專利名稱：：感光性組合物、顯示器構(gòu)件及其制造方法感光性組合物、顯示器構(gòu)件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及平板顯示器的各種構(gòu)件、熒光發(fā)光裝置(冷陰極管)構(gòu)件等使用的感光性組合物。并且，本發(fā)明還涉及使用了該感光性組合物的顯示器構(gòu)件的制造方法和顯示器構(gòu)件。
背景技術(shù)：
：作為代替布勞恩管(陰極射線管)的圖像顯示裝置，提出了使用電子釋放元件的圖像顯示裝置，其是自發(fā)光型放電型顯示器。與液晶顯示器、等離子體顯示器相比，該圖像顯示裝置的明暗對比度大，在低消耗功率、動畫性能方面優(yōu)異并且能夠?qū)?yīng)高精細(xì)化的要求，所以，作為性能均衡性優(yōu)異的顯示器，對其的需求逐漸增高。作為電子釋放元件，已知大致分為熱陰極電子釋放元件和冷陰極電子釋放元件這兩類。冷陰極電子釋放型包括電場釋放型(場發(fā)射型)、金屬/絕緣層/金屬型(MIM型)、表面?zhèn)鲗?dǎo)型(SED)等。使用了冷陰極電子釋放元件的圖像顯示裝置將從電子釋放元件釋放出的電子束照射到焚光體，使之產(chǎn)生熒光，由此顯示圖像。另外，除了圖像顯示裝置之外，還提出了以相同的原理產(chǎn)生熒光用作光源的熒光發(fā)光裝置的用途，并進(jìn)行了開發(fā)。這樣的電子釋放型平面圖像顯示裝置和熒光發(fā)光裝置中，將碳納米管(CNT)用于電子釋放元件的CNT-場發(fā)射顯示器(FED)由于電子釋放特性和容易大面積化的原因而得到了積極地開發(fā)。這樣的電子釋放型平面圖像顯示裝置和熒光發(fā)光裝置具有前面玻璃基板和背面玻璃基板，這些基板具有各自的功能。背面玻璃基板設(shè)置有矩陣狀的用于將2個以上的電子釋放元件與這些元件連接的配線。這些配線^皮設(shè)置在X方向和Y方向，在電子釋放元件的電極的部分發(fā)生交叉，為了在該交叉部對兩者絕緣，圖案狀的絕緣膜是必要的。關(guān)于該絕緣膜的制作，公開了以真空淀積法、印刷法、濺射法等形成氧化硅膜的方法；用絲網(wǎng)印刷全面涂布感光性組合物后，用紫外線曝光形成圖案的方法等(專利文獻(xiàn)l)。另一方面，作為形成顯示器用絕緣層等構(gòu)件的感光性組合物，提出了含有感光性單體、粘合劑聚合物和光聚合引發(fā)劑的感光性有機成分和無機成分組成的感光性組合物(專利文獻(xiàn)2)、堿可溶性聚有機硅氧烷樹脂組合物、產(chǎn)酸劑的感光性成分和無機成分組成的感光性組合物等。這些之中，含有感光性單體和光聚合引發(fā)劑的感光性有機成分和無機成分組成的感光性組合物的材料選擇的變化多，容易控制其性能，所以被優(yōu)選使用。為了由這樣的感光性組合物得到顯示器用和熒光發(fā)光裝置的絕緣層等構(gòu)件，將感光性組合物涂布在基板上，通過照相平板印刷術(shù)形成圖案，其后進(jìn)行燒成。作為可以在較低溫度進(jìn)行燒成的玻璃，已知這樣的玻璃含有大量的鉛氧化物、鉍氧化物、堿金屬氧化物等具有降低熔點的效果的物質(zhì)(專利文獻(xiàn)3、4)。專利文獻(xiàn)1日本特開2002-245928號公報(第29-30段)專利文獻(xiàn)2日本特開平11-185601號公報(權(quán)利要求4)專利文獻(xiàn)3日本特開平10-182185號公報(權(quán)利要求1、8、9)專利文獻(xiàn)4日本特開平11-323147號公報(權(quán)利要求1、第30段)
發(fā)明內(nèi)容為了防止上述的燒成工序中基板受熱變形，要求感光性組合物能夠在較低溫度進(jìn)行燒成。另外，特別是制作場發(fā)射顯示器和熒光發(fā)光管的絕緣層等的情況下，由于其圖案小至幾微米到幾十微米，所以重要的是能夠進(jìn)行精細(xì)圖案加工。另外，雖然在通過上述燒成工序得到的絕緣層、隔壁上使用鉻等金屬形成了柵極電極等，但是，多數(shù)情況下，在該工序中必須經(jīng)過蝕刻金屬的工序。該蝕刻工序中，要求感光性組合物具有耐蝕刻性，以耐受強酸性的蝕刻液。本發(fā)明涉及平板顯示器的各種構(gòu)件、熒光發(fā)光裝置(冷陰極管)構(gòu)件等使用的感光性組合物，其目的在于提供一種感光性組合物，其能夠在較低溫度進(jìn)行燒成，能夠利用照相平板印刷術(shù)進(jìn)行精細(xì)圖案加工，并且對金屬蝕刻工序使用的蝕刻液具有耐性。本發(fā)明涉及一種感光性組合物，其含有50~5重量％感光性有機成分和50~95重量％玻璃粉末，以氧化物換算表示，該玻璃粉末含有70~85重量Q/。Bi203、3~15ff%Si02、5~20重量％8203、0~3重量％Zr02和1~10重量Q/。ZnO。另外，本發(fā)明包括一種顯示器構(gòu)件的制造方法，所述制造方法依次包括將上述感光性組合物涂布到基板上的工序、曝光工序、顯影工序和燒成工序。另外，本發(fā)明還包括一種顯示器構(gòu)件，其是在基板上形成有含有玻璃的絕緣層的顯示器構(gòu)件，其中，以氧化物換算表示，該玻璃的組成為70~85重量％Bi203、3~15重量％Si02、5~20重量％B203、0~3重量％Zr02和1~10重量°/。ZnO。本發(fā)明的感光性組合物的組合物的保存穩(wěn)定性高，且能夠形成良好的精細(xì)圖案。另外，使用本發(fā)明的感光性組合物得到的構(gòu)件對強酸的耐性優(yōu)異。并且能夠在較低溫度進(jìn)行燒成，所以，本發(fā)明的感光性組合物能夠適用于場發(fā)射顯示器的絕緣層、熒光發(fā)光裝置的絕緣層。具體實施方式本發(fā)明的感光性組合物含有50~5重量％感光性有才幾成分和50~95重量％玻璃粉末。感光性組合物中的玻璃粉末的含量更優(yōu)選為70~95重量％,進(jìn)一步優(yōu)選為80~90重量％。通過將玻璃粉末的含量設(shè)定為50重量％以上，能夠優(yōu)選得到燒成時的圖案形狀，另一方面，通過將剝離粉末的含量設(shè)定為95重量％以下，可得到良好的感光特性。玻璃粉末的含量大于95重量°/。的情況下，感光性組合物的制造本身就變得困難。本發(fā)明使用的玻璃粉末的平均粒徑優(yōu)選為0.1~5|Lim,更優(yōu)選為0.1~2|iim,進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~lpm。通過使用平均粒徑0.1|um以上的玻璃粉末，提高了感光性組合物的分散穩(wěn)定性。通過使用平均粒徑5|iim以下的玻璃粉末，利用精細(xì)的照相平板印刷術(shù)對薄膜的加工變得良好。度數(shù)達(dá)到50%時的粒徑。顆粒是納米尺寸以下而發(fā)生凝聚的情況下，優(yōu)選使用BET法換算值。使用BET法換算值的情況下，根據(jù)BET法求出平均粒徑，即使其吸附氮氣等惰性氣體，測定比表面積后，將顆粒假設(shè)為球，根據(jù)比表面積求出粒徑，以算術(shù)平均求出平均粒徑。所用的玻璃粉末的平均折射率優(yōu)選為1.8以上。更優(yōu)選小于2.7。進(jìn)一步優(yōu)選為2.0~2.2。玻璃粉末的平均折射率高于上述范圍時，與感光性有機成分的折射率差將變大。并且，難以滿足本發(fā)明的玻璃組成的范圍，而且難于將玻璃粉末的平均折射率控制在小于1.8。使用橢圓計對玻璃粉末的折射率進(jìn)行測定。對于折射率，經(jīng)對效果的確認(rèn)，用曝光波長進(jìn)行測定是正確的。特別優(yōu)選用350650nm的波長范圍的光進(jìn)行測定。更優(yōu)選用i射線(365nm)或者g射線(436nm)的折射率測定。另外，上述玻璃粉末的含量的范圍內(nèi)，玻璃的比重優(yōu)選為4~7,更優(yōu)選為4.5~6.5，進(jìn)一步優(yōu)選為5.5~6.3。在該范圍內(nèi)時，能夠減小燒成時的收縮，能夠得到理想的燒成后的圖案形狀。使用阿基米德法對玻璃粉末的比重進(jìn)行測定。玻璃粉末的熱膨脹系數(shù)優(yōu)選在50~350°C的范圍的熱膨脹系數(shù)a50—350的值為70~100xlO力K，更優(yōu)選為72~90xl(T7/K。在該范圍內(nèi)時，能夠整合基板玻璃的熱膨脹系數(shù)，并降低燒成時玻璃基板承受的應(yīng)力，因而優(yōu)選。本發(fā)明的感光性組合物的玻璃粉末能夠在較低溫度進(jìn)行燒成，所以優(yōu)選低軟化點玻璃。作為低軟化點玻璃，可以舉出含有Si02、A1203、B203、ZnO、PbO、Bi203、Zr02、石威土類金屬氧化物、堿金屬氧化物等作為成分的玻璃，例如硼硅酸玻璃、^M"生硅酸玻璃、鉛系玻璃、敘、系玻璃等。這些之中，鉛系玻璃有時存在可能引起污染環(huán)境的問題，所以優(yōu)選非氧化鉛系或低氧化鉛系。另外，燒成本發(fā)明的感光性組合物得到的玻璃膜優(yōu)選在蝕刻工序也難于溶解的玻璃，即耐酸蝕刻性高的玻璃。鉍系玻璃耐酸蝕刻性高，所以是特別優(yōu)選的。另外，鉍系玻璃能夠微?；?，適合精細(xì)圖案加工，所以是優(yōu)選的。顯然，低溫?zé)蓪沓杀镜慕档秃蜕a(chǎn)率的提高，燒成溫度為500。C以下時，還產(chǎn)生了能夠利用低成本的玻璃基板的優(yōu)點。本發(fā)明中的低軟化點是指玻璃的熱軟化點溫度為350°C~60(TC，更優(yōu)選為400°C~580°C,進(jìn)一步優(yōu)選為450°C~500°C。