本發(fā)明涉及一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)領(lǐng)域,特別涉及一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)。
背景技術(shù):
制絨清洗機(jī)是由移載機(jī)械手運(yùn)輸,經(jīng)去損傷、制絨、漂洗、中和、漂洗等工藝組成一條全自動(dòng)連續(xù)工作的清洗裝置,主要由主體、工藝槽、移載機(jī)械手、管道系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部分組成。設(shè)備運(yùn)行時(shí),將裝滿硅片的花籃放置在進(jìn)料臺(tái)上,由移載機(jī)械手將花籃依次送到各處理工位,對(duì)硅片進(jìn)行去損傷層、制絨腐蝕、清洗,然后硅片由機(jī)械手移到出料臺(tái)上,由作業(yè)員將花籃取出,進(jìn)行下一步的處理。
在實(shí)際生產(chǎn)中,機(jī)械手系統(tǒng)既可以橫向滑移,也能上下升降,因此對(duì)于機(jī)械手結(jié)構(gòu)的靈活程度和耐用程度。并且,在多個(gè)花籃一同進(jìn)入工位,進(jìn)行多花籃花生產(chǎn)同步時(shí),現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械手系統(tǒng)因復(fù)雜遲滯,故難以滿足上述要求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng),能夠大大提高硅片制絨的生產(chǎn)效率。
為達(dá)到上述目的,本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng),包括橫移軌架和升降手臂,所述橫移軌架包括若干橫向排列的單元板塊,若干所述單元板塊高度一致且相鄰間距相等,并上下兩端固定連接有一對(duì)橫向長(zhǎng)軌,所述升降手臂包括由上至下依次連接的橫臂、升降桿和橫移連接座,所述橫臂上套合有一對(duì)用于吊掛硅片花籃的掛件,所述橫移連接座卡合于一對(duì)橫向長(zhǎng)軌、并固定于橫移軌架一側(cè),所述橫移連接座的寬度等于單元板塊的寬度,所述橫移連接座的端面設(shè)有一對(duì)無(wú)桿氣缸,一對(duì)所述無(wú)桿氣缸的中部均設(shè)有可上下滑移的滑塊,一對(duì)所述滑塊固定連接升降桿的底部,所述升降手臂的數(shù)目不小于3個(gè)且相鄰升降手臂的間距與相鄰單元板塊的間距相等,所述橫移連接座的下部設(shè)有橫向驅(qū)動(dòng)連接件。
作為優(yōu)選,所述單元板塊上設(shè)有一對(duì)方形通孔。
作為優(yōu)選,所述掛件呈叉狀、且下部設(shè)有一對(duì)同向的掛鉤。
作為優(yōu)選,所述單元板塊的相鄰間距與自身寬度之比為1:1~2:1。
作為優(yōu)選,所述橫移連接座與單元板塊的長(zhǎng)度差大于10cm。
由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用,本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列有益效果:
1.實(shí)現(xiàn)了制絨清洗過(guò)程中多個(gè)硅片花籃的同步操作,配合相對(duì)應(yīng)的多工位,可成倍地提高硅片制絨的生產(chǎn)效率,生產(chǎn)者可根據(jù)產(chǎn)量要求,更改升降手臂的數(shù)量、對(duì)應(yīng)工位設(shè)置、機(jī)械手控制程序,來(lái)選擇適當(dāng)?shù)纳a(chǎn)效率;
2.結(jié)構(gòu)新穎且高效,通過(guò)滑軌連接實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的橫向移動(dòng),通過(guò)無(wú)桿氣缸實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的縱向升降,確保了裝有硅片的花籃在機(jī)械手的作用下進(jìn)入對(duì)應(yīng)的逐個(gè)工位中進(jìn)行相應(yīng)的堿洗、酸洗、漂洗等工序,拆修難度??;
3.單個(gè)機(jī)械手臂和單元板塊的參照運(yùn)動(dòng)便于生產(chǎn)者的觀察,且靈活簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)使整個(gè)機(jī)械手便于plc控制,故于自動(dòng)化生產(chǎn)方面的工業(yè)價(jià)值較高。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)施例中機(jī)械手臂的立體圖。
圖中:1、橫移軌架;2、升降手臂;3、單元板塊;4、橫向長(zhǎng)軌;5、橫臂;6、升降桿;7、橫移連接座;8、掛件;9、無(wú)桿氣缸;10、滑塊;11、橫向驅(qū)動(dòng)連接件;12、方形通孔;13、掛鉤。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明:
如圖1所示,本實(shí)施例是應(yīng)用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng),包括橫移軌架1和升降手臂2,橫移軌架1包括若干橫向排列的單元板塊3,若干單元板塊3高度一致且相鄰間距相等,并上下兩端固定連接有一對(duì)橫向長(zhǎng)軌4,升降手臂2包括由上至下依次連接的橫臂5、升降桿6和橫移連接座7,橫臂5上套合有一對(duì)用于吊掛硅片花籃的掛件8。
結(jié)合圖1和圖2,橫移連接座7卡合于一對(duì)橫向長(zhǎng)軌4、并固定于橫移軌架1一側(cè),橫移連接座7的寬度等于單元板塊3的寬度,橫移連接座7的端面設(shè)有一對(duì)無(wú)桿氣缸9,一對(duì)無(wú)桿氣缸9的中部均設(shè)有可上下滑移的滑塊10,一對(duì)滑塊10固定連接升降桿6的底部,升降手臂2的數(shù)目不小于3個(gè)且相鄰升降手臂2的間距與相鄰單元板塊3的間距相等,橫移連接座7的下部設(shè)有橫向驅(qū)動(dòng)連接件11。
本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了制絨清洗過(guò)程中多個(gè)硅片花籃的同步操作,配合相對(duì)應(yīng)的多工位,可成倍地提高硅片制絨的生產(chǎn)效率,生產(chǎn)者可根據(jù)產(chǎn)量要求,更改升降手臂2的數(shù)量、對(duì)應(yīng)工位設(shè)置、機(jī)械手控制程序,來(lái)選擇適當(dāng)?shù)纳a(chǎn)效率;結(jié)構(gòu)新穎且高效,通過(guò)滑軌連接實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的橫向移動(dòng),通過(guò)無(wú)桿氣缸9實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的縱向升降,確保了裝有硅片的花籃在機(jī)械手的作用下進(jìn)入對(duì)應(yīng)的逐個(gè)工位中進(jìn)行相應(yīng)的堿洗、酸洗、漂洗等工序,拆修難度??;單個(gè)機(jī)械手臂和單元板塊3的參照運(yùn)動(dòng)便于生產(chǎn)者的觀察,且靈活簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)使整個(gè)機(jī)械手便于plc控制,故于自動(dòng)化生產(chǎn)方面的工業(yè)價(jià)值較高。
上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn),其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施,并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍,凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。