專利名稱：安裝機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及安裝機(jī)，特別涉及通過頂棚從上方支承頭單元的安裝機(jī)。
背景技術(shù)：
以往，已知一種通過支承部從上方支承頭單元的安裝機(jī)(例如，參照日本特開 2003-174296 號(hào)公報(bào))。在上述專利文獻(xiàn)(特別是參照?qǐng)D21、圖22)中，公開了一種安裝機(jī)，其具備裝置頂棚(支承部)、設(shè)置在裝置頂棚的下面的間隔部件、設(shè)置在間隔部件的下面?zhèn)鹊闹本€運(yùn)動(dòng)軸承和致動(dòng)器、以及進(jìn)行電子元件的安裝的頭單元。該安裝機(jī)具備從裝置頂棚經(jīng)由間隔部件、直線運(yùn)動(dòng)軸承以及保持部件，可移動(dòng)地懸吊的懸吊型頭單元。另外，間隔部件的兩側(cè)部具有向下方突出的倒U字形的剖面形狀。在向下方突出的間隔部件的兩側(cè)部的下面分別固定有直線運(yùn)動(dòng)軸承的一對(duì)導(dǎo)軌。而且，在與一對(duì)導(dǎo)軌可移動(dòng)地卡合的可動(dòng)部上經(jīng)由保持部件安裝有頭單元。另外，在倒U字形的間隔部件的中央部的空間中設(shè)置有致動(dòng)器，能夠使保持部件和頭單元沿著直線運(yùn)動(dòng)軸承(導(dǎo)軌)的延伸方向移動(dòng)。如此，在上述專利文獻(xiàn)1中， 通過兩側(cè)部向下方突出的倒U字形的間隔部件在裝置頂棚與保持部件(頭單元)之間形成空間，在該空間內(nèi)收納致動(dòng)器。專利文獻(xiàn)1 日本特開2003_17似96號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
在具備如上所述的懸吊型頭單元的安裝機(jī)中，通過致動(dòng)器使頭單元移動(dòng)時(shí)，因慣性造成頭單元呈振擺狀進(jìn)行輕微振動(dòng)。此時(shí)，在上述專利文獻(xiàn)1中，間隔部件存在于裝置頂棚與頭單元之間，從而間隔部件還另外受到相對(duì)于裝置頂棚相對(duì)性地振動(dòng)的力。所以，由于振動(dòng)發(fā)生時(shí)的頭單元的振幅增大，因此存在難以提高電子元件的安裝位置精度的問題。為了解決如上所述的課題，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種能夠提高懸吊型頭單元的安裝位置精度的安裝機(jī)。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)包括頭單元，將電子元件安裝到基板上；支承部，設(shè)置在頭單元的上方，支承頭單元；引導(dǎo)部，設(shè)置在支承部的下面，引導(dǎo)頭單元的移動(dòng)；以及致動(dòng)器，以突出到支承部的上面的上方的方式設(shè)置，使頭單元沿著引導(dǎo)部移動(dòng)。在本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)中，如上所述，通過設(shè)置支承部，該支承部設(shè)置在頭單元的上方，支承頭單元，并且以突出到支承部的上面的上方的方式設(shè)置使頭單元沿著引導(dǎo)部移動(dòng)的致動(dòng)器，從而在支承部從上方支承頭單元的懸吊型結(jié)構(gòu)中，由于能夠使致動(dòng)器突出到支承部的上面的上方，因此無(wú)需在支承部與頭單元之間設(shè)置用于收納致動(dòng)器整體的空間。據(jù)此，由于能夠縮小從支承部到頭單元的高度方向的間隔，因此能夠縮小振動(dòng)發(fā)生時(shí)的頭單元的振幅。其結(jié)果是能夠提高安裝位置精度。在上述本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)中，較為理想的是，還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，沿著與指定的方向正交的水平方向驅(qū)動(dòng)頭單元，引導(dǎo)部包括設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度方向兩端上部，經(jīng)由該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)引導(dǎo)該頭單元的一對(duì)直線運(yùn)動(dòng)軸承。