本發(fā)明涉及一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)領(lǐng)域，特別涉及一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

制絨清洗機(jī)是由移載機(jī)械手運(yùn)輸，經(jīng)去損傷、制絨、漂洗、中和、漂洗等工藝組成一條全自動(dòng)連續(xù)工作的清洗裝置，主要由主體、工藝槽、移載機(jī)械手、管道系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部分組成。設(shè)備運(yùn)行時(shí)，將裝滿硅片的花籃放置在進(jìn)料臺(tái)上，由移載機(jī)械手將花籃依次送到各處理工位，對(duì)硅片進(jìn)行去損傷層、制絨腐蝕、清洗，然后硅片由機(jī)械手移到出料臺(tái)上，由作業(yè)員將花籃取出，進(jìn)行下一步的處理。

在實(shí)際生產(chǎn)中，機(jī)械手系統(tǒng)既可以橫向滑移，也能上下升降，因此對(duì)于機(jī)械手結(jié)構(gòu)的靈活程度和耐用程度。并且，在多個(gè)花籃一同進(jìn)入工位，進(jìn)行多花籃花生產(chǎn)同步時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械手系統(tǒng)因復(fù)雜遲滯，故難以滿足上述要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)，能夠大大提高硅片制絨的生產(chǎn)效率。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)，包括橫移軌架和升降手臂，所述橫移軌架包括若干橫向排列的單元板塊，若干所述單元板塊高度一致且相鄰間距相等，并上下兩端固定連接有一對(duì)橫向長(zhǎng)軌，所述升降手臂包括由上至下依次連接的橫臂、升降桿和橫移連接座，所述橫臂上套合有一對(duì)用于吊掛硅片花籃的掛件，所述橫移連接座卡合于一對(duì)橫向長(zhǎng)軌、并固定于橫移軌架一側(cè)，所述橫移連接座的寬度等于單元板塊的寬度，所述橫移連接座的端面設(shè)有一對(duì)無(wú)桿氣缸，一對(duì)所述無(wú)桿氣缸的中部均設(shè)有可上下滑移的滑塊，一對(duì)所述滑塊固定連接升降桿的底部，所述升降手臂的數(shù)目不小于3個(gè)且相鄰升降手臂的間距與相鄰單元板塊的間距相等，所述橫移連接座的下部設(shè)有橫向驅(qū)動(dòng)連接件。

作為優(yōu)選，所述單元板塊上設(shè)有一對(duì)方形通孔。

作為優(yōu)選，所述掛件呈叉狀、且下部設(shè)有一對(duì)同向的掛鉤。

作為優(yōu)選，所述單元板塊的相鄰間距與自身寬度之比為1：1~2:1。

作為優(yōu)選，所述橫移連接座與單元板塊的長(zhǎng)度差大于10cm。

由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列有益效果：

1.實(shí)現(xiàn)了制絨清洗過(guò)程中多個(gè)硅片花籃的同步操作，配合相對(duì)應(yīng)的多工位，可成倍地提高硅片制絨的生產(chǎn)效率，生產(chǎn)者可根據(jù)產(chǎn)量要求，更改升降手臂的數(shù)量、對(duì)應(yīng)工位設(shè)置、機(jī)械手控制程序，來(lái)選擇適當(dāng)?shù)纳a(chǎn)效率；

2.結(jié)構(gòu)新穎且高效，通過(guò)滑軌連接實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)，通過(guò)無(wú)桿氣缸實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的縱向升降，確保了裝有硅片的花籃在機(jī)械手的作用下進(jìn)入對(duì)應(yīng)的逐個(gè)工位中進(jìn)行相應(yīng)的堿洗、酸洗、漂洗等工序，拆修難度??；

3.單個(gè)機(jī)械手臂和單元板塊的參照運(yùn)動(dòng)便于生產(chǎn)者的觀察，且靈活簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)使整個(gè)機(jī)械手便于plc控制，故于自動(dòng)化生產(chǎn)方面的工業(yè)價(jià)值較高。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)施例中機(jī)械手臂的立體圖。

