色光。從燈光源9 射出的觀察用的光通過(guò)過(guò)濾器10，入射到半透半反鏡11上。過(guò)濾器—10是 波長(zhǎng)可變過(guò)濾器，可以僅對(duì)所規(guī)定的波長(zhǎng)進(jìn)行遮光。在此，過(guò)濾器10配 合轉(zhuǎn)印膜5的透過(guò)率來(lái)校正波長(zhǎng)，檢測(cè)到的光可以成為白色光。入射到半 透半反鏡11上的光向基板6的方向反射。反射的光通過(guò)半透半反鏡3，入 射到物鏡4。在物鏡4和基板6之間，將厚度為約10um的由聚酰亞胺構(gòu) 成的轉(zhuǎn)印膜5與基板6對(duì)向設(shè)置。于是，由物鏡4聚集的光透過(guò)轉(zhuǎn)印膜5 入射到基板6的表面，對(duì)基板的一部分進(jìn)行照明。由基板6反射的光透過(guò) 轉(zhuǎn)印膜5、物鏡4、半透半反鏡3和半透半反鏡11，入射到CCD相機(jī)12 上。CCD相機(jī)12根據(jù)由基板6的表面反射的反射光來(lái)檢測(cè)圖像。CCD相 機(jī)12與個(gè)人電腦(PC)等信息理裝置連接，根據(jù)檢測(cè)到的圖像來(lái)判斷基 板6的缺陷的有無(wú)。作為判斷基板的缺陷的有無(wú)的方法，例如，可以使用 將檢測(cè)到的圖像與參考模比較的模到模方式(Die-to-Die)。當(dāng)檢測(cè)到的圖 像與參考模不同時(shí)，判斷為缺陷部分。在該缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)中，區(qū)別不透明 的黑缺陷和透明的白缺陷來(lái)進(jìn)行檢測(cè)。
另外，PC與載物臺(tái)7的XY驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接，由缺陷檢測(cè)時(shí)的載物臺(tái)7 的位置來(lái)特定檢測(cè)部位，檢測(cè)基板上的缺陷像素的坐標(biāo)。另外，通過(guò)使載 物臺(tái)7移動(dòng)，使基板6與來(lái)自燈光源9的光的相對(duì)位置變化，進(jìn)行基板6 的全面缺陷檢測(cè)。
當(dāng)然缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)并不限于圖示的結(jié)構(gòu)，也可以使用具有其他的結(jié)構(gòu) 的缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)。對(duì)于該缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)，可以使用與以往的缺陷檢測(cè)裝置 同樣的結(jié)構(gòu)。
通過(guò)上述缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)到的缺陷，通過(guò)缺陷修正機(jī)構(gòu)來(lái)進(jìn)行修 正。以下對(duì)于缺陷修正結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。缺陷修正機(jī)構(gòu)使用短脈沖激光光源 1、光束成形機(jī)構(gòu)2和半透半反鏡3來(lái)修正缺陷。短脈沖激光光源1例如 為Q開關(guān)YAG激光，可以射出10nsec以下的短脈沖光。從短脈沖激光光 源1射出的短脈沖激光入射到光束成形機(jī)構(gòu)2中。光束成形機(jī)構(gòu)2具有光
圈、狹縫、透鏡等，可以將短脈沖光的光斑成形為適當(dāng)?shù)男螤畹墓馐獍摺?例如，將基板上的短脈沖光的光束光斑成形為與濾色器的像素大致相同的 矩形，或者成形為與缺陷的形狀大致相同的形狀。半透半反鏡3將短脈沖 光反射到基板6的方向上。在此，以使來(lái)自短脈沖激光光源1與燈光源9 的光同軸的方式配置各自的光學(xué)部件。由半透半反鏡3反射的短脈沖光照
射到轉(zhuǎn)印膜5。
轉(zhuǎn)印膜5巻繞成與膜巻筒旋轉(zhuǎn)工具14連接的2個(gè)膜巻筒8。膜巻筒旋 轉(zhuǎn)工具14具有發(fā)動(dòng)機(jī)等，可以使膜巻筒8分別旋轉(zhuǎn)。通過(guò)使2個(gè)膜巻筒8 旋轉(zhuǎn)，連續(xù)地向Y方向送出轉(zhuǎn)印膜5。在缺陷修正之前驅(qū)動(dòng)膜巻筒旋轉(zhuǎn)工 具14使膜巻筒8之一旋轉(zhuǎn)以使轉(zhuǎn)印膜5具有彎度。在此，轉(zhuǎn)印膜5以不 與基板6接觸的程度來(lái)具有彎度。空氣噴出工具13具有空氣罐、配管、 電離器(一才于一f一)和過(guò)濾器等，可以從轉(zhuǎn)印膜5上使電離后的空氣 噴出。例如，在物鏡4的下面設(shè)置基板側(cè)的底面打開的圓筒。該圓筒成錐 狀，基板側(cè)的開口徑變小。