專利名稱：一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備涉及的一種單模光纖 預(yù)制棒的制造設(shè)備，具體的說是一種將疏松體光纖預(yù)制棒的玻璃化和脫氣同時進(jìn)行的設(shè)備 及其方法。使用該設(shè)備及其方法制造光纖預(yù)制棒，一方面能縮短制造周期，提高設(shè)備利用 率，同時氦氣用量大大降低，從而降低光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)成本；另一方面使用該方法制得的 光纖預(yù)制棒氣泡較少，合格率高且性能穩(wěn)定。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的光纖預(yù)制棒制造方法中，軸向氣相沉積法(VAD)和外部氣相沉積法 (OVD)是制備低水峰光纖預(yù)制棒性價較高的的兩種工藝。眾所周知這兩種低水峰光纖預(yù)制 棒的制造方法均涉及到燒結(jié)工序，即由粉末堆積體轉(zhuǎn)變?yōu)橥该鞑Ａw，這是光纖預(yù)制棒是 否為低水峰光纖預(yù)制棒的關(guān)鍵。隨著光纖預(yù)制棒技術(shù)的發(fā)展，目前均使用兩步法制造光纖預(yù)制棒，即先制造芯棒， 再在芯棒外面沉積包層而制得光纖預(yù)制棒。現(xiàn)以VAD制造芯棒和OVD制造光纖預(yù)制棒包層 對預(yù)制棒制造工藝作簡要介紹先利用氫氧焰使SiCl4原料發(fā)生高溫水解反應(yīng)生成大尺寸粉末芯棒，然后將粉末 芯棒燒結(jié)為透明芯棒，將芯棒置于氣體擴(kuò)散爐中進(jìn)行脫氣處理以消除其內(nèi)部氣泡，再使用 氫氧焰或石墨爐加熱芯棒將其延伸至一定小直徑的芯棒，至此芯棒制造完成。使用OVD方法在小直徑芯棒外表面沉積一定量的SiO2粉末制得粉末光纖預(yù)制棒， 然后使用與芯棒燒結(jié)相同的方法將粉末預(yù)制棒燒結(jié)成透明預(yù)制棒，再經(jīng)過脫氣處理后即制 得光纖預(yù)制棒。為便于說明，首先對相關(guān)名詞作如下解釋脫羥基去除光纖預(yù)制棒中的吸附水和其它形式羥基的過程，也可稱之為脫水。玻璃化將粉末光纖預(yù)制棒轉(zhuǎn)變?yōu)槌赏该鞴饫w預(yù)制棒。脫氣驅(qū)除光纖預(yù)制棒中的空氣、氦氣、氯氣等氣體。中國發(fā)明專利ZL03128870. 7里描述了一種粉末棒燒結(jié)方法。先將制得的粉末光 纖預(yù)制棒置于1100 1300°C的氯氣或含氘氣的氯氣氛圍中脫羥基，然后關(guān)閉氯氣通入氦 氣，將溫度提高至1500 170(TC，對光纖預(yù)制棒進(jìn)行燒結(jié)使之玻璃化。中國發(fā)明專利03140641. 6里也描述了一種粉末棒燒結(jié)方法。先將制得的粉末光 纖預(yù)制棒置于iioo°c的環(huán)境中通入氯氣除去粉末棒中的羥基，然后將溫度調(diào)整至800 1200°C，關(guān)閉氯氣后開啟氦氣，驅(qū)除粉末棒中的水氣和氯氣，最后將溫度調(diào)整至1500°C將粉 末棒在氦氣氛圍中玻璃化。該方法可制得低水峰光纖預(yù)制棒，但在光纖預(yù)制棒玻璃化后，部分氣體會殘留在 光纖預(yù)制棒內(nèi)部而表現(xiàn)為氣泡。氣體來源有兩個方面，一方面是用于脫水的氯氣會部分殘 留在預(yù)制棒內(nèi)部；另一方面粉末光纖預(yù)制棒的玻璃化過程是在氦氣氛圍進(jìn)行的，因此會有 部分氦氣殘留在預(yù)制棒內(nèi)部。氣泡的存在會給后續(xù)的光纖拉絲帶來光纖直徑波動等一系列的問題；中國發(fā)明專利CN97116117.8提供了一種去除光纖預(yù)制棒中氣泡的方法，將光纖 預(yù)制棒置于800°C的石墨爐中利用氣體的熱擴(kuò)散原理去除光纖預(yù)制棒中的氣泡。然而使用 此方法去除光纖預(yù)制棒中的氣泡，勢必要增加脫氣設(shè)備，從而增加光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)成本; 同時使用此方法脫氣，為達(dá)到理想的效果需要較長的時間，這將延長光纖預(yù)制棒的制作周期。