專利名稱：一種四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型一種四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)涉及的是一種光纖預(yù)制件制造領(lǐng)域，采用 該增壓系統(tǒng)為生產(chǎn)光纖預(yù)制件時(shí)原料四氯化硅進(jìn)料增壓，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離送料。
背景技術(shù)：
目前一般光纖預(yù)制件制造中的四氯化硅持續(xù)進(jìn)料方法，是通過兩個(gè)四氯化硅原料 儲(chǔ)罐之間的相互切換來實(shí)現(xiàn)。當(dāng)一個(gè)四氯化硅原料儲(chǔ)罐內(nèi)的四氯化硅用完時(shí)，自動(dòng)切換至 另一個(gè)四氯化硅原料儲(chǔ)罐進(jìn)行送料，同時(shí)對(duì)空的四氯化硅儲(chǔ)罐進(jìn)行更換或充裝四氯化硅。這種方法盡管能夠保持SiCl4的連續(xù)進(jìn)料，但是該方法也具有下述的某些缺點(diǎn)由 于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的四氯化硅原料儲(chǔ)罐的耐壓為4KPa，當(dāng)通過四氯化硅原料儲(chǔ)罐直接壓料至沉積 設(shè)備時(shí)，由于壓損的存在，四氯化硅原料儲(chǔ)罐至沉積設(shè)備的距離則受到限制，不能遠(yuǎn)距離送 料，管道末端的沉積設(shè)備四氯化硅的進(jìn)料壓力會(huì)不穩(wěn)定，從而影響光纖預(yù)制件的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的是針對(duì)上述不足之處，提供一種四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)及其增壓 方法，解決由于四氯化硅原料儲(chǔ)罐壓力不夠，不能實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離送料且送料壓力不穩(wěn)定的問題。本實(shí)用新型一種四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)是采取以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)包括兩個(gè)四氯化硅增壓罐、一個(gè)氮?dú)饧訅汗?、兩個(gè)重量電 子秤或兩個(gè)液位計(jì)、若干個(gè)電磁閥和PLC可編程控制器。所述兩個(gè)四氯化硅增壓罐耐壓大 于 4KPa。在兩個(gè)四氯化硅增壓罐下部分別裝有重量電子秤或在兩個(gè)增壓罐內(nèi)部分別裝有 液位計(jì)，四氯化硅增壓罐上部分別裝有氮?dú)夤艿馈⑦M(jìn)料管道和出料管道。其中一個(gè)四氯化硅 增壓罐一的氮?dú)夤艿肋M(jìn)口端裝有電磁閥一，電磁閥一通過管道與氮?dú)饧訅汗尴噙B。四氯化 硅增壓罐一的進(jìn)料管上裝有電磁閥二，電磁閥二通過管道與四氯化硅原料儲(chǔ)罐相連。四氯 化硅增壓罐一的出料口上裝有電磁閥三，電磁閥三通過管道與沉積設(shè)備相連。四氯化硅增 壓罐二的氮?dú)夤艿肋M(jìn)口端裝有電磁閥四，電磁閥四通過管道與氮?dú)饧訅汗尴噙B。四氯化硅 增壓罐二進(jìn)料管上裝有電磁閥五，電磁閥五通過管道與四氯化硅原料儲(chǔ)罐相連。