在側(cè)面連接配管以使空氣可以流入到該圓筒內(nèi)， 通過(guò)流動(dòng)經(jīng)配管供給的空氣，圓筒內(nèi)的內(nèi)壓升高，在轉(zhuǎn)印膜5側(cè)噴出空氣。 在缺陷修正時(shí)噴出空氣使轉(zhuǎn)印膜5接近基板側(cè)，使轉(zhuǎn)印膜5與基板6接近。 通過(guò)使轉(zhuǎn)印膜5與基板6接近，在缺陷部分在基板6與轉(zhuǎn)印膜5上設(shè)置微 小的間隙。此時(shí)，可以使基板6的缺陷部分以外的突出部分與轉(zhuǎn)印膜5接 觸。該轉(zhuǎn)印膜5與基板6的距離的調(diào)節(jié)通過(guò)空氣噴出工具13的噴出量等 進(jìn)行調(diào)節(jié)?；蛘?，通過(guò)膜巻筒旋轉(zhuǎn)工具14來(lái)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)印膜5的彎度和張力。 另外，在載物臺(tái)7上也可具有在Z方向上移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，調(diào)節(jié)間隔。通過(guò)空 氣噴出工具13使轉(zhuǎn)印膜5與基板6接近，由此不需要使轉(zhuǎn)印膜5密接于 基板上。由此，可以進(jìn)行穩(wěn)定的修正，另外可以降低對(duì)基板6的圖案帶來(lái) 的影響。
該轉(zhuǎn)印膜5，如圖2所示，根據(jù)修正的缺陷的種類變更為不同的膜。 缺陷修正裝置的膜至少由缺陷除去用的轉(zhuǎn)印膜5a和膜巻筒8a、以及形成 有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案(例如，RGB3種顏色的圖像圖 案和黑矩陣)的缺陷修正用的轉(zhuǎn)印膜5b和膜巻筒8b構(gòu)成，可以還具有形
成有其他的彩色圖案的缺陷修正用膜和膜巻筒。另外，作為其他的方式， 例如，可以由缺陷除去用的轉(zhuǎn)印膜5a和膜巻筒8a、以及形成有RG2種顏
色的圖像圖案和黑矩陣的缺陷修正用的轉(zhuǎn)印膜和膜巻筒、形成有GB 2種
顏色的圖像圖案和黑矩陣的缺陷修正用的轉(zhuǎn)印膜和膜巻筒、形成有BR 2
種顏色的圖像圖案和黑矩陣的缺陷修正用的轉(zhuǎn)印膜和膜巻筒構(gòu)成。
膜巻筒8安裝到直線導(dǎo)軌等巻筒移動(dòng)工具(未圖示)上，設(shè)置為在X 方向上可以滑動(dòng)。使膜巻筒8a和膜巻筒8b在X方向上移動(dòng)，將短脈沖光 照射到與修正的對(duì)象相對(duì)應(yīng)的缺陷的轉(zhuǎn)印膜5上。g卩，除去缺陷部分時(shí)， 在來(lái)自短脈沖激光光源1的短脈沖光的激光光斑15的位置上使轉(zhuǎn)印膜5a 移動(dòng)。另一方面，修正白缺陷時(shí)，在來(lái)自短脈沖激光光源l的短脈沖光的 激光光斑15的位置上使轉(zhuǎn)印膜5b移動(dòng)。由于來(lái)自該短脈沖激光光源1與 燈光源9的光調(diào)節(jié)成為在相同光軸上，因此，轉(zhuǎn)印膜5上的激光光斑15 與觀察用的光在大致相同的位置上。在膜巻筒8的移動(dòng)時(shí)和轉(zhuǎn)印膜5的送 出時(shí)使膜巻筒8旋轉(zhuǎn)，賦予轉(zhuǎn)印膜5適當(dāng)?shù)膹埩?，在基?和轉(zhuǎn)印膜5上 設(shè)置間隙。于是，沒(méi)有使空氣噴出而進(jìn)行膜的移動(dòng)和送出。另一方面，除 去缺陷并進(jìn)行修正時(shí)，使轉(zhuǎn)印膜5彎曲，通過(guò)空氣噴出工具14可以使空 氣噴出，使轉(zhuǎn)印膜5接近基板表面。
對(duì)于該轉(zhuǎn)印膜5a和基板6的結(jié)構(gòu)，參照?qǐng)D3a和圖3b進(jìn)行說(shuō)明。圖 3a和圖3b是表示修正部位的結(jié)構(gòu)的擴(kuò)大截面圖。圖3a表示照射短脈沖光 中的膜和基板配置。圖3b表示除去缺陷的基板的結(jié)構(gòu)?；?上設(shè)置紅 色(R)的著色層6K綠色(G)的著色層62、藍(lán)色(B)的著色層63、 黑矩陣(BM) 64，形成濾色器。如圖3a所示，在濾色器上附著異物65 的情況下，附著異物65的缺陷部分，通過(guò)缺陷檢測(cè)機(jī)構(gòu)作為不透過(guò)光的 黑缺陷被檢測(cè)到。此時(shí)轉(zhuǎn)印膜5a與基板6上的濾色器略微接觸。
在附著有該異物65的缺陷部分上，如果照射來(lái)自短脈沖激光光源1 的10nsec以下的短脈沖光，則通過(guò)物鏡4聚集的短脈沖光通過(guò)空氣噴出工 具入射到與基板6接近的轉(zhuǎn)印膜5a上。調(diào)節(jié)該短脈沖光的功率，使通過(guò) 激光燒蝕轉(zhuǎn)印膜5a可以部分地開口。在此作為一個(gè)例子，使用聚酰亞胺 膜作為轉(zhuǎn)印膜5a。如果使用YAG短脈沖激光光源I的3倍高頻355nm或 者4倍高頻的266nm，則由于聚酰亞胺膜吸收短脈沖光，因此，可以容易 地在轉(zhuǎn)印膜5a上設(shè)置開口部。另外，由于聚酰亞胺膜在可見光區(qū)域沒(méi)有 吸收大致透明，因此容易觀察，可以使用燈光源9來(lái)檢測(cè)缺陷。另外，轉(zhuǎn)