使用常規(guī)方法燒結(jié)光纖預(yù)制棒需要大量氦氣，而氦氣作為不可再生的資源性氣 體，已探明儲量正日益損耗，氦氣價格正在逐步上漲，在一定程度上增加了光纖預(yù)制棒的制 造成本。中國發(fā)明專利CN97190756.0提供了一種氦氣再循環(huán)系統(tǒng)，從而減少光纖預(yù)制棒生 產(chǎn)過程中氦氣用量，降低生產(chǎn)成本。但這種方法需要增加一套氦氣回收凈化系統(tǒng)，初期投入 較大。中國發(fā)明專利200410041908. 3描述了一種粉末光纖預(yù)制棒的燒結(jié)設(shè)備，該設(shè)備 可應(yīng)用于上文所提燒結(jié)方法，但是由于石英爐芯管在高溫條件下機(jī)械強(qiáng)度受到限制，無法 對粉末預(yù)制棒所處環(huán)境進(jìn)行抽真空處理。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對上述不足之處提供一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié) 脫氣的設(shè)備，采用該設(shè)備制備光纖預(yù)制棒它有三個好處一是解決了現(xiàn)有燒結(jié)方法制得的 光纖預(yù)制棒內(nèi)部殘留氣泡問題；二是將脫氣過程融入在光纖預(yù)制棒的玻璃化過程中，無需 額外增加設(shè)備和工序；三是相對于現(xiàn)有燒結(jié)方法可節(jié)約大量氦氣。因此本實(shí)用新型消除了 光纖預(yù)制棒內(nèi)部殘留的氣泡的同時降低了光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)成本。將粉末光纖預(yù)制棒即疏松體光纖預(yù)制棒，在負(fù)壓環(huán)境中進(jìn)行玻璃化是本實(shí)用新型 的核心之一，而石英爐芯管在1200°C以上的高溫中無法承受本實(shí)用新型中所使用的負(fù)壓， 因此需要對設(shè)備進(jìn)行相應(yīng)的改造。如圖1所示，本發(fā)明在石墨爐和石英爐芯管之間引入了 碳爐芯管，帶有油封的石英爐芯管蓋板與碳爐芯管組成一個密閉系統(tǒng)。石英爐芯管處于密 閉系統(tǒng)的內(nèi)部，對密閉系統(tǒng)抽真空時石英爐芯管內(nèi)外的壓力相等，因此石英爐芯管不會受 到外力的作用。本實(shí)用新型一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備是采取以下技術(shù)方案 實(shí)現(xiàn)的一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備包括送棒裝置、真空泵、廢氣排放 截止閥、石英爐芯管蓋板、燒結(jié)爐、碳爐芯管、石英爐芯管、壓力表和爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥。石英 爐芯管裝在碳爐芯管內(nèi)，在石英爐芯管中部裝有燒結(jié)爐，在石英爐芯管和碳爐芯管上部裝 有石英爐芯管蓋板，石英爐芯管蓋板與碳爐芯管組成一個密閉系統(tǒng)，在石英爐芯管蓋板上 部裝有送棒裝置，送棒裝置包括伺服電機(jī)、減速器、石英吊桿和導(dǎo)軌，伺服電機(jī)輸出軸與減 速器相連，伺服電機(jī)輸出軸與減速器相連通過蝸桿傳動可使石英桿沿導(dǎo)軌上下滑動，減速 器輸出軸與石英桿相連，石英桿下部穿插在帶有油封的石英爐芯管蓋板內(nèi)，石英桿下部可 裝夾粉末預(yù)制棒的把持棒，在石英桿與石英爐芯管蓋板之間裝有油封；在石英爐芯管蓋板 一側(cè)設(shè)置有石英爐芯管氣體排放口，石英爐芯管氣體排放口裝有廢氣排放管道，廢氣排放 管道連接有真空泵，用于真空抽吸排放石英爐芯管內(nèi)疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣過程中產(chǎn)生廢氣，在廢氣排放管道出口處裝有廢氣排放截止閥；在石英爐芯管底部設(shè)置有進(jìn)
