專(zhuān)利名稱(chēng)：化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物。
背景技術(shù)：
迄今為止，在制造半導(dǎo)體器件、液晶顯示元件(LCD)、印刷版、凸塊的形成、磁頭等的領(lǐng)域中，一般采用的是，以堿可溶性樹(shù)脂和含有醌二疊氮基的化合物(PAC)為主要成分的g～i線光致抗蝕劑組合物、以含有酸解離性基化合物(樹(shù)脂)和光氧生成劑(PAG)為主要成分的i線用、KrF用、ArF用或電子射線用化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物等。
作為化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物，已知的有如下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1～4中所記載的物質(zhì)等。
在專(zhuān)利文獻(xiàn)1(特開(kāi)平10-97074號(hào)公報(bào))中，記載了含有，通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)聚羥基苯乙烯中一部分羥基的氫原子而形成的樹(shù)脂成分和PAG的組合物。
在專(zhuān)利文獻(xiàn)2(特開(kāi)平6-148889號(hào)公報(bào))、專(zhuān)利文獻(xiàn)3(特開(kāi)平6-230574號(hào)公報(bào))中，記載了含有酚醛清漆樹(shù)脂等在側(cè)鏈上具有羥基的堿可溶性樹(shù)脂、特定的交聯(lián)劑、酸生成劑的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物。
在專(zhuān)利文獻(xiàn)4(特表2002-529552號(hào)公報(bào))中，記載了含有，通過(guò)在酸催化劑的存在下使含羥基聚合物和聚乙烯基醚反應(yīng)而得到的部分交聯(lián)聚合物和PAG的組合物。
另外，伴隨著在各領(lǐng)域中技術(shù)的進(jìn)步，在一些用途中要求化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物具有耐熱性。
例如，對(duì)于在1塊玻璃基板上，同時(shí)形成驅(qū)動(dòng)器、DAC(數(shù)字—模擬變頻器)、圖像處理器、視頻控制器、RAM等集成電路部分與顯示器部分的、即所謂“系統(tǒng)LCD”的高性能LCD，人們正期待其能夠成為下一代的LCD(Semiconductor FPD World 2001，9，50-67頁(yè))。
這種系統(tǒng)LCD的TFT(薄膜晶體管)中，特別是通過(guò)600℃以下的低溫工序形成的低溫多晶硅與無(wú)定形硅相比，由于電阻小、遷移率高而更適合使用。
在制造由低溫多晶硅形成的TFT時(shí)，通過(guò)低溫工序在玻璃基板上形成多晶硅膜后，在該低溫多晶硅膜上埋入P或B等的所謂“植入(implantation)工序”中，必然會(huì)埋入非常高純度的雜質(zhì)。該植入工序具有下述的一些問(wèn)題，雖然其在高真空度的條件下進(jìn)行，通過(guò)由雜質(zhì)的埋入而引起的發(fā)熱作用，當(dāng)加熱基板上的抗蝕劑圖案時(shí)，抗蝕劑圖案會(huì)發(fā)生形狀變化，抗蝕劑圖案中的某些成分氣化而降低處理室內(nèi)的真空度。
酚醛清漆樹(shù)脂是一種非常有用的廉價(jià)且耐熱性?xún)?yōu)良的樹(shù)脂成分，但是通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)該酚醛清漆樹(shù)脂中一部分羥基的氫原子而形成的樹(shù)脂成分的耐熱性很差，因此難以用于化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物。
作為解決這些問(wèn)題的方法，可以列舉樹(shù)脂成分的高分子量化和使用由松密度較高的芳香族羥基化合物合成的酚醛清漆樹(shù)脂等方法，這些方法中的任何一種都具有下述的問(wèn)題，即具有使樹(shù)脂成分的堿溶解性變差的傾向，由此關(guān)系到抗蝕劑組合物的解象力的變差。此外，作為解決這些問(wèn)題的方法，雖然在植入工序前進(jìn)行稱(chēng)為“后烘”的加熱處理工序是有效的，但是該后烘是在接近植入時(shí)的加熱溫度的溫度條件下，例如160℃以上的高溫下進(jìn)行。因此，即使在所述加熱處理中，必須具有抗蝕圖案的形狀不變化等耐熱性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是在基于上述事實(shí)的基礎(chǔ)上而完成的，旨在提供一種使用酚醛清漆樹(shù)脂作為樹(shù)脂成分，同時(shí)耐熱性?xún)?yōu)良的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用以下的方案。
一種化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物，其特征在于其含有樹(shù)脂成分(A)和通過(guò)放射線的照射產(chǎn)生酸成分的化合物(C)以及有機(jī)溶劑，通過(guò)由前述(C)成分所產(chǎn)生的酸成分的作用，該組合物具有對(duì)堿性水溶液溶解性增大的性質(zhì)，其中前述(A)成分含有下述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的所有酚性羥基中的一部分通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)而形成的堿難溶性或不溶性樹(shù)脂成分，所述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)是通過(guò)使芳香族羥基化合物與至少含有甲醛和羥基取代芳香醛的醛類(lèi)縮合反應(yīng)而得到。