玻璃存在無定形玻璃和結(jié)晶化玻璃，本發(fā)明中，無定形玻璃和結(jié)晶化玻璃均可使用。通常，無定形玻璃具有被加熱到結(jié)晶化溫度時發(fā)生結(jié)晶化的性質(zhì)。結(jié)晶化的玻璃中形成的玻璃的結(jié)晶在幾十到90體積%前后，所以能夠改善強度、熱膨脹率。利用該性質(zhì)，能夠抑制燒成時中的收縮。另外，也可以使用已經(jīng)發(fā)生了結(jié)晶化的玻璃。對于結(jié)晶化玻璃來說，優(yōu)選利用結(jié)晶化溫度為55(TC以下的玻璃。另外，優(yōu)選所使用的玻璃是無堿玻璃。含有堿金屬、堿土類金屬例如Na(鈉)、Li(鋰)、K(鉀)、Ba(鋇)、Ca(4丐)等的情況下，容易與燒成時、燒成后的玻璃基板以及電極中的玻璃成分發(fā)生離子交換，出現(xiàn)電特性的降低或熱膨脹系數(shù)的不匹配，成為了產(chǎn)生不良品的原因，所以不是優(yōu)選的。如上所述，本發(fā)明中使用低軟化點玻璃的情況下，優(yōu)選Zn-Bi系和Bi-Zr系玻璃，^旦并不限于此。作為本發(fā)明使用的玻璃粉末的成分，優(yōu)選含有70~85重量％的范圍的Bi203，更優(yōu)選Bi203的含量為73~85重量％。Bi203少于70重量%時，耐酸蝕刻性差，蝕刻工序中出現(xiàn)溶解。Bi203多于85重量％時，玻璃的耐熱溫度變低，在向玻璃基板上的烘干方面是不優(yōu)選的。Si02優(yōu)選為3~15重量％。少于3重量％時，難以玻璃化。另夕卜，Si02多于15重量％時，熱軟化點變高，難以在玻璃基板上烘干。8203優(yōu)選為5~20重量％。更優(yōu)選為7~15重量％。通過含有B203，能夠調(diào)整電絕緣性、強度、熱膨脹系數(shù)、致密性等電、機械和熱的特性。8203大于20重量％時，玻璃對酸、水的穩(wěn)定性降低。Zr02優(yōu)選含量在0~3重量％的范圍，更優(yōu)選為0.01~2.5重量％、進(jìn)一步優(yōu)選為0.01~1重量％。Zr02能提高玻璃材料的耐酸性，但是其含量大于3重量％時，玻璃變得不均勻，利用酸進(jìn)行蝕刻時，產(chǎn)生了殘渣。ZnO優(yōu)選為1~10重量％,進(jìn)一步優(yōu)選為2~5重量％。其含量少于1重量％時，提高致密性的效果小，其含量大于20重量％時，烘干溫度變低，難以控制，并且絕緣電阻也變低，所以不是優(yōu)選的。此外，在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，還可以含有八1203等其他成分。但是，如上所述，優(yōu)選不含鉛、堿金屬和堿土類金屬。這些其他成分的含量優(yōu)選為玻璃粉末的10重量％以下。作為玻璃粉末的原料，例如Si02可以使用鉀長石、鈉長石、高嶺土、硅砂等，Al203可以使用氧化鋁、氫氧化鋁、鉀長石、鈉長石、高嶺土等，B203可以使用硼酸、硼砂等，ZnO可以使用鋅白等。將這些原料、Bi203、Zr02等混合成預(yù)定的配合組成，并在900~1200。C熔融后進(jìn)行急冷，形成玻璃料，然后進(jìn)行粉碎，形成微細(xì)的粉末。作為玻璃的粉碎方法，可以采用球磨機、珠磨機、吸引機、砂磨機等，其中，優(yōu)選使用球磨機、珠磨機。另外，本發(fā)明的感光性組合物中除了上述玻璃粉末之外，還可以加入填料。作為具體的填料，可以舉出Si02、A1203、Zr02、莫來石、尖晶石、氧化鎂、ZnO、酸化鈦等的陶瓷粉末。這些可以僅使用一種，也可以兩種以上組合使用。填料優(yōu)選燒結(jié)時不發(fā)生熔融的物質(zhì)。填料的含量優(yōu)選不足感光性組合物中的無機成分的20體積％。含量在其以上時，燒結(jié)時出現(xiàn)龜裂，并且有時燒結(jié)不足。填料的平均粒徑優(yōu)選為0.01拜~0.5拜，更優(yōu)選為0.01~0.05|iim。通過添力口0.01拜以上的填料，能夠提高燒成后的構(gòu)件的強度，通過使用0.5|Lim以下的填料，能夠得到良好的感光特性。填料的平均粒徑如下計算使用氮氣，利用BET法測定比表面積，然后將顆粒假定為球，根據(jù)比表面積求出粒徑，以算術(shù)平均值求出平均粒徑。本發(fā)明中，感光性有機成分可以是光的作用下發(fā)生固化的負(fù)型，也可以是在光的作用下發(fā)生可溶化的正型。本發(fā)明中，感光性有機成分優(yōu)選使用a)含有烯鍵式不飽和基的化合物和光聚合引發(fā)劑、b)選自縮水甘油基醚化合物、脂環(huán)式環(huán)氧化合物和氧雜環(huán)丁烷化合物中的i種以上陽離子聚合性化合物和光陽離子聚合引發(fā)劑、c)選自重氮醌化合物、重氮化合物和疊氮化合物中的1種以上化合物等。對于a)成分中的含有烯鍵式不飽和基的化合物，從變化性豐富等角度出發(fā)，優(yōu)選(甲基)丙烯酸系化合物?？梢耘e出丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸仲丁酯、丙烯酸異丁酯、丙烯酸叔丁酯、丙烯酸正戊酯、丙烯酸烯丙酯、丙烯酸節(jié)酯、丙烯酸丁氧基乙酯、丁氧基三乙二醇丙烯酸酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸2-羥乙酯、乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇單羥基五丙烯酸酯、二(三羥曱基丙烷)四丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯、甲氧基化二丙烯酸環(huán)己酯、新戊二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、三甘油二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丙烯酰胺、丙烯酸氨基乙酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苯氧乙酯、丙烯酸節(jié)酯、丙烯酸l-萘酯、丙烯酸2-萘酯、雙酚A二丙烯酸酯、雙酚A-環(huán)氧乙烷加成物的二丙烯酸酯、上述化合物的分子內(nèi)的丙烯酸酯一部分或者全部換成甲基丙烯酸酯的物質(zhì)、或者苯乙烯、對甲基苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、a-甲基苯乙烯、Y-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、l-乙烯基-2』比咯烷酮、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、丁烯酸、馬來酸、富馬酸、醋酸乙烯酯、各種氨基甲酸酯丙烯酸酯等。本發(fā)明中，這些物質(zhì)可以使用1種或2種以上。含有烯鍵式不飽和基的化合物的含量優(yōu)選為感光性有機成分的50~99重量％，更優(yōu)選為60~90重量％。通過將其含量i殳定在50重量%以上，能夠進(jìn)行精細(xì)的圖案加工，通過將其含量設(shè)定在99重量％以下，能夠保持燒成后的圖案形狀良好。另外，a)成分之中的光聚合引發(fā)劑可以舉出二苯甲酮、鄰苯甲?；綍跛峒柞ァ?，4-二(二曱基胺)二苯甲酮、4,4-二(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4-二氯二苯甲酮、噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2,4-二甲基噢噸酮、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、蒽醌、2-叔丁基蒽醌、2-甲基-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代-l-丙酮、2-節(jié)基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮等。特別優(yōu)選使用對波長400~450nm的可見光具有靈敏度的物質(zhì)。本發(fā)明中，這些物質(zhì)可以使用l種或2種以上。光聚合引發(fā)劑優(yōu)選在感光性有機成分的0.05~50重量％的范圍，更優(yōu)選為1~35重量％。在該范圍內(nèi)時，靈敏度好，并且能夠增大曝光部的殘存率。b)成分包括選自縮水甘油基醚化合物、脂環(huán)式環(huán)氧化合物和氧雜環(huán)丁烷化合物中的1種以上陽離子聚合性化合物和光陽離子聚合引發(fā)劑。作為b)成分之中的縮水甘油基醚化合物的具體例，可以舉出雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、氳化雙盼A二縮水甘油基醚、雙酚六氟丙酮二縮水甘油基醚、四溴雙盼A二縮水甘油基醚、1,3-二(1-(2，3陽環(huán)氧丙氧基)畫l-三氟甲基-2,2,2-三氟乙基)苯、1,4-二(l隱(2,3-環(huán)氧丙氧基)-1-三氟甲基-2,2,2-三氟乙基)環(huán)己基、4，4，-二(2,3-環(huán)氧丙氧基)八氟聯(lián)苯、苯盼酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、曱酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂等或者這些環(huán)氧樹脂的羧酸改性物等。