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，即使頭單元振動(dòng)時(shí)， 也能夠通過一對(duì)直線運(yùn)動(dòng)軸承盡可能地降低驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)受到的影響，能夠限制頭單元的振動(dòng)增幅。另外，由于各直線運(yùn)動(dòng)軸承設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度方向兩端上部，因此不用擔(dān)心引導(dǎo)部向上述水平方向突出，設(shè)備寬度徒勞地增大。另外，在上述本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)中，較為理想的是，致動(dòng)器安裝在支承部的上面。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，致動(dòng)器自身被支承部保持，從而能夠盡可能地避免來(lái)自于頭單元的振動(dòng)的影響。在上述本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)中，較為理想的是，致動(dòng)器經(jīng)由形成在支承部上的開口部與頭單元連接。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，即使在支承部的上面?zhèn)仍O(shè)置用于使頭單元移動(dòng)的致動(dòng)器或使其突出時(shí)，也能夠經(jīng)由支承部的開口部容易地進(jìn)行致動(dòng)器與頭單元的連接。這種情況下，較為理想的是，致動(dòng)器經(jīng)由設(shè)置在開口部?jī)?nèi)的連接部件與支承部的下面?zhèn)鹊念^單元連接。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，由于完全無(wú)需在支承部的下面?zhèn)仍O(shè)置用于收納致動(dòng)器的空間，因此能夠在支承部的下面附近的位置支承頭單元。其結(jié)果是由于能夠進(jìn)一步縮小從支承部到頭單元的高度方向的間隔，因此能夠進(jìn)一步提高安裝位置精度。在上述本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)中，較為理想的是，支承部的下面具有形成平坦面狀的平板形狀，引導(dǎo)部安裝在平坦面狀的下面。這里，如果去除頭單元的振動(dòng)的影響，則引導(dǎo)部的安裝位置精度對(duì)頭單元的位置精度造成的影響最大。為了提高引導(dǎo)部的安裝位置精度，需要高精度地制作引導(dǎo)部的安裝面。在本發(fā)明中，通過將支承部設(shè)為易于加工的平板形狀，從而能夠容易且高精度地制作引導(dǎo)部的安裝面(支承部的下面)。另外，如以往所示，經(jīng)由間隔部件將直線運(yùn)動(dòng)軸承安裝到裝置頂棚上時(shí)，間隔部件與裝置頂棚的下面(間隔部件的安裝面)這兩者需要高精度的加工，而根據(jù)上述本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，只要高精度地制作平板形狀的支承部的下面即可，因此這一點(diǎn)也能夠容易地提高引導(dǎo)部的安裝位置精度。其結(jié)果是能夠容易地提高頭單元的安裝位置精度。在上述本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)中，較為理想的是，引導(dǎo)部的下面與支承部的下面之間的上下方向的距離小于致動(dòng)器的上下方向的長(zhǎng)度。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，與在支承部與頭單元之間的高度位置設(shè)置制動(dòng)器整體的結(jié)構(gòu)相比，能夠確實(shí)地縮小從支承部到頭單元的高度方向的間隔，因此能夠容易地提高頭單元的安裝位置精度。