前述(A)成分中優(yōu)選含有對(duì)前述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的所有酚性羥基中的一部分通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)而形成的堿難溶性或不溶性樹(shù)脂成分，進(jìn)行分離除去低分子量物質(zhì)的處理后而得到的樹(shù)脂成分。
此外，前述(A)成分中優(yōu)選含有通過(guò)使芳香族羥基化合物與至少含有甲醛和羥基取代芳香醛的醛類(lèi)縮合反應(yīng)而得到的酚醛清漆樹(shù)脂，對(duì)該酚醛清漆樹(shù)脂進(jìn)行分離除去低分子量物質(zhì)的處理得到酚醛清漆樹(shù)脂(a2)，該酚醛清漆樹(shù)脂(a2)的所有酚性羥基中的一部分通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)而形成的堿難溶性或不溶性樹(shù)脂成分。
具體實(shí)施例方式
(A)成分構(gòu)成(A)的堿難溶性或不溶性的樹(shù)脂成分可以通過(guò)酚醛清漆樹(shù)脂(a1)和對(duì)應(yīng)酸解離性溶解抑制基的化合物之間的加成反應(yīng)而合成。
酚醛清漆樹(shù)脂(a1)可以通過(guò)使芳香族羥基化合物和醛類(lèi)縮合反應(yīng)而得到。
作為用于酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的合成中的前述芳香族羥基化合物，可以列舉例如苯酚；間甲酚、對(duì)甲酚、鄰甲酚等甲酚類(lèi)；2，3-二甲酚、2，5-二甲酚、3，5-二甲酚、3，4-二甲酚等二甲酚類(lèi)；間乙基苯酚、對(duì)乙基苯酚、鄰乙基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、2，3，5-三乙基苯酚、4-叔丁基苯酚、3-叔丁基苯酚、2-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲基苯酚、2-叔丁基-5-甲基苯酚等烷基苯酚類(lèi)對(duì)甲氧基苯酚、間甲氧基苯酚、對(duì)乙氧基苯酚、間乙氧基苯酚、對(duì)丙氧基苯酚、間丙氧基苯酚等烷氧基酚類(lèi)；鄰異丙烯基苯酚、對(duì)異丙烯基苯酚、2-甲基-4-異丙烯基苯酚、2-乙基-4-異丙烯基苯酚等異丙烯基酚類(lèi)；苯基苯酚等芳基酚類(lèi)；4，4’-二羥基聯(lián)苯、雙酚A、間苯二酚、對(duì)苯二酚、鄰苯三酚等多羥基酚類(lèi)等。其可以單獨(dú)使用，或者也可以組合2種以上使用。在上述酚類(lèi)中，特別優(yōu)選間甲酚、對(duì)甲酚。
在用于酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的合成中的前述醛類(lèi)中，至少含有甲醛和羥基取代芳香醛。作為該羥基取代芳香醛，特別優(yōu)選下述通式(1)所示的羥基苯甲醛，特別是式中n＝1或2的羥基苯甲醛。具體可以列舉鄰羥基苯甲醛(水楊醛)、對(duì)羥基苯甲醛、3，4-二羥基苯甲醛等。其可以單獨(dú)使用，或者也可以組合2種以上使用。
(式中，n表示1～3的整數(shù)。)作為用于酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的合成中的前述醛類(lèi)，除了羥基取代芳香醛以外還使用甲醛作為必需的成分，與單獨(dú)使用反應(yīng)性較差的羥基取代芳香醛相比，可以更好地高分子量化。
此外，作為前述醛類(lèi)，還可以同時(shí)使用除了前述甲醛和羥基取代芳香醛以外的醛類(lèi)?？梢粤信e例如對(duì)甲醛、三氧雜環(huán)乙烷、乙醛、丙醛、丁醛、三甲基乙醛、丙烯醛、丁烯醛、環(huán)己醛、糠醛、呋喃基丙烯醛等。其也可以組合2種以上使用。
前述芳香族羥基化合物和醛類(lèi)的縮合反應(yīng)產(chǎn)物和可以在酸性催化劑的存在下，通過(guò)公知的方法制備。作為這時(shí)的酸性催化劑，可以使用鹽酸、硫酸、甲酸、草酸、對(duì)甲苯磺酸等。
醛類(lèi)的用量?jī)?yōu)選相對(duì)于芳香族羥基化合物為50～100摩爾％左右，更優(yōu)選60～80摩爾％左右。
羥基取代芳香醛的用量若過(guò)少則得不到足夠的添加效果，若過(guò)多則難以高分子量化而具有效果不充分的傾向，此外原料成本增加，因此其用量?jī)?yōu)選相對(duì)于所有醛的量為10～15摩爾％左右，更優(yōu)選20～35摩爾％左右。
此外，甲醛的用量若過(guò)少則不能提高分子量，若過(guò)多則通過(guò)分子量的增加可能會(huì)伴隨堿溶解速度的降低，因此其用量?jī)?yōu)選相對(duì)于所有醛的量在50～90摩爾％左右，更優(yōu)選65～80摩爾％左右。
在使用的醛類(lèi)中，甲醛與羥基取代芳香族醛的合計(jì)所占的比例，相對(duì)于全部醛量，優(yōu)選為80摩爾％以上，更優(yōu)選為100摩爾％。
需要說(shuō)明的是本說(shuō)明書(shū)中“以上、以下”均包括端點(diǎn)。
酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的重均分子量(Mw)若過(guò)小則具有涂敷性變差的傾向，若過(guò)大則具有解象力變差的傾向。酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的Mw的優(yōu)選范圍為1000～100000，更優(yōu)選為2000～50000，進(jìn)一步優(yōu)選為3000～30000。
在本實(shí)施方式中，酚醛清漆樹(shù)脂(a1)中所有酚性羥基的至少一部分由通過(guò)酸催化反應(yīng)分解后能變?yōu)閴A可溶性的基團(tuán)、即所謂的“酸解離性溶解抑制基”保護(hù)，由此成為堿難溶性或不溶性。