作為b)成分之中的脂環(huán)式環(huán)氧化合物的具體例，可以舉出3，4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、8,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基乙酯、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基-5,5-螺-3,4-環(huán)氧基)環(huán)己烷間二氧六環(huán)、二(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)己二酸、二(3，4-環(huán)氧環(huán)己基曱基)己二酸、二(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)醚、二(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)二乙基硅氧烷等。作為b)成分之中的氧雜環(huán)丁烷化合物的具體例，可以舉出2-乙基-3-羥基曱基氧雜環(huán)丁烷、1，4-二[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)曱基〕苯、硅改性氧雜環(huán)丁烷化合物等氧雜環(huán)丁烷化合物等。選自縮水甘油基醚化合物、脂環(huán)式環(huán)氧化合物和氧雜環(huán)丁烷化合物中的1種以上陽離子聚合性化合物在感光性有機成分中所占的比例優(yōu)選為1~75重量％，更優(yōu)選為5~35重量％。在該范圍內(nèi)時，能夠保持圖案形狀良好。作為b)成分之中的光陽離子聚合引發(fā)劑的具體例，可以舉出六氟磷酸三苯基锍等芳香族锍鹽、六氟磷酸二苯基碘等芳香族碘錙鹽等芳香族碘鏡鹽、芳香族亞捵酰鹽、芳香族氧化锍鹽、茂金屬化合物等。使用光陽離子聚合引發(fā)劑的情況下的添加量優(yōu)選在感光性有機成分的0.01~15重量％的范圍。另外，作為光陽離子聚合促進(jìn)劑，優(yōu)選添加9,10-二曱氧基-2-乙基畫蒽、9,10-二乙氧基蒽、2,4國二乙基瘺噸酮等。c)成分優(yōu)選使用選自重氮化合物、疊氮化合物的1種以上化合物等。作為c)成分之中的重氮醌化合物，是指在氨基的鄰或?qū)ξ痪哂辛u基的芳香族化合物經(jīng)重氮化得到化合物、以苯或萘衍生物的重氮鹽在重氮基鄰或?qū)ξ痪哂辛u基的化合物在堿性水溶液中加熱得到的化合物等。通常如后述的重氮化合物那樣，重氮基沒有離子化而不形成鹽。具體地說，通?？梢耘e出正型PS版、即涂式感光(wipe-on)版、光致抗蝕層等使用的重氮苯醌磺酸及其衍生物、重氮萘醌磺酸及其衍生物等。具體地說，優(yōu)選1，2-萘醌-2-重氮基-4-磺酸及其衍生物和1，2-萘醌-2-重氮基-5-磺酸及其衍生物。這些重氮萘醌化合物優(yōu)選與多羥基苯、連苯三酚丙酮樹脂、對羥基苯乙烯共聚物、苯酚甲醛酚醛清漆樹脂等堿可溶性成分混合或者衍生物化后使用。作為優(yōu)選的衍生物的具體例，可以舉出1,2-萘醌-2畫重氮基磺酸與多羥基苯基、連苯三酚丙酮樹脂、對羥基苯乙烯共聚物、苯酚甲醛酚醛清漆樹脂等的酯。這些重氮醌化合物在感光性有機成分中所占的比例優(yōu)選為1重量%~96重量％,更優(yōu)選為3重量％~80重量％。重氮醌化合物少于1重量％的情況下，曝光時的重氮醌化合物導(dǎo)致的溶劑溶解性的變化變少，所以圖案形成性變差，另一方面，重氮醌化合物多于96重量％的情況下，有時在感光性組合物的分散性等方面出現(xiàn)問題。作為c)成分之中的重氮化合物，其包括重氮單體與縮合劑的縮合產(chǎn)物。此處，作為重氮單體，可以舉出4-重氮二苯基胺、l-重氮-4-N，N-二曱氨基苯、l-重氮-4-N，N-二乙基氨基苯、l-重氮-4-N-乙基-N-羥基乙基氨基苯、l-重氮-4-N-曱基-N-羥基乙基氨基苯、l-重氮-2,5-二乙氧基-4-苯甲?；被?、l-重氮-4-N-芐基氨基苯、l-重氮-4-N,N-二曱氨基苯、l-重氮-4-嗎啉代苯等。另外，作為縮合劑，可以舉出甲醛、乙醛、丙醛、丁醛、異丁醛或苯甲醛等。另外，通過使用氯離子、四氯鋅酸等，能夠得到水溶性重氮樹脂，并且，通過使用四氟化硼、六氟化磷酸、三異丙基萘磺酸、4,4，-聯(lián)苯二磺酸、2,5-二曱基苯磺酸、2-硝基苯磺酸、2-曱氧基-4-羥基-5-苯曱?；交撬岬?，能夠得到有機溶劑可溶性的重氮樹脂。另外，還可以使用重氮化合物與羥基二苯曱酮類的等摩爾反應(yīng)物。但是，使兩者在pH7.5以下接觸，以使兩者反應(yīng)而不生成偶氮化合物。重氮化合物使用與上述舉出的重氮樹脂相同的物質(zhì)。作為羥基二苯甲酮類，使用2,2，,4,4，-四羥基二苯曱酮、2,2，-二羥基-4,4，-二甲氧基二苯甲酮、2,2，-二羥基-4,4，-二甲氧基-5-磺基二苯甲酮的堿性鹽、2-羥基-4-曱氧基二苯甲酮-5-磺酸等。特別是含有磺酸基的物質(zhì)的穩(wěn)定性優(yōu)異。這些重氮化合物在感光性有機成分中所占的比例優(yōu)選5~80重量%,更優(yōu)選為10~50重量％。重氮化合物過少的情況下，有時固化不充分，相反，重氮化合物過多的情況下，有時在組合物的保存穩(wěn)定性方面產(chǎn)生問題。c)成分之中的疊氮化合物是分子中具有疊氮基的化合物，具體可以舉出2,6-二氯-4-硝基疊氮苯、疊氮二苯基胺、3,3，-二甲氧基-4,4，-二疊氮聯(lián)苯、4，-甲氧基-4-疊氮二苯基胺、4,4，-二疊氮二苯胺、4,4，-二疊氮二苯甲烷、4等。這些疊氮化合物可以單獨使用一種，感光波長范圍短的化合物中，例如優(yōu)選使用l-硝基芘這樣的增敏劑，在長波長側(cè)對感光波長范圍分光增敏。這些疊氮化合物在感光性有機成分中所占的比例優(yōu)選為5~70重量％,更優(yōu)選為10~50重量％。疊氮化合物過少的情況下，有時感光性成分的固化變得不充分，相反，疊氮化合物過多的情況下，有時會對組合物的穩(wěn)定性帶來不良影響。作為上述這種感光性有機成分，從材料選擇的變化性多、基于該特點而容易控制性能等方面出發(fā)，優(yōu)選a)成分即含有烯鍵式不飽和基的化合物和光自由基聚合引發(fā)劑。另外，選自a)~c)成分的物質(zhì)中還可以添加籠狀倍半硅氧烷?；\狀倍半硅氧烷可以直接添加到感光性組合物中，也可以預(yù)先與其他化合物反應(yīng)后添加到感光性組合物中。預(yù)先使其與其他化合物反應(yīng)的情況下，從提高相容性的角度出發(fā)，優(yōu)選使其與構(gòu)成感光性有機成分的化合物反應(yīng)。感光性有機成分的折射率通常在1.4~1.7的范圍。感光性有機成分的平均折射率以下述的方法進(jìn)行計算。首先，用V段法測定各成分在所期望的波長中的折射率。接著，對應(yīng)感光性有機成分的重量％，通過加合各自的折射率，求出感光性有機成分的折射率。例如，某感光性有機成分由A(50重量％)和B(50重量％)構(gòu)成，某波長中的成分A的折射率為1.46、成分B的折射率為1.58的情況下，感光性有機成分的平均折射率為(1.46x0.5)+(1.58x0.5)=0.73+0.79=1.52?；蛘?，將感光性有機成分涂布在玻璃上，干燥后，使用橢圓計直接進(jìn)行測定。對于折射率的測定，經(jīng)對效果的確認(rèn)，用對感光性有機成分進(jìn)行曝光時的波長進(jìn)行測定是正確的。曝光通常使用350~650nm波長范圍的光，所以優(yōu)選在該范圍進(jìn)行測定。另外，優(yōu)選用i射線(365nm)或者g射線(436nm)進(jìn)行折射率測定。通常，在含有感光性有機成分和玻璃粉末的感光性組合物中，感光性有機成分的平均折射率和玻璃粉末的平均折射率優(yōu)選盡可能相近。折射率相近時，感光性有機成分與玻璃粉末的界面難于發(fā)生光散射，利用照相平板印刷術(shù)形成圖案時，能夠進(jìn)行精細(xì)的圖案加工。本發(fā)明使用的鉍系玻璃雖然具有燒成溫度低，耐蝕刻性高等優(yōu)點，但是，另一方面，如上所述其折射率大，難以使平均折射率小于1.8。所以，感光性有機成分與玻璃粉末的折射率差為0.1~1.3,這種差非常大。折射率差大時，由于感光性有機成分與玻璃粉末的界面的光散射，到達(dá)感光性組合物的內(nèi)部的光不足，距離曝光面遠(yuǎn)的部分難于發(fā)生固化。但是，感光性有機成分中含有吸收光后發(fā)出波長比吸收的光的波長長的光線的化合物(以下稱作化合物(A))時，即使感光性有機成分與玻璃粉末的折射率差大，也能使距離曝光面遠(yuǎn)的部分也發(fā)生固化。化合物(A)吸收曝光時使用的波長的光，并發(fā)出比吸收的光的波長長的長波長光線，發(fā)出的光線使感光性有機成分固化或者可溶化?；衔?A)吸收紫外線，由此抑制散射，并且，從化合物(A)發(fā)出透過性高于紫外線的長波長的熒光，由此使距離曝光面遠(yuǎn)的部分也固化?；衔?A)的吸收波長范圍優(yōu)選320410nm的波長范圍，更優(yōu)選為350nm380nm、進(jìn)一步優(yōu)選為360nm~375nm?