印膜5a并不限于聚酰亞胺，可以使用通過(guò)光的照射、通過(guò)化學(xué)分解、熱 分解、升華或者燒蝕等開口的材質(zhì)。由于激光通過(guò)光束成形機(jī)構(gòu)2來(lái)成形
為缺陷的形狀或者像素的形狀，因此，轉(zhuǎn)印膜5a的開口部的形狀可以成 為與例如缺陷部分的形狀大致相同的形狀。通過(guò)激光燒蝕可以基本同時(shí)除 去異物65和膜的一部分。 ，，
除去的異物65a如圖3b所示，通過(guò)轉(zhuǎn)印膜5a的開口部，從基板脫離。 另外，由于修正部周邊用膜覆蓋，因此異物65附著在修正部周邊的膜上， 不會(huì)在修正部周邊產(chǎn)生新的缺陷。這樣，通過(guò)激光燒蝕可以基本同時(shí)除去 膜和缺陷。另外，除去的異物65a成l片，但也有時(shí)也成多個(gè)碎片落到膜 上。
另外，可以調(diào)節(jié)短脈沖激光光源1的功率，以使在轉(zhuǎn)印膜5a上緩慢 地開孔，也可以調(diào)節(jié)使膜的開孔與異物的除去同時(shí)進(jìn)行。在轉(zhuǎn)印膜5a上 緩慢地開孔時(shí)，形成轉(zhuǎn)印膜5a變薄的狀態(tài)，另外在轉(zhuǎn)印膜5a變薄的部位 照射短脈沖激光來(lái)除去異物。
另外，開口部的尺寸小的情況下，可以在送出膜的同時(shí)設(shè)置開口部。 如果使用遠(yuǎn)紫外線則由于轉(zhuǎn)印膜5a進(jìn)行化學(xué)分解，因此在異物除去后在 基板表面上殘留膜的殘?jiān)鼤r(shí)，可以照射遠(yuǎn)紫外線來(lái)除去膜的殘?jiān)?br> 另外，在異物為透明的情況下，向異物照射短脈沖光，由于沒(méi)有光的 吸收，因此不產(chǎn)生激光燒蝕。與此相對(duì)，作為轉(zhuǎn)印膜5使用聚酰亞胺等吸 收光的膜。在使吸收膜略微接觸異物的上部的狀態(tài)下照射短脈沖激光時(shí)， 在膜通過(guò)激光燒蝕進(jìn)行開口的同時(shí)，由于在前方飛落的氣體或碎片，異物 在基板上瞬間施壓，由于其后的反跳可以從基板上脫離。
由于通過(guò)上述處理與基板上的異物65 —起除去黑矩陣64、著色層61 、 62，因此，黑缺陷成為透過(guò)光的著色圖像脫落區(qū)域66。為了修正該著色圖 像脫落區(qū)域66，如圖4所示，使膜巻筒8a和膜巻筒8b在X方向上移動(dòng)， 使轉(zhuǎn)印膜5b移動(dòng)到激光光斑15的位置上。接著，使轉(zhuǎn)印膜5b熱壓接在 著色圖像脫落區(qū)域66上，對(duì)著色圖像脫落區(qū)域66進(jìn)行修正。
對(duì)于該著色圖像脫落區(qū)域的修正方法，參照?qǐng)D5a、圖5b、圖6a和圖 6b進(jìn)行說(shuō)明。圖5a和圖5b是表示膜5b和基板6之間的配置結(jié)構(gòu)的截面 擴(kuò)大圖。在膜5b的基板6側(cè)的面上形成黑矩陣54。在膜5b上將厚度為約
100 Wm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯膜設(shè)為基底膜，可以使用在基底膜上形成
有厚度為約1 u m的黑矩陣54的干膜抗蝕劑。另外，優(yōu)選在基底膜與黑矩 陣圖案之間進(jìn)一步形成厚度為約lOum的熱增塑性樹脂層。
圖6a和圖6b是表示膜5b和基板6之間的配置結(jié)構(gòu)的截面擴(kuò)大圖。 在轉(zhuǎn)印膜5b的基板6側(cè)的面上形成圖像圖案51、 52、黑矩陣圖案54。在 轉(zhuǎn)印膜5b上將厚度為約100u m的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯膜設(shè)為基底膜，可 以使用在基底膜上形成有厚度為約1lim的圖像圖案51、52以及黑矩陣圖 案54的干膜抗蝕劑。另外，優(yōu)選在基底膜與圖像圖案51、 52和黑矩陣圖 案54之間進(jìn)一步形成厚度為約10 u m的熱增塑性樹脂層。
轉(zhuǎn)印膜5b并不限于聚乙烯，可以使用聚丙烯或PET膜等，厚度也不 限于上述厚度。另外，在圖像圖案51、 52、黑矩陣圖案54中，也可以使 用與基板6側(cè)的著色層61、 62、黑矩陣64大致相同的材質(zhì)。由此，可以 更加有效地防止液晶顯示裝置品質(zhì)的劣化。當(dāng)然轉(zhuǎn)印膜5b或黑矩陣圖案 54、圖像圖案51、 52的材質(zhì)和厚度并不限于上述。
