工件輸送裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及適合于在真空環(huán)境中輸送玻璃基板或晶片等薄板狀工件的工件輸送
目.ο
【背景技術(shù)】
[0002]如圖17所示，在傳送室的周圍呈輻射狀地配置有處理室的處理系統(tǒng)中，為了處理室間的工件的移送而在傳送室內(nèi)配置的工件輸送裝置，在俯視時能夠使工件在輻射方向上前進移動即可，因此能夠使用例如如專利文獻1所示那樣的、組合平行連桿結(jié)構(gòu)(parallellinkage)而成的關(guān)節(jié)臂式的輸送裝置。這樣的輸送裝置能夠通過平行連桿結(jié)構(gòu)具有的功能利用較少的動力能源維持保持工件的手的姿態(tài)，并且能夠在俯視時使該工件前進移動。
[0003]但是，為了縮小處理系統(tǒng)的占有面積而實現(xiàn)緊湊化，如圖18所示，提案有新處理系統(tǒng)，其中，將傳送室TC形成為矩形，并且沿其相對的長邊配置有多個(圖示例子中為兩個)矩形處理室PC。這樣的新處理系統(tǒng)中，由于需要同等地維持在長邊相對的手的姿態(tài)，并且進行沿著該長邊的兩個處理室PC間的工件移送，因此不能采用只不過能夠向輻射方向前進移動的專利文獻1所示那樣的工件輸送裝置。
[0004]在圖18所示的處理系統(tǒng)中，例如考慮使用專利文獻2所示的輸送裝置。該專利文獻2所示的輸送裝置構(gòu)成為包括:相對于支承基座能夠旋轉(zhuǎn)的第一臂；相對于第一臂能夠旋轉(zhuǎn)的第二臂；和相對于第二臂能夠旋轉(zhuǎn)的手。并且，因為相對于支承基座的第一臂的旋轉(zhuǎn)、相對于第一臂的第二臂的旋轉(zhuǎn)和相對于第二臂的手的旋轉(zhuǎn)分別獨立地進行，所以手的姿態(tài)和手的移動路徑的設(shè)定的自由度高，因此專利文獻2所示的輸送裝置，在圖18所示的處理系統(tǒng)中存在能夠進行處理室間的工件的轉(zhuǎn)送的可能性。
[0005]但是，專利文獻2所示的輸送裝置并沒有構(gòu)成為能夠應(yīng)對真空環(huán)境的結(jié)構(gòu)，實際上，例如在下一代有機EL面板制造中的處理系統(tǒng)等的要求在真空環(huán)境中的面板輸送的情況下不能夠使用。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0007]專利文獻1:特開2011-101912號公報
[0008]專利文獻2:特開2012-161858號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的課題
[0010]本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，課題在于提供一種工件輸送裝置，其能夠在真空環(huán)境中輸送工件，并且能夠擴大工件的輸送路徑的設(shè)定自由度，且能夠縮小占有面積來實現(xiàn)處理系統(tǒng)的緊湊化，并且能夠進行工件的高速輸送。
[0011]用于解決課題的技術(shù)手段
[0012]為了解決上述課題，本發(fā)明中采用如下所述的技術(shù)手段。
[0013]本發(fā)明提供的工件輸送裝置，包括:支承基座；相對于該支承基座以能夠繞主旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的方式連結(jié)的支承臂；相對于該支承臂以能夠繞肘關(guān)節(jié)軸轉(zhuǎn)動的方式連結(jié)的手保持臂；和相對于該手保持臂以能夠繞腕關(guān)節(jié)軸轉(zhuǎn)動的方式連結(jié)的至少兩個手，上述工件輸送裝置的特征在于:用于使上述支承臂相對于上述支承基座旋轉(zhuǎn)的支承臂用電動機配置在上述支承基座內(nèi)，用于使上述手保持臂相對于上述支承臂轉(zhuǎn)動的手保持臂用電動機配置在上述支承基座內(nèi)或上述支承臂內(nèi)，用于使上述手相對于上述手保持臂轉(zhuǎn)動的手用電動機配置在上述支承臂內(nèi)，在上述肘關(guān)節(jié)軸同軸地配置有:用于使上述手保持臂相對于上述支承臂能夠轉(zhuǎn)動的關(guān)節(jié)軸；和傳遞用于使上述手轉(zhuǎn)動的動力的至少兩個傳動軸，在上述支承基座、上述主旋轉(zhuǎn)軸、上述支承臂和上述肘關(guān)節(jié)軸，設(shè)置有氣密保持上述支承基座內(nèi)的配置上述支承臂用電動機的區(qū)域和上述支承臂內(nèi)的氣密結(jié)構(gòu)。
[0014]在優(yōu)選的實施方式中，在上述肘關(guān)節(jié)軸中，上述關(guān)節(jié)軸為中空軸，上述同軸的傳動軸插通在上述關(guān)節(jié)軸的內(nèi)部，在上述關(guān)節(jié)軸與能夠轉(zhuǎn)動地支承該關(guān)節(jié)軸的部件之間、上述傳動軸與上述關(guān)節(jié)軸之間、和上述傳動軸之間設(shè)置有氣密密封件。
[0015]在優(yōu)選的實施方式中，上述氣密密封件為磁性流體密封件
[0016]在優(yōu)選的實施方式中，包括:將上述支承臂用電動機的輸出減速的第一減速機構(gòu)，該第一減速機構(gòu)配置在上述支承基座內(nèi)；將上述手保持臂用電動機的輸出減速的第二減速機構(gòu)，該第二減速機構(gòu)配置在上述支承基座內(nèi)或上述支承臂內(nèi)；和將上述手用電動機的輸出減速的第三減速機構(gòu)，該第三減速機構(gòu)配置在上述支承臂內(nèi)或上述手保持臂內(nèi)。