；衔?A)更優(yōu)選最大吸收波長位于上述的范圍內(nèi)。另外，化合物(A)的熒光的發(fā)光波長范圍優(yōu)選400500nm的波長范圍，更優(yōu)選為400nm~450nm,進(jìn)一步優(yōu)選為430nm~445nm?；衔?A)更優(yōu)選最大發(fā)光波長在上述的范圍內(nèi)。在該范圍的情況下，能夠有效吸收曝光時的紫外線，抑制散射，并且通過發(fā)出透過性高于照射的紫外線的高波長范圍的熒光，能夠使直至深部即距離曝光面遠(yuǎn)的部分的感光性有機成分固化或者可溶化。另外，上述化合物(A)的含量范圍中，優(yōu)選化合物(A)的摩爾吸光系數(shù)為20000以上。并且，優(yōu)選摩爾吸光系數(shù)為60000以下。在該范圍中，能有效吸收紫外線，抑制曝光時的紫外線的散射，并且能夠使直至深部的感光性有機成分固化或者可溶化。紫外線的吸收波長和焚光的發(fā)光波長以及摩爾吸光系數(shù)可以利用分光熒光光度計(F-2500,日立制作所(抹)制造)以及紫外可見分光光度計(MultiSpec1500，島津制作所(抹)制造)進(jìn)行測定。作為本發(fā)明使用的化合物(A)，優(yōu)選使用香豆素系熒光增白劑、喝唑系熒光增白劑、均二苯代乙烯系熒光增白劑、咪唑系熒光增白劑、三唑系熒光增白劑等熒光增白劑；咪唑酮系、嚅菁、次曱基系、吡啶系、蒽并噠嗪系、2-羥基喹啉系等熒光增白劑。由于與選自感光性有機成分所含有的a)~c)的化合物、粘合劑聚合物等的相容性好，所以更優(yōu)選使用香豆素系熒光增白劑或嶠唑系熒光增白劑。特別是香豆素系熒光增白劑，其在極性溶劑中的溶解性大，所以是優(yōu)選的?；衔?A)在極性溶劑中的溶解度優(yōu)選為2g/100g溶劑以上，更優(yōu)選為50g/100g溶劑以上。從溶解性等方面考慮，特別優(yōu)選香豆素系衍生物。另外，這些物質(zhì)可以單獨4吏用一種，也可組合4吏用。香豆素系熒光增白劑在分子中具有下式所示的香豆素結(jié)構(gòu)。另外，作為香豆素系熒光增白劑的具體例，可以舉出7-二乙基二氨基-4-曱基香豆素、7-羥基-4-曱基香豆素、7-乙基氨基-4-甲基香豆素、7-二曱氨基-4-甲基香豆素、7-氨基-4-甲基香豆素等。化1<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>哺唑系熒光增白劑在分子中具有下式所示的喁唑環(huán)?；?<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>均二苯代乙烯系熒光增白劑在分子中具有下式所示的均二苯代乙烯結(jié)構(gòu)。化3<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>均二苯代乙烯系熒光增白劑的具體例可以舉出4,4，-二氨基均二苯代乙烯-2,2，-二磺酸的均三溱環(huán)取代體、均二苯代乙烯的三唑、咪唑、哺唑取代體等。咪唑系熒光增白劑在分子中具有下式所示的咪唑結(jié)構(gòu)?；?三唑系熒光增白劑在分子中具有由3個氮原子和2個碳原子構(gòu)成的雜5元環(huán)。作為雜5元環(huán)的具體例，可以舉出下述的環(huán)?；?本發(fā)明中的化合物(A)的含量優(yōu)選為感光性有機成分的0.1~30重量％,特別是對于場發(fā)射構(gòu)件和熒光發(fā)光裝置用途，優(yōu)選為2~20重量％，更優(yōu)選為5~15重量％。在該范圍內(nèi)的情況下，能夠進(jìn)行精細(xì)的圖案加工。本發(fā)明中，感光性有機成分優(yōu)選還含有粘合劑聚合物，并且還可以含有紫外線吸收劑、增敏劑、阻聚劑、增塑劑、分散劑、抗氧化劑等添加劑。作為粘合劑聚合物，可以使用丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酯樹脂、聚酰胺樹脂、聚酰亞胺樹脂、有機硅樹脂、三聚氰胺樹脂、酚醛樹脂、纖維素衍生物、聚乙烯醇等各種聚合物，優(yōu)選使用聚甲基丙烯酸曱酯、聚乙烯醇縮丁醛、聚乙烯醇、乙基纖維素、(甲基)丙烯酸酯共聚物等。另外，從無機粉末的分散性、顯影性以及感光的圖案形成性的角度出發(fā)，粘合劑聚合物優(yōu)選具有羧基、羥基、烯鍵式不飽和雙鍵等反應(yīng)性官能團。另外，優(yōu)選粘合劑聚合物的熱分解溫度為50(TC以下，更優(yōu)選為450。C以下，并且為150。C以上、更優(yōu)選為400。C以上。4吏用熱分解溫度為150。C以上的粘合劑聚合物時，保持了感光性組合物的熱穩(wěn)定性，從涂布組合物的工序直到圖案加工的各工序中，都不會損害感光性，能夠進(jìn)行良好的圖案加工。另外，使用熱分解溫度為500。C以下的粘合劑聚合物時，能夠防止燒成工序的裂紋、剝離、翹曲或變形。調(diào)整粘厶紹一、:g#AA士、、土"sr;S;+;頭拔4L彩&A'特別是通過以在低溫發(fā)生熱分解的單體為共聚成分，能夠降低共聚物的熱分解溫度。作為這種在低溫發(fā)生熱分解的成分，可以舉出例如曱基丙烯酸曱酯、甲基丙烯酸異丁酯、a-曱基苯乙烯等。熱分解溫度是下述的溫度用TG測定裝置(TGA-50，島津制作所(抹)制造)，裝載約20mg的試樣，在流量20ml/分鐘的空氣氣氛，以200.6。C/分鐘的升溫速度升溫到70(TC，根據(jù)其結(jié)果，對溫度(縱軸)與重量變化(橫軸)的關(guān)系作圖，打印該圖語，畫出分解前(平行于橫軸的部分)的部分的切線與分解中的部分的切線，以其交點的溫度為熱分解溫度。另外，粘合劑聚合物的Tg(玻璃化轉(zhuǎn)變溫度)優(yōu)選為-60~IO(TC。更優(yōu)選為40~95°。，進(jìn)一步優(yōu)選為60~90°C。通過將Tg控制在30。C以上，能夠降低漿料的粘合性。通過將Tg控制在IO(TC以下，能夠保持漿料對玻璃基板的密合性。另外，Tg大于IO(TC時，對感光性漿料組合物的膜進(jìn)行曝光和顯影后的圖案上出現(xiàn)裂紋的可能性增大。粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度可通過共聚的單體的種類和構(gòu)成聚合物的單體的含有比來控制。這種情況下，粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度可通過下述的?？怂狗匠淌?，根據(jù)構(gòu)成粘合劑聚合物的各單體均聚物種類的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度計算。?？怂狗匠淌?00/Tg=5:(Wn/Tgn)Tg:粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(絕對溫度)Wn:各單體均聚物的重量分率(％)Tgn:各單體均聚物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(絕對溫度)本發(fā)明中，可以按照粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-60~100°C來根據(jù)?？怂狗匠淌竭x擇共聚的單體，將這些單體聚合，得到粘合劑聚合物。得到的粘合劑聚合物的Tg的測定法中，使用島津制作所(抹)制DSC-50型測定裝置，將重量lOmg的試樣在氮氣流下以2(TC/分鐘的升溫速度升溫，以基線的開始抬升的溫度為Tg。各單體均聚物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度記載在例如單體生產(chǎn)商的技術(shù)資料、高分子數(shù)據(jù)手冊(倍風(fēng)館發(fā)行，高分子學(xué)會編(基礎(chǔ)編)，昭和61年1月第一版)。例如，曱基丙烯酸甲酯(105°C)、曱基丙烯酸(228°C)、丙烯酸乙酯(-22。C)、曱基丙烯酸縮水甘油酯(74°C)、丙烯酸曱酯(10°C)、苯乙烯(100°C)等。另外，所使用的粘合劑聚合物的重均分子量優(yōu)選為IO萬以下。更優(yōu)選為5千~8萬。通過將重均分子量控制在10萬以下，保持了顯影液溶解性，從而能精細(xì)圖案化。另外，粘合劑聚合物的粘度與重均分子量成比例地增大，所以為了降低感光性組合物的粘度，保持過濾、脫氣、涂布工序的作業(yè)性，優(yōu)選降低粘合劑聚合物的重均分子量。粘合劑聚合物的重均分子量通過以四氬呋喃為流動相的尺寸排阻色譜法進(jìn)行測定。柱使用ShodexKF-803，重均分子量通過聚苯乙烯換算進(jìn)行計算。感光性有機成分中使用a)成分情況下優(yōu)選的粘合劑聚合物可以通過下述方法得到。所述方法是通過上述那樣的含有烯鍵式不飽和雙鍵部分加成具;i^應(yīng)性官^團:含有烯鍵:不飽和基4化合物的方法等。具體地說，通過對在共聚成分中具有不飽和羧酸的粘合劑聚合物的羧基的一部分加成甲基丙烯酸縮水甘油基酯等含環(huán)氧基的丙烯酸酯化合物的方法，能夠得到具有羧基和烯鍵式不飽和雙鍵的粘合劑聚合物。這樣的粘合劑聚合物的酸值優(yōu)選為50~140(mgKOH/g)。通過將酸值控制在140以下，能夠增大允許顯影范圍，通過將酸值控制在50以上，能夠保持堿性顯影液對未曝光部的溶解性，得到高精細(xì)的圖案。