用于硅片擴散的石英舟的制作方法
【專利摘要】一種用于硅片擴散的石英舟，其特征在于，包括舟架、擋板和橫梁，所述舟架為長方形，在其一端設(shè)置有掛鼻，所述擋板固定在掛鼻與舟架交界處，擋板上設(shè)置有若干通孔；每兩個相鄰所述橫梁為一組硅片座，在每一組硅片座的橫梁內(nèi)側(cè)相對設(shè)置有弧形卡槽。本發(fā)明可使硅片橫向放置在舟架上，保證氣體順暢流通，提高了硅片擴散效率和質(zhì)量；每兩個相鄰橫梁上都可以放置硅片，提高了單個石英舟盛放硅片的數(shù)量；通過擋板與三角形掛鼻的配合，方便石英桿對石英舟的推拉操作。
【專利說明】用于硅片擴散的石英舟

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種硅片擴散工藝中用的石英舟。

【背景技術(shù)】
[0002] 硅片擴散工藝是將硅片放入高溫擴散爐中，通以氮氣和P0CL3等氣體，在高溫下 分解后在硅片表面形成P-N結(jié)。高溫擴散爐的管道為石英材料的圓形管道，擴散時，首先將 硅片放在石英舟上，然后用石英桿或金屬桿將石英舟送入管道中進行烘烤。目前的石英舟 都是縱向排列硅片的，由于氣體在管道中橫向流通，因此縱向排列的硅片對氣體有阻擋，影 響硅片的擴散，而且，現(xiàn)有的石英舟的一端僅有一個圓環(huán)，在用帶鉤的石英桿或金屬桿將石 英舟從管道中拉出時，石英桿或金屬桿上的鉤很難對準(zhǔn)圓環(huán)，而且盲目的操作桿子可能會 損壞石英舟和硅片。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種可橫向排列硅 片，方便用石英桿推拉的用于硅片擴散的石英舟。
[0004] 為了解決上述問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：一種用于硅片擴散的石英舟，其特 征在于，包括舟架、擋板和橫梁，所述舟架為長方形，在其一端設(shè)置有掛鼻，所述擋板固定在 掛鼻與舟架交界處，擋板上設(shè)置有若干通孔；每兩個相鄰所述橫梁為一組硅片座，在每一組 硅片座的橫梁內(nèi)側(cè)相對設(shè)置有弧形卡槽。
[0005] 進一步的，在所述舟架的前后兩端的底部設(shè)置有支架，所述支架的底部為與高溫 擴散爐的管道相配合的弧形。
[0006] 優(yōu)選的，所述掛鼻為三角形。
[0007] 本發(fā)明的有益效果是：硅片可以橫向放置在舟架上，保證氣體順暢流通，提高了硅 片擴散效率和質(zhì)量；每兩個相鄰橫梁上都可以放置硅片，提高了單個石英舟盛放硅片的數(shù) 量；通過擋板與三角形掛鼻的配合，方便石英桿對石英舟的推拉操作。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008] 下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明做進一步的說明： 圖1為本發(fā)明的俯視圖； 圖2為本發(fā)明的左視圖； 圖3為本發(fā)明的主視圖； 圖4為圖1中沿A-A的剖視圖。
[0009] 圖中，1舟架、11掛鼻、12支架、2擋板、21通孔、3橫梁、31弧形卡槽、4硅片座。

【具體實施方式】
[0010] 下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步詳細說明： 如圖1至圖4所示，本發(fā)明的具體實施例包括舟架1、擋板2和橫梁3。
[0011] 所述舟架1為長方形，在其一端設(shè)置有掛鼻11，所述擋板2固定在掛鼻11與舟架 1交界處，擋板2上設(shè)置有若干通孔21，通孔21的作用是保證高溫擴散爐的管道內(nèi)的氣體 流暢。當(dāng)然，舟架1的兩端均可以設(shè)置一個掛鼻11和擋板2。優(yōu)選的，所述掛鼻11設(shè)計成 三角形，這樣，石英桿上的掛鉤可以很容易的勾住掛鼻11。擋板2的作用既可以防止石英桿 在勾取石英舟時碰到硅片，將硅片碰掉，也可以擋住石英桿，使其正好落入掛鼻11內(nèi)。
[0012] 每兩個相鄰所述橫梁3為一組娃片座4,在每一組娃片座4的橫梁3內(nèi)側(cè)相對設(shè)置 有弧形卡槽31，當(dāng)圓形娃片放在娃片座4上后，正好卡入左右兩側(cè)的橫梁3的弧形卡槽31 內(nèi)。如圖1所示，橫梁3左右兩側(cè)的弧形卡槽31為間隔設(shè)置，這樣可以最大限度的利用橫 梁的空間，使三根橫梁3即可組成兩組硅片座4,使石英舟上放置更多的硅片。
[0013] 為了保證管道內(nèi)的氣流可以從石英舟的上下兩側(cè)通過，在所述舟架1的前后兩端 的底部設(shè)置有支架12,所述支架12的底部為與高溫擴散爐的管道相配合的弧形，弧形的底 部可以保證石英舟穩(wěn)固的放置在管道內(nèi)。此外，加上支架12還有另一個作用：當(dāng)直徑比較 小的硅片放在硅片座4上時，如果沒有支架12,硅片的底部可能會與管道接觸，造成硅片不 穩(wěn)固，甚至傾倒。
[0014] 以上所述只是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在 不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也被視為本發(fā) 明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于硅片擴散的石英舟，其特征在于，包括舟架、擋板和橫梁，所述舟架為長方 形，在其一端設(shè)置有掛鼻，所述擋板固定在掛鼻與舟架交界處，擋板上設(shè)置有若干通孔；每 兩個相鄰所述橫梁為一組硅片座，在每一組硅片座的橫梁內(nèi)側(cè)相對設(shè)置有弧形卡槽。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片擴散的石英舟，其特征在于，在所述舟架的前后兩 端的底部設(shè)置有支架，所述支架的底部為與高溫擴散爐的管道相配合的弧形。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片擴散的石英舟，其特征在于，所述掛鼻為三角形。
【文檔編號】C30B31/14GK104103563SQ201410350811
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月23日
【發(fā)明者】陳文學(xué) 申請人:濟南晶博電子有限公司