另外，在缺陷修正裝置中設(shè)置加熱塊20,其用于將在轉(zhuǎn)印膜5b上形 成的圖像圖案51、 52、黑矩陣圖案54熱轉(zhuǎn)印到基板上。加熱塊20設(shè)置成 為可以上下移動(dòng)，在使轉(zhuǎn)印膜5b的圖像圖案51、 52和黑矩陣圖案54附 著時(shí)，向下移動(dòng)將轉(zhuǎn)印膜5b擠壓在基板上，進(jìn)行加熱。由此，可以在著 色像素脫落區(qū)域上轉(zhuǎn)印形成圖像圖案51a、 52a以及黑矩陣圖案54a。
在本發(fā)明中，優(yōu)選為在轉(zhuǎn)印膜5b與基板6之間夾持通過(guò)激光開口的 轉(zhuǎn)印膜5a的狀態(tài)。通過(guò)隔著轉(zhuǎn)印膜5a的開口部對(duì)圖像圖案51、 52以及 黑矩陣圖案54進(jìn)行轉(zhuǎn)印，可以防止在缺陷部位以外的區(qū)域上附著圖像圖 案51、 52或黑矩陣圖案54。由此，通過(guò)簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)可以僅在缺陷部位對(duì) 圖像圖案51a、 52a以及黑矩陣圖案54a進(jìn)行轉(zhuǎn)印，可以正確地修正缺陷。 另外，由于在其余區(qū)域上沒(méi)有附著著色層，因此，可以使生產(chǎn)率提高。
對(duì)于1個(gè)部位的缺陷修正，由于可以不伴隨光學(xué)系或載物臺(tái)的移動(dòng)而 僅提供膜巻筒8的移動(dòng)來(lái)進(jìn)行修正，因此以上動(dòng)作可以在1個(gè)物鏡下觀察 的同時(shí)來(lái)進(jìn)行。另外，可以僅通過(guò)l個(gè)短脈沖激光光源l來(lái)進(jìn)行異物的除 去和顏色附著，可以進(jìn)行白缺陷和黑缺陷的修正。另外，在修正動(dòng)作結(jié)束 后，可以通過(guò)CCD相機(jī)12來(lái)檢測(cè)是否正確地進(jìn)行修正。
以下的方案也是優(yōu)選實(shí)施方式之一，該方案為如上轉(zhuǎn)印黑矩陣圖案 之后，在被黑矩陣圖案劃分的著色圖像脫落區(qū)域，將預(yù)定的規(guī)定色相合并， 使用噴墨法形成著色層。這樣，即使修正面積大的缺陷部分，也可以有效 進(jìn)行修正。
在上述說(shuō)明中用液晶顯示裝置用的濾色器基板進(jìn)行說(shuō)明，也可以制用 于CCD相機(jī)等的固體攝像元件用的濾色器基板中。當(dāng)然對(duì)于濾色器基板
以外的圖案基板可以利用。例如，也可以在PDP和布勞恩管等熒光體的修 正中利用。另外，在上述說(shuō)明中異物65為形成黑缺陷的不透明材質(zhì)，但 也可以為由透明的材質(zhì)構(gòu)成的異物。另外，可以除去沒(méi)有精密度良好地設(shè) 置的著色層等。將這些必須除去的異物等稱為缺陷。通過(guò)除去這些缺陷， 可以修正缺陷。 實(shí)施例
以下通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體地說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于這些實(shí) 施例。另外，只要沒(méi)有特別的說(shuō)明，"份"和"％"是質(zhì)量基準(zhǔn)。 (實(shí)施例1) -濾色器的制作-
通過(guò)日本特開2006-276818號(hào)公報(bào)的段落號(hào)

中記載的 方法來(lái)制作濾色器。 -轉(zhuǎn)印膜的制作-
使用厚度為100ym的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯作為基底膜(臨時(shí)支承 體)，在該膜上涂布干燥下述組成的熱增塑性樹脂層形成用涂布液，使其 成為10um的干燥膜厚，得到在聚對(duì)苯二甲酸乙二酯膜上形成有乙烯-丙 烯酸乙酯共聚物樹脂膜作為熱增塑性樹脂層的臨時(shí)支承體。
*熱增塑性樹脂層形成用涂布液* 乙烯-丙烯酸乙酯共聚樹脂… 10g
(三井 杜邦聚化合物(三井 于"二水 > 水U少S力；")公司制，商 品名EVAFLEX-EEA-709，丙烯酸乙酯含量35%) 甲苯… 100g
以下，在上述臨時(shí)支承體的熱增塑性樹脂層上涂布下述黑色感光性樹 脂層用涂布液，使其為1.8ym的膜厚，使其干燥，形成黑色感光性樹脂
層。
*黑色感光性樹脂層用涂布液 '聚合物A…70份
(苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯/丙烯酸/甲基丙烯酸縮水甘油
酯的共聚樹脂、重均分子量=約35000，酸價(jià)=110) *單體季戊四醇四丙烯酸酯… 30份 '光引發(fā)劑IRUGACURE369… 2.2份
(汽巴精化公司制)
N,N-四乙基-4,4，-二氨基二苯甲酮… 2.2份 *溶劑丙二醇單甲基醚… 492份 *聚合抑制劑對(duì)甲氧基苯酚… 0.1份
，表面活性劑全氟烷基垸氧化物…0.01份 *著色劑炭黑…22份
-對(duì)于涂布形成的黑色感光性樹脂層，使用平行光曝光機(jī)MAP1200L
