一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及泡生法藍寶石晶體生長技術領域，尤其涉及一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構，同時可適用于其他相似領域。
【背景技術】
[0002]藍寶石又稱白寶石，是世界上硬度僅次于金剛石的晶體材料，由于具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高(2045°C)等優(yōu)良的物理、機械、化學及紅外透光性能，一直是微電子、航空航天、軍工等領域急需的材料，憑借其極高的強度、硬度、紅外透過性能和抗熱沖擊性能。該材料在光學窗口、半導體照明、微波器件等領域都有廣泛的應用，已成為用量僅次于硅單晶的一種功能晶體材料。尤其是光學級大尺寸藍寶石材料，由于其具有性能穩(wěn)定、市場需求量大、綜合利用率及產(chǎn)品附加值高等特點，成為近年國內(nèi)外研宄開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化熱點。藍寶石晶體的生長方法很多，但只有泡生法才能獲得缺陷和應力少的大尺寸高光學質量的藍寶石晶體，目前70%的藍寶石材料是由泡生法制造的。
[0003]泡生法藍寶石晶體生長設備包括爐體、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)及動力系統(tǒng)。為保證密封性能，目前的泡生法藍寶石設備的爐體和爐蓋上都有20個左右的螺孔，爐體和爐蓋上還有一組密封槽用于安裝橡膠密封圈。這20組螺孔在每次安裝熱場過程中都需要拆裝，因此非常繁瑣，而且頻繁的拆裝對于爐體的密封性能影響也很大，因此設計一種不使用螺栓的直開式的爐蓋，能有效提高設備的穩(wěn)定性，減少維護成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一)要解決的技術問題
[0005]本實用新型設計了一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構，爐體與爐蓋間直接連接，不再采用螺栓固定，極為簡便；同時采用簡單的鎖扣結構，解決了爐體與爐蓋間的密閉問題，使爐體及熱場、原料的安裝過程更為簡便。
[0006](二)技術方案
[0007]為達到上述目的，本實用新型提供了一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構，包括方形的爐體及爐體水冷套，爐蓋和密封條，所述的爐蓋設置為方形，直接放在所述的爐體上，所述的爐蓋內(nèi)部設置爐蓋水冷套，并在所述的爐蓋的頂部設置進水口和出水口與所述的爐蓋水冷套連接，所述的爐蓋與所述的爐體之間設置密封條，所述的爐蓋的四周設置四個鎖扣，所述的鎖扣與所述的爐體的頂部外延扣牢。
[0008]所述的密封條設置為聚四氟乙烯材質，厚度為2.5mm的方條。
[0009]安裝時將爐蓋直接放在爐體上，無需使用螺栓固定，爐蓋與爐體之間用密封條密封，然后用鎖扣固定。
【附圖說明】
[0010]圖1為爐蓋結構的正視圖；
[0011]圖2為爐蓋結構的俯視圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結合具體的實施例對本實用新型作進一步展開說明，但需要指出的是，本實用新型所要求保護的結構并不限于實施例及說明書附圖中的具體結構。對于本領域普通技術人員可以推知的其他結構形式，亦屬于本實用新型所要求保護的范圍之內(nèi)。
[0013]請一并參閱俯圖1-2，一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構，包括方形的爐體I及爐體水冷套，所述的爐體I設置為方形，可用于生長方形的藍寶石晶體。還包括爐蓋2和密封條4。
[0014]所述的爐蓋2設置為方形，直接放在所述的爐體I上。為了防止高溫損害，所述的爐蓋2內(nèi)部設置爐蓋水冷套，并在所述的爐蓋2的頂部設置進水口 5和出水口 6，所述的進水口 5和出水口 6與所述的爐蓋水冷套連接，形成冷卻水的循環(huán)，進而帶走熱量。
[0015]所述的爐蓋2與所述的爐體I之間設置密封條4，所述的密封條4設置為聚四氟乙稀材質，厚度為2.5mm的方條。
[0016]為了保證密封效果，所述的爐蓋2的四周設置四個鎖扣3，所述的鎖扣3與所述的爐體I的頂部外延扣牢。
[0017]這樣，安裝時將所述的爐蓋2直接放在所述的爐體I上，無需使用螺栓固定，所述的爐蓋2與爐體I之間用所述的密封條4密封，然后用所述的鎖扣3扣緊，從而保證了整個系統(tǒng)的真空條件，同時不使用螺栓能有效提高原料及熱場的安裝效率。
【主權項】
1.一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構，包括方形的爐體及爐體水冷套，爐蓋和密封條，其特征在于:所述的爐蓋設置為方形，直接放在所述的爐體上，所述的爐蓋內(nèi)部設置爐蓋水冷套，并在所述的爐蓋的頂部設置進水口和出水口與所述的爐蓋水冷套連接，所述的爐蓋與所述的爐體之間設置密封條，所述的爐蓋的四周設置四個鎖扣，所述的鎖扣與所述的爐體的頂部外延扣牢。
2.如權利要求1所述的一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構，其特征在于:所述的密封條設置為聚四氟乙烯材質，厚度為2.5mm的方條。
【專利摘要】本實用新型公開了一種可直開的泡生法藍寶石長晶爐的爐蓋結構，包括方形的爐體及爐體水冷套，爐蓋和密封條，所述的爐蓋設置為方形，直接放在所述的爐體上，所述的爐蓋內(nèi)部設置爐蓋水冷套，并在所述的爐蓋的頂部設置進水口和出水口與所述的爐蓋水冷套連接，所述的爐蓋與所述的爐體之間設置密封條，所述的爐蓋的四周設置四個鎖扣，所述的鎖扣與所述的爐體的頂部外延扣牢。安裝時將爐蓋直接放在爐體上，無需使用螺栓固定，可以有效提高原料及熱場的安裝效率。
【IPC分類】C30B29-20, C30B17-00
【公開號】CN204608211
【申請?zhí)枴緾N201520171353
【發(fā)明人】劉瑜, 陳曉玲
【申請人】寧波晶工晶體科技有限公司
【公開日】2015年9月2日
【申請日】2015年3月26日