此外，酸值的測定中，將lg粘合劑聚合物溶解到100mL乙醇中后，使用0.1N氫氧化鉀水溶液進(jìn)行滴定，由此求出酸值。另外，優(yōu)選將粘合劑聚合物的雙鍵密度控制在0.1~2.5mmol/g,更優(yōu)選控制在0.2~1.6mmol/g。雙鍵密度小于0.1mmol/g時，利用曝光進(jìn)行的圖案形成不充分，膜減小程度大，顯影性明顯變差。另一方面，雙鍵密度大于2.5mmol/g時，燒成工序出現(xiàn)裂紋、剝離、翹曲等。感光性有機成分中的粘合劑聚合物的含量優(yōu)選為感光性有機成分的1~50重量％。更優(yōu)選為5~40重量％。通過控制在1~50重量％的范圍，能夠同時得到圖案加工性或燒成時的收縮等特性。另外，本發(fā)明的感光性組合物中添加紫外線吸收劑也是有效的。通過添加紫外線吸收劑，能夠抑制曝光工序中的光的散射，能夠形成高長寬比、高精細(xì)且高解析度的圖案。作為紫外線吸收劑，優(yōu)選使用含有有機系染料的紫外線吸收劑，其中，優(yōu)選使用在350450nm的波長范圍具有高UV吸收系數(shù)的有機系染料。作為紫外線吸收劑添加有機系染料的情況下，燒成后的玻璃膜中不會殘留有機系染料，能夠降低因紫外線吸收劑引起的絕緣膜特性的降低，所以是優(yōu)選的。作為這樣的化合物，偶氮系和二苯甲酮系染料容易將吸收波長控制在所期望的波長范圍，所以是優(yōu)選的。感光性有機成分中的有機系染料的添加量優(yōu)選為感光性有機成分的0.05~5重量％。更優(yōu)選為0.1~1重量％。少于0.05重量％時，添加紫外線吸收劑的效果減少，大于5重量％時，燒成后的絕緣膜特性降低，所以均不是優(yōu)選的。添加增敏劑用于提高靈敏度。作為增敏劑的具體例，可以舉出2,4-二乙基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,3-二(4-二乙基氨基苯亞甲基)環(huán)戊酮、2,6-二(4-二曱氨基苯亞甲基)環(huán)己酮、2,6-二(4-二甲氨基苯亞曱基)-4-曱基環(huán)己酮、米希勒酮等。本發(fā)明中，這些物質(zhì)可以使用l種或2種以上。值得注意的是，增敏劑中還包括可以用作光聚合引發(fā)劑的物質(zhì)。添加增敏劑的情況下，其添加量優(yōu)選為感光性成分的0.05~30重量％,更優(yōu)選為0.1~20重量％。增敏劑的量過少時，不能發(fā)揮提高光靈敏度的效果，增敏劑的量過多時，曝光部的殘存率有可能變得過小。另外，優(yōu)選添加阻聚劑.作為阻聚劑的具體例，可以舉出對苯二酚、對苯二酚的單酯化物；N-亞硝基二苯基胺、吩噻嗪、對叔丁基鄰苯二酚、N-苯基萘基胺、2,6-二叔丁基對甲基苯酚、四氯苯醌、連苯三酚等。添加阻聚劑的情況下，其添加量優(yōu)選為全部組合物的0.001~1重量％。另外，還可以添加增塑劑或者抗氧化劑。作為增塑劑的具體例，可以舉出鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二曱酸二辛酯、聚乙二醇、甘油等。作為抗氧化劑的具體例，可以舉出2,6-二叔丁基對甲酚、丁基化羥基笨曱醚、2,6-二叔丁基-4-乙基苯酚、2,2-亞曱基-二(4-甲基-6-叔丁基苯酚)等。添加增塑劑的情況下，其添加量優(yōu)選為全部組合物的0.5~10重量%。添加抗氧化劑的情況下，其添加量優(yōu)選為組合物的0.001~1重量％。本發(fā)明的感光性組合物可以如下進(jìn)行制備。作為感光性有機成分，將粘合劑聚合物、根據(jù)需要選自a)~c)成分的化合物、化合物(A)、各種添加劑等混合后，進(jìn)行過濾，制備有機載體。在其中添加根據(jù)需要進(jìn)行了前處理的玻璃粉末，用球磨機等混煉機混合均勻，制作感光寸生纟且合物。感光性組合物的粘度通過無機成分、增稠劑、有機溶劑、增塑劑和防沉降劑等的添加比例來適當(dāng)調(diào)整，其范圍優(yōu)選2200Pa.s(帕斯卡.秒)。例如通過旋涂法對玻璃基板進(jìn)行涂布的情況下，優(yōu)選其粘度為2~5Pa's。為了利用絲網(wǎng)印刷法1次涂布得到10~20^im的膜厚，其粘度優(yōu)選為50200Pa.s。使用刮刀涂布機法、模涂機法等的情況下，優(yōu)選其粘度為2~20Pas。作為用于調(diào)整溶液的粘度的有機溶劑，可以使用甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丁酮、二氧六環(huán)、丙酮、環(huán)己酮、環(huán)戊酮、異丁醇、異丙醇、3-甲氧基-3-甲基-l-丁醇、四氫呋喃、二曱基亞砜、Y-丁內(nèi)酯、溴苯、氯苯、二溴苯、二氯苯、溴苯曱酸、氯苯甲酸等或含有這些溶劑中的1種以上的有機溶劑混合物。值得注意的是，本發(fā)明的感光性組合物在溶劑揮發(fā)掉的狀態(tài)下使用，所以計算成分比等時，不把有機溶劑計算在感光性有機成分中。本發(fā)明的感光性組合物優(yōu)選用于平板顯示器的各種構(gòu)件、熒光發(fā)光管(冷陰極管)構(gòu)件等，特別優(yōu)選用以場發(fā)射顯示器的絕緣層為代表的場發(fā)射構(gòu)件。場發(fā)射是電場釋放，電場釋放是指真空中以半導(dǎo)體、金屬等導(dǎo)電體為陰極，在其表面附近設(shè)置陽極，此時，電子從陰極表面向陽極釋放到真空中的物理現(xiàn)象。本發(fā)明中，場發(fā)射構(gòu)件是指利用這樣的電場釋放的構(gòu)件。具體地說，可以舉出場發(fā)射顯示器、液晶顯示器的背部照明、場發(fā)射燈、掃描型電子顯微鏡的電子射線源、微型真空管等，但不限于這些。使用本發(fā)明的感光性組合物制造場發(fā)射構(gòu)件的情況下，優(yōu)選基板使用玻璃基板。作為玻璃基板，可以優(yōu)選使用鈉鈣玻璃、耐熱玻璃(旭硝子(抹)制PD200、日本電氣硝子(抹)制PP8、廿7:/戸》(抹)制CS25、七>卜，/k硝子(抹)制CP600V等)。另外，也可以使用陶瓷基板、金屬基板、半導(dǎo)體基板(A1N、CuW、CuMo、SiC基板等)、各種塑料膜。根據(jù)需要，可以在這些基板上形成一層以上的絕緣體、半導(dǎo)體、導(dǎo)體，或者它們的組合。接著，以場發(fā)射顯示器的絕緣層的制造方法為例，對場發(fā)射構(gòu)件的制造方法進(jìn)行說明。作為基板，在形成有ITO電極的玻璃基板上全面或部分涂布感光性組合物。作為涂布方法，可以采用絲網(wǎng)印刷、棒涂、輥涂、狹縫模涂等普通的方法。涂布厚度可以通過選擇涂布次數(shù)、絲網(wǎng)的目數(shù)、感光性組合物的粘度來進(jìn)行調(diào)整，考慮到干燥、燒成引起的收縮，優(yōu)選進(jìn)行涂布使干燥后的厚度為5~lOOium、優(yōu)選560pm、進(jìn)一步優(yōu)選為5~40|uim。多次涂布感光性組合物的情況下，第1次和第2次以后涂布的感光性組合物可以是相同的感光性組合物，也可以是不同的感光性組合物。另外，多次涂布感光性組合物的情況下，優(yōu)選在第1次感光性組合物涂布后、第2次以后的感光性組合物涂布前實施干燥。這樣的話，能夠防止第2次感光性組合物涂布時的涂膜厚度的減少。干燥的溫度和時間根據(jù)構(gòu)成的感光性組合物的組成而有所不同，但是，優(yōu)選在50°C~IO(TC實施5分鐘到30分鐘左右的干燥。另外，干燥優(yōu)選用對流式干燥爐或IR干燥爐進(jìn)行。干燥后得到的感光性組合物的膜的粘性值優(yōu)選為0~4。在該范圍時，抑制了感光性組合物的膜的粘合性，能夠容易地使用接觸曝光。粘性值在該范圍以外時，有時感光性組合物的膜上出現(xiàn)針孔，有時光掩模上附著感光性組合物，所以有時難以進(jìn)行接觸曝光。能夠進(jìn)行接觸曝光時，與進(jìn)行在感光性組合物的膜或光掩模之間設(shè)置間隙的調(diào)整方式曝光相比，能進(jìn)行高精細(xì)的圖案。另外，粘性值在該范圍時，能夠減少清洗光掩^t的工序，所以能夠降低成本。本發(fā)明中的粘性值的評i介如后所述。粘性值取決于粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度、粘合劑聚合物的分子量、有機溶劑量、感光性組合物中的無機顆粒的比例等，并且受粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的影響大。通過使用感光性有機成分所含有的粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為30~IO(TC的感光性組合物，能將粘性值控制在0~4的范圍。另外，供曝光前的感光性組合物中的有機溶劑殘存量為3重量％以下，優(yōu)選為1重量％以下。有機溶劑殘存量大于3重量％時，粘性值變差。如上所述，在基板上形成感光性組合物的膜后，通過進(jìn)行曝光和顯影，能形成圖案。關(guān)于圖案的形狀，根據(jù)場發(fā)射構(gòu)件，其需要的形狀是各種各樣的，對于場發(fā)射顯示器的絕緣層來說，優(yōu)選形成包括直徑3~100|um的圓形或者一邊為3-100jim的四邊形的孔的圖案。圓形或者四邊形的一邊更優(yōu)選為3~50|iim、進(jìn)一步優(yōu)選為3~20jam。在該范圍內(nèi)時，能夠充分發(fā)揮感光性組合物的效果。