四氯化硅 增壓罐二的出料管裝有電磁閥六，電磁閥六通過管道與沉積設(shè)備相連。所述電磁閥一、電 磁閥二、電磁閥三、電磁閥四、電磁閥五、電磁閥六通過控制線，分別與PLC可編程控制器相 連，通過PLC可編程控制器控制開閉。四氯化硅進(jìn)料增壓方法如下首先，全部閥門關(guān)閉，分別打開電磁閥二和電磁閥五，四氯化硅原料儲(chǔ)罐通過氮?dú)?壓力，將四氯化硅壓至四氯化硅增壓罐一和四氯化硅增壓罐二，同時(shí)重量電子秤一和重量 電子秤二分別對(duì)四氯化硅增壓罐一和四氯化硅增壓罐二內(nèi)的四氯化硅重量檢測(cè)，待達(dá)到重 量上限時(shí)，電磁閥二和電磁閥五關(guān)閉，停止送料，或通過液位計(jì)一和液位計(jì)二分別對(duì)四氯化硅增壓罐一和四氯化硅增壓罐二內(nèi)的四氯化硅液位檢測(cè)，待達(dá)到液位上限時(shí)，電磁閥二和 電磁閥五關(guān)閉，停止送料。之后，電磁閥一和電磁閥三打開，氮?dú)饧訅汗奘┘哟笥?KPa的壓 力，開始對(duì)四氯化硅增壓罐一通入氮?dú)饧訅?，將四氯化硅從四氯化硅增壓罐一中壓出送?四氯化硅沉積設(shè)備進(jìn)行工藝送料，四氯化硅增壓罐二為待切換狀態(tài)；同時(shí)，重量電子秤一對(duì) 四氯化硅增壓罐一中的四氯化硅重量進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)重量達(dá)到下限時(shí)，自動(dòng)切換至四氯化硅 增壓罐二進(jìn)行送料，或液位計(jì)一對(duì)四氯化硅增壓罐一中的四氯化硅液位進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)液位 達(dá)到下限時(shí)，自動(dòng)切換至四氯化硅增壓罐二進(jìn)行送料，此時(shí)，電磁閥一和電磁閥三關(guān)閉，電 磁閥四和電磁閥六打開，氮?dú)饧訅汗奘┘哟笥?KPa的壓力，對(duì)四氯化硅增壓罐二通入氮?dú)?加壓，將四氯化硅從四氯化硅增壓罐二中壓出至四氯化硅沉積設(shè)備，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換穩(wěn)定送 料；同時(shí)，電磁閥二打開，四氯化硅原料儲(chǔ)罐中開始向四氯化硅增壓罐一中補(bǔ)料，當(dāng)重量電 子秤一檢測(cè)到四氯化硅增壓罐一中四氯化硅重量達(dá)到上限時(shí)，或當(dāng)液位計(jì)一檢測(cè)到四氯化 硅增壓罐一中四氯化硅液位達(dá)到上限時(shí)，電磁閥二關(guān)閉，四氯化硅原料儲(chǔ)罐停止送料，四氯 化硅增壓罐一進(jìn)入待切換狀態(tài)；同時(shí)，重量電子秤二對(duì)四氯化硅增壓罐二中的四氯化硅重 量進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)重量達(dá)到下限時(shí)，或液位計(jì)二對(duì)四氯化硅增壓罐二中的四氯化硅液位進(jìn)行 檢測(cè)，當(dāng)液位達(dá)到下限時(shí)，自動(dòng)切換至四氯化硅增壓罐一送料，同時(shí)四氯化硅增壓罐二開始 補(bǔ)料；以此循環(huán)，實(shí)現(xiàn)四氯化硅遠(yuǎn)距離穩(wěn)定送料。本實(shí)用新型利用增加一套四氯化硅增壓裝置，實(shí)現(xiàn)四氯化硅的遠(yuǎn)距離穩(wěn)定送料。 該方法首先將四氯化硅原料儲(chǔ)罐內(nèi)的四氯化硅通過氮?dú)饧訅?