在上述本發(fā)明所涉及的安裝機(jī)中，較為理想的是，致動(dòng)器包括線性電動(dòng)機(jī)，該線性電動(dòng)機(jī)包括以相互對(duì)置的方式設(shè)置，固定在支承部上的永久磁鐵構(gòu)成的一對(duì)定子；以及設(shè)置在一對(duì)定子之間，具有安裝在頭單元側(cè)的可動(dòng)部件上的線圈的動(dòng)子。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，由于作為發(fā)熱源的線圈位于動(dòng)子側(cè)，因此通過頭單元移動(dòng)時(shí)的動(dòng)子的移動(dòng)，動(dòng)子與空氣接觸，從而能夠冷卻動(dòng)子的線圈。其結(jié)果是能夠得到包括線性電動(dòng)機(jī)的致動(dòng)器的冷卻效果。這種情況下，較為理想的是，致動(dòng)器還包括設(shè)置在動(dòng)子的上面的散熱部。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，伴隨著頭單元移動(dòng)時(shí)的動(dòng)子的移動(dòng)，散熱部也移動(dòng)，還能夠從散熱部放出由線圈產(chǎn)生的熱。其結(jié)果是能夠通過動(dòng)子上的散熱部有效地冷卻致動(dòng)器(線圈)。在上述致動(dòng)器包括線性電動(dòng)機(jī)，該線性電動(dòng)機(jī)包括相互對(duì)置的一對(duì)定子的的結(jié)構(gòu)中，較為理想的是，還包括一對(duì)安裝壁部，以從支承部的上面向上方延伸的方式設(shè)置，并且在相互對(duì)置的側(cè)面上分別設(shè)置有致動(dòng)器的一對(duì)定子。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，由于能夠在設(shè)置于支承部的上面的安裝臂部上安裝致動(dòng)器的定子，因此能夠容易地進(jìn)行致動(dòng)器相對(duì)于支承部的安裝。這種情況下，較為理想的是，還包括連結(jié)部件，以跨越動(dòng)子的上方的方式連結(jié)并固定一對(duì)安裝壁部。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，不會(huì)因連結(jié)部件妨礙動(dòng)子的移動(dòng)，能夠牢固地固定一對(duì)安裝壁部(定子)。這里，由于在設(shè)置于一對(duì)安裝壁部的一對(duì)定子之間作用永久磁鐵的強(qiáng)力的磁引力，因此能夠通過該連結(jié)部件防止因磁引力導(dǎo)致產(chǎn)生安裝壁部的倒塌和支承部的歪斜。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的安裝機(jī)的整體結(jié)構(gòu)的正視圖。圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的安裝機(jī)的框體的立體圖。圖3是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的安裝機(jī)的基臺(tái)上的各部的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖4是從正面?zhèn)缺硎颈景l(fā)明的一實(shí)施方式的安裝機(jī)的第一頭單元的部分剖視圖。圖5是沿著用于說明支承框架的上面的圖1的V-V線的水平剖視圖。圖6是用于說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的安裝機(jī)的Y致動(dòng)器的立體圖。圖7是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的安裝機(jī)的主要結(jié)構(gòu)要素的立體圖。圖8是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的第一變形例的安裝機(jī)的Y致動(dòng)器的正視圖。圖9是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的第二變形例的安裝機(jī)的Y致動(dòng)器的正視圖。圖10是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的第三變形例的安裝機(jī)的Y致動(dòng)器的正視圖。
具體實(shí)施例方式下面，基于

