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一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄的制作方法

文檔序號(hào):8856998閱讀:421來源:國(guó)知局
一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅片生產(chǎn)加工技術(shù)領(lǐng)域,主要涉及一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄。
【背景技術(shù)】
[0002]多線切割是一種利用金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng),通過收放線輪及線網(wǎng)框架,形成上下兩個(gè)縱橫線網(wǎng),砂漿通過砂漿管覆蓋在線網(wǎng)上,高速運(yùn)轉(zhuǎn)的線網(wǎng)向下壓入硅材料加工區(qū)域進(jìn)行切割,將硅材料一次同時(shí)切割為多份。多線切割機(jī)晶托是一種長(zhǎng)、寬尺寸相同的方形體,晶托上下表面均為平面,在晶托的上表面的縱向和橫向分別開有若干個(gè)等距的凹線槽,凹線槽把晶托分割成了 36個(gè)大小一致的內(nèi)部正方形底塊,24個(gè)外邊緣矩形底塊及4個(gè)邊角正方形底塊,通過泡沫縫合劑把硅材料粘接到晶托上,同時(shí)在晶托四周裝上防護(hù)板,然后送進(jìn)加工室,加工成36塊邊長(zhǎng)為156.8mm的硅材料成品棒。但在實(shí)際生產(chǎn)中,由于晶托四周的防護(hù)板長(zhǎng)期在砂漿中作業(yè),并頻繁裝卸,而防護(hù)板的結(jié)構(gòu)是只有底部相連,特別容易斷裂,造成防護(hù)板損壞。同時(shí)也容易造成晶托上固定防護(hù)板的緊固螺絲失效,特別是晶托上的緊固螺絲絲孔破壞時(shí),則無法固定防護(hù)板,當(dāng)硅材料加工到尾部的時(shí)候,硅材料四周的邊皮就會(huì)向外傾倒,如果砸到鋼線上,就會(huì)造成鋼線斷線;如果砸到多線切割機(jī)主輥上,就會(huì)瞬間磨壞高速運(yùn)轉(zhuǎn)的多線切割機(jī)主輥;如果掉落到加工室底部,碎裂的邊皮造成的硅渣和小碎塊就會(huì)跟隨砂漿流到回收泵里,損壞回收泵葉輪。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問題,本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,通過在晶托的外邊緣矩形底塊上加工圓孔,并采用不銹鋼圓棒代替晶托四周的防護(hù)板插入圓孔內(nèi),以解決因防護(hù)板容易斷裂或因防護(hù)板失效造成的硅材料邊皮傾倒所產(chǎn)生的不安全隱患。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的,本實(shí)用新型采取的具體技術(shù)方案是:一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,由圓孔和不銹鋼圓棒構(gòu)成;其中:在晶托上的每一塊外邊緣矩形底塊表面的中心位置加工圓孔,圓孔內(nèi)插入不銹鋼圓棒;所述的一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,其中外邊緣矩形底塊上圓孔的直徑尺寸為10mm,圓孔深度尺寸為35mm ;所述的一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,其中不銹鋼圓棒的直徑尺寸為9_,不銹鋼圓棒的長(zhǎng)度尺寸為300_,不銹鋼圓棒的數(shù)量為24根。
[0005]本實(shí)用新型加工工藝簡(jiǎn)單,操作方便,成本低,有效解決了因防護(hù)板斷裂和失效所造成的硅材料邊皮傾倒易產(chǎn)生不安全隱患的難題,采用不銹鋼圓棒替代防護(hù)板的使用,不易損壞且隨時(shí)可以更換,提高了工作效率,降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0006]圖1為本實(shí)用新型晶托防護(hù)欄結(jié)構(gòu)示意圖;
[0007]圖2為本實(shí)用新型晶托防護(hù)欄側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖中:1、晶托;2、外邊緣矩形底塊;3、圓孔;4、不銹鋼圓棒;5、晶托凹線槽。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】如下:如圖1、圖2所示,本實(shí)用新型所述的一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,由圓孔3和不銹鋼圓棒4構(gòu)成;其中在晶托I上的每一塊外邊緣矩形底塊2上表面中心位置加工直徑尺寸為10mm、深度尺寸為35mm的圓孔3 ;圓孔3內(nèi)插入長(zhǎng)度尺寸為30_,直徑尺寸為9mm的不銹鋼圓棒4,不銹鋼圓棒4與外邊緣矩形底塊2的數(shù)量相同,共24根,加工硅材料時(shí),用泡沫縫合劑把硅材料粘到晶托I中心,并使硅材料四周到圓孔3的間距保持均等一致,粘好硅材料后將不銹鋼圓棒4插入圓孔3內(nèi),形成多線切割機(jī)晶托I防護(hù)欄。本實(shí)用新型適用于國(guó)內(nèi)主流的G6硅材料加工,一次可切割產(chǎn)生36份邊長(zhǎng)為156.8mm的硅材料成品棒,共計(jì)24塊邊皮,每一根不銹鋼圓棒4對(duì)應(yīng)一塊邊皮,當(dāng)硅材料切割至晶托I的底部時(shí),縱橫交錯(cuò)的鋼線就會(huì)完全向下切割進(jìn)入晶托凹線槽5,切割產(chǎn)生的硅材料邊皮會(huì)掉落到晶托I的外邊緣矩形底塊2上,有向外傾倒的則會(huì)被不銹鋼圓棒4組成的防護(hù)欄擋住。向圓孔3內(nèi)插入不銹鋼圓棒4時(shí),要防止不銹鋼圓棒4處于切割用鋼線的切割路徑上。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,其特征是:所述的一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄由圓孔(3)和不銹鋼圓棒(4)構(gòu)成;在晶托(I)上的每一塊外邊緣矩形底塊(2)表面中心位置加工有直徑尺寸為10mm、深度尺寸為35mm的圓孔(3);圓孔(3)內(nèi)插有長(zhǎng)度尺寸為30mm、直徑尺寸為9mm的不銹鋼圓棒(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,其特征是:不銹鋼圓棒(4)數(shù)量為24根。
【專利摘要】一種新型多線切割機(jī)晶托防護(hù)欄,適用于硅片生產(chǎn)加工過程中硅材料四周邊皮向外傾倒所產(chǎn)生的不安全隱患。本實(shí)用新型采取在多線切割機(jī)晶托(1)上的每一塊外邊緣矩形底塊(2)表面中心位置加工圓孔(3),在圓孔(3)內(nèi)插入不銹鋼圓棒(4),構(gòu)成在晶托(1)四周的防護(hù)欄。防止加工硅材料時(shí)產(chǎn)生的邊皮傾倒的不安全隱患問題。本實(shí)用新型加工工藝簡(jiǎn)單,操作方便,成本低。采用不銹鋼圓棒(4)替代防護(hù)板,在使用中不易損壞且隨時(shí)可以更換,提高了工作效率,降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】B28D7-04, B28D5-04
【公開號(hào)】CN204566421
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520191699
【發(fā)明人】寇文杰, 崔小換, 魏海霞
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年4月1日
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