作為這種酸解離性溶解抑制基，只要能夠被由后述的(C)成分產(chǎn)生的酸解離即可，可以列舉例如，1-乙氧基甲基、1-乙氧基乙基、1-丙氧基甲基、1-丙氧基乙基、1-正丁氧基甲基、1-異丁氧基甲基、1-叔丁氧基甲基等烷氧基烷基；叔丁氧基羰基、叔丁氧基羰基甲基、叔丁氧基羰基乙基等烷氧基羰基烷基；四氫呋喃基、四氫吡喃基、直鏈狀或支鏈狀的乙縮醛基；環(huán)狀乙縮醛基；三甲基甲硅烷基；三苯基甲硅烷基等三烷基甲硅烷基。
其中如下述通式(II-1)所示的乙基乙烯基(乙氧基乙基)和下述通式(II-2)所示的叔丁氧基羰基，由于可以得到解像力優(yōu)良的光致抗蝕劑組合物，因此優(yōu)選，特別優(yōu)選乙基乙烯基。
在酚醛清漆樹(shù)脂(a1)中的所有酚性羥基中，通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)的酚性羥基的比例(保護(hù)率)優(yōu)選為10～50摩爾％左右。
(C)成分作為(C)成分，沒(méi)有特別的限定，可以使用現(xiàn)在已知的作為化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物的材料的光酸生成劑，例如磺酰重氮甲烷系氧生成劑、鎓系氧生成劑、肟磺酸酯系酸生成劑等。
作為(C)成分，例如以下的化合物由于對(duì)i線曝光的酸生成效率高，因此優(yōu)選使用。
下述通式(III)、(IV)所示的物質(zhì)。
(式中，m’為0或1；X為1或2；R1為可被1個(gè)或以上的C1-C12亞烷基取代的苯基、雜芳基等，或者當(dāng)m＝0時(shí)進(jìn)一步地是C2-C6烷氧基羰基、苯氧基羰基、CN等；R1’為C2-C12亞烷基等；R2與R1意義相同；R3為C1-C18亞烷基等；R3’當(dāng)X＝1時(shí)與R3意義相同，當(dāng)X＝2時(shí)為C2-C12亞烷基、亞苯基等；R4、R5各自獨(dú)立地是氫原子、鹵素、C1-C6烷基等；A為S、O、NR6等；R6為氫原子、苯基。)所示的化合物(美國(guó)專(zhuān)利6004727)。
具體可以列舉例如，含有下述通式(V)所示的thiolene基的肟磺酸酯等。
或下述通式(VI)
(式中R6、R7各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～3的烷基。)所示的雙(三氯甲基)三嗪化合物、或者是混合了該化合物(VI)與下述化合物(VII) (式中Z表示4-烷氧基苯基等。)所示的雙(三氯甲基)三嗪化合物的物質(zhì)(特開(kāi)平6-289614號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平7-134412號(hào)公報(bào))。
作為三嗪化合物(VI)，具體可以列舉例如，2-[2-(3、4二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-甲氧基-4-乙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-甲氧基-4-丙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-乙氧基-4-甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3，4-二乙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-乙氧基-4-丙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-丙氧基-4-甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-丙氧基-4-乙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3，4-二丙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪等。這些三嗪化合物可以單獨(dú)使用，或者組合2種或以上使用。
另一方面，作為根據(jù)需要與上述三嗪化合物(VI)組合使用的上述三嗪化合物(VII)，可以列舉例如2-(4-甲氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-乙氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-丙氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-丁氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧基萘基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-乙氧基萘基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-丙氧基萘基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-丁氧基萘基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧基-6-羧基萘基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧基-6-羥基萘基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(2-呋喃基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(5-甲基-2-呋喃基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(5-乙基-2-呋喃基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