本發(fā)明的實(shí)施方式。下面，參照?qǐng)D1至圖7，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式的安裝機(jī)100的構(gòu)造進(jìn)行說明。此外，為了明確方向關(guān)系，在圖中適宜地示出CTZ正交坐標(biāo)軸。在以下的說明中，將基板的傳送方向設(shè)為X軸方向(安裝機(jī)100的寬度方向)，將Y軸方向設(shè)為與X軸水平正交的方向 (安裝機(jī)100的進(jìn)深方向)，將Z軸方向設(shè)為分別與X軸、Y軸正交的方向(上下方向)。安裝機(jī)100是所謂的復(fù)合型安裝機(jī)，其可從經(jīng)晶粒切割的晶圓W中取出裸芯片并安裝(裝配)到印刷電路板P(參照?qǐng)D；3)上，并且將由元件供應(yīng)裝置160供應(yīng)的封裝元件等安裝到印刷電路板P上。如圖2所示，該安裝機(jī)100具備框體，該框體包括基臺(tái)la、設(shè)置在基臺(tái)Ia上的X方向兩端的位置上的一對(duì)側(cè)部框架lb、設(shè)置在側(cè)部框架Ib上并沿水平方向(XY方向)延伸的支承框架(頂板)lc、以及設(shè)置在支承框架Ic上的上部框架Id。此外，支承框架Ic為本發(fā)明的“支承部”的一例。另外，圖2僅圖示安裝機(jī)100的框體和后述的傳送帶2，省略了以下說明的各種機(jī)構(gòu)。如圖1和圖3所示，該安裝機(jī)100具備傳送帶2，用于對(duì)指定的安裝作業(yè)位置搬入和搬出印刷電路板P(參照?qǐng)D3)；芯片元件供應(yīng)部3，用于供應(yīng)芯片元件；以及安裝部4(參照?qǐng)D1)，用于在印刷電路板P上安裝元件(裸芯片或芯片元件)。另外，安裝機(jī)100包括 晶圓保持工作臺(tái)5，支承從晶圓收納部170(參照?qǐng)D3)抽出的晶圓W;取出裝置6，從由晶圓保持工作臺(tái)5支承的晶圓W中取出裸芯片并交付到安裝部4 ；上推裝置7，當(dāng)利用取出裝置 6取出裸芯片時(shí)從下方上推該裸芯片；以及元件位置識(shí)別用的可移動(dòng)攝像機(jī)8，在利用取出裝置6進(jìn)行裸芯片的取出動(dòng)作之前拍攝該裸芯片。傳送帶2包括沿傳送印刷電路板P的X方向延伸的傳送帶主體、以及在該傳送帶主體上抬升印刷電路板P并定位的未圖示的定位機(jī)構(gòu)。如圖2和圖3所示，傳送帶2設(shè)置在基臺(tái)Ia上，經(jīng)由設(shè)置在X方向兩端的一對(duì)側(cè)部框架Ib上的開口部Ie貫穿框體。傳送帶2從圖3右側(cè)(上游側(cè))向左側(cè)(下游側(cè))以幾乎水平姿勢(shì)在X軸方向上傳送印刷電路板P，將印刷電路板P定位固定于指定的安裝作業(yè)位置。另外，將在傳送帶2的傳送路徑上且在X軸方向上隔開指定間隔的位置(圖3的印刷電路板P的位置)分別設(shè)為安裝作業(yè)位置。此外，在以下的說明中，將安裝作業(yè)位置之中印刷電路板P的傳送方向上游側(cè)的位置稱為第一作業(yè)位置Si，將下游側(cè)的位置稱為第二作業(yè)位置S2。芯片元件供應(yīng)部3在基臺(tái)Ia上設(shè)置在安裝機(jī)100的身前側(cè)的兩端。芯片元件供應(yīng)部3用于供應(yīng)晶體管、電阻、電容器等芯片元件而設(shè)置。在芯片元件供應(yīng)部3中例如沿傳送帶2排列設(shè)置帶式送料器161等元件供應(yīng)裝置160。各帶式送料器161在帶式送料器前端的元件供應(yīng)位置使安裝機(jī)100的安裝部4拾取芯片元件，并且伴隨著該拾取將下一芯片元件送出到元件供應(yīng)位置。如圖1所示，安裝部4是將裸芯片或芯片元件安裝到印刷電路板P上的裝置，包括在傳送帶2的上方位置分別在水平方向(XY方向)上可移動(dòng)的兩個(gè)頭單元(稱為第一頭單元41、第二頭單元4 、以及分別驅(qū)動(dòng)它們的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部。第一頭單元41和第二頭單元42 為分別通過支承框架Ic從上方懸吊支承的懸吊型頭單元。因此，第一頭單元41和第二頭單元42能夠在設(shè)置在基臺(tái)Ia上的各部(傳送帶2、芯片元件供應(yīng)部3、以及晶圓保持工作臺(tái)5、取出裝置6、上推裝置7、攝像機(jī)8等)的上方位置，分別在水平方向(XY方向)上移動(dòng)。