專利名稱:一種加工玻璃微通路的新方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種加工玻璃微通路的新方法,主要應(yīng)用在玻璃微流控芯片和玻璃工藝品生產(chǎn)方面。
背景技術(shù):
玻璃具有良好的光學(xué)活性,廣泛應(yīng)用在玻璃微流控芯片和玻璃工藝品生產(chǎn)方面,但因玻璃具有質(zhì)脆、熔點(diǎn)范圍高和化學(xué)活性差的特點(diǎn),玻璃微通路加工需要生產(chǎn)設(shè)備昂貴,加工工藝十分復(fù)雜,投資成本很高。玻璃微流控芯片廣泛應(yīng)用于基因片段分離、蛋白質(zhì)分析、病毒分離等微分析領(lǐng)域,但由于以玻璃為基片加工微通路,現(xiàn)有的加工工藝十分復(fù)雜,僅限于科研院所和高校的研究領(lǐng)域,限制了玻璃芯片生產(chǎn)的規(guī)?;?br>
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是針對(duì)現(xiàn)有玻璃微通路加工技術(shù)的不足,而提供一種工藝簡(jiǎn)單、投資少的加工玻璃微通路的新方法。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用下述技術(shù)方案一種加工玻璃微通路的新方法,它是以普通玻璃為基片,以凡士林油、羊毛脂復(fù)合物做掩膜來(lái)保護(hù)玻璃,用惰性細(xì)針尖部按要求圖案對(duì)附著在玻璃上的掩膜進(jìn)行劃痕而露出玻璃細(xì)縫,用水、氫氟酸、氟化氨和羧甲基纖維素混合體系按比例配成腐蝕液,對(duì)玻璃露痕進(jìn)行腐蝕,在玻璃表面腐蝕出微細(xì)溝痕即玻璃微通路。本發(fā)明中掩膜、腐蝕液由下述各組分并按重量份額制得(1)掩膜凡士林油75-95;羊毛脂5-25。(2)腐蝕液氫氟酸5-30;氟化氨3-20;羧甲基纖維素2-18;水30-60。
其制備方法按下述工藝步驟(1)將玻璃基片用蒸餾水洗凈、在真空干燥箱中干燥,在120℃用凡士林油、羊毛脂液態(tài)復(fù)合物在玻璃表面均勻潤(rùn)濕,150℃倒放1小時(shí)后冷卻至室溫自然成膜。
(2)用不銹鋼細(xì)針尖部按要求圖案,對(duì)附著在玻璃上的掩膜進(jìn)行劃痕而露出玻璃細(xì)縫。
(3)將水、羧甲基纖維素、氫氟酸和氟化氨按比例依次混合、攪拌配成腐蝕液,對(duì)玻璃露痕進(jìn)行腐蝕,腐蝕時(shí)間5分鐘至60分鐘,具體時(shí)間視要求而定,在玻璃表面腐蝕出微細(xì)溝痕即玻璃微通路。
本發(fā)明解決了玻璃微通路加工需要生產(chǎn)設(shè)備昂貴,加工工藝十分復(fù)雜,投資成本很高的問(wèn)題。與現(xiàn)有的加工方法相比,具有采用原料易得,加工工藝簡(jiǎn)單,投資成本低,所用設(shè)備簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。由于其應(yīng)用范圍廣,拓寬了玻璃微流控芯片的生產(chǎn)加工領(lǐng)域,推進(jìn)了玻璃芯片生產(chǎn)的規(guī)?;?br>
具體實(shí)施例方式實(shí)施例一本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油75g;羊毛脂5g。(2)腐蝕液氫氟酸5g;氟化氨3g;羧甲基纖維素2g;水30g。
其制備方法按下述工藝步驟(1)玻璃基片用蒸餾水洗凈、在真空干燥箱中干燥,在120℃用凡士林油、羊毛脂液態(tài)復(fù)合物在玻璃表面均勻潤(rùn)濕,150℃倒放1小時(shí)后冷卻至室溫自然成膜。
(2)用不銹鋼細(xì)針尖部(直徑10μm至50μm)按要求圖案對(duì)附著在玻璃上的掩膜進(jìn)行劃痕而露出玻璃細(xì)縫。
(3)將水、羧甲基纖維素、氫氟酸和氟化氨按比例依次混合、攪拌配成腐蝕液,對(duì)玻璃露痕進(jìn)行腐蝕,腐蝕時(shí)間5分鐘至60分鐘,具體時(shí)間視要求而定,在玻璃表面腐蝕出微細(xì)溝痕即玻璃微通路。
實(shí)施例二本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油95g;羊毛脂25g。(2)腐蝕液氫氟酸30g;氟化氨20g;羧甲基纖維素18g;水60g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
實(shí)施例三本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油85g;羊毛脂15g。(2)腐蝕液氫氟酸20g;氟化氨12g;羧甲基纖維素10g;水45g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
實(shí)施例四本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油75g;羊毛脂25g。(2)腐蝕液氫氟酸5g;氟化氨3g;羧甲基纖維素18g;水60g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
實(shí)施例五本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油80g;羊毛脂22g。(2)腐蝕液氫氟酸18g;氟化氨15g;羧甲基纖維素8g;水40g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
實(shí)施例六本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油90g;羊毛脂20g。(2)腐蝕液氫氟酸6g;氟化氨4g;羧甲基纖維素16g;水55g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