氣管，進(jìn)氣管穿過碳爐芯管，進(jìn)氣管與碳爐芯管之間裝有密封圈，用于碳爐芯管與進(jìn)氣管之
間的密封，在進(jìn)氣管上裝有壓力表，在進(jìn)氣管進(jìn)氣端裝有爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥。 所述燒結(jié)爐采用石墨電阻爐或感應(yīng)爐。 一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的方法為1、粉末預(yù)制棒的安裝將粉末預(yù)制棒的把持棒固定在燒結(jié)設(shè)備送棒裝置的石英桿上，然后下降粉末預(yù)制 棒至燒結(jié)爐的熱區(qū)部位，并定義此位置為初始位置，開啟廢氣排放截止閥。2、脫羥基以20 50°C/min (優(yōu)選25 35°C/min)的升溫速率將燒結(jié)爐溫度升高至1050 1200°C (優(yōu)選1100 1150°C )進(jìn)入步驟1脫羥基，開啟氯氣氣動閥向石英爐芯管內(nèi)通入氯 氣，氯氣流量控制在0. 5 2L/min (優(yōu)選0. 5 2L/min)。開啟送棒裝置，將預(yù)制棒下降速 度控制在2 8mm/min (優(yōu)選3 5mm/min)，旋轉(zhuǎn)速度控制在5 15rpm (優(yōu)選6 IOrpm)， 粉末預(yù)制棒把持棒下端到達(dá)燒結(jié)爐熱區(qū)后脫羥結(jié)束，停止預(yù)制棒的下降，并關(guān)閉氯氣。3、玻璃化與脫氣以20 50°C /min (優(yōu)選25 35°C /min)的升溫速率將燒結(jié)爐溫度升高至1400°C 進(jìn)入步驟2置換氯氣和氫元素，向石英爐芯管內(nèi)通入氦氣，流量設(shè)定為5 20L/min (優(yōu)選 6 lOL/min)。保溫15分鐘后向石英爐芯管內(nèi)通入氘氣置換粉末光纖預(yù)制棒中的氫元素， 氘氣流量控制在0. 05 0. 2L/min (優(yōu)選0. 1 0. 15L/min)，在置換反應(yīng)的同時以10 30mm/min (優(yōu)選15 20mm/min)的速度提升粉末預(yù)制棒，粉末光纖預(yù)制棒到達(dá)初始位置時 置換反應(yīng)結(jié)束，關(guān)閉氘氣和氦氣閥門。以20 50°C /min(優(yōu)選25 35°C /min)的升溫速率將燒結(jié)爐9溫度升高至 1500 1800°C (優(yōu)選1550 1600°C )進(jìn)入步驟3玻璃化與脫氣，關(guān)閉廢氣排放截止閥， 開啟真空泵3將光纖預(yù)制棒所處環(huán)境壓力控制到300 600mbar (優(yōu)選400 500mbar)之 間。啟動送棒裝置，將光纖預(yù)制棒下降速度控制在2 Smm/min (優(yōu)選3 5mm/min)，旋轉(zhuǎn) 速度控制在5 15rpm (優(yōu)選6 IOrpm)。至粉末預(yù)制棒把持棒到達(dá)燒結(jié)爐熱區(qū)，保持爐內(nèi) 壓力環(huán)境并以相同的速度提升光纖預(yù)制棒，直至光纖預(yù)制棒離開石墨爐熱區(qū)，至此燒結(jié)脫 氣結(jié)束并制的透明的光纖預(yù)制棒。本實(shí)用新型與背景技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)1.本實(shí)用新型設(shè)備燒結(jié)過程在負(fù)壓氛圍里進(jìn)行，燒結(jié)后的光纖預(yù)制棒無可視氣 泡，合格率高且性能穩(wěn)定；2.與現(xiàn)有燒結(jié)方法相比氦氣用量大大降低，從而有效的降低了光纖預(yù)制棒的生產(chǎn) 成本；3.將現(xiàn)有的預(yù)制棒脫氣工序融入在燒結(jié)的過程中同時進(jìn)行，減少了設(shè)備投入、縮 短了預(yù)制棒生產(chǎn)周期，提高設(shè)備利用率，同時氦氣用量大大降低，從而降低光纖預(yù)制棒的生 產(chǎn)成本；4.燒結(jié)過程在密閉的爐芯管中進(jìn)行，阻止了外界氣體進(jìn)入石英爐芯管而污染光纖 預(yù)制棒。