此外，第一頭單元41和第二頭單元42為本發(fā)明的“頭單元”的一例。如圖4至圖6所示，在本實(shí)施方式中，支承框架Ic具有包括分別形成為平坦面狀的上面Ih和下面Ii的平板形狀。如圖2所示，該支承框架Ic通過側(cè)部框架Ib和上部框架Id夾住上下被牢固地支承固定。上部框架Id為中空的屋頂狀部件，在內(nèi)部設(shè)置有后述的Y致動(dòng)器45的設(shè)置空間和未圖示的各種配線用的空間。另外，如圖4和圖5所示，在支承框架Ic上形成有用于分別連接第一頭單元41 (第二頭單元42)的各Y致動(dòng)器45與第一頭單元41 (第二頭單元42)的兩個(gè)開口部If。該開口部If被設(shè)置為沿著Y方向并以在頭單元41的移動(dòng)范圍全長(zhǎng)呈直線狀延伸的方式形成，從支承框架Ic的上面Ih貫穿到下面 li(參照?qǐng)D4)。另外，開口部If與第一頭單元41(第二頭單元42)的Y方向的可動(dòng)范圍對(duì)應(yīng)，從支承框架Ic的身前側(cè)設(shè)置到后端部附近。進(jìn)一步，如圖5所示，在支承框架Ic的中央形成有配線用開口部lg，能夠經(jīng)由該配線用開口部Ig向第一頭單元41 (第二頭單元42) 進(jìn)行各種配線線纜和風(fēng)管等配線處理。此外，Y致動(dòng)器45為本發(fā)明的“致動(dòng)器”的一例。如圖3所示，第一頭單元41以俯視來(lái)看將主要包括第一作業(yè)位置Sl的上游側(cè)的區(qū)域作為可動(dòng)區(qū)域并僅可在基臺(tái)Ia上方的該區(qū)域內(nèi)移動(dòng)。另一方面，第二頭單元42以俯視來(lái)看將主要包括第二作業(yè)位置S2的下游側(cè)的區(qū)域作為可動(dòng)區(qū)域并僅可在基臺(tái)Ia上方的該區(qū)域內(nèi)移動(dòng)。如圖1和圖4所示，第一頭單元41(第二頭單元4 具備在X軸方向上排列的兩個(gè)元件安裝用頭部41a和一個(gè)攝像機(jī)41b (兩個(gè)元件安裝用頭部4 和一個(gè)攝像機(jī) 42b)。第一頭單元41(第二頭單元42)通過這些元件安裝用頭部41a(42a)吸附由帶式送料器161供應(yīng)的芯片元件并安裝到印刷電路板P上，并且通過元件安裝用頭部41a (42a) 吸附由取出裝置6從晶圓W中取出的裸芯片并安裝到印刷電路板P上。據(jù)此，晶體管、電容器等芯片元件與裸芯片這兩者均被安裝到印刷電路板P上。另外，第一頭單元41 (第二頭單元42)在向印刷電路板P安裝元件之前，利用攝像機(jī)41b (42b)識(shí)別印刷電路板P上帶有的基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)(未圖示)，從而識(shí)別印刷電路板P的位置偏差，在安裝時(shí)實(shí)施位置偏差修正。第一頭單元41和第二頭單元42的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分別具有相同的結(jié)構(gòu)。因此，這里對(duì)第一頭單元41的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部進(jìn)行說明，省略對(duì)第二頭單元42的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部的說明。如圖4 所示，第一頭單元41的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部包括安裝在支承框架Ic的下面Ii側(cè)的一對(duì)引導(dǎo)導(dǎo)軌 43a和三個(gè)一組地與這些弓丨導(dǎo)導(dǎo)軌43a可移動(dòng)卡合的六個(gè)滑塊4 (參照?qǐng)D幻、安裝在這些滑塊43b的下面的可動(dòng)工作臺(tái)44、在Y方向上驅(qū)動(dòng)第一頭單元41的Y致動(dòng)器45、以及安裝在可動(dòng)工作臺(tái)44的下面并在X方向上驅(qū)動(dòng)第一頭單元41的X框架46。第一頭單元41經(jīng)由引導(dǎo)導(dǎo)軌43a、滑塊43b、可動(dòng)工作臺(tái)44、以及X框架46，懸吊支承在支承框架Ic上。一對(duì)引導(dǎo)導(dǎo)軌43a在支承框架Ic的下面Ii中在X方向上隔開間隔排列設(shè)置。