，將四氯化硅液體送至兩個(gè)四 氯化硅增壓罐，再通過氮?dú)饧訅汗藿o其中一個(gè)四氯化硅增壓罐內(nèi)通入大于4KPa氮?dú)庠黾?壓力，將四氯化硅壓送至四氯化硅沉積設(shè)備實(shí)現(xiàn)工藝送料。同時(shí)，該四氯化硅增壓罐底部 的重量電子秤對(duì)該四氯化硅增壓罐的重量進(jìn)行檢測(cè)，或該四氯化硅增壓罐內(nèi)部的液位計(jì)對(duì) 該四氯化硅增壓罐內(nèi)四氯化硅的液位進(jìn)行檢測(cè)，在該四氯化硅增壓罐內(nèi)的四氯化硅重量達(dá) 到重量下限時(shí)，或該四氯化硅增壓罐內(nèi)四氯化硅的液位達(dá)到下限時(shí)，通過PLC可編程控制 器控制，自動(dòng)切換為另一個(gè)四氯化硅增壓罐供料。同時(shí)，該四氯化硅增壓罐內(nèi)開始補(bǔ)料，當(dāng) 四氯化硅重量達(dá)到重量上限時(shí)，或四氯化硅液位達(dá)到上限時(shí)，停止補(bǔ)料，自動(dòng)進(jìn)入待切換狀 態(tài)。由此反復(fù)，實(shí)現(xiàn)四氯化硅的遠(yuǎn)距離穩(wěn)定送料，其壓力穩(wěn)定，滿足沉積設(shè)備的工藝要求。

以下將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明圖1是本實(shí)用新型的四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)示意圖。圖中標(biāo)號(hào)1、四氯化硅增壓罐一，2、四氯化硅增壓罐二，3、重量電子秤一，4、重量 電子秤二，5、四氯化硅原料儲(chǔ)罐，6、電磁閥一，7、電磁閥二，8、電磁閥三，9、電磁閥四，10、電 磁閥五，11、電磁閥六，12、氮?dú)饧訅汗蓿?3、液位計(jì)一，14、液位計(jì)二。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1，四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)包括兩個(gè)四氯化硅增壓罐、一個(gè)氮?dú)饧訅汗?、?個(gè)重量電子秤或兩個(gè)液位計(jì)、若干個(gè)電磁閥和PLC可編程控制器。在四氯化硅增壓罐一 1 和四氯化硅增壓罐二 2下部分別裝有重量電子秤一 3和重量電子秤二 4，或在四氯化硅增 壓罐一 1和四氯化硅增壓罐二 2內(nèi)部分別裝有液位計(jì)13和液位計(jì)14，四氯化硅增壓罐一 1
4和四氯化硅增壓罐二 2上部分別裝有氮?dú)夤艿?、進(jìn)料管道和出料管道。其中四氯化硅增壓 罐一 1的氮?dú)夤艿肋M(jìn)口端裝有電磁閥一 6，電磁閥一 6通過管道與氮?dú)饧訅汗?2相連。四 氯化硅增壓罐一 1的進(jìn)料管上裝有電磁閥二 7，電磁閥二 7通過管道與四氯化硅原料儲(chǔ)罐5 相連。四氯化硅增壓罐一 1的出料口上裝有電磁閥三8，電磁閥三8通過管道與沉積設(shè)備 相連。四氯化硅增壓罐二 2的氮?dú)夤艿肋M(jìn)口端裝有電磁閥四9，電磁閥四9通過管道與氮 氣加壓罐12相連。四氯化硅增壓罐二 2的進(jìn)料管上裝有電磁閥五10，電磁閥五10通過管 道與四氯化硅原料儲(chǔ)罐5相連。四氯化硅增壓罐二 2的出料管裝有電磁閥六11，電磁閥六 11通過管道與沉積設(shè)備相連。所述電磁閥一 6、磁閥二 7、電磁閥三8、電磁閥四9、電磁閥五 10和電磁閥六11通過控制線，分別與PLC可編程控制器相連，通過PLC可編程控制器控制 開閉。