專利名稱：一種電控螺旋升降的拉晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種拉晶爐，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
拉晶爐是將半導(dǎo)體粉末冶煉成半導(dǎo)體晶棒的裝置，它具有爐體支架和卡盤，爐體放在爐體支架上，卡盤是固定半導(dǎo)體粉末的玻璃管的裝置，隨著對玻璃管中不同部位的粉末的冶煉，要升降卡盤以達(dá)到爐體對著玻璃管的不同部位。在現(xiàn)有技術(shù)中，升降卡盤使用的裝置是在爐體周圍有立柱式的汽缸，以升降汽缸達(dá)到卡盤升降的目的，這樣的裝置具有精度差、不易控制的缺點。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種精度更高、容易控制、運行平穩(wěn)的電控螺旋升降的拉晶爐。本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架和卡盤，卡盤在爐體支架的上方，其特征是在卡盤上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋桿，在爐體支架下方有電機(jī)連接的第二螺桿，所述的第二螺桿和第一螺桿螺紋連接。本實用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的拉晶爐具有精度更高、容易控制、運行平穩(wěn)的優(yōu)點。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、爐體支架 2、卡盤 3、第一螺旋桿 4、第二螺桿 5、電機(jī)。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的描述。如圖1所示，一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架1和卡盤2，卡盤2在爐體支架1的上方，其特征是在卡盤2上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋桿3，在爐體支架1下方有電機(jī)5連接的第二螺桿4，所述的第二螺桿4和第一螺桿3螺紋連接。電機(jī)旋轉(zhuǎn)，帶動第二螺桿旋轉(zhuǎn)，盡而帶動第一螺桿旋轉(zhuǎn)，達(dá)到升降卡盤的目的，具有本實用新型的目的。
權(quán)利要求1. 一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架和卡盤，卡盤在爐體支架的上方，其特征是在卡盤上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋桿，在爐體支架下方有電機(jī)連接的第二螺桿，所述的第二螺桿和第一螺桿螺紋連接。
專利摘要本實用新型涉及一種拉晶爐，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。一種電控螺旋升降的拉晶爐，包括爐體支架和卡盤，卡盤在爐體支架的上方，其特征是在卡盤上固定有多個穿過爐體支架的第一螺旋桿，在爐體支架下方有電機(jī)連接的第二螺桿，所述的第二螺桿和第一螺桿螺紋連接，這樣結(jié)構(gòu)的拉晶爐具有精度更高、容易控制、運行平穩(wěn)的優(yōu)點。
文檔編號C30B13/32GK202246986SQ20112028545
公開日2012年5月30日 申請日期2011年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月8日
發(fā)明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司