(大日本斯庫(kù)林(7夕y—y)公司制)，通過(guò)形成有黑矩陣用圖案的負(fù)
像掩模，在100mJ/ci^下進(jìn)行曝光。接著，使用噴霧式顯影裝置DVW911 (大日本斯庫(kù)林公司制)，通過(guò)KOH類顯影液(商品名CDK-1、富士膠 片電子材料(FUJIFILM Electronic Materials)公司制)在25。C下噴霧顯影 60秒，除去未曝光部，使其干燥，形成黑矩陣圖案。 -濾色器用噴墨墨液的配制-<藍(lán)色噴墨墨液的配制> (1)顏料分散液的配制
將下述組成中的各顏料、顏料分散液、以及有機(jī)溶劑以下述比例進(jìn) 行混合，加入直徑為0.3mm的氧化鋯微珠500份，使用涂料攪拌器(淺田 鐵鋼公司制)分散4小時(shí)，分別配制PB15:6 (C.I.色素藍(lán)15:6)顏料分散 液和PV23 (C丄色素紫23)顏料分散液。
顏料(PB15:6或PV23)… 10份
顏料分散劑(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(二乙二醇單丁基醚乙酸酯(BCA;溶劑)中固體成分30質(zhì)量％)
，顏料分散輔助劑(N-苯基馬來(lái)酰胺/甲基丙烯酸芐酯共聚物)…10
份
(溶劑BCA中固體成分30質(zhì)量％)
BCA (二乙二醇單丁基醚乙酸酯)…70份
(2) 粘合劑組合物的配制
在樣品瓶中裝入Teflon (特氟隆，注冊(cè)商標(biāo))被覆的轉(zhuǎn)子，設(shè)置在磁 力攪拌器上。在該樣品瓶中，根據(jù)下述比例加入下述粘合劑性環(huán)氧化合物、 多官能環(huán)氧樹脂等，在室溫下充分?jǐn)嚢枞芙猓又?，為了粘度調(diào)節(jié)加入稀 釋溶劑，進(jìn)行攪拌溶解后，將其過(guò)濾，得到粘合劑組合物。
的記載進(jìn)行配制。
(3) 噴墨墨液的配制
將上述配制的PB15:6顏料分散液46.8份、PV23顏料分散液3.2份、 粘合劑組合物30份和BCA15份充分地進(jìn)行混合后，添加正十二烷，使相 對(duì)于墨液總量成為5質(zhì)量％，配制濾色器用藍(lán)色噴墨墨液(B墨液l)。
<紅色噴墨墨液的配制> (1)顏料分散液的配制
將下述組成中的各顏料、顏料分散液、以及有機(jī)溶劑以下述比例進(jìn) 行混合，加入直徑為0.3mm的氧化鋯微珠500份，使用涂料攪拌器(淺田 鐵鋼公司制)分散4小時(shí)，分別配制PR254 (C.I.色素紅254)顏料分散液 和PR177 (C.I.色素紅177)顏料分散液。
*顏料(PR254或PR177)… 10份
顏料分散劑(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(溶劑BCA中固體成分30質(zhì)量％) 顏料分散輔助劑(N-苯基馬來(lái)酰胺/甲基丙烯酸節(jié)酯共聚物)…10
份
(溶劑BCA中固體成分30質(zhì)量％) BCA (二乙二醇單丁基醚乙酸酯)…70份 (2)噴墨墨液的配制 將上述配制的PR254顏料分散液68.85份、PR177顏料分散液6.15份、 上述粘合劑組合物20份和BCA5份充分地進(jìn)行混合。之后，添加正十二 烷5份，配制濾色器用紅色噴墨墨液(R墨液l)。 <綠色噴墨墨液的配制>
(1) 顏料分散液的配制
將下述組成中的顏料、顏料分散液、以及有機(jī)溶劑以下述比例進(jìn)行 混合，加入直徑為0.3mm的氧化鋯微珠500份，使用涂料攪拌器(淺田鐵 鋼公司制)分散4小時(shí)，分別配制PG36 (C丄色素綠36)顏料分散液、PG7 (C丄色素綠7)顏料分散液、PY138(C丄色素黃138)顏料分散液和PY150 (C.I.色素黃150)顏料分散液。 [顏料分散液的組成]
顏料(PG36或PG7或PY138或PY150) 10份 '顏料分散劑(Disperbyk1161、 BYK日本公司制)… 10份
(溶劑BCA中固體成分30質(zhì)量％) 顏料分散輔助劑(N-苯基馬來(lái)酰胺/甲基丙烯酸節(jié)酯共聚物)…10
份
(溶劑BCA中固體成分30質(zhì)量％)
BCA (二乙二醇單丁基醚乙酸酯)…70份
(2) 噴墨墨液的配制
將上述配制的PG36顏料分散液19.25份、PG7顏料分散液13.65份、 PY138顏料分散液24.64份、PY150顏料分散液12.46份、上述粘合劑組 合物22份和BCA3份充分地進(jìn)行混合。之后，添加正十二烷5份，配制
22
濾色器用綠色噴墨墨液(G墨液l)。
-通過(guò)噴墨墨液的RGB像素的形成-
下面，依次使用由上述得到的R墨液1、 G墨液l、 B墨液l，如下所 述形成RGB3色的圖像圖案。