各引導(dǎo)導(dǎo)軌43a具有在Y方向上延伸的直線狀形狀，具有支承第一頭單元41并引導(dǎo)第一頭單元41的Y方向的移動(dòng)的功能。這些引導(dǎo)導(dǎo)軌43a也與開口部If同樣，與第一頭單元41的 Y方向的可動(dòng)范圍對(duì)應(yīng)，從支承框架Ic的身前側(cè)設(shè)置到后端部附近。在各引導(dǎo)導(dǎo)軌43a上分別安裝有三個(gè)滑塊43b，通過該引導(dǎo)導(dǎo)軌43a與滑塊4 構(gòu)成直線運(yùn)動(dòng)軸承43。各滑塊 43b通過與引導(dǎo)導(dǎo)軌43a卡合，從而沿著引導(dǎo)導(dǎo)軌43a僅可在Y方向上移動(dòng)地安裝。此外， 直線運(yùn)動(dòng)軸承43為本發(fā)明的“引導(dǎo)部”的一例。如圖4所示，可動(dòng)工作臺(tái)44具有板狀形狀，可動(dòng)工作臺(tái)44的上面4 被安裝在六個(gè)滑塊43b的下面。六個(gè)滑塊4 經(jīng)由該可動(dòng)工作臺(tái)44相互連結(jié)，從而沿著引導(dǎo)導(dǎo)軌43a 在Y方向上一體移動(dòng)。可動(dòng)工作臺(tái)44、以及該可動(dòng)工作臺(tái)44下方的X框架46和第一頭單元41經(jīng)由這些滑塊4 和引導(dǎo)導(dǎo)軌43a，被支承框架Ic支承。Y致動(dòng)器45設(shè)置在支承框架Ic的上面Ih上，以突出到支承框架Ic的上面Ih的上方的方式設(shè)置。另外，Y致動(dòng)器45經(jīng)由連接導(dǎo)軌47與可動(dòng)工作臺(tái)44連接。Y致動(dòng)器45 為線性電動(dòng)機(jī)，該線性電動(dòng)機(jī)包括永久磁鐵構(gòu)成的一對(duì)定子45a、以及內(nèi)置線圈并設(shè)置在一對(duì)定子4 之間的動(dòng)子45b。Y致動(dòng)器45通過一對(duì)安裝壁部45c設(shè)置在支承框架Ic的上面Ih上。一對(duì)定子4 包括由以與引導(dǎo)導(dǎo)軌43a平行地沿Y方向延伸的方式設(shè)置的多個(gè)永久磁鐵。定子4 被固定在分別設(shè)置于沿Y方向延伸的開口部If的X方向兩側(cè)的緣部的一對(duì)安裝壁部45c上。如圖5和圖6所示，該安裝壁部45c為以沿著開口部If的長(zhǎng)邊側(cè)沿 Y方向延伸，并且從支承框架Ic的上面Ih向上方延伸的方式設(shè)置的板狀部件。如圖4所示，一對(duì)定子4 分別在一對(duì)安裝壁部45c相互對(duì)置一側(cè)的側(cè)面上，以相互在X方向上對(duì)置的方式設(shè)置。動(dòng)子4 在支承框架Ic的開口部If上方的位置，在一對(duì)定子4 之間與各定子 45a隔開少許間隔設(shè)置。該動(dòng)子4 具有在樹脂制的箱狀部中內(nèi)置有線圈的結(jié)構(gòu)。在動(dòng)子 45b的下面安裝有連接導(dǎo)軌47的一端(上端)。另外，連接導(dǎo)軌47的另一端(下端)通過開口部If被固定在可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a。據(jù)此，支承框架Ic的上面Ih側(cè)的動(dòng)子4 通過連接導(dǎo)軌47經(jīng)由開口部If與支承框架Ic的下面Ii側(cè)的第一頭單元41 (可動(dòng)工作臺(tái)44)連接。而且，Y致動(dòng)器45通過向動(dòng)子45b的線圈供應(yīng)電力使動(dòng)子4 相對(duì)于定子4 在Y方向上相對(duì)地移動(dòng)。據(jù)此，Y致動(dòng)器45能夠使連接于動(dòng)子45b的可動(dòng)工作臺(tái)44(第一頭單元41)在沿著引導(dǎo)導(dǎo)軌43a的Y方向上移動(dòng)。此外，動(dòng)子4 經(jīng)由連接導(dǎo)軌47被可動(dòng)工作臺(tái)44支承。在本實(shí)施方式中，連接導(dǎo)軌47和可動(dòng)工作臺(tái)44為本發(fā)明的“連接部件”的一例。另外，如圖6所示，在動(dòng)子45b的上面安裝有散熱部48，其具有以向上方延伸的方式形成的多個(gè)散熱翅片48a。