所述四氯化硅增壓罐一 1和四氯化硅增壓罐二 2耐壓大于4KPa。四氯化硅進(jìn)料增壓方法如下首先，全部閥門關(guān)閉，分別打開電磁閥二 7和電磁閥五10，四氯化硅原料儲(chǔ)罐5通 過氮?dú)鈮毫?，將四氯化硅壓至四氯化硅增壓罐?1和四氯化硅增壓罐二 2，同時(shí)重量電子秤 一 3和重量電子秤二 4分別對(duì)四氯化硅增壓罐一1和四氯化硅增壓罐二 2內(nèi)的四氯化硅重 量檢測(cè)，待達(dá)到重量上限時(shí)，電磁閥二 7和電磁閥五10關(guān)閉，停止送料，或同時(shí)液位計(jì)一 13 和液位計(jì)二 14分別對(duì)四氯化硅增壓罐一 1和四氯化硅增壓罐二 2內(nèi)的四氯化硅液位檢測(cè)， 待達(dá)到液位上限時(shí)，電磁閥二 7和電磁閥五10關(guān)閉，停止送料；之后，電磁閥一 6和電磁閥 三8打開，氮?dú)饧訅汗?2施加大于4KPa的壓力，開始對(duì)四氯化硅增壓罐一 1通入氮?dú)饧訅海?將四氯化硅從四氯化硅增壓罐一1中壓出送至四氯化硅沉積設(shè)備進(jìn)行工藝送料。四氯化硅 增壓罐二2為待切換狀態(tài)。同時(shí)，重量電子秤一3對(duì)四氯化硅增壓罐一1中的四氯化硅重量 進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)重量達(dá)到下限時(shí)，或液位計(jì)一 13對(duì)四氯化硅增壓罐一 1中的四氯化硅液位進(jìn) 行檢測(cè)，當(dāng)液位達(dá)到下限時(shí)，自動(dòng)切換至四氯化硅增壓罐二 2進(jìn)行送料，此時(shí)，電磁閥一 6和 電磁閥三8關(guān)閉，電磁閥四9和電磁閥六11打開，氮?dú)饧訅汗?2施加大于4KPa的壓力，將 四氯化硅從四氯化硅增壓罐二 2中壓出至四氯化硅沉積設(shè)備，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換穩(wěn)定送料。同 時(shí)，電磁閥二 7打開，四氯化硅原料儲(chǔ)罐5中開始向四氯化硅增壓罐一 1中補(bǔ)料，當(dāng)重量電 子秤一 3檢測(cè)到四氯化硅增壓罐一 1中四氯化硅重量達(dá)到上限時(shí)，或當(dāng)液位計(jì)一 13檢測(cè)到 四氯化硅增壓罐一 1中四氯化硅液位達(dá)到上限時(shí)，電磁閥二 7關(guān)閉，四氯化硅原料儲(chǔ)罐5停 止送料，四氯化硅增壓罐一 1進(jìn)入待切換狀態(tài)。同時(shí)，重量電子秤二 4對(duì)四氯化硅增壓罐二 2中的四氯化硅重量進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)重量達(dá)到下限時(shí)，或液位計(jì)二 14對(duì)四氯化硅增壓罐二2中 的四氯化硅液位進(jìn)行檢測(cè)，當(dāng)液位達(dá)到下限時(shí)，自動(dòng)切換至四氯化硅增壓罐一 1送料，同時(shí) 四氯化硅增壓罐二 2開始補(bǔ)料。以此循環(huán)，實(shí)現(xiàn)四氯化硅遠(yuǎn)距離穩(wěn)定送料。所述氮?dú)鈮毫刂剖峭ㄟ^增加一個(gè)氮?dú)饧訅汗?2，在四氯化硅增壓罐一 1和四氯 化硅增壓罐二 2耐壓范圍內(nèi)，通過往四氯化硅增壓罐一 1或四氯化硅增壓罐二 2中通入大 于4KPa的氮?dú)?，從而起到增壓四氯化硅供料壓力的作用，?shí)現(xiàn)四氯化硅遠(yuǎn)距離穩(wěn)定送料。 并且氮?dú)饧訅汗?2施加的氮?dú)鈮毫烧{(diào)節(jié)大小，可根據(jù)實(shí)際需要調(diào)節(jié)氮?dú)鈮毫?。所述重量電子秤?3和重量電子秤二 4采用市售重量電子秤。所述液位計(jì)一 13 和液位計(jì)二 14采用市售液位計(jì)。所述電磁閥一 6、磁閥二 7、電磁閥三8、電磁閥四9、電磁 閥五10和電磁閥六11采用市售電磁閥。所述PLC可編程控制器采用市售可編程控制器。