首先，使用B墨液1，在形成有黑矩陣圖案的臨時(shí)支承體的、由黑矩 陣圖案劃分且形成為凹形狀的凹狀區(qū)域中，在應(yīng)該形成藍(lán)色像素的區(qū)域上 將得到期望濃度的量的B墨液1通過(guò)Dimatix公司制造的墨液噴頭 (SE-128、噴頭溫度28°C)噴出達(dá)到期望的濃度，使其均勻附著形成B 著色區(qū)域。與此同樣，在應(yīng)該形成綠色像素和紅色像素的凹狀區(qū)域上，分 別使上述的R墨液1、 G墨液l均勻地附著，形成G著色區(qū)域、R著色區(qū) 域。其后，對(duì)于各顏色的著色區(qū)域，在1333Pa (IOTorr)下進(jìn)行120秒減 壓干燥。
在本實(shí)施例中，控制搬運(yùn)速度、驅(qū)動(dòng)頻率，分別使R顏料、G顏料、 B顏料的涂設(shè)量為L(zhǎng)lg/m2、 1.8g/m2、 0.75g/m2。
吐出后，各顏色的著色區(qū)域吐出形成的臨時(shí)支承體被搬運(yùn)到曝光部， 在經(jīng)過(guò)墨液滴著落后的約0.5秒后，通過(guò)紫外發(fā)光二極管NCCU033 (日亞 化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制，UV-LED)進(jìn)行曝光，使其固化，形成RGB3色的 像素圖案(R像素、G像素、B像素)。
接著，將在熱增塑性樹脂層上形成的RGB 3色的圖像圖案和黑矩陣用 作為覆蓋膜的40"m的聚丙烯膜覆蓋，作為轉(zhuǎn)印膜巻繞成為輥狀，制作在 基底膜上依次層疊有熱增塑性樹脂層、RGB 3色的圖像圖案層和黑矩陣圖 案層、覆蓋膜的轉(zhuǎn)印膜。
對(duì)于由上述得到的濾色器，使用上述的轉(zhuǎn)印膜、圖l所示的濾色器缺 陷修正裝置來(lái)檢査濾色器，另外，按以下順序?qū)υ跒V色器上檢測(cè)到的最大 長(zhǎng)度為500um的缺陷進(jìn)行修正。
-缺陷部分的除去-
作為激光光源使用Q開關(guān)YAG激光(波長(zhǎng)266nm、脈沖時(shí)間10nsec)， 隔著10ym的聚酰亞胺膜，將短脈沖激光照射到缺陷部分，通過(guò)激光燒蝕 除去缺陷部分上的聚酰亞胺膜和缺陷部分，形成著色圖像脫落區(qū)域。
此時(shí)，激光通過(guò)光束成形機(jī)構(gòu)，形成為與缺陷部分幾乎相同的形狀。
-圖案的轉(zhuǎn)印-
由上述得到的轉(zhuǎn)印膜，在除去覆蓋膜后，以在該黑矩陣等形成面?zhèn)冗M(jìn) 行對(duì)置的方式，使其接近上述著色圖像脫落區(qū)域，將加熱塊(溫度12(TC)
在9.8X 104Pa下從黑矩陣等非形成面?zhèn)劝磯旱睫D(zhuǎn)印膜上0.5秒鐘，將RGB 3色的像素圖案(R像素、G像素、B像素)和黑矩陣圖案一起進(jìn)行熱轉(zhuǎn) 印。
此時(shí)，調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)印膜的位置，使連接被轉(zhuǎn)印后的RGB 3色的像素圖案(R 像素、G像素、B像素)和黑矩陣圖案、與基板上形成的R像素、G像素、 B像素和黑矩陣圖案的圖案形成。
之后，在20(TC的潔凈烘箱內(nèi)加熱30分鐘，再在23(TC下加熱30分 鐘，進(jìn)行后燒成，在基板上與黑矩陣一起形成干燥固化后的平均膜厚為1.8 P m的RGB 3色的圖像圖案，對(duì)濾色器中的缺陷進(jìn)行修正。
接著，將形成有RGB像素圖案的基板清洗干燥后，在基板設(shè)定溫度 200°C、 0.8Pa (6X10-3Torr)的真空下，得到ITO (氧化銦錫)電極成膜 為120nm的厚度的濾色器。
在上述實(shí)施例中，以使用形成有RGB3色的像素圖案和黑矩陣圖案的 轉(zhuǎn)印膜的情況為中心進(jìn)行說(shuō)明，但根據(jù)作為修正對(duì)象的濾色器的缺陷部分 的形狀和位置、尺寸等，來(lái)適宜選擇例如形成有RG 2色的像素圖案的轉(zhuǎn) 印膜、形成有GB 2色的像素圖案和黑矩陣圖案的轉(zhuǎn)印膜、或者形成有R 色圖像圖案和透明無(wú)色彩的像素圖案的轉(zhuǎn)印膜等的情況下，也可以得到同 樣的效果。
另外，在上述實(shí)施例中，以在臨時(shí)支承體上用光刻法形成黑矩陣后用 噴墨法形成像素圖案而進(jìn)行的方式為中心，對(duì)轉(zhuǎn)印膜的制作進(jìn)行說(shuō)明，但 轉(zhuǎn)印膜可以通過(guò)噴墨法形成黑矩陣和像素圖案全部來(lái)制作，另外，不僅是 黑矩陣，通過(guò)進(jìn)行涂布、曝光、顯影的光刻法也可以形成圖像圖案來(lái)進(jìn)行 制作，在這些情況下均可以得到與上述實(shí)施例同樣的效果。 (實(shí)施例2)
在上述實(shí)施例1的黑矩陣圖案上進(jìn)一步用40 y m的聚丙烯膜作為覆蓋 膜來(lái)進(jìn)行被覆，作為黑矩陣轉(zhuǎn)印膜巻繞成輥狀，制作在基底膜上依次層疊 有熱增塑性樹脂層、黑矩陣圖案層、覆蓋膜的黑矩陣轉(zhuǎn)印膜。
對(duì)于由上述實(shí)施例1得到的濾色器，使用上述的黑矩陣轉(zhuǎn)印膜、圖1 所示的濾色器缺陷修正裝置來(lái)檢査濾色器，另外，按以下順序?qū)υ跒V色器