(5-丙基-2-呋喃基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3，5-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-甲氧基-5-乙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-甲氧基-5-丙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-乙氧基-5-甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3，5-二乙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-乙氧基-5-丙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-丙氧基-5-甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3-丙氧基-5-乙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3，5-二丙氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(3，4-亞甲二氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-[2-(3，4-亞甲二氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪等。這些三嗪化合物可以使用1種，也可以組合2種以上使用。
或者，可以列舉下式(VIII)
(式中，Ar是取代或未取代的苯基，萘基；R是C1～C9的烷基；n表示2或3的整數(shù)。)所示的化合物。這些化合物可以單獨(dú)使用，或者組合2種以上使用。在以上舉例的化合物中，由于上述式(V)所示的化合物和下述式(IX)所示的化合物對(duì)i線的酸生成效率優(yōu)良，因此特別優(yōu)選使用。
在本實(shí)施方式中，(C)成分可以使用1種或混合2種以上使用。
相對(duì)于100質(zhì)量份(A)成分，(C)成分的混合量為1～30質(zhì)量份，優(yōu)選1～20質(zhì)量份。
(D)成分為了提高涂敷穩(wěn)定性，在本實(shí)施方式的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物中，優(yōu)選混合堿性化合物(優(yōu)選胺類(lèi))作為(D)成分。
作為該化合物，只要相對(duì)于光致抗蝕劑組合物具有相容性即可，沒(méi)有特別的限定，可以列舉例如，在特開(kāi)平9-6001號(hào)公報(bào)中記載的化合物。
特別是通過(guò)混合下述通式(X)所示的松密度較高的特定的堿性化合物(d1)，還具有抑制隨時(shí)間推移在抗蝕劑組合物中副產(chǎn)的酸成分的量，可以提高抗蝕劑組合物的長(zhǎng)期保存穩(wěn)定性。
在通式(X)中，X、Y、Z中的一個(gè)以上(優(yōu)選2個(gè)以上，最優(yōu)選3個(gè))為選自下述(1)～(4)的基團(tuán)，(1)碳原子數(shù)4以上的烷基、(2)碳原子數(shù)3以上的環(huán)烷基、(3)苯基、(4)芳烷基。
此外，在該X、Y、Z中，不屬于前述(1)～(4)的基團(tuán)還可以是選自(1’)碳原子數(shù)3以下的烷基、(2’)氫原子中的基團(tuán)或原子。
X、Y、Z可以互相相同，也可以不同，當(dāng)X、Y、Z中2個(gè)以上為選自前述(1)～(4)的基團(tuán)時(shí)，從效果的穩(wěn)定性的角度出發(fā)，優(yōu)選這些基團(tuán)互相之間相同。
(1)碳原子數(shù)4以上的烷基在前述(1)的情況下，若碳原子數(shù)不足4，則難以提高經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性。更優(yōu)選碳原子數(shù)在5以上，特別優(yōu)選碳原子數(shù)在8以上。上限值沒(méi)有特別的限定，從具有經(jīng)時(shí)穩(wěn)定效果、且可以通過(guò)商業(yè)途徑購(gòu)得的角度出發(fā)，優(yōu)選20以下，特別優(yōu)選15以下。另外，若超過(guò)20則堿性強(qiáng)度變?nèi)?，保存穩(wěn)定性降低。
烷基可以是直鏈狀、支鏈狀中的任何一種。
具體優(yōu)選例如，正癸基、正辛基、正戊基。
(2)碳原子數(shù)3以上的環(huán)烷基對(duì)于該環(huán)烷基，特別是碳原子數(shù)4～8的環(huán)烷基可以通過(guò)商業(yè)途徑購(gòu)得，且提高經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的效果優(yōu)良，因此優(yōu)選。特別優(yōu)選碳原子數(shù)為6的環(huán)烷基。
(4)芳烷基芳烷基如通式-R’-P(R’為亞烷基，P為芳香族烴基)所示。
作為P可以列舉苯基、萘基等，優(yōu)選苯基。
R’的碳原子數(shù)1以上即可，優(yōu)選1～3。
作為芳烷基，可以列舉例如芐基、苯基乙基。
另外，在X、Y、Z中，不屬于前述(1)～(4)的基團(tuán)還可以是選自(1’)、(2’)氫原子中的基團(tuán)或原子。
(1’)可以是直鏈狀、支鏈狀中的任何一種。特別優(yōu)選甲基、乙基。
作為(d1)成分，優(yōu)選構(gòu)成叔胺的物質(zhì)，在X、Y、Z中，不屬于前述(1)～(4)的基團(tuán)優(yōu)選選自(1’)。可以列舉例如，三正癸基胺、甲基二正辛基胺、三正戊基胺、N，N-二環(huán)己基甲基胺、三芐基胺等。
其中，優(yōu)選選自三正癸基胺、甲基二正辛基胺、三正戊基胺中的1種以上，特別優(yōu)選三正癸基胺。
