專利名稱：蝕刻?hào)啪W(wǎng)的生產(chǎn)工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電子器件的生產(chǎn)工藝。
用蝕刻方法生產(chǎn)印刷電路板等是一種公知的技術(shù)，主要包括制版、曝光、蝕刻、去膜等工藝過程，但由于其在設(shè)計(jì)過程中蝕刻余量留得不足，且在曝光、蝕刻等過程中沒有精確掌握溫度、時(shí)間等參數(shù)，感光膠分辨率低等，致使其產(chǎn)品線徑達(dá)不到0.03毫米以下，根本無(wú)法生產(chǎn)象熒光顯示屏(VFD)的陰極柵網(wǎng)那樣精細(xì)的產(chǎn)品。
本發(fā)明的目的在于提供一種蝕刻?hào)啪W(wǎng)的生產(chǎn)工藝，能生產(chǎn)出線徑在0.03毫米以下的熒光顯示屏(VFD)陰極柵網(wǎng)。
蝕刻?hào)啪W(wǎng)的生產(chǎn)工藝包括落料、清洗、制網(wǎng)版、設(shè)計(jì)、制版、曝光、上膠、顯影、固化、蝕刻、去膜、清洗、檢驗(yàn)、包裝過程。設(shè)計(jì)過程蝕刻余量按H＝E×T/2計(jì)算，式中H為線條單邊余量，E為蝕刻因子，T為帶材厚度。制版采用光繪機(jī)制作正負(fù)銀鹽片，由銀鹽片拷貝正負(fù)重氮片，制版時(shí)正負(fù)片對(duì)位偏移不超過0.005毫米。上膠采用絲網(wǎng)印刷，用封網(wǎng)膠封往絲網(wǎng)無(wú)用面積，透墨面積按板材標(biāo)稱尺寸長(zhǎng)寬方向各減小2毫米，感光膠采用分辨率很高的聚脂感光膠，每一張板料須放入烘道中烘干。曝光是將已烘的油墨板在紫外光下曝光，曝光時(shí)間3-5秒。顯影采用濃度為3.5-4％的Na2CO3為顯影液。固化過程采用遠(yuǎn)紅外烘道，烘道內(nèi)溫度為170℃，經(jīng)顯影后的產(chǎn)品放入烘道內(nèi)傳送帶烘干。蝕刻采用噴淋蝕刻，F(xiàn)eCl3為蝕刻溶液，溫度保持在45-48℃之間，蝕刻時(shí)間為8至10分鐘。去膜采用3.5-4％NaHO，在80℃恒溫狀態(tài)下浸泡1-2分鐘后取出，清洗后放入70-75℃烘道內(nèi)烘干。采用本生產(chǎn)工藝，因設(shè)計(jì)制版環(huán)節(jié)留有足夠余量，曝光、顯影環(huán)節(jié)時(shí)間、溫度等控制精確，并增加了顯影前預(yù)處理過程，使蝕刻精度達(dá)到0.03毫米以下，能生產(chǎn)出熒光顯示屏(VFD)的陰極柵網(wǎng)，成品率高，成本低。
附圖
是本發(fā)明實(shí)施例的工藝流程框圖。
本實(shí)施例包括落料、清洗、制網(wǎng)版、設(shè)計(jì)、制版、上膠、曝光、顯影、固化、蝕刻、去膜、清洗、檢驗(yàn)、包裝過程，落料是把帶材切割成板材，清水沖洗后待上膠，設(shè)計(jì)過程蝕刻余量按H＝E×T/2計(jì)算，式中H為線條單邊余量，E為蝕刻因子，T為帶材厚度。制版采用光繪機(jī)制作正負(fù)銀鹽片，由銀鹽片拷貝正負(fù)重氮片，制版時(shí)正負(fù)片對(duì)位偏移不超過0.005毫米，用100倍讀數(shù)顯微鏡測(cè)量。上膠采用絲網(wǎng)印刷，用封網(wǎng)膠封往絲網(wǎng)無(wú)用面積，透墨面積按板材標(biāo)稱尺寸長(zhǎng)寬方向各減小2毫米，烘干后檢查是否漏光，漏光處補(bǔ)封，感光膠為分辨很高的聚脂感光膠，每一張板料須放入烘道中烘干，第一面烘干時(shí)，烘道溫度設(shè)定為80℃，第二面烘干時(shí)，烘道溫度設(shè)定為85℃，烘道長(zhǎng)度12米，輸送帶速率40厘米/分鐘。曝光是將已預(yù)烘的油墨板在紫外線曝光機(jī)上曝光，顯影采用濃度為3.5％Na2CO3溶液，浸泡2分鐘。固化過程采用遠(yuǎn)紅外烘道，烘道內(nèi)溫度為170℃，經(jīng)顯影后的產(chǎn)品放入烘道內(nèi)傳輸帶烘干。蝕刻采用噴淋蝕刻，F(xiàn)eCl3為蝕刻溶液，溫度保持在45℃，蝕刻時(shí)間為10分鐘，去膜采用35％NaHO在80℃恒溫狀態(tài)下浸泡2分鐘后取出，清水沖洗后放入75℃烘道內(nèi)烘干，再經(jīng)檢驗(yàn)、包裝后出廠。
權(quán)利要求
1.蝕刻?hào)啪W(wǎng)的生產(chǎn)工藝，包括落料、清洗、制網(wǎng)板、設(shè)計(jì)、制版、上膠、曝光、顯影、固化、蝕刻、去膜、清洗、檢驗(yàn)、包裝過程。其特征在于設(shè)計(jì)過程蝕刻余量按H＝E×T/2計(jì)算，式中H為線條單邊余量，E為蝕刻因子，T為板材厚度，上膠時(shí)，絲網(wǎng)透墨面積按板材標(biāo)稱尺寸長(zhǎng)寬方向各減小2毫米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)工藝，其特征在于板材上膠后，第一面烘干時(shí)，烘道溫度為80℃，第二面烘干時(shí)，烘道溫度為85℃，烘道長(zhǎng)度12米，輸送帶速率40厘米/分鐘。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的生產(chǎn)工藝，其特征在于上膠過程所用的感光膠為分辨率很高的聚脂感光膠。
全文摘要
蝕刻?hào)啪W(wǎng)的生產(chǎn)工藝,包括落料、設(shè)計(jì)、制版、上膠、曝光、顯影、固化、蝕刻、去膜等工藝,設(shè)計(jì)、上膠時(shí)根據(jù)標(biāo)稱尺寸都留有一定余量,使蝕刻?hào)啪W(wǎng)的線徑達(dá)到0.03毫米以下,用于生產(chǎn)熒光顯示屏(VFD)的陰極柵網(wǎng),生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單、成品率高、成本低。
文檔編號(hào)G03F7/12GK1339722SQ00122349
公開日2002年3月13日 申請(qǐng)日期2000年8月23日 優(yōu)先權(quán)日2000年8月23日
發(fā)明者裘華見 申請(qǐng)人:裘華見