曝光可以采用使用光掩模的掩模曝光的方法和用激光等直接繪圖曝光的方法，使用光掩模的曝光時，能夠縮短曝光時間。作為這種情況下的曝光裝置，可以使用分檔曝光機、接近式曝光機等。所使用的活性光源可以舉出例如可見光線、近紫外線、紫外線、近紅外線、電子射線、X射線、激光等，這些之中，優(yōu)選紫外線，作為其光源，例如可以使用低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、卣素?zé)?、殺菌燈等。這些之中，優(yōu)選超高壓汞燈。曝光條件因涂布厚度而有所不同，使用輸出功率0.5~1000W/m2的超高壓汞燈時，進(jìn)行0.5~30分鐘的曝光。特別優(yōu)選進(jìn)行曝光量為0.05~1J/ci^左右的曝光。曝光使用的光的波長優(yōu)選為300~650,更優(yōu)選為350~650nm,進(jìn)一步優(yōu)選為350~500nm,最優(yōu)選為350nm~450nm。其后，使用顯影液進(jìn)行顯影，這種情況下，利用浸漬法、噴霧法、淋洗法、刷洗法進(jìn)行。這些之中優(yōu)選淋洗法，因為其能實現(xiàn)均勻的顯影。利用淋洗法進(jìn)行顯影時，顯影液的流量和壓力因顯影液的種類、濃度而有所不同，但優(yōu)選流量為50ml/分鐘200ml/分鐘，更優(yōu)選為100ml/分鐘~170ml/分鐘。壓力優(yōu)選為0.05MPa~0.2Mpa，更優(yōu)選為lkg/分鐘~1.6kg/分鐘。顯影液使用能夠溶解或分散感光性組合物中的有機成分的有機溶劑或水溶液。另外，還可以使用含有有機溶劑的水溶液。感光性組合物中存在具有羧基、酚羥基、硅烷醇基等官能團的化合物的情況下，也可以用堿性水溶液顯影。作為堿性水溶液，可以使用氬氧化鈉水溶液、氫氧化鈣水溶液、碳酸鈉水溶液等金屬堿性水溶液，使用有機堿水溶液時，容易在燒成時除去堿性成分，所以是優(yōu)選的。作為有機堿，可以使用普通的胺化合物。具體地說，可以舉出四曱基氳氧化銨、三甲基芐基氬氧化銨、單乙醇胺、二乙醇胺等。堿性水溶液的堿成分的濃度優(yōu)選為0.01~10重量％，更優(yōu)選為0.1~5重量％。堿濃度過低時，不能除去未曝光部，堿濃度過高時，有可能使圖案部剝離，并且有可能腐蝕曝光部，因此不是優(yōu)選的。顯影時的顯影液的溫度在20~50°C進(jìn)行顯影對于工序管理是優(yōu)選的。另外，為了改性感光性組合物對涂布膜的涂布性、顯影的均一性、降低殘渣等，優(yōu)選在顯影液中添加表面活性劑。作為表面活性劑，可以使用非離子表面活性劑、陰離子表面活性劑、陽離子表面活性劑和兩性表面活性劑等各種表面活性劑。作為非離子型表面活性劑，可以舉出聚乙二醇型、多元醇型，具體地說，可以舉出聚乙二醇、聚氧乙烯十二烷基醚、聚氧乙烯壬基醚、聚氧乙烯十六烷基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等。作為陰離子型表面活性劑，包括高級醇硫酸酯鹽類例如月桂醇硫酸酯的鈉鹽等；脂肪族醇磷酸酯鹽類例如十六烷醇磷酸酯的鈉鹽等；烷基芳磺酸鹽類例如十二烷基苯磺酸的鈉鹽等；烷基酰胺的磺酸鹽類；二元脂肪酸酯的磺酸鹽類例如琥珀酸二辛酯磺酸鈉等。優(yōu)選可以舉出聚氧乙烯烷基醚硫酸鹽、聚氧乙烯烷基芳基醚硫酸鹽、烷基芳基磺酸鹽類。陽離子型表面活性劑可以舉出胺型和季銨鹽型。作為胺型的具體例，可以舉出聚氧乙烯烷基胺、N-烷基丙烯胺、N-烷基聚乙烯多元胺等。另外，作為季銨鹽型的例子，可以舉出長鏈伯胺鹽、烷基三曱基銨鹽、二烷基二甲基乙基銨鹽、烷基二曱基銨鹽等。作為兩性表面活性劑，可以含有例如N-甲基-N-十五烷基氨基乙酸鈉這樣的化合物。本發(fā)明中優(yōu)選使用的表面活性劑是非離子型或陰離子型表面活性劑。表面活性劑的添加量優(yōu)選在0.01~20重量％的范圍，更優(yōu)選為0.05~10重量％、進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~5重量％。添加量大于20重量％時，顯影性有可能變得不充分，添加量少于0.01重量％時，有時不易發(fā)現(xiàn)添加表面活性劑帶來的效果。另外，顯影時優(yōu)選在顯影液中進(jìn)行超聲波處理。并且，優(yōu)選頻率調(diào)制型超聲波處理被調(diào)制在20~50KHz間的波長范圍的頻率調(diào)制型超聲波處理。通過這樣的超聲波處理，能夠形成精細(xì)且均勻的圖案，同時能夠得到大的減少殘渣的效果。利用上述那樣的方法，可以由本發(fā)明的感光性組合物在基板上形成含有厚度5~lOOjiim、直徑3~100|um的圓形或者一邊為3~lOOpm的四邊形的孔的圖案。此后，將形成有圖案的基板在燒成爐中燒成，燃盡有機成分，同時使玻璃粉末燒結(jié)，形成絕緣層。燒成氣氛、溫度和時間可以根據(jù)感光性組合物、基板的種類適當(dāng)選擇，可以在空氣中、氮、氪等氣氛中燒成。燒成優(yōu)選在400600。C的溫度保持10~60分鐘以進(jìn)行燒成。作為燒成爐，可以使用間歇式燒成爐或帶式連續(xù)型燒成爐。另外，上述各工序中，可以根據(jù)干燥和預(yù)反應(yīng)的目的進(jìn)行50300。C的加熱。通過以上的工序，得到了在基板上形成有含有厚度5~100|Lim、直徑3~100iLim的圓形或者一邊3100pm的四邊形的孔的圖案的場發(fā)射顯示器用絕緣層。為了實現(xiàn)場發(fā)射顯示器的低電壓驅(qū)動化，需要將柵極電極部與電子釋放元件的距離縮短。因此，絕緣層的厚度優(yōu)選為30]um以下。另外，為了高解析度化和輝度的均勻化，形成在絕緣層的孔優(yōu)選為30pm以下。柵極電極的形成按下述的方法進(jìn)行。得到了形成了所期望的圖案的孔的絕緣層后，通過濺射法或者蒸鍍法在其上均勻地形成鉻膜。接著，利用旋涂法或絲網(wǎng)印刷法等公知的涂布方法，在鉻膜的表面全面涂布正型抗蝕劑，用加熱板等進(jìn)行預(yù)烘烤。接著，將所期望的圖案的光掩模設(shè)置在上述的抗蝕劑層上，經(jīng)紫外線照射、曝光和顯影等工序，由殘留在鉻膜上的正型抗蝕劑形成蝕刻掩模。接著，用酸性蝕刻液(硝酸鈰銨9wt。/。+高氯酸6wt。/o等)進(jìn)行幾分鐘的蝕刻，從玻璃基板除去鉻膜的蝕刻掩模沒有覆蓋的部分。其后，使用剝離液剝離蝕刻掩模，進(jìn)行水洗清洗，由此掩模下的鉻層保留下來，形成了柵極電極。此時，絕緣層禁不起蝕刻液時，蝕刻工序中，絕緣層將溶解掉，所以絕緣層必須難于溶解在蝕刻液中。電子釋放元件的形成以如下的方法進(jìn)行。形成方法根椐電子釋放源而有所不同。電子釋放源是以鉬為主材質(zhì)的Spindt型的金屬芯片(或者微芯片)的情況下，優(yōu)選蒸鍍法。電子釋放源使用碳納米管(CNT)的情況下，通過絲網(wǎng)印刷法等在上述絕緣層的孔內(nèi)部涂布具有感光性的CNT漿料后，從基板的后面照射光，選擇地僅對上述CNT漿料中孔內(nèi)部的部分進(jìn)行曝光，除去未被曝光的部分，由此僅保留孔內(nèi)部的CNT，通過這樣的方法等形成電子釋放元件。將形成有這樣的絕緣層、柵極電極和電子釋放元件的上述基板用作背面板，與另外制作的前面板封裝后，安裝配線，能夠得到高輝度下對比度高的場發(fā)射顯示器。實施例下面使用實施例進(jìn)行具體說明。但是，本發(fā)明并不限于此。<測定方法>粘合劑聚合物的重均分子量利用以四氫呋喃為流動相的尺寸排阻色譜法進(jìn)行測定。柱使用ShodexKF-803，重均分子量通過聚苯乙烯換算來計算。粘合劑聚合物的酸值的測定中，將lg粘合劑聚合物溶解到100mL乙醇中后，使用0.1N氫氧化鉀水溶液進(jìn)行滴定，由此求出酸值。粘合劑聚合物的粘度的測定中，利用旋轉(zhuǎn)粘度計(RVDVII+,:7Vk少夕74—/kK社制造)，在溫度25士0.1。C、轉(zhuǎn)速10rpm的條件，測定開始測定5分鐘后的粘度。粘合劑聚合物的熱分解溫度是下述的溫度用TG測定裝置(TGA-50,島津制作所(林)制造)，裝載約20mg的試樣，在流量20ml/分鐘的空氣氣氛，以10。C/分鐘的升溫速度升溫到700°C。對溫度(縱軸)與重量變化(橫軸)的關(guān)系作圖，打印該圖譜，畫出分解前的部分與分解中的部分的連線，以其交點的溫度為熱分解溫度。粘合劑聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變點(Tg)是下述的溫度使用島津制作所(林)制DSC-50型測定裝置，將重量10mg的試樣在氮氣流下以2(TC/分鐘的升溫速度升溫，以基線開始抬升的溫度為Tg。玻璃粉末的熱軟化溫度是下述的溫度將玻璃粉末裝入鉑皿，用示差熱分析裝置(TG8120，理學(xué)電機(抹)制造)，以20。C/分鐘的升溫速度從常溫升溫到700°C,進(jìn)行示差熱分析，將經(jīng)最初出現(xiàn)的吸熱部的極小點后吸熱終止的溫度為軟化點(Ts)。玻璃粉末的平均粒徑使用激光衍射散射測定裝置(微痕粒度分布計HRA,日機裝(林)制造)進(jìn)行測定。比重的測定中，將玻璃加工成約5x5x5mm的尺寸，使用阿基米德法進(jìn)行測定。玻璃粉末的折射率如下進(jìn)行測定在石英玻璃上制作玻璃膜后，通過使用橢圓計的橢圓光度法，用25"C的436nm的波長光進(jìn)行測定。感光性組合物膜的粘性值的測定如下進(jìn)行。使用絲網(wǎng)印刷在玻璃基板上全面或部分地均勻涂布感光性組合物后，用熱風(fēng)烘箱干燥，形成感光性組合物的膜。