權(quán)利要求一種四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)，其特征在于包括兩個(gè)四氯化硅增壓罐、一個(gè)氮?dú)饧訅汗?、兩個(gè)重量電子秤或兩個(gè)液位計(jì)、若干個(gè)電磁閥和PLC可編程控制器；在兩個(gè)四氯化硅增壓罐下部分別裝有重量電子秤，或在兩個(gè)增壓罐內(nèi)部分別裝有液位計(jì)，四氯化硅增壓罐上部分別裝有氮?dú)夤艿?，進(jìn)料管道和出料管道，其中一個(gè)四氯化硅增壓罐一的氮?dú)夤艿肋M(jìn)口端裝有電磁閥一，電磁閥一通過管道與氮?dú)饧訅汗尴噙B；四氯化硅增壓罐一的進(jìn)料管上裝有電磁閥二，電磁閥二通過管道與四氯化硅原料儲(chǔ)罐相連；四氯化硅增壓罐一的出料口上裝有電磁閥三，電磁閥三通過管道與沉積設(shè)備相連；四氯化硅增壓罐二的氮?dú)夤艿肋M(jìn)口端裝有電磁閥四，電磁閥四通過管道與氮?dú)饧訅汗尴噙B；四氯化硅增壓罐二進(jìn)料管上裝有電磁閥五，電磁閥五通過管道與四氯化硅原料儲(chǔ)罐相連；四氯化硅增壓罐二的出料管裝有電磁閥六，電磁閥六通過管道與沉積設(shè)備相連；所述電磁閥一、電磁閥二、電磁閥三、電磁閥四、電磁閥五、電磁閥六通過控制線，分別與PLC可編程控制器相連，通過PLC可編程控制器控制開閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)，其特征在于所述四氯化硅增壓 罐一和四氯化硅增壓罐二耐壓大于4KPa。
專利摘要本實(shí)用新型一種四氯化硅進(jìn)料增壓系統(tǒng)涉及的是一種光纖預(yù)制件制造領(lǐng)域，采用該增壓系統(tǒng)為生產(chǎn)光纖預(yù)制件時(shí)原料四氯化硅進(jìn)料增壓，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離送料。包括兩個(gè)四氯化硅增壓罐、一個(gè)氮?dú)饧訅汗?、兩個(gè)重量電子秤、若干個(gè)電磁閥和PLC可編程控制器；在兩個(gè)四氯化硅增壓罐下部分別裝有重量電子秤，或在兩個(gè)四氯化硅增壓罐內(nèi)部分別裝有液位計(jì)，四氯化硅增壓罐上部分別裝有氮?dú)夤艿馈⑦M(jìn)料管道和出料管道。采用該增壓系統(tǒng)，首先將四氯化硅原料儲(chǔ)罐內(nèi)的四氯化硅通過氮?dú)饧訅?，將四氯化硅液體送至兩個(gè)四氯化硅增壓罐，再通過氮?dú)饧訅汗藿o其中一個(gè)四氯化硅增壓罐內(nèi)的四氯化硅通過氮?dú)庠黾訅毫Γ瑢⑺穆然鑹核椭了穆然璩练e設(shè)備實(shí)現(xiàn)工藝送料。
文檔編號(hào)C03B37/012GK201665619SQ20102011033
公開日2010年12月8日 申請(qǐng)日期2010年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月9日
發(fā)明者莊衛(wèi)星, 朱兆章, 沈一春, 薛濟(jì)萍, 薛馳, 謝康, 陳京京 申請(qǐng)人:中天科技精密材料有限公司