在本實(shí)施方式中，(D)成分可以使用1種或混合2種以上使用。
從效果的角度出發(fā)，相對(duì)于100質(zhì)量份樹(shù)脂固態(tài)成分，(D)成分優(yōu)選在0.01～5.0質(zhì)量份、特別優(yōu)選在0.1～1.0質(zhì)量份的范圍內(nèi)添加。
有機(jī)溶劑作為本實(shí)施方式的光致抗蝕劑組合物中的有機(jī)溶劑，只要是可用于化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物中的，則可以沒(méi)有特別限制地使用。
可以列舉例如，丙二醇單烷基醚乙酸酯(例如丙二醇單甲基醚乙酸酯(PGMEA)等)、乳酸酯(例如乳酸乙酯等)等的酯類(lèi)溶劑；丙酮、甲乙酮、環(huán)己酮、甲基異戊基酮、2-庚酮等酮類(lèi)；乙二醇、丙二醇、二甘醇、或其單甲基醚、單乙基醚、單丙基醚、單丁基醚或單苯基醚等多元醇類(lèi)及其衍生物；二噁烷之類(lèi)的環(huán)醚類(lèi)；等非酯系溶劑。另外由于酯系溶劑是有機(jī)羧酸和醇的反應(yīng)產(chǎn)物，其含有作為游離酸的有機(jī)羧酸。因此，在后述的沒(méi)有加入(D)成分的光致抗蝕劑組合物、還有后述的沒(méi)有加入保存穩(wěn)定劑的光致抗蝕劑組合物中，優(yōu)選選擇不含有這種游離酸的非酯系溶劑，特別優(yōu)選酮類(lèi)(酮系的溶劑)。其中從涂膜性、(C)成分的溶解性的角度出發(fā)，最優(yōu)選2-庚酮。
另外，無(wú)論是酯系溶劑或是非酯系溶劑，都會(huì)隨時(shí)間經(jīng)過(guò)分解而產(chǎn)出副產(chǎn)物酸，在前述(D)成分的存在下，或者在后述的保存穩(wěn)定劑的存在下，可以抑制該分解反應(yīng)。特別是在酯系溶劑中這種效果很顯著，在該(D)成分和保存穩(wěn)定劑存在下，當(dāng)然酯系溶劑是優(yōu)選的，特別優(yōu)選PGMEA。
另外，作為由上述分解而副產(chǎn)的酸成分，例如在2-庚酮的情況下，可以確認(rèn)有甲酸、乙酸、丙酸等生成。
有機(jī)溶劑可以使用一種或混合兩種以上使用。
其它成分在本實(shí)施方式的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物中，根據(jù)需要優(yōu)選添加以下的保存穩(wěn)定劑。
作為該保存穩(wěn)定劑，只要具有抑制有機(jī)溶劑的分解反應(yīng)的作用則沒(méi)有特別的限定，可以列舉例如，在特開(kāi)昭58-194834號(hào)公報(bào)中記載的抗氧化劑。作為抗氧化劑已知的有酚系化合物和胺系化合物，特別優(yōu)選酚系化合物，其中由于2，6-二(叔丁基)-對(duì)甲酚及其衍生物對(duì)酯系溶劑、酮系溶劑的劣化有效，可以通過(guò)商業(yè)途徑購(gòu)得，而且廉價(jià)，進(jìn)而保存穩(wěn)定效果優(yōu)良，因此特別優(yōu)選。特別是對(duì)丙二醇單烷基醚乙酸酯、2-庚酮的劣化防止效果非常優(yōu)秀。
此外，本實(shí)施方式的光致抗蝕劑組合物中，在不損害本發(fā)明目的的范圍內(nèi)，根據(jù)需要可以含有具有相容性的添加物，例如用于改善抗蝕劑膜的性能等而加成的樹(shù)脂、增塑劑、穩(wěn)定劑、表面活性劑、用于使顯影的像可視性更好的著色材料、用于進(jìn)一步提高增敏效果的敏化劑和暈影防止材料、密合性提升劑等慣用的添加物。
正型光致抗蝕劑組合物的制備方法本實(shí)施方式的正型光致抗蝕劑組合物可以通過(guò)將(A)成分、(C)成分和必要的其它成分溶解于有機(jī)溶劑中而制備。
有機(jī)溶劑的用量?jī)?yōu)選在溶解(A)、(C)成分和根據(jù)需要使用的其它成分時(shí)進(jìn)行調(diào)整，以形成均一的正型光致抗蝕劑組合物。優(yōu)選固態(tài)成分濃度為10～50質(zhì)量％、更優(yōu)選20～35質(zhì)量％。另外，正型光致抗蝕劑組合物的固態(tài)成分相當(dāng)于(A)、(C)成分和根據(jù)需要使用的其它成分的總量。
抗蝕劑圖案的形成方法下面顯示的是使用本實(shí)施方式的正型光致抗蝕劑組合物形成抗蝕劑圖案的方法的一個(gè)優(yōu)選示例。
首先，(A)成分、(C)成分和根據(jù)需要添加的各種成分溶解于溶劑，通過(guò)涂膠機(jī)等將其涂敷在基板上形成涂膜?；蹇梢愿鶕?jù)用途而適宜地選擇硅基板、玻璃基板等。
然后加熱處理(預(yù)焙)形成了該涂膜的基板，除去殘留溶劑，形成抗蝕劑涂膜。作為預(yù)焙的方法，在使用玻璃基板作為基板的情況下，優(yōu)選進(jìn)行在電熱板和基板之間保持間隙的接近焙燒(proximity bake)。在本實(shí)施方式中，預(yù)焙時(shí)的加熱條件優(yōu)選設(shè)定為80～150℃，60～300℃秒左右。
然后，對(duì)上述抗蝕劑涂膜，通過(guò)掩模進(jìn)行選擇性曝光。
作為這里使用的光源，可以根據(jù)(C)成分的種類(lèi)適宜地選擇，例如若采用i線用的PAG，優(yōu)選使用i線(365nm)作為光源。
然后，對(duì)于選擇性曝光后的抗蝕劑涂膜，進(jìn)行加熱處理(post exposurebakePEB)。作為PEB方法，可以列舉在電熱板和基板之間保持間隙的接近焙燒和沒(méi)有間隙的直接加熱，在使用玻璃基板作為基板時(shí)，為了不產(chǎn)生基板的彎曲、通過(guò)PEB實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散效果，優(yōu)選在進(jìn)行post exposure bake后，進(jìn)行直接加熱的方法。在本實(shí)施方式中，PEB時(shí)的加熱條件優(yōu)選設(shè)定為80～150℃，60～300℃秒左右。
對(duì)于上述PEB后的抗蝕劑涂膜，用顯影液、例如1～10質(zhì)量％氫氧化四甲基銨水溶液之類(lèi)的堿性水溶液進(jìn)行顯影處理，除去曝光部分，同時(shí)在基板上形成抗蝕劑圖案。