圖中：1、橫移軌架；2、升降手臂；3、單元板塊；4、橫向長(zhǎng)軌；5、橫臂；6、升降桿；7、橫移連接座；8、掛件；9、無(wú)桿氣缸；10、滑塊；11、橫向驅(qū)動(dòng)連接件；12、方形通孔；13、掛鉤。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明：

如圖1所示，本實(shí)施例是應(yīng)用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)，包括橫移軌架1和升降手臂2，橫移軌架1包括若干橫向排列的單元板塊3，若干單元板塊3高度一致且相鄰間距相等，并上下兩端固定連接有一對(duì)橫向長(zhǎng)軌4，升降手臂2包括由上至下依次連接的橫臂5、升降桿6和橫移連接座7，橫臂5上套合有一對(duì)用于吊掛硅片花籃的掛件8。

結(jié)合圖1和圖2，橫移連接座7卡合于一對(duì)橫向長(zhǎng)軌4、并固定于橫移軌架1一側(cè)，橫移連接座7的寬度等于單元板塊3的寬度，橫移連接座7的端面設(shè)有一對(duì)無(wú)桿氣缸9，一對(duì)無(wú)桿氣缸9的中部均設(shè)有可上下滑移的滑塊10，一對(duì)滑塊10固定連接升降桿6的底部，升降手臂2的數(shù)目不小于3個(gè)且相鄰升降手臂2的間距與相鄰單元板塊3的間距相等，橫移連接座7的下部設(shè)有橫向驅(qū)動(dòng)連接件11。

本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了制絨清洗過(guò)程中多個(gè)硅片花籃的同步操作，配合相對(duì)應(yīng)的多工位，可成倍地提高硅片制絨的生產(chǎn)效率，生產(chǎn)者可根據(jù)產(chǎn)量要求，更改升降手臂2的數(shù)量、對(duì)應(yīng)工位設(shè)置、機(jī)械手控制程序，來(lái)選擇適當(dāng)?shù)纳a(chǎn)效率；結(jié)構(gòu)新穎且高效，通過(guò)滑軌連接實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)，通過(guò)無(wú)桿氣缸9實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的縱向升降，確保了裝有硅片的花籃在機(jī)械手的作用下進(jìn)入對(duì)應(yīng)的逐個(gè)工位中進(jìn)行相應(yīng)的堿洗、酸洗、漂洗等工序，拆修難度??；單個(gè)機(jī)械手臂和單元板塊3的參照運(yùn)動(dòng)便于生產(chǎn)者的觀察，且靈活簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)使整個(gè)機(jī)械手便于plc控制，故于自動(dòng)化生產(chǎn)方面的工業(yè)價(jià)值較高。

上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于黑硅制絨清洗機(jī)的機(jī)械手系統(tǒng)，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了制絨清洗過(guò)程中多個(gè)硅片花籃的同步操作，配合相對(duì)應(yīng)的多工位，可成倍地提高硅片制絨的生產(chǎn)效率，生產(chǎn)者可根據(jù)產(chǎn)量要求，更改升降手臂的數(shù)量、對(duì)應(yīng)工位設(shè)置、機(jī)械手控制程序，來(lái)選擇適當(dāng)?shù)纳a(chǎn)效率；結(jié)構(gòu)新穎且高效，通過(guò)滑軌連接實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)，通過(guò)無(wú)桿氣缸實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的縱向升降，確保了裝有硅片的花籃在機(jī)械手的作用下進(jìn)入對(duì)應(yīng)的逐個(gè)工位中進(jìn)行相應(yīng)的堿洗、酸洗、漂洗等工序，拆修難度?。粏蝹€(gè)機(jī)械手臂和單元板塊的參照運(yùn)動(dòng)便于生產(chǎn)者的觀察，且靈活簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)使整個(gè)機(jī)械手便于PLC控制，故于自動(dòng)化生產(chǎn)方面的工業(yè)價(jià)值較高。

技術(shù)研發(fā)人員：邵玉林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫琨圣科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.14
技術(shù)公布日：2017.09.29