以下將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明圖1是本實(shí)用新型的燒結(jié)設(shè)備示意圖。圖2是本實(shí)用新型設(shè)備燒結(jié)過程中各階段爐溫示意圖。圖中1.送棒裝置，2.石英爐芯管氣體排放口，3.真空泵，4.廢氣排放管道，5.廢 氣排放截止閥，6.石英爐芯管蓋板，7.把持棒，8.粉末預(yù)制棒，9.燒結(jié)爐(采用石墨電阻爐 或感應(yīng)爐)，10.透明的光纖預(yù)制棒，11.碳爐芯管，12.石英爐芯管，13.壓力表，14.密封圈 (用于碳爐芯管與進(jìn)氣管之間的密封)；15.爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥，16、石英桿，17、油封，18、進(jìn)氣管。
具體實(shí)施方式
參照附圖1、2，一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備包括送棒裝置1、真 空泵3、廢氣排放截止閥5、石英爐芯管蓋板6、燒結(jié)爐9、碳爐芯管11、石英爐芯管12、壓力 表13和爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥15。石英爐芯管12裝在碳爐芯管11內(nèi)，在石英爐芯管12中部裝 有燒結(jié)爐9，在石英爐芯管12和碳爐芯管11上部裝有石英爐芯管蓋板6，石英爐芯管蓋板 6與碳爐芯管11組成一個密閉系統(tǒng)，在石英爐芯管蓋板9上部裝有送棒裝置1，送棒裝置1 包括伺服電機(jī)、減速器、石英桿16、導(dǎo)軌，伺服電機(jī)輸出軸與減速器相連，伺服電機(jī)輸出軸與 減速器相連通過蝸桿傳動可使石英桿16沿導(dǎo)軌上下滑動，減速器輸出軸與石英桿16相連， 石英桿16下部穿插在帶有油封的石英爐芯管蓋板6內(nèi)，石英桿16下部可裝粉末預(yù)制棒的 把持棒7，在石英桿16與石英爐芯管蓋板6之間裝有油封17 ；在石英爐芯管蓋板6 —側(cè)設(shè) 置有石英爐芯管氣體排放口 2，石英爐芯管氣體排放口 2裝有廢氣排放管道4，廢氣排放管 道4 一連接有真空泵3，用于真空抽吸排放石英爐芯管內(nèi)疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫 氣過程中產(chǎn)生廢氣，在廢氣排放管道4出口處裝有廢氣排放截止閥5 ；在石英爐芯管12底 部設(shè)置有進(jìn)氣管18，進(jìn)氣管18穿過碳爐芯管11，進(jìn)氣管18與碳爐芯管11之間裝有密封圈 14，用于碳爐芯管與進(jìn)氣管18之間的密封，在進(jìn)氣管18上裝有壓力表13，在進(jìn)氣管18進(jìn)氣 端裝有爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥15。所述燒結(jié)爐9采用石墨電阻爐或感應(yīng)爐。一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的方法為1、粉末預(yù)制棒的安裝將粉末預(yù)制棒8的把持棒7固定在燒結(jié)設(shè)備送棒裝置1的石英桿17上，然后下降 粉末預(yù)制棒8至燒結(jié)爐9的熱區(qū)部位，并定義此位置為初始位置，開啟廢氣排放截止閥5。2、脫羥基以20 50°C /min(優(yōu)選25 35°C /min)的升溫速率將燒結(jié)爐9溫度升高至 1050 1200°C (優(yōu)選1100 1150°C )進(jìn)入步驟1脫羥基，開啟氯氣氣動閥向石英爐芯管內(nèi) 12通入氯氣，氯氣流量控制在0. 5 2L/min (優(yōu)選0. 5 2L/min)。開啟送棒裝置，將粉末 預(yù)制棒下降速度控制在2 8mm/min (優(yōu)選3 5mm/min)，旋轉(zhuǎn)速度控制在5 15rpm (優(yōu) 選6 IOrpm)，粉末預(yù)制棒的把持棒7下端到達(dá)燒結(jié)爐熱區(qū)后脫羥結(jié)束，停止粉末預(yù)制棒8 的下降，并關(guān)閉氯氣。