一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造及LED制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)上，目前檢測類設(shè)備，主要集中于手動及半自動。對LED或IC制造過程的襯底片進行非接觸的表面參數(shù)檢測:TTV，LTV，BOW，THK及Warp等參數(shù)。采用的檢測技術(shù)包括無接觸光學(xué)傳感器及采用牛頓環(huán)技術(shù)來實現(xiàn)。主要是國外產(chǎn)品。激光打標設(shè)備，對襯底片定位后，通過軟件設(shè)置打標內(nèi)容，通過激光器在襯底片上打印出編號、產(chǎn)品名稱等信息。國內(nèi)有此類設(shè)備的生產(chǎn)。檢測設(shè)備目前只分為手動和半自動兩種。并且沒有自動分選功能。在實際使用過程中，容易對檢測襯底片造成污染，效率低等問題。激光打標設(shè)備，由于所采用的激光頭及軟件處理等原因，目前存在問題是占地面積大，效率低。并且故障率高。以上兩種設(shè)備，檢測完畢，將合格的襯底片由激光打標設(shè)備來進行名稱、編號等信息。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備，解決傳統(tǒng)的設(shè)備容易污染被檢測的襯底片、檢測效率低、檢測設(shè)備占用空間較大和故障較高的問題。
[0004]本發(fā)明為解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備，包括機架，還包括設(shè)置于所述機架的上端的一側(cè)的大理石底板、設(shè)置于所述機架的上端的另一側(cè)的傳輸工作臺、設(shè)置于所述大理石底板的上端的掃描工作臺、設(shè)置于所述掃描工作臺的上端的檢測頭支架、設(shè)置于所述檢測頭支架上的激光檢測頭、設(shè)置于所述大理石底板的上端且處于所述掃描工作臺的上側(cè)的大理石橫梁、設(shè)置于所述掃描工作臺的上端且處于所述大理石橫梁和所述傳輸工作臺之間的載料臺、設(shè)置于所述傳輸工作臺的上端的傳輸機械臂、設(shè)置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的靠近所述傳輸機械臂的一端的定心機構(gòu)、設(shè)置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述定心機構(gòu)的一端的激光打印裝置、設(shè)置于所述激光打印裝置的下側(cè)的打印工作臺、設(shè)置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述載料臺的一側(cè)的第一升降機、第二升降機和第三升降機。
[0006]其中，所述第一升降機、所述第二升降機和所述第三升降機的結(jié)構(gòu)一致；所述第二升降機處于所述第一升降機和所述第三升降機的中間；所述第二升降機用于放置待檢測的襯底片和放置不合格的襯底片；所述第一升降機和所述第三升降機用于放置打標完畢的的襯底片。
[0007]其中，所述激光打印裝置包括支撐部件和穿設(shè)于所述支撐部件的上部的打標部件；所述打標部件處于所述打印工作臺的正上方。
[0008]其中，所述傳輸機械臂包括安裝部件、設(shè)置于所述安裝部件的上端的第一取料臂和設(shè)置于所述安裝部件的上端的第二取料臂；所述安裝部件旋設(shè)于所述傳輸工作臺的上端，所述第一取料臂和所述第二取料臂所成夾角為Θ ;所述Θ ^ 100°，且Θ 5 150°。
[0009]其中，將待檢測的襯底片連同片盒放置在所述第二升降機上；
[0010]所述傳輸機械臂在所述傳輸工作臺上移動，所述傳輸機械臂將所述待檢測的襯底片移動到所述定心機構(gòu)；
[0011]所述定心機構(gòu)將移動過來的所述待檢測的襯底片進行定心；
[0012]所述傳輸機械臂在所述傳輸工作臺上移動，將定心好的所述待檢測的襯底片移動到所述載料臺；
[0013]所述掃描工作臺按照預(yù)設(shè)的程序進行移動，所述激光檢測頭對所述待檢測的襯底片進行檢測，并判斷所述待檢測的襯底片是否合格；
[0014]若所述待檢測的襯底片不合格，所述傳輸機械臂將經(jīng)過檢測不合格的所述襯底片直接放回所述第二升降機上；
[0015]若所述待檢測的襯底片合格，所述傳輸機械臂將經(jīng)過檢測合格的所述襯底片傳輸?shù)剿黾す獯蛴⊙b置進行打標；
[0016]所述傳輸機械臂將打標后的所述襯底片傳輸?shù)剿龅谝簧禉C和所述第三升降機。