[0017]在優(yōu)選的實施方式中，上述至少兩個手相對于上述手保持臂能夠同軸地繞1個上述腕關(guān)節(jié)軸轉(zhuǎn)動。
[0018]在優(yōu)選的實施方式中，上述支承臂包括相互能夠轉(zhuǎn)動地連結(jié)的兩個或者兩個以上的支承臂部件，上述肘關(guān)節(jié)軸位于最前端側(cè)的支承臂部件。
[0019]在優(yōu)選的實施方式中，上述手保持臂包括相互能夠轉(zhuǎn)動地連結(jié)的兩個或者兩個以上的手保持臂部件，上述腕關(guān)節(jié)軸位于最前端側(cè)的手保持臂部件。
[0020]根據(jù)具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的工件輸送裝置，由于支承臂相對于支承基座、手保持臂相對于支承臂、兩個以上的手相對于手支承臂能夠獨立地旋轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)動，因此能夠更加高效地進行多個處理室之間的工件的輸送，而且，能夠縮小占有面積而實現(xiàn)處理系統(tǒng)的緊湊化和處理的高速化。
[0021]本發(fā)明的其它的特征和優(yōu)點能夠從參照附圖進行的以下的詳細說明中明確。
[0022]附圖標(biāo)記說明
[0023]XI 主旋轉(zhuǎn)軸
[0024]X2 肘關(guān)節(jié)軸
[0025]X3 腕關(guān)節(jié)軸
[0026]10A工件輸送裝置(第一實施方式)
[0027]10B工件輸送裝置(第二實施方式)
[0028]10C工件輸送裝置(第三實施方式)
[0029]10D工件輸送裝置(第四實施方式)
[0030]10E工件輸送裝置(第一參考例)
[0031]10F工件輸送裝置(第二參考例)
[0032]100 固定基座
[0033]103升降用電動機
[0034]104帶輪傳動機構(gòu)
[0035]105滾珠絲桿結(jié)構(gòu)
[0036]108蛇紋管部件
[0037]200支承基座
[0038]220支承臂用電動機
[0039]221第一減速機
[0040]230手保持臂用電動機
[0041]231第二減速機
[0042]232第一傳動軸
[0043]250第一真空密封單元
[0044]300支承臂
[0045]310手用電動機
[0046]311第三減速機
[0047]320手用電動機
[0048]321第三減速機
[0049]350第二真空密封單元
[0050]400手保持臂
[0051]510 第一手
[0052]520 第二手
【附圖說明】
[0053]圖1是本發(fā)明第一實施方式的工件輸送裝置10A的概略側(cè)視圖。
[0054]圖2是圖1所示的工件輸送裝置10A的概略俯視圖。
[0055]圖3是圖1所示的工件輸送裝置10A的概略縱截面圖。
[0056]圖4是沿圖3的IV — IV線的概略截面圖。
[0057]圖5是沿圖3的V — V線的概略截面圖。
[0058]圖6是沿圖4的VI— VI線的放大截面圖。
[0059]圖7本發(fā)明的第二實施方式的工件輸送裝置10B的概略截面圖。
[0060]圖8是沿圖7的廁一VID線的概略截面圖。
[0061]圖9是沿圖7的IX — IX線的概略截面圖。
[0062]圖10是本發(fā)明的第三實施方式的工件輸送裝置10C的概略縱截面圖。
[0063]圖11是本發(fā)明的第四實施方式的工件輸送裝置10D的概略縱截面圖。
[0064]圖12是圖11所示的工件輸送裝置10D的概略俯視圖。
[0065]圖13是圖11所示的工件輸送裝置10D的概略俯視圖。
[0066]圖14是本發(fā)明的第一參考例的工件輸送裝置10E的概略縱截面圖。
[0067]圖15是圖14所示的工件輸送裝置10E的概略俯視圖。
[0068]圖16是圖14所示的工件輸送裝置10E的概略俯視圖。
[0069]圖17是工藝處理系統(tǒng)的配置例的說明圖。
[0070] 圖18是工藝處理系統(tǒng)的其它配置例的說明圖。
【具體實施方式】
[0071 ] 以下，參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行具體的說明。
[0072]圖1至圖6表示本發(fā)明的第一實施方式的工件輸送裝置10A。該工件輸送裝置10A包括:固定基座100 ;支承基座200 ;支承臂300 ;手保持臂400 ;和兩個手510、520。該工件輸送裝置10A例如設(shè)置于在真空環(huán)境中進行的處理系統(tǒng)中的傳送室內(nèi)。
[0073]如圖3中所示，固定基座100以能夠升降的方式收納保持支承基座200。支承基座200，其上部從設(shè)置于固定基座100的頂板101的開口 102突出，利用上下方向引導(dǎo)件(省略圖示)以能夠升降的方式被支承。另外，利用能夠經(jīng)由帶輪傳動機構(gòu)104傳遞升降用電動機103的旋轉(zhuǎn)的滾珠絲桿結(jié)構(gòu)105，使該支承基座200升降。
[0074]支承基底200還具有由筒狀的外廓壁201、底板202和后述的第一真空密封單元250包圍而成的空間S2。固定基底100具有由筒狀外廓壁106、底板107、頂板101、上述支承基底200的底板202、安裝在頂板101與上述支承基底200的底板202之間的蛇紋管部件108包圍的空間S1。這些空間S1、S2連通，并且導(dǎo)入傳送室外的大氣壓，利用第一真空密封單元250和