動(dòng)子4 伴隨著第一頭單元41的Y方向的移動(dòng)而移動(dòng)時(shí)，因向動(dòng)子45b的線圈供應(yīng)電力而產(chǎn)生的熱能夠通過該散熱部48有效地放出。此外，圖5中為了方便省略散熱部48的圖示。另外，如圖4所示，在一對(duì)安裝壁部45c的上端部上安裝有用于連結(jié)并固定這一對(duì)安裝壁部45c的連結(jié)部件45d。連結(jié)部件45d具有倒U字形(Channel like shape)的剖面形狀，以跨越動(dòng)子4 (散熱部48)的方式通過下端部將一對(duì)安裝壁部45c的上端部相互連結(jié)。據(jù)此，設(shè)置在開口部If的兩側(cè)的一對(duì)安裝壁部45c的下端分別固定于支承框架lc， 并且上端通過連結(jié)部件45d相互一體連結(jié)。其結(jié)果是由于一對(duì)安裝壁部45c通過連結(jié)部件 45d與支承框架Ic 一體固定，因此相對(duì)于在包括永久磁鐵的定子4 之間作用的X方向的磁引力，安裝壁部45c能夠牢固地支承定子45a。此外，圖5和圖6中為了說明省略連結(jié)部件45d的圖示。如圖6所示，X框架46從側(cè)面(X方向)來(lái)看具有三角形狀，以沿X方向延伸的方式形成。X框架46的上面安裝于可動(dòng)工作臺(tái)44。另一方面，X框架46在身前側(cè)的安裝面 46a側(cè)支承第一頭單元41。在X框架46的安裝面46a上，上下設(shè)置有沿X方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌46b，并且設(shè)置在第一頭單元41的背面?zhèn)鹊囊粚?duì)滑塊46c分別與一對(duì)導(dǎo)軌46b可移動(dòng)地卡合。另外，在一對(duì)導(dǎo)軌46b之間設(shè)置有X致動(dòng)器49。X致動(dòng)器49包括具有設(shè)置在一對(duì)導(dǎo)軌46b之間的定子49a與設(shè)置在第一頭單元41的背面?zhèn)鹊膭?dòng)子49b的線性電動(dòng)機(jī)。據(jù)此，能夠在X框架46的大致全部區(qū)域，使第一頭單元41在X方向上直線移動(dòng)。此外，第一頭單元41的X框架46具有與包括第一作業(yè)位置Sl的上游側(cè)的可動(dòng)區(qū)域?qū)?yīng)的X方向的寬度尺寸。這些X框架46、X致動(dòng)器49等為本發(fā)明的“驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)”的一例。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，第一頭單元41能夠通過Y致動(dòng)器45在基臺(tái)Ia上方的Y方向大致全部區(qū)域，在Y方向上直線移動(dòng)，并且能夠通過X致動(dòng)器49，在X框架46的大致全部區(qū)域，在X方向上直線移動(dòng)。據(jù)此，第一頭單元41能夠在上游側(cè)的可動(dòng)區(qū)域內(nèi)沿水平方向移動(dòng)。另外，根據(jù)同樣的結(jié)構(gòu)，第二頭單元42能夠在下游側(cè)的可動(dòng)區(qū)域內(nèi)沿水平方向移動(dòng)。另外，如圖4所示，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成第一頭單元41的直線運(yùn)動(dòng)軸承43的滑塊43b的下面(可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a)與支承框架Ic的下面Ii之間的上下方向的距離D小于包括線性電動(dòng)機(jī)的Y致動(dòng)器45的高度尺寸(上下方向的長(zhǎng)度)HI。另外，距離D 在本實(shí)施方式中實(shí)質(zhì)上等于直線運(yùn)動(dòng)軸承43 (引導(dǎo)導(dǎo)軌43a和滑塊43b)的高度尺寸(厚度)。其結(jié)果是通過將Y致動(dòng)器45設(shè)置在支承框架Ic的上面lh，從而能夠在與支承框架 Ic的下面Ii間隔直線運(yùn)動(dòng)軸承43的厚度部分(=距離D)的支承框架Ic附近的位置支承第一頭單元41。另外，如圖3所示，在基臺(tái)Ia上且在第一頭單元41和第二頭單元42的各自的可動(dòng)區(qū)域內(nèi)設(shè)置有元件識(shí)別用固定攝像機(jī)9和10。