上檢測(cè)到的最大長(zhǎng)度為500"m的缺陷進(jìn)行修正。
-缺陷部分的除去-
與上述實(shí)施例1同樣，通過(guò)激光燒蝕除去上述濾色器上的缺陷部分上 的聚酰亞胺膜和缺陷部分，形成著色圖像脫落區(qū)域。 -黑矩陣圖案的轉(zhuǎn)印-
使由上述得到的具有黑矩陣圖案的轉(zhuǎn)印膜，在除去覆蓋膜后，接近上
述著色圖像脫落區(qū)域，將加熱塊(溫度12(TC)在壓力9.8X10^a下按壓 到轉(zhuǎn)印膜上0.5秒鐘，將黑矩陣圖案進(jìn)行熱轉(zhuǎn)印。
此時(shí)，調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)印膜的位置，形成被轉(zhuǎn)印后的黑矩陣圖案與基板上形成 的黑矩陣圖案連接的圖案。
<著色層的形成>
在通過(guò)熱轉(zhuǎn)印修正黑矩陣圖案的著色圖像脫落區(qū)域的應(yīng)該形成藍(lán)色 像素的凹部上，將由上述實(shí)施例1得到的濾色器用藍(lán)色噴墨墨液通過(guò) Dimatix公司制造的墨液噴頭(SE-128、噴頭溫度28'C)噴出達(dá)到期望的 濃度，使其正確且均勻地附著。
與此同樣，在應(yīng)該形成綠色像素和紅色像素的凹部上，分別使由上述 實(shí)施例1得到的濾色器用綠色噴墨墨液以及由上述實(shí)施例1得到的濾色器 用紅^^賁墨墨液正確且均勻地附著。
其后，在1333Pa (10Torr)下進(jìn)行120秒減壓干燥，另外，在80。C的 熱板上進(jìn)行預(yù)焙10分鐘。其后，在潔凈烘箱內(nèi)200'C下加熱30分鐘進(jìn)行 預(yù)焙燒，再在23(TC下加熱30分鐘進(jìn)行主焙燒，在基板上形成干燥固化后 的平均膜厚為1.8um的RGB3色的像素圖案，對(duì)濾色器中的缺陷進(jìn)行修 正。
接著，將形成有RGB像素圖案的基板進(jìn)行清洗干燥后，在基板設(shè)定 溫度200。C、 0.8Pa (6Xl(T3Torr)的真空下，得到ITO (氧化銦錫)電極 成膜為120nm的厚度的濾色器。
如上，根據(jù)本發(fā)明的濾色器的修正方法，可以修正最大長(zhǎng)度為100 u m以上(在實(shí)施例中500 um)的缺陷，并且缺陷修正需要的時(shí)間，與以
往通過(guò)滴加抗蝕劑的方法或以往的單色膜轉(zhuǎn)印方法相比時(shí)間短。另外，將 缺陷修正后的濾色器進(jìn)行目測(cè)觀察，結(jié)果通過(guò)以往通過(guò)滴加抗蝕劑的方法 或以往的單色膜轉(zhuǎn)印方法在經(jīng)缺陷修正的濾色器中修正部分可以容易地 觀察，但通過(guò)本發(fā)明的缺陷修正方法在經(jīng)缺陷修正的濾色器中，不能觀察 到修正部分。
根據(jù)本發(fā)明，可以在短時(shí)間內(nèi)簡(jiǎn)易地修正涉及多個(gè)顏色的濾色器的缺 陷部分，可以提供難以識(shí)別修正部分的濾色器的缺陷修正方法。 艮P，根據(jù)本發(fā)明，提供下述<1> <8>。
<1>提供一種濾色器的缺陷修正方法，其具有圖案轉(zhuǎn)印工序，所述圖 案轉(zhuǎn)印工序中，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜，
將所述黑色圖案或者所述彩色圖案的至少一部分轉(zhuǎn)印到基板上的著色圖 像脫落區(qū)域。
<2>提供上述<1〉所述的濾色器的缺陷修正方法，其還具有通過(guò)激光照 射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，所述著色圖像脫落區(qū) 域是通過(guò)激光照射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去而形成的區(qū)域。
<3>提供上述<1>或<2>所述的濾色器的缺陷修正方法，其還包括著色
層形成工序，所述著色層形成工序中，在被轉(zhuǎn)印后的所述黑色圖案劃分的 所述著色圖像脫落區(qū)域的至少一部分上，形成規(guī)定的著色層。
<4>提供上述<3>所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述著色層形 成工序是使用噴墨法來(lái)形成所述著色層的工序。
<5>提供上述<1>或<2>所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述轉(zhuǎn)
印膜在臨時(shí)支承體上具有黑色圖案和被所述黑色圖案隔離的至少1種顏色 的圖像圖案。
<6>提供上述<5>所述的濾色器的缺陷修正方法，其中，所述圖像圖案 由選自紅色、綠色、藍(lán)色以及透明無(wú)色彩中的2種顏色以上的圖案構(gòu)成。
<7>提供上述<1> <6>中任一項(xiàng)所述的濾色器的缺陷修正方法，其 中，轉(zhuǎn)印膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一 部分相同的圖案。