用熱風(fēng)烘箱的干燥在85t進(jìn)行20分鐘。評價的基板的尺寸是JISZ0237(平成12年)記載的傾斜式滾珠粘著性裝置可以利用的尺寸。另外，評價中，傾斜角為30。。JISG4805(平成11年)規(guī)定的材質(zhì)的滾珠的尺寸記作JISB1501(昭和63年度)的"滾珠名稱"1/16到1的共計31種(除去5/64、7/64、9/64、15/64、17/64這5種)，將"滾珠名稱，，的32倍的數(shù)值稱作滾珠數(shù)值，以此作為粘性的指標(biāo)。在傾斜式滾珠粘著性裝置的傾斜板上的預(yù)定的位置安裝以感光性組合物的涂布面向上的玻璃基板(厚度1.3mm、12.5cm見方)，將各尺寸的滾珠固定在門處，然后緩慢打開門，滾動滾珠，找出在測定部內(nèi)完全停止(5秒以上滾珠不動)的滾珠之中最大的滾珠，以此時的滾珠數(shù)值作為感光性組合物的粘性值。最小的滾珠也停止的情況下，感光性組合物的粘性值記作0。在加速帶設(shè)置與涂覆有感光性組合物的玻璃厚度相同的玻璃板，以不產(chǎn)生高度差，在該玻璃板上貼上厚度20)um的PET膜。另外，在暗幕中進(jìn)行測定，以避免組合物感光。<粘合劑聚合物1>其是使由30重量份的丙烯酸甲酯、40重量份的丙烯酸乙酯、30重量份的甲基丙烯酸形成的共聚物的羧基與0.4當(dāng)量的甲基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)加成反應(yīng)得到的聚合物，其重均分子量17000、酸值100mgKOH/g、雙鍵密度1.5mmol/g、粘度8.2Pas。熱分解溫度為390°C,Tg為25°C。<粘合劑聚合物II>其是使由45重量份的甲基丙烯酸異丁酯、25重量份的甲基丙烯酸2-乙基己基酯、13重量份的丙烯酸曱酯、17重量份的曱基丙烯酸形成的共聚物的羧基與甲基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)加成反應(yīng)得到的聚合物，其重均分子量64000、酸值84mgKOH/g、雙鍵密度0.5mmol/g、粘度18Pa's。TG測定的結(jié)果是熱分解溫度為310。C,Tg為15t:。<粘合劑聚合物III>其是使由40重量份的甲基丙烯酸甲酯、30重量份的丙烯酸乙酯、30重量份的甲基丙烯酸形成的共聚物的羧基與0.4當(dāng)量的甲基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)加成反應(yīng)得到的聚合物，其重均分子量18000、酸值111mgK0H/g、雙鍵密度1.4mmol/g、粘度13.4Pas。熱分解溫度為422°C,Tg為38°C。<粘合劑聚合物IV〉其是使由40重量份的曱基丙烯酸曱酯、20重量份的丙烯酸乙酯、40重量份的甲基丙烯酸形成的共聚物的羧基與0.4當(dāng)量的曱基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)加成反應(yīng)得到的聚合物，其重均分子量16000、酸值105mgKOH/g、雙鍵密度2.5mmol/g、粘度U.2Pa.s。熱分解溫度為430°C,Tg為74°C。<粘合劑聚合物V〉其是使由50重量份的甲基丙烯酸曱酯、30重量份的苯乙烯、20重量份的甲基丙烯酸形成的共聚物的羧基與0.4當(dāng)量的曱基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)加成反應(yīng)得到的聚合物，其重均分子量31000、酸值58mgKOH/g、雙鍵密度1.4mmol/g、粘度7.7Pa.s。熱分解溫度為421°C，Tg為94°C。<粘合劑聚合物VI>其是使由50重量份的甲基丙烯酸曱酯、30重量份的苯乙烯、20重量份的曱基丙烯酸形成的共聚物的羧基與0.4當(dāng)量的曱基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)加成反應(yīng)得到的聚合物，其重均分子量22000、酸值52mgKOH/g、雙鍵密度0.34mmol/g、粘度13.3Pa.s。熱分解溫度為402aC,Tg為106°C。<粘合劑聚合物VII>其是使由30重量份的曱基丙烯酸曱酯、30重量份的苯乙烯、40重量份的甲基丙烯酸形成的共聚物的羧基與0.4當(dāng)量的甲基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)加成反應(yīng)得到的聚合物，其重均分子量34000、酸值102mgKOH/g、雙鍵密度2.7mmol/g、粘度8.3Pas。熱分解溫度為433°C,Tg為118°C。<玻璃粉末I>作為玻璃粉末，使用組成為Bi203(74重量％)、Si02(7.2重量％)、B203(10重量％)、ZnO(2.3重量％)、Zr02(2.2重量％)、A1203(2.5重量％)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為509°C、平均粒徑0.5ium、比重5.86g/cm3、折射率(ng)為2.15。<玻璃粉末11>玻璃粉末使用組成為Bi203(77重量％)、Si02(6.7重量％)、B203(10重量％)、Zr02(0,58重量％)、ZnO(2.3重量％)、AI203(2.5重量％)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為493°C、平均粒徑0.5)um、比重6.0g/cm3、折射率(ng)為2.2。<玻璃粉末III>玻璃粉末使用組成為Bi203(77.2重量％)、Si02(6.9重量％)、B203(10.2重量％)、Zr02(0重量％)、ZnO(2.5重量％)、A1203(2.7重量％)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為493°C、平均粒徑0.5jLim、比重6.1g/cm3、折射率(ng)為2.21。<玻璃粉末IV〉玻璃粉末使用組成為Bi203(67重量％)、Si02(7.6重量％)、B203(13.7重量％)、Zr02(0重量％)、ZnO(8.0重量％)、A1203(3.2重量％)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為534°C、平均粒徑1.4jam、比重5.4g/cm3、折射率(ng)為1.98。<玻璃粉末V>玻璃粉末使用組成為Bi203(67重量％)、Si02(9.7重量％)、B203(11.5重量％)、Zr02(3.3重量％)、ZnO(3.8重量％)、A1203(4重量％)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為529°C、平均粒徑0.5拜、比重5.33g/cm3、折射率(ng)為1.95。<玻璃粉末VI>作為玻璃粉末，使用組成為Bi2O3(70重量。/。)、Si02(16重量。/。)、B203(9.2重量％)、Zr02(0重量％)、ZnO(2.3重量％)、A1203(2.5重量％)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為590°C、平均粒徑1.6,比重5.0g/cm3、折射率Ug)為1.95。<玻璃粉末VII>無機粉末使用組成為PbO(70重量％)、Si02(13重量％)、A1203(3重量％)、B203(10重量％)、ZnO(4重量％)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為590°C、平均粒徑為1.2|am、折射率(tig)為2.1。<玻璃粉末VIII>使用組成為Bi203(82重量％)、Si02(4.9重量％)、B203(8.1重量％)、ZnO(1.5重量％)、Zr02(0.15重量％)、A1203(2.2重量%)的玻璃粉末。該玻璃粉末的熱軟化溫度為462°C、平均粒徑0.5pm、比重6g/cm3、折射率(ng)為2.31。<填料I>陶瓷平均粒徑37nm的氧化鋁顆粒(CI化成(抹)制、商品名NanoTek)關(guān)于平均粒徑，使用氮氣，利用BET法測定比表面積，然后將顆粒假定為球，根據(jù)比表面積求出粒徑，以算術(shù)平均值求出平均粒徑。<填料II>二氧化法平均粒徑12nm的二氧化硅顆粒(日本7工口-^(抹)制、商品名7工口-^200)。關(guān)于平均粒徑，使用氮氣，利用BET法測定比表面積，然后將顆粒4叚定為J求，才艮據(jù)比表面積求出粒徑，以算術(shù)平均值求出平均粒徑。<化合物(A)1>香豆素系衍生物(日本化藥(抹)制、商品名KayalightB)3-甲氧基-3-甲基-l-丁醇溶液中的紫外線最帶吸收波長為370nm、熒光的最大發(fā)光波長為441nm。<化合物(A)II>哺唑系衍生物(日本化藥(抹)制商品名KayalightO)3-曱氧基_3-甲基-1-丁醇溶液中的紫外線最帶吸收波長為374nm、熒光的最大發(fā)光波長為436nm。此外，表1中，將吸收對感光性有機成分曝光的波長、發(fā)出波長比曝光波長長的光線且發(fā)出的光線使感光性有機成分固化或者可溶化的化合物記作化合物(A)。