然后用純水等清洗液將殘留在抗蝕劑圖案表面的顯影液洗去，由此可以形成抗蝕劑圖案。
本發(fā)明者們對(duì)化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物的耐熱性進(jìn)行了詳細(xì)的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)反應(yīng)，在特別是堿可溶性樹(shù)脂的酚性羥基上加成酸解離性溶解抑制基，則伴隨著酚性羥基的減少耐熱性顯著降低。與之相對(duì)的，若將堿可溶性樹(shù)脂暫時(shí)高分子量化，通過(guò)引入松密度較高的結(jié)構(gòu)單元等方法提高耐熱性，則可能會(huì)引起抗蝕劑組合物對(duì)堿性顯影液的溶解性降低和解像力的變差。
另一方面，在本實(shí)施方式中，特別是通過(guò)使用使芳香族羥基化合物與含有甲醛和羥基取代芳香醛的醛類(lèi)縮合反應(yīng)而得到的酚醛清漆樹(shù)脂(a1)，作為構(gòu)成(A)成分的堿可溶性樹(shù)脂，可以提高正型光致抗蝕劑組合物的耐熱性。認(rèn)為這是由于在縮合劑中含有羥基取代芳香醛，酚醛清漆樹(shù)脂(a1)中的苯環(huán)密度增大，其結(jié)果是，產(chǎn)生立體障礙的酚醛清漆樹(shù)脂(a1)自身的耐熱性提高。
進(jìn)而，通過(guò)使用該羥基取代芳香醛，也可以提高解像力。認(rèn)為這是由于，通過(guò)在縮合劑中使用具有酚性羥基的芳香醛(羥基取代芳香醛)，酚醛清漆樹(shù)脂(a1)中存在的酚性羥基增多，酚醛清漆樹(shù)脂(a1)自身的堿溶解性提高。
此外，本實(shí)施方式的正型光致抗蝕劑組合物是顯示化學(xué)增幅型的機(jī)制的抗蝕劑組合物，未曝光部分和曝光部分之間的顯影對(duì)比度較強(qiáng)，可以得到良好的解像力和敏感度。
進(jìn)而，由于酚醛清漆樹(shù)脂可以廉價(jià)地購(gòu)得，因此可以提供廉價(jià)且耐熱性?xún)?yōu)良的正型光致抗蝕劑組合物。
另外，作為這里的正型光致抗蝕劑組合物的耐熱性，還包含高溫加熱處理時(shí)的抗蝕劑圖案的變形防止效果，和抗蝕劑圖案的尺寸變化的防止效果。
本實(shí)施方式和第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于，在配制(A)成分時(shí)，在酚醛清漆樹(shù)脂(a1)和對(duì)應(yīng)酸解離性溶解抑制基的化合物反應(yīng)得到的反應(yīng)產(chǎn)物(堿難溶性或不溶性的樹(shù)脂)中，使用進(jìn)行了分離除去低分子量物質(zhì)的處理的樹(shù)脂成分作為(A)成分。
在本說(shuō)明書(shū)中所謂的低分子量物質(zhì)中，包含例如，殘留單體、結(jié)合2分子單體的二聚體、結(jié)合3分子單體的三聚體等(單體和2～3核體等)。
作為分離處理低分子量物質(zhì)的方法，可以采用例如，用離子交換樹(shù)脂精制酸解離性溶解抑制基保護(hù)的酚醛清漆樹(shù)脂的方法。通過(guò)該方法在除去低分子量物質(zhì)的同時(shí)，還可以除去酸成分和金屬成分。
此外還可以采用，在溶解于良溶劑中的酚醛清漆樹(shù)脂加入貧溶劑使其分離沉淀，通過(guò)取出沉淀物以除去低分子量物質(zhì)的方法。
該低分子量物質(zhì)的分離除去處理的收率優(yōu)選在50～95質(zhì)量％的范圍內(nèi)。當(dāng)不足50質(zhì)量％的情況下，由于后述的(C)成分產(chǎn)生的酸成分的作用，對(duì)堿性水溶液的溶解性的增大變得不充分。其結(jié)果是，曝光部分與未曝光部分之間的溶解速度之差減小，解像力降低。一方面，當(dāng)超過(guò)95質(zhì)量％時(shí)，進(jìn)行分離除去的效果不充分。此外，Mw為500以下的低分子量物質(zhì)的含量?jī)?yōu)選在GPC圖表上為15％以下，優(yōu)選12％以下。通過(guò)控制在15％以下，在起到抗蝕劑圖案的耐熱性提升效果的同時(shí)，還能起到抑制加熱處理時(shí)升華物質(zhì)的產(chǎn)生量的效果。
在本實(shí)施方式中，可以與第1實(shí)施方式同樣地實(shí)現(xiàn)良好的解像力和敏感度，同時(shí)可以進(jìn)一步提高正型光致抗蝕劑組合物的耐熱性。此外由于分離除去了低分子量物質(zhì)，還可以減少加熱時(shí)產(chǎn)生的升華物質(zhì)。
本實(shí)施方式和第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于，在配制(A)成分時(shí)，使用對(duì)酚醛清漆樹(shù)脂(a1)進(jìn)行了分離除去低分子量物質(zhì)的處理而得到的酚醛清漆樹(shù)脂(a2)，以代替該酚醛清漆樹(shù)脂(a1)。因此，使用該經(jīng)過(guò)處理的酚醛清漆樹(shù)脂(a2)和對(duì)應(yīng)酸解離性溶解抑制基的化合物反應(yīng)得到的堿難溶性或不溶性的樹(shù)脂作為(A)成分。
作為分離處理低分子量物質(zhì)的方法，可以采用例如，用離子交換樹(shù)脂精制酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的方法。通過(guò)該方法在除去低分子量物質(zhì)的同時(shí)，還可以除去酸成分和金屬成分。
此外還可以采用，將酚醛清漆樹(shù)脂(a1)溶解于良溶劑，例如甲醇、乙醇等醇，丙酮、甲乙酮等酮和乙二醇單乙基醚乙酸酯、四氫呋喃等中，然后注入水中使其沉淀的方法，也可以分離除去低分子量物質(zhì)。
此外，通過(guò)在酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的合成反應(yīng)途中進(jìn)行例如水蒸氣蒸餾，也可以減少2核體等低核體的含量(參照特開(kāi)2000-13185號(hào)公報(bào))。