3、玻璃化與脫氣[0046]以20 50°C /min(優(yōu)選25 35°C /min)的升溫速率將燒結(jié)爐9溫度升高至 1400°C進(jìn)入步驟2置換氯氣和氫元素，向石英爐芯管12內(nèi)通入氦氣，流量設(shè)定為5 20L/ min (優(yōu)選6 lOL/min)。保溫15分鐘后向石英爐芯管內(nèi)12通入氘氣置換粉末預(yù)制棒中 的氫元素，氘氣流量控制在0. 05 0. 2L/min(優(yōu)選0. 1 0. 15L/min)，在置換反應(yīng)的同時 以10 30mm/min(優(yōu)選15 20mm/min)的速度提升粉末預(yù)制棒，粉末預(yù)制棒到達(dá)初始位 置時置換反應(yīng)結(jié)束，關(guān)閉氘氣和氦氣閥門。以20 50°C /min(優(yōu)選25 35°C /min)的升溫速率將燒結(jié)爐9溫度升高至 1500 1800°C (優(yōu)選1550 1600°C )進(jìn)入步驟3玻璃化與脫氣，關(guān)閉廢氣排放截止閥5， 開啟真空泵3將光纖預(yù)制棒所處環(huán)境壓力控制到300 600mbar (優(yōu)選400 500mbar)之 間。啟動送棒裝置，將光纖預(yù)制棒下降速度控制在2 Smm/min (優(yōu)選3 5mm/min)，旋轉(zhuǎn) 速度控制在5 15rpm(優(yōu)選6 IOrpm)。至粉末預(yù)制棒的把持棒7到達(dá)燒結(jié)爐9熱區(qū)，保 持爐內(nèi)壓力環(huán)境并以相同的速度提升光纖預(yù)制棒，直至光纖預(yù)制棒離開石墨爐9熱區(qū)，至 此燒結(jié)脫氣結(jié)束并制成透明的光纖預(yù)制棒10。以下結(jié)合實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明為便于理解先對光纖拉絲過程中預(yù)制棒理論可拉長度和實(shí)拉長度及拉絲合格率 作如下定義理論可拉長度假設(shè)光纖預(yù)制棒可全部拉制成光纖的情況下拉制的光纖長度。實(shí)拉長度某一光纖預(yù)制棒實(shí)際拉制的光纖長度(不考慮其它因素，只考慮因?yàn)?預(yù)制棒氣泡缺陷造成的光纖拉絲和篩選斷纖對實(shí)際拉制的光纖長度的影響)合格率=100% *實(shí)拉長度/理論可拉長度實(shí)施例1、將燒結(jié)爐9溫度升高至1150°C，開啟氯氣氣動閥向燒結(jié)爐內(nèi)通入氯氣， 氯氣流量控制在0. 8L/min。開啟下棒系統(tǒng)，將粉末預(yù)制棒下降速度控制在5mm/min，旋轉(zhuǎn) 速度控制在6rpm。粉末預(yù)制棒的把棒到達(dá)燒結(jié)爐9熱區(qū)后脫羥結(jié)束，停止粉末預(yù)制棒的下 降，并關(guān)閉氯氣。將燒結(jié)爐6溫度升高至1400°C，向燒結(jié)爐9內(nèi)通入氦氣，流量設(shè)定為6L/ min。15分鐘后向爐芯管12內(nèi)通入氘氣，流量控制在0. lL/min，氘氣和氦氣充分混合后進(jìn) 入石英爐芯管12內(nèi)與粉末預(yù)制棒8反應(yīng)，以ISmm/min的速度提升粉末預(yù)制棒至初始位置， 關(guān)閉氘氣和氦氣閥門。將燒結(jié)爐溫度升高至1600°C，關(guān)閉排氣系統(tǒng)，開啟真空泵3將光纖 芯棒或粉末預(yù)制棒所處環(huán)境壓力控制到350 380mbar之間。啟動下棒系統(tǒng)，將粉末預(yù)制 棒下降速度控制在5mm/min，旋轉(zhuǎn)速度控制在6rpm。至粉末預(yù)制棒的把棒到達(dá)燒結(jié)爐9熱 區(qū)，保持爐內(nèi)壓力環(huán)境并以相同的速度提升光纖預(yù)制棒，直至光纖預(yù)制棒離開石墨爐熱區(qū)， 至此燒結(jié)脫氣結(jié)束。所得光纖預(yù)制棒內(nèi)部氣泡數(shù)及其拉成光纖后相關(guān)參數(shù)如下 實(shí)施例2、與實(shí)施例1所不同之處在于脫水過程中氯氣流量控制在1. 