專利名稱：一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的加工制造，尤其是一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上的隔熱屏系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前的KY工藝藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐隔熱屏系統(tǒng)多數(shù)由3部分組成，上隔熱屏，側(cè)隔熱屏和底部隔熱屏。而整個(gè)隔熱屏系統(tǒng)中，承受溫度最高，最易損壞的就是上隔熱屏，據(jù)大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，隔熱屏在整臺(tái)設(shè)備的總價(jià)中所占的比例約為20%至30%，上隔熱屏的更換使得藍(lán)寶石晶體的加工成本急劇增加。同時(shí)，由于在晶體生長(zhǎng)的過程中，原料的揮發(fā)，鎢鑰材料中大量的雜質(zhì)揮發(fā)，使得頂部隔熱屏上有大量的雜質(zhì)富集，這些雜質(zhì)如果不及時(shí)清理，很容易掉進(jìn)坩堝中，對(duì)晶體生長(zhǎng)極為不利，為了避免這些問題的發(fā)生，每個(gè)生長(zhǎng)周期結(jié)束時(shí)和下個(gè)生長(zhǎng)周期開始時(shí)需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)，此時(shí)需要拆掉上爐蓋和上隔熱屏，由于鎢鑰材料的特性，經(jīng)過1400度以上的高溫后，材料會(huì)發(fā)生二次結(jié)晶，鎢鑰材料的內(nèi)部材料結(jié)構(gòu)會(huì)發(fā)生變化，材料變的很脆，此時(shí)清理隔熱屏，很容易損壞這些鎢鑰材料，對(duì)生產(chǎn)成本的控制非常不利。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，維護(hù)簡(jiǎn)單方便，耗材成本低。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個(gè)獨(dú)立的部分，可獨(dú)立懸掛于上爐蓋上，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏均使用鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料中的一種材料制成，并通過鑰桿連接成一個(gè)整體。上述一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏由不超過20層鎢鑰板材組成，板厚0.1mm至10mm，各層之間通過波浪板控制間距，最下面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種，上面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種。上述一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料度純度為80%至99.95%。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個(gè)獨(dú)立的部分，可獨(dú)立懸掛于上爐蓋上，在每個(gè)周期對(duì)生長(zhǎng)爐進(jìn)行維護(hù)時(shí)，單獨(dú)拆除附屬隔熱屏，進(jìn)行必要的清理即可，維護(hù)簡(jiǎn)單方便。并且大大降低晶體生長(zhǎng)爐的維護(hù)周期，減少熱場(chǎng)損耗，降低熱場(chǎng)的耗材成本。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。[0009]

圖1是監(jiān)寶石晶體生長(zhǎng)爐整體不意圖。圖2是藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)與上爐蓋連接示意圖。圖3是波浪板示意圖。
具體實(shí)施方式
圖1所示，藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐包括上爐蓋1，上隔熱屏2，爐殼3，下爐蓋4，籽晶伺服機(jī)構(gòu)，5，鎢坩堝6，下發(fā)熱體7，側(cè)發(fā)熱體8，側(cè)隔熱屏9和下隔熱屏10組成。圖2和圖3所示，上隔熱屏系統(tǒng)包括主隔熱屏11和附屬隔熱屏12，主隔熱屏11和附屬隔熱屏12由15層鎢鑰板材組成，最下面的3層至5層為鎢板14，上面的7層至15層為鑰板13，所有板厚均為0.1mm至10mm。主隔熱屏11和附屬隔熱屏12通過連接鑰桿16組成一個(gè)整體，兩部分隔熱屏通過連接鑰桿16和螺母15固定于爐蓋I上，鎢板14、鑰板13、連接桿16和螺母15所用的鎢鑰材料純度均為80%至99.95%。主隔熱屏11和附屬隔熱屏12的板間距通過波浪板17來進(jìn)行控制。在進(jìn)行設(shè)備維護(hù)和清理時(shí)，卸下附屬隔熱屏12上面的螺母15，然后清理附屬隔熱屏12即可。
權(quán)利要求1.一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個(gè)獨(dú)立的部分，可獨(dú)立懸掛于上爐蓋上，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏均使用鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料中的一種材料制成，并通過鑰桿連接成一個(gè)整體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏由不超過20層板材組成，板厚0.1mm至10mm，各層之間通過波浪板控制間距，最下面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種，上面的若干層材料為鎢和鑰兩種材料中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，其特征在于，所述鎢，鑰，鉭和鈮四種難熔金屬材料度純度為80%至99.95%。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種新型藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐上隔熱屏系統(tǒng)，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，通過復(fù)合式結(jié)構(gòu)，可以大大降低晶體生長(zhǎng)爐的維護(hù)周期，減少熱場(chǎng)損耗，降低熱場(chǎng)的耗材成本。
文檔編號(hào)C30B29/20GK203049076SQ20122066336
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
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