出于和第2實(shí)施方式同樣的理由，該低分子量物質(zhì)的分離除去處理的收率優(yōu)選在50～95質(zhì)量％的范圍內(nèi)。此外，Mw為500以下的低分子量物質(zhì)的含量?jī)?yōu)選在GPC圖表上為15％以下，優(yōu)選12％以下。通過(guò)控制在15％以下，在起到抗蝕劑圖案的耐熱性提升效果的同時(shí)，還能起到抑制加熱處理時(shí)升華物質(zhì)的產(chǎn)生量的效果。
在本實(shí)施方式中，可以與第1實(shí)施方式同樣地實(shí)現(xiàn)良好的解像力和敏感度，同時(shí)可以進(jìn)一步提高正型光致抗蝕劑組合物的耐熱性。此外由于分離除去了低分子量物質(zhì)，還可以減少加熱時(shí)產(chǎn)生的升華物質(zhì)。
特別是第3實(shí)施方式，與第2實(shí)施方式相比，由于相對(duì)于分離溶劑的各分子量的溶解性之差較大，因此可以以高收率更有效率地除去低分子量物質(zhì)。
以下通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明，但是本發(fā)明并不限于以下的實(shí)施例。
下述實(shí)施例或比較例的正型光致抗蝕劑組合物的下述各物性(1)～(3)的評(píng)價(jià)方法如下所示。
(1)敏感度評(píng)價(jià)用涂膠機(jī)將正型光致抗蝕劑組合物涂敷在硅基板上，然后將其在加熱板上以140℃，干燥90秒(預(yù)焙)，形成膜厚1.48μm的抗蝕劑涂膜。
然后，在該涂膜上夾持line and space為1∶1的1.5μm抗蝕圖案對(duì)應(yīng)的掩模(分劃板)，用ミラ-プロジェクション·ァライナ-MPA-600FA(佳能公司制造ghi線曝光裝置)，以可以忠實(shí)再現(xiàn)1.5μm L&S的曝光量(Eop曝光量)進(jìn)行選擇性曝光。
然后，在140℃、90秒的加熱條件下，進(jìn)行PEB。
然后，在23℃下，用2.38質(zhì)量％TMAH水溶液(氫氧化四甲基銨水溶液；產(chǎn)品名“NMD-3”，東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社制造)進(jìn)行90秒的顯影處理后，用純水沖洗30秒，旋轉(zhuǎn)干燥。
使用可以忠實(shí)再現(xiàn)1.5μm L&S的抗蝕劑圖案的曝光量(Eop，單位mJ/cm2)，作為敏感度的評(píng)價(jià)指標(biāo)。
(2)解像力評(píng)價(jià)求出上述Eop曝光量中的極限解象力。
(3)耐熱性評(píng)價(jià)在上述Eop曝光量中，將繪有1.5μm L&S的基板在設(shè)定為160℃的加熱板上靜置1分鐘后，觀察其剖面形狀。將1.5μm L&S的尺寸變化率在±10％以?xún)?nèi)的記作○，超過(guò)±10％的記作×。
(制備例1；沒(méi)有分離除去)合成酚醛清漆樹(shù)脂(a1)，配制其所有酚性羥基中的一部分通過(guò)乙基乙烯基保護(hù)的樹(shù)脂成分(A1)。沒(méi)有進(jìn)行低分子量物質(zhì)的分離除去處理。
即，在250g酚醛清漆樹(shù)脂(間甲酚/對(duì)甲酚＝6/4(摩爾比)、福爾馬林/水楊醛＝3/1(摩爾比)、Mw＝5500)(a1)的20質(zhì)量％溶液[溶劑＝1，4-二噁烷]中，加入0.01g對(duì)甲苯磺酸·1水合物和9g乙基乙烯基醚，在22℃下反應(yīng)2小時(shí)。然后，向反應(yīng)液中添加0.01g三乙胺，將其注入1000ml純水中，使反應(yīng)物沉淀。過(guò)濾后，得到的沉淀物溶解于250g甲醇，該溶液通過(guò)離子交換樹(shù)脂。然后在PGMEA中進(jìn)行溶劑置換，得到125g酚性羥基的30％被乙氧基乙基保護(hù)的酚醛清漆樹(shù)脂(A1)溶液。
(制備例2；在保護(hù)后分離除去)將在制備例1中得到的酚醛清漆樹(shù)脂(A1)溶液配成30質(zhì)量％的PGMEA溶液，向該溶液中添加270g正庚烷，取出生成的沉淀物，將該沉淀物溶解于PGMEA中，然后進(jìn)行濃縮除去正庚烷，得到酚醛清漆樹(shù)脂(A2)溶液。分離處理中的收率為76質(zhì)量％，Mw＝7200。
(制備例3；在保護(hù)前分離除去)
配制出經(jīng)過(guò)分離處理酚醛清漆樹(shù)脂低分子量物質(zhì)的處理后的酚醛清漆樹(shù)脂(a2)后，制成該經(jīng)過(guò)處理的酚醛清漆樹(shù)脂(a2)的所有酚性羥基的一部分被乙基乙烯基保護(hù)的樹(shù)脂成分(A3)。
即，將酚醛清漆樹(shù)脂(間甲酚/對(duì)甲酚＝6/4(摩爾比)、福爾馬林/水楊醛＝3/1(摩爾比)、Mw＝5500)(a1)溶解于甲醇，配制出150g 30質(zhì)量％的甲醇溶液，向其中添加115g純水得到沉淀物。得到的沉淀物溶于1，4-二噁烷中，進(jìn)行濃縮除去水分，得到酚醛清漆樹(shù)脂(a2)溶液，在分離處理中的收率為80質(zhì)量％。
在180g分離處理過(guò)后得到的經(jīng)過(guò)處理的酚醛清漆樹(shù)脂(a2)的20質(zhì)量％溶液[溶劑＝1，4-二噁烷]中，加入0.01g對(duì)甲苯磺酸·1水合物和6.5g乙基乙烯基醚，在22℃下反應(yīng)2小時(shí)。然后，向反應(yīng)液中添加0.01g三乙胺，將其注入1000ml純水中，使反應(yīng)物沉淀。過(guò)濾得到的沉淀物溶解于250g甲醇，該溶液通過(guò)離子交換樹(shù)脂。然后在PGMEA中進(jìn)行溶劑置換，得到酚醛清漆樹(shù)脂(a2)所有的酚性羥基的30％被乙氧基乙基保護(hù)的樹(shù)脂成分(A3)。
(制備例4～6)除了將制備例1～3中的縮合劑(福爾馬林/水楊醛＝3/1(摩爾比))變?yōu)楦栺R林和對(duì)羥基苯甲醛的混合物(福爾馬林/對(duì)羥基苯甲醛＝3/1(摩爾比))以外，其余按照同樣的方法分別配制樹(shù)脂成分(A4)～(A6)。
