專利名稱：一種拉晶爐拉晶管支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種拉晶爐拉晶管支架技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，涉及拉晶爐，特別是一種拉晶爐拉晶管支^K O背景技術(shù)[0002]拉晶爐是將原料在高溫情況下分子重新排列成為晶棒的設(shè)備，原料放置在玻璃制成的拉晶管中進(jìn)行混合，在現(xiàn)有技術(shù)中，固定拉晶管的支架是一個卡子，卡子安裝在搖擺軸上，卡子固定著拉晶管的中間部位，這樣的裝置具有容易使拉晶管變形損壞的缺點、影響其正常生產(chǎn)。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種不易使拉晶管變形、破碎、容易固定拉晶管的拉晶爐拉晶管支架。[0004]本實用新型所采取的技術(shù)方案是這樣的，一種拉晶爐拉晶管支架，包括支架本體， 支架本體安裝在搖擺軸上，其特征是所述的支架本體是底面是圓弧形結(jié)構(gòu)的一段槽板，槽板的長度大于或等于拉晶管的長度，槽板的兩端具有堵頭，槽板上面具有圓弧形的固定件， 固定件鉸接在槽板上。[0005]本實用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的拉晶爐拉晶管支架具有不易使拉晶管變形、破碎、容易固定拉晶管的優(yōu)點。


[0006]圖1為本實用新型拉晶爐拉晶管支架的結(jié)構(gòu)示意圖。[0007]其中1、支架本體2、槽板3、堵頭4、固定件。
具體實施方式
[0008]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。[0009]如圖1所示，一種拉晶爐拉晶管支架，包括支架本體1，支架本體1安裝在搖擺軸上，其特征是所述的支架本體1是底面是圓弧形結(jié)構(gòu)的一段槽板2，槽板2的長度大于或等于拉晶管的長度，槽板2的兩端具有堵頭3，槽板2上面具有圓弧形的固定件4，固定件4 鉸接在槽板上。[0010]使用時，拉晶管放置在槽板上，用固定件固定，具有本實用新型的效果。
權(quán)利要求1. 一種拉晶爐拉晶管支架，包括支架本體，支架本體安裝在搖擺軸上，其特征是所述的支架本體是底面是圓弧形結(jié)構(gòu)的一段槽板，槽板的長度大于或等于拉晶管的長度，槽板的兩端具有堵頭，槽板上面具有圓弧形的固定件，固定件鉸接在槽板上。
專利摘要本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種拉晶爐拉晶管支架，它包括支架本體，支架本體安裝在搖擺軸上，所述的支架本體是底面是圓弧形結(jié)構(gòu)的一段槽板，槽板的長度大于或等于拉晶管的長度，槽板的兩端具有堵頭，槽板上面具有圓弧形的固定件，固定件鉸接在槽板上，這樣結(jié)構(gòu)的拉晶爐拉晶管支架具有不易使拉晶管變形、破碎、容易固定拉晶管的優(yōu)點。
文檔編號C30B15/00GK202246993SQ20112036614
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月18日
發(fā)明者陳建衛(wèi), 陳建民, 陳磊 申請人:河南鴻昌電子有限公司