實(shí)施例七本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油80g;羊毛脂16g。(2)腐蝕液氫氟酸16g;氟化氨11g;羧甲基纖維素10g;水45g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
實(shí)施例八本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油88g;羊毛脂12g。(2)腐蝕液氫氟酸25g;氟化氨16g;羧甲基纖維素12g;水55g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
實(shí)施例九本發(fā)明中掩膜、腐蝕液的各組分含量(1)掩膜凡士林油82g;羊毛脂23g。(2)腐蝕液氫氟酸26g;氟化氨13g;羧甲基纖維素14g;水58g。
其制備方法與實(shí)施例一相同。
權(quán)利要求
1.一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于它是以普通玻璃為基片,以凡士林油、羊毛脂復(fù)合物做掩膜來(lái)保護(hù)玻璃,用惰性細(xì)針尖部按要求圖案對(duì)附著在玻璃上的掩膜進(jìn)行劃痕而露出玻璃細(xì)縫,用水、氫氟酸、氟化氨和羧甲基纖維素混合體系按比例配成腐蝕液,對(duì)玻璃露痕進(jìn)行腐蝕,在玻璃表面腐蝕出微細(xì)溝痕即玻璃微通路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述的掩膜、腐蝕液由下述各組分并按重量份額制得,(1)掩膜凡士林油75-95、羊毛脂5-25;(2)腐蝕液氫氟酸5-30、氟化氨3-20、羧甲基纖維素2-18、水30-60。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量,(1)掩膜凡士林油75g、羊毛脂5g;(2)腐蝕液氫氟酸5g、氟化氨3g、羧甲基纖維素2g、水30g。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量,(1)掩膜凡士林油95g、羊毛脂25g;(2)腐蝕液氫氟酸30g、氟化氨20g、羧甲基纖維素18g、水60g。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量,(1)掩膜凡士林油85g、羊毛脂15g;(2)腐蝕液氫氟酸20g、氟化氨12g、羧甲基纖維素10g、水45g。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量,(1)掩膜凡士林油75g、羊毛脂25g;(2)腐蝕液氫氟酸5g、氟化氨3g、羧甲基纖維素18g、水60g。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量,(1)掩膜凡士林油80g、羊毛脂22g;(2)腐蝕液氫氟酸18g、氟化氨15g、羧甲基纖維素8g、水40g。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量,(1)掩膜凡士林油90g、羊毛脂20g;(2)腐蝕液氫氟酸6g、氟化氨4g、羧甲基纖維素16g、水55g。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于所述掩膜、腐蝕液各組分的具體用量,(1)掩膜凡士林油88g、羊毛脂12g;(2)腐蝕液氫氟酸25g、氟化氨16g、羧甲基纖維素12g、水55g。
10.如權(quán)利要求1或2或3或4或5或6或7或8或9,所述的一種加工玻璃微通路的新方法,其制備方法按下述工藝步驟(1)將玻璃基片用蒸餾水洗凈,在真空干燥箱中干燥,在120℃用凡士林油、羊毛脂液態(tài)復(fù)合物在玻璃表面均勻潤(rùn)濕,150℃倒放1小時(shí)后冷卻至室溫自然成膜;(2)用不銹鋼細(xì)針尖部按要求圖案,對(duì)附著在玻璃上的掩膜進(jìn)行劃痕而露出玻璃細(xì)縫;(3)將水、羧甲基纖維素、氫氟酸和氟化氨按比例依次混合、攪拌配成腐蝕液,對(duì)玻璃露痕進(jìn)行腐蝕,腐蝕時(shí)間5分鐘至60分鐘,具體時(shí)間視要求而定,在玻璃表面腐蝕出微細(xì)溝痕即玻璃微通路。
全文摘要
一種加工玻璃微通路的新方法,其特征在于它是以普通玻璃為基片,以凡士林油、羊毛脂復(fù)合物做掩膜來(lái)保護(hù)玻璃,用惰性細(xì)針尖部按要求圖案對(duì)附著在玻璃上的掩膜進(jìn)行劃痕而露出玻璃細(xì)縫,用水、氫氟酸、氟化氨和羧甲基纖維素混合體系按比例配成腐蝕液,對(duì)玻璃露痕進(jìn)行腐蝕,在玻璃表面腐蝕出微細(xì)溝痕即玻璃微通路。本發(fā)明解決了玻璃微通路加工需要生產(chǎn)設(shè)備昂貴,加工工藝十分復(fù)雜,投資成本很高的問(wèn)題。與現(xiàn)有的加工方法相比,具有采用原料易得,加工工藝簡(jiǎn)單,投資成本低,所用設(shè)備簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。由于其應(yīng)用范圍廣,拓寬了玻璃微流控芯片的生產(chǎn)加工領(lǐng)域,推進(jìn)了玻璃芯片生產(chǎn)的規(guī)模化。
文檔編號(hào)C03C15/00GK1778748SQ20051004740
公開(kāi)日2006年5月31日 申請(qǐng)日期2005年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月14日
發(fā)明者宋學(xué)君, 武士威, 孫挺 申請(qǐng)人:宋學(xué)君, 武士威, 孫挺