<8>提供上述<1> <7>中任一項(xiàng)所述的濾色器的缺陷修正方法，其 中，所述著色圖像脫落區(qū)域的最大長(zhǎng)度為100ym以上。
上述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)，毫無(wú)疑問(wèn)是本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù) 試圖應(yīng)用的方式，可以自由變更為各種的應(yīng)用方式。因此，本發(fā)明的范圍 應(yīng)該根據(jù)權(quán)利要求的范圍來(lái)確定。
權(quán)利要求
1. 一種濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，具有圖案轉(zhuǎn)印工序，所述圖案轉(zhuǎn)印工序中，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜，將所述黑色圖案或者所述彩色圖案的至少一部分轉(zhuǎn)印到基板上的著色圖像脫落區(qū)域。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，還具 有通過(guò)激光照射將基板上的著色圖像的缺陷部分除去的除去工序，所述著色圖像脫落區(qū)域是通過(guò)激光照射將基板上的著色圖像的缺陷 部分除去而形成的區(qū)域。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于， 還包括著色層形成工序，所述著色層形成工序中，在被轉(zhuǎn)印后的所述黑色 圖案劃分的所述著色圖像脫落區(qū)域的至少一部分上，形成規(guī)定的著色層。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述著色層形成工序是使用噴墨法形成所述著色層的工序。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述轉(zhuǎn)印膜在臨時(shí)支承體上具有黑色圖案和被所述黑色圖案隔離的至少1 種顏色的圖像圖案。
6 . 根據(jù)權(quán)利要求5所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述 圖像圖案由選自紅色、綠色、藍(lán)色以及透明無(wú)色彩中的2種顏色以上的圖 案構(gòu)成。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于， 轉(zhuǎn)印膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部 分相同的圖案。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，轉(zhuǎn)印 膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部分相 同的圖案。
9. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，轉(zhuǎn)印 膜的所述彩色圖案具有與所述基板上的著色圖像的圖案的至少一部分相 同的圖案。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，所述著色圖像脫落區(qū)域的最大長(zhǎng)度為100um以上。
11. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，所 述著色圖像脫落區(qū)域的最大長(zhǎng)度為100um以上。
12. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾色器的缺陷修正方法，其特征在于，所 述著色圖像脫落區(qū)域的最大長(zhǎng)度為100"m以上。
全文摘要
可以在短時(shí)間內(nèi)簡(jiǎn)易地進(jìn)行涉及多個(gè)顏色的濾色器的缺陷部分的修正，可以進(jìn)行難以識(shí)別修正部分的修正。在濾色器的缺陷修正方法中具有圖案轉(zhuǎn)印工序，即在基板上的著色圖像脫落區(qū)域上，使用具有黑色圖案或者2種顏色以上的彩色圖案的轉(zhuǎn)印膜，對(duì)所述彩色圖案的至少一部分進(jìn)行轉(zhuǎn)印。
文檔編號(hào)G02B5/20GK101382673SQ20081014633
公開日2009年3月11日 申請(qǐng)日期2008年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月3日
發(fā)明者酒井榮一 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社