2L/min。氦 氣和氘氣混合氣通入過程中，氘氣流量控制在0. 15L/min，氘氣和氦氣在氣體緩沖箱中充分 混合后進(jìn)入石英爐芯管內(nèi)與光纖預(yù)制棒反應(yīng)，以12mm/min的速度提升預(yù)制棒至初始位置。 所得光纖預(yù)制棒內(nèi)部氣泡數(shù)及其拉成光纖后相關(guān)參數(shù)如下[0056] 實(shí)施例3、與實(shí)施例1不同之處在于燒結(jié)過程中開啟真空泵將光纖預(yù)制棒所處環(huán) 境壓力控制到450 500mbar之間。啟動下棒系統(tǒng)，將預(yù)制棒下降速度控制在4. 5mm/min0 所得光纖預(yù)制棒內(nèi)部氣泡數(shù)及其拉成光纖后相關(guān)參數(shù)如下
權(quán)利要求一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備，其特征在于包括送棒裝置、真空泵、廢氣排放截止閥、石英爐芯管蓋板、燒結(jié)爐、碳爐芯管、石英爐芯管、壓力表和爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥；石英爐芯管裝在碳爐芯管內(nèi)，在石英爐芯管中部裝有燒結(jié)爐，在石英爐芯管和碳爐芯管上部裝有石英爐芯管蓋板，石英爐芯管蓋板與碳爐芯管組成一個密閉系統(tǒng)，在石英爐芯管蓋板上部裝有送棒裝置，送棒裝置包括伺服電機(jī)、減速器、石英桿和導(dǎo)軌，伺服電機(jī)輸出軸與減速器相連，伺服電機(jī)輸出軸與減速器相連通過蝸桿傳動可使石英桿沿導(dǎo)軌上下滑動，減速器輸出軸與石英桿相連，石英桿下部穿插在帶有油封的石英爐芯管蓋板內(nèi)，石英桿下部可裝夾粉末預(yù)制棒的把持棒，在石英桿與石英爐芯管蓋板之間裝有油封；在石英爐芯管蓋板一側(cè)設(shè)置有石英爐芯管氣體排放口，石英爐芯管氣體排放口裝有廢氣排放管道，廢氣排放管道連接有真空泵，在廢氣排放管道出口處裝有廢氣排放截止閥；在石英爐芯管底部設(shè)置有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管穿過碳爐芯管，在進(jìn)氣管上裝有壓力表，在進(jìn)氣管進(jìn)氣端裝有爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備，其特征在于 所述燒結(jié)爐采用石墨電阻爐或感應(yīng)爐。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備，其特征在于 所述進(jìn)氣管與碳爐芯管之間裝有密封圈。
專利摘要本實(shí)用新型一種疏松體光纖預(yù)制棒一體化燒結(jié)脫氣的設(shè)備涉及的一種單模光纖預(yù)制棒的制造設(shè)備，具體的說是一種將疏松體光纖預(yù)制棒的玻璃化和脫氣同時進(jìn)行的設(shè)備及其方法。包括送棒裝置、真空泵、廢氣排放截止閥、石英爐芯管蓋板、石墨電阻爐或感應(yīng)爐、碳爐芯管、石英爐芯管、壓力表和爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥；石英爐芯管裝在碳爐芯管內(nèi)，在石英爐芯管中部裝有燒結(jié)爐，在石英爐芯管和碳爐芯管上部裝有石英爐芯管蓋板，在石英爐芯管蓋板上部裝有送棒裝置，在石英爐芯管蓋板一側(cè)設(shè)置有石英爐芯管氣體排放口，石英爐芯管氣體排放口裝有廢氣排放管道，廢氣排放管道連接有真空泵；在石英爐芯管底部設(shè)置有進(jìn)氣管，在進(jìn)氣管進(jìn)氣端裝有爐內(nèi)進(jìn)氣截止閥。
文檔編號C03B37/018GK201665620SQ20102011032
公開日2010年12月8日 申請日期2010年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月9日
發(fā)明者莊衛(wèi)星, 朱兆章, 沈一春, 薛濟(jì)萍, 薛馳, 謝康, 錢宜剛 申請人:中天科技精密材料有限公司