[0017]其中，所述激光檢測頭對所述待檢測的襯底片的表面進行檢測，并將檢測收集到的數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C，所述計算機按照預(yù)設(shè)的算法對傳輸進來的數(shù)據(jù)進行處理；
[0018]對所述待檢測的襯底片檢測的數(shù)據(jù)包括TTV、LTV、BOW, Warp和THK ；
[0019]所述待檢測的襯底片檢測的數(shù)據(jù)被存儲于數(shù)據(jù)庫內(nèi)。
[0020]本發(fā)明的優(yōu)點在于:
[0021]本發(fā)明的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備，包括機架，還包括設(shè)置于所述機架的上端的一側(cè)的大理石底板、設(shè)置于所述機架的上端的另一側(cè)的傳輸工作臺、設(shè)置于所述大理石底板的上端的掃描工作臺、設(shè)置于所述掃描工作臺的上端的檢測頭支架、設(shè)置于所述檢測頭支架上的激光檢測頭、設(shè)置于所述大理石底板的上端且處于所述掃描工作臺的上側(cè)的大理石橫梁、設(shè)置于所述掃描工作臺的上端且處于所述大理石橫梁和所述傳輸工作臺之間的載料臺、設(shè)置于所述傳輸工作臺的上端的傳輸機械臂、設(shè)置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的靠近所述傳輸機械臂的一端的定心機構(gòu)、設(shè)置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述定心機構(gòu)的一端的激光打印裝置、設(shè)置于所述激光打印裝置的下側(cè)的打印工作臺、設(shè)置于所述機架的上端且處于所述傳輸工作臺的遠離所述載料臺的一側(cè)的第一升降機、第二升降機和第三升降機；本發(fā)明中，檢測設(shè)備是全自動設(shè)備:自動上料、檢測，并根據(jù)檢測結(jié)果，對合格的襯底片送至打印區(qū)域，由激光控制系統(tǒng)控制激光頭完成打標；最后將打標完成的襯底片送到設(shè)定的片盒里；本發(fā)明提高了生產(chǎn)效率，減少了對襯底片的污染。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備的俯視圖。
[0023]圖2是本發(fā)明的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備的主視圖。
[0024]圖3是本發(fā)明的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備的對襯底片進行檢測的流程圖。
[0025]1-大理石底板；2_掃描工作臺；3_激光檢測頭；4_大理石橫梁；5_載料臺；6-激光打印裝置；7-傳輸工作臺；8_第一升降機；9_第二升降機；10_第三升降機；11_傳輸機械臂；12-定心機構(gòu)；13-檢測頭支架；14-打印工作臺；15-機架。
【具體實施方式】
[0026]為了使本發(fā)明實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合圖示與具體實施例，進一步闡述本發(fā)明。
[0027]結(jié)合圖1至圖3對本發(fā)明的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備進行詳細說明。
[0028]本發(fā)明的非接觸全自動襯底片檢測分選及激光打標設(shè)備，包括機架15，還包括設(shè)置于所述機架15的上端的一側(cè)的大理石底板1、設(shè)置于所述機架15的上端的另一側(cè)的傳輸工作臺7、設(shè)置于所述大理石底板I的上端的掃描工作臺2、設(shè)置于所述掃描工作臺2的上端的檢測頭支架13、設(shè)置于所述檢測頭支架13上的激光檢測頭3、設(shè)置于所述大理石底板I的上端且處于所述掃描工作臺2的上側(cè)的大理石橫梁4、設(shè)置于所述掃描工作臺2的上端且處于所述大理石橫梁4和所述傳輸工作臺7之間的載料臺5、設(shè)置于所述傳輸工作臺7的上端的傳輸機械臂11、設(shè)置于所述機架15的上端且處于所述傳輸工作臺7的靠近所述傳輸機械臂11的一端的定心機構(gòu)12、設(shè)置于所述機架15的上端且處于所述傳輸工作臺7的遠離所述定心機構(gòu)12的一端的激光打印裝置6、設(shè)置于所述激光打印裝置6的下側(cè)的打印工作臺14、設(shè)置于所述機架15的上端且處于所述傳輸工作臺7的遠離所述載料臺5的一側(cè)的第一升降機8、第二升降機9和第三升降機10。通過傳輸機構(gòu)將升降機上片盒里的襯底片放置到掃描工作臺上的承片臺上，然后依照軟件設(shè)置進行無接觸掃描，并將