(制備例7～9)除了將制備例1～3中的縮合劑(福爾馬林/水楊醛＝3/1(摩爾比))變?yōu)楦栺R林和3，4-二羥基苯甲醛的混合物(福爾馬林/3，4-二羥基苯甲醛＝3/1(摩爾比))以外，其余按照同樣的方法分別配制樹(shù)脂成分(A7)～(A9)。
(比較制備例1)除了將制備例1中的縮合劑(福爾馬林/水楊醛＝3/1(摩爾比))變?yōu)橹挥屑兹┮酝猓溆喟凑胀瑯拥姆椒ㄅ渲茦?shù)脂成分(A10)。
(實(shí)施例1～9和比較例1)相對(duì)于100質(zhì)量份在上述制備例1～9和比較制備例1中分別得到的(A1)～(A10)成分，將3質(zhì)量份(C)成分[上述式(IX)的化合物]和0.2質(zhì)量份(D)成分[三正癸基胺]溶解于PGMEA中，進(jìn)一步加入500ppm作為表面活性劑的XR-104(大日本インキ公司制造)，配制成35質(zhì)量％濃度的溶液后，用孔徑0.2μm的過(guò)濾膜將其過(guò)濾，配制成抗蝕劑組合物。
對(duì)該抗蝕劑組合物進(jìn)行前述(1)～(3)的物性的評(píng)價(jià)。其結(jié)果如下述表1所示。

從表1的結(jié)果中，實(shí)施例1～9使用在縮合劑中具有酚性羥基的芳香醛合成酚醛清漆樹(shù)脂，與縮合劑僅為福爾馬林的比較例1相比，其解像力和耐熱性都有了提高。此外，在實(shí)施例中，特別是在(A)成分的配制工序中進(jìn)行了低分子量物質(zhì)的分離處理的實(shí)施例2、3、5、6、8、9的耐熱性更好。
以上，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明不受到這些實(shí)施例的任何限定。在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行要素的添加、省略、替換及其他各種變化。本發(fā)明不受到前述說(shuō)明的限定，僅通過(guò)所附的本發(fā)明要求保護(hù)的范圍進(jìn)行限定。
在本發(fā)明中，使用在縮合劑中用羥基取代芳香醛合成的酚醛清漆樹(shù)脂(a1)，可以提供不損害樹(shù)脂成分的堿溶解性(當(dāng)然也不會(huì)相反地使其提高)、且耐熱性?xún)?yōu)良的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物，其特征在于含有樹(shù)脂成分(A)和通過(guò)放射線的照射產(chǎn)生酸成分的化合物(C)以及有機(jī)溶劑，通過(guò)由前述(C)成分所產(chǎn)生的酸成分的作用，具有對(duì)堿性水溶液溶解性增大的性質(zhì)，其中前述(A)成分含有下述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的所有酚性羥基中的一部分通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)而形成的堿難溶性或不溶性樹(shù)脂成分，所述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)是通過(guò)使芳香族羥基化合物與至少含有甲醛和羥基取代芳香醛的醛類(lèi)縮合反應(yīng)而得到的酚醛清漆樹(shù)脂。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物，其特征在于前述(A)成分中含有，對(duì)前述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的所有酚性羥基中的一部分通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)而形成的堿難溶性或不溶性的樹(shù)脂成分，進(jìn)行分離除去低分子量物質(zhì)的處理后而得到的樹(shù)脂成分。
3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物，其特征在于前述(A)成分中含有下述酚醛清漆樹(shù)脂(a2)的所有酚性羥基中的一部分通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)而形成的堿難溶性或不溶性的樹(shù)脂成分，所述酚醛清漆樹(shù)脂(a2)是對(duì)通過(guò)使芳香族羥基化合物與至少含有甲醛和羥基取代芳香醛的醛類(lèi)縮合反應(yīng)而得到酚醛清漆樹(shù)脂，進(jìn)行分離除去低分子量物質(zhì)的處理而得到酚醛清漆樹(shù)脂。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種化學(xué)增幅型正型光致抗蝕劑組合物，其特征在于其含有樹(shù)脂成分(A)和通過(guò)放射線的照射產(chǎn)生酸成分的化合物(C)以及有機(jī)溶劑，通過(guò)由前述(C)成分所產(chǎn)生的酸成分的作用，該組合物具有對(duì)堿性水溶液溶解性增大的性質(zhì)，其中前述(A)成分含有下述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)的所有酚性羥基中的一部分通過(guò)酸解離性溶解抑制基保護(hù)而形成的堿難溶性或不溶性樹(shù)脂成分，所述酚醛清漆樹(shù)脂(a1)是通過(guò)使芳香族羥基化合物與至少含有甲醛和羥基取代芳香醛的醛類(lèi)縮合反應(yīng)而得到的酚醛清漆樹(shù)脂。
文檔編號(hào)G03F7/004GK1680875SQ200510064839
公開(kāi)日2005年10月12日 申請(qǐng)日期2005年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月9日
發(fā)明者宮城賢, 館俊聰, 丸山健治, 高木勇 申請(qǐng)人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社