實施例1作為感光性有機成分，使用7重量份作為含有烯鍵式不飽和基的化合物的丙烯酸單體(日本化藥(抹)制力弋，7卜'(注冊商標(biāo))TPA-330)、7重量份上述粘合劑聚合物I、IO重量份溶劑(3-甲基-3-曱氧基丁醇)、2重量份光聚合引發(fā)劑(以1:2的重量比使用日本化藥(林)制的2,4-二甲基噻噸酮和汽巴精化社制造的4^力'軒-7(注冊商標(biāo))369)、3重量份化合物(A)I、0.2重量份紫外線吸光劑(偶氮系有機染料4-氨基偶氮苯和光純藥工業(yè)(抹)制造)、0.3重量份分散劑(廿>乂，3(抹)制商品名乂7°3義^一X092)、0.5重量份阻聚劑(p-曱氧基苯酚)；作為無機成分，使用80重量份上述玻璃粉末I，將它們混合。將混合物在3根輥間通過5次，制作感光性組合物。進(jìn)一步將該感光性組合物使用400目過濾器過濾。使用絲網(wǎng)印刷在玻璃基板上均勻涂布上述感光性組合物，在80°C保持15分鐘進(jìn)行干燥，形成厚度20|iim的感光性組合物的層。如此制作10片試樣，進(jìn)行感光性組合物的層的粘性評價，其結(jié)果是10片的粘性值均為6或8。其后，使用帶有20|iim的通孔圖案/60jim間距、30nm的通孔圖案/90pm間距的圖案的負(fù)型鉻掩模，從上面用輸出功率為0.5kw的超高壓汞燈進(jìn)行紫外線曝光。曝光量為1J/cm2。接著，淋撒保持在25。C的0.1重量％碳酸鈉水溶液進(jìn)行30秒顯影。其后使用噴頭進(jìn)行水清洗，除去未光固化的部分，在玻璃基板上形成帶有約20|iim和約30|Lim孔徑的通孔圖案。僅將感光性有機成分混合，涂布在基板并干燥后，使用橢圓計，利用橢圓光度法測定25°C的436nm的波長的光下的感光性有機成分的折射率(ng),其值為1.52。用光學(xué)顯微鏡觀察形成圖案后的基板，以掩^t的100個通孔圖案中形成了對應(yīng)的通孔圖案的比例作為通孔加工率(％)進(jìn)行評價。結(jié)果20jam、30jam均形成了IOO個通孔圖案，通孔加工率為100%。另外，對圖案形成基板的表面進(jìn)行觀察，沒有發(fā)現(xiàn)圖案的裂紋。將形成圖案后的基板以4°(:/分鐘的升溫速率升溫到玻璃粉末的軟化點附近，保持20分鐘來進(jìn)行燒成。接著，使用濺射法，在燒成后的形成了圖案的基板上形成膜厚100nm的鉻膜。利用旋轉(zhuǎn)涂布法在所得到的帶有鉻膜的圖案基板上涂布正型光致抗蝕層(安智電子材料(AZELECTRONICMATERIALS)(抹)制商品名AZ1500)，然后在IO(TC進(jìn)行1分鐘的烘烤。光致抗蝕層的膜厚為1.5|iim。其后，使用帶有25ium的通孔圖案/60iLim間距、37.5fim的通孔圖案/90fim間距的負(fù)型鉻掩模，從上面用輸出功率為0.5kw的超高壓汞燈進(jìn)行紫外線曝光。曝光量為100mJ/cm2。接著，在保持在25t:的抗蝕劑顯影液(安智電子材料(AZELECTRONICMATERIALS)(抹)制.商品名AZ400K稀釋5倍)浸泡60秒，搖動顯影。其后，用純水清洗30秒，在12(TC進(jìn)行2分鐘的后烘烤，由此得到抗蝕劑圖案。接著，以硝酸鈰銨9wt。/。、高氯酸6重量％和純水85重量％的組成制成鉻蝕刻液，將該蝕刻液保持在25°C,將形成有圖案的基板在其中浸泡180秒，進(jìn)行鉻膜的蝕刻，然后用純水進(jìn)行清洗。另外，再用丙酮清洗，剝離抗蝕劑。用SEM(掃描型電子顯微鏡)觀察蝕刻后得到的形成有圖案的基板的表面，測定蝕刻的殘渣。以l萬5000倍在3ium的正方形面積內(nèi)的0.3)Lim以上的尺寸的塊為殘渣，目^L計算個數(shù)。對改變^L野重復(fù)10次的平均值進(jìn)行評價，結(jié)果殘渣少，其數(shù)量為1個。另外，制備上述的感光性組合物后，將其在室溫或者22。C的恒溫室放置l周，然后與上述同樣地進(jìn)行圖案形成，對其加工率進(jìn)行評價，其結(jié)果是通孔加工率均為100%，組合物的保存穩(wěn)定性良好。實施例2~10、13~21、比4交例1~4除了采用表1和2所記載的組成之外，與實施例1同樣地制作感光性組合物，并評價圖案加工性、顯影后有無裂紋、蝕刻液耐性和粘性值。實施例11實施例1中的紫外線吸光劑改成4,4'-二甲氨基偶氮苯(偶氮系有機染料和光純藥工業(yè)(株)制造)，丙烯酸單體、粘合劑聚合物、玻璃粉末的量改成表l所示的量，除此以外，與實施例l同樣地制作感光性組合物，評價圖案加工性。玻璃粉末量為90重量份，即使其比感光性有機成分的含量多，20jum、30jum下均得到了高的通孔加工率。結(jié)果見表l。實施例12不添加實施例1中的化合物(A),丙烯酸單體、粘合劑聚合物、玻璃粉末的量改為表1所示的量，除此以外，與實施例1同樣地制作感光性組合物，評價圖案加工性。結(jié)果見表l。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>表3表3<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>表4表4<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>產(chǎn)業(yè)實用性本發(fā)明的感光性組合物的組合物的保存穩(wěn)定性高，且能夠形成良好的精細(xì)圖案。另外，使用本發(fā)明的感光性組合物得到的構(gòu)件對強酸具有優(yōu)異的耐性。另外，由于能夠在較低溫度燒成，所以本發(fā)明的感光性組合物可適用于場發(fā)射顯示器的絕緣層、熒光發(fā)光裝置的絕緣層。權(quán)利要求1.一種感光性組合物，其含有50～5重量％感光性有機成分和50～95重量％玻璃粉末，其中，以氧化物換算表示，該玻璃粉末含有70～85重量％Bi2O3、3～15重量％SiO2、5～20重量％B2O3、0～3重量％ZrO2和1～10重量％ZnO。2.如權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，感光性有機成分含的含量為感光性有機成分的0.1~30重量％。3.如權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中，該化合物吸收曝光所用的波長的光，發(fā)出波長比吸收的光的波長長的光線，所發(fā)出的光線使感光性有機成分固化或者可溶化。4.如權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，上述玻璃粉末具有1.8~2.2的平均折射率。5.如權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，上述玻璃粉末具有350~600°C的熱軟化溫度。6.如權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，上述玻璃粉末的平均粒徑在0.1~5pm的范圍。7.如權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中，上述吸收光并發(fā)出波長比吸收的光的波長長的光線的化合物在350nm~380nm的范圍有最大吸收，并且在3-甲氧基-3-曱基-l-丁醇溶液中測定時，熒光的最大發(fā)光波長位于400nm~450nm的范圍。8.如權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中，上述吸收光并發(fā)出波長比吸收的光的波長長的光線的化合物是香豆素衍生物。9.如權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中，上述吸收光并發(fā)出溶劑100g以上。10.如權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中，上述吸收光并發(fā)出波長比吸收的光的波長長的光線的化合物的摩爾吸光系數(shù)為20000以上。11.如權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，形成在基板上的感光性組合物的膜的粘性值為0~4。12.—種顯示器構(gòu)件的制造方法，其中，所述制造方法依次包括將權(quán)利要求1所述的感光性組合物涂布到基板上的工序、曝光工序、顯影工序和燒成工序。13.—種顯示器構(gòu)件，其是基板上形成有含有玻璃的絕緣層的顯示器構(gòu)件，其中，以氧化物換算表示，該玻璃的組成為70~85重量％Bi203、3~15重量％Si02、5~20重量％8203、0~3重量。/。Zr02和1~10重量o/oZnO。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性組合物，其含有50～5重量％感光性有機成分和50～95重量％玻璃粉末，以氧化物換算表示，該玻璃粉末含有70～85重量％Bi₂O₃、3～15重量％SiO₂、5～20重量％B₂O₃、0～3重量％ZrO₂和1～10重量％ZnO。該感光性組合物被用于平板顯示器的各種構(gòu)件、熒光發(fā)光管等，能夠利用照相平板印刷術(shù)進(jìn)行精細(xì)圖案加工。文檔編號G03F7/004GK101371195SQ20078000232公開日2009年2月18日申請日期2007年1月11日優(yōu)先權(quán)日2006年1月12日發(fā)明者上岡武則,后藤一起,松葉聰申請人:東麗株式會社