固定攝像機(jī)9和10從下側(cè)拍攝通過第一頭單元41的元件安裝用頭部41a和第二頭單元42的元件安裝用頭部4 吸附的元件。據(jù)此，能夠?qū)崿F(xiàn)通過元件安裝用頭部41a和元件安裝用頭部42a吸附的元件的圖像識(shí)別。另外，在安裝機(jī)100的身前側(cè)的中央部能夠可裝卸地固定收納有晶圓W的晶圓收納部170。這里，晶圓收納部170如圖3所示收容經(jīng)晶粒切割的多枚晶圓W。收容在晶圓收納部170中的各晶圓W的各個(gè)裸芯片以面朝上(face up)狀態(tài)(電路形成面(相對(duì)于印刷電路板P的安裝面)向上的狀態(tài))粘貼在薄膜狀晶圓薄片上，經(jīng)由該晶圓薄片而被托架Wh 保持。另外，晶圓保持工作臺(tái)5能夠通過未圖示的出入機(jī)構(gòu)，在晶圓保持工作臺(tái)5設(shè)置在晶圓接收位置(圖3所示的位置)的狀態(tài)下，將晶圓W(托架Wh)從晶圓收納部170抽出到晶圓保持工作臺(tái)5上，并且將晶圓保持工作臺(tái)5上的晶圓W收容在晶圓收納部170內(nèi)(返回)。晶圓保持工作臺(tái)5在中央部具有圓形開口部，能夠以保持晶圓W的托架Wh的開口部與晶圓保持工作臺(tái)5的開口部重疊(嵌入)的方式保持托架Wh。晶圓保持工作臺(tái)5能夠在元件取出作業(yè)位置(參照?qǐng)D3的雙點(diǎn)劃線和圖7的實(shí)線)與晶圓接收位置(參照?qǐng)D7的雙點(diǎn)劃線)之間，在基臺(tái)Ia上在Y方向上移動(dòng)。具體而言，如圖3所示，晶圓保持工作臺(tái)5可移動(dòng)地支承于在基臺(tái)Ia上以沿Y軸方向延伸的方式設(shè)置的一對(duì)固定導(dǎo)軌51上。晶圓保持工作臺(tái)5通過與固定導(dǎo)軌51平行延伸且螺合插入晶圓保持工作臺(tái)5的螺母部分的滾珠絲杠52、以及用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠52的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī) 53沿著固定導(dǎo)軌51移動(dòng)。如圖7所示，晶圓保持工作臺(tái)5通過傳送帶2的下方位置(參照?qǐng)D1)，在指定的元件取出作業(yè)位置(參照?qǐng)D3的雙點(diǎn)劃線和圖7的實(shí)線)與晶圓收納部 170附近的晶圓接收位置(參照?qǐng)D7的雙點(diǎn)劃線)之間在Y方向上移動(dòng)。上推裝置7具有上推頭71，該上推頭71具備一對(duì)小徑的上推桿71a和71b，通過從其下側(cè)上推設(shè)置在元件取出作業(yè)位置的晶圓保持工作臺(tái)5上的晶圓W之中作為取出對(duì)象的裸芯片，從而使該裸芯片從晶圓薄片剝離并抬升。上推裝置7通過未圖示的驅(qū)動(dòng)單元，在基臺(tái)Ia上沿著在X軸方向上可移動(dòng)地支承的固定導(dǎo)軌72在X方向上可移動(dòng)。取出裝置6具備分別具有元件吸附用的噴嘴6c的一對(duì)晶圓頭部6a和6b，吸附通過上推裝置7上推的裸芯片并交付給第一頭單元41和第二頭單元42。該取出裝置6通過指定的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部在元件取出作業(yè)位置的上方位置在水平方向(XY方向)上移動(dòng)。此外， 雖然并未具體圖示，但是晶圓頭部6a和6b能夠通過公知的方法，將從上方吸附的裸芯片交付給從上方面對(duì)取出裝置6的頭單元41 (42)的元件安裝用頭部41a (42a)。如圖3所示，具體而言，在元件取出作業(yè)位置(參照?qǐng)D3的雙點(diǎn)劃線和圖7的實(shí)線) 設(shè)置有在X軸方向上隔開指定間隔設(shè)置且在Y軸方向上彼此平行延伸的一對(duì)高架的固定導(dǎo)軌61 ；兩端分別可移動(dòng)地支承在固定導(dǎo)軌61上并沿X軸方向延伸的框架部件62 ；設(shè)置在接近固定導(dǎo)軌61的位置并沿Y軸方向延伸、且分別螺合插入框架部件62兩端的螺母部件 (圖示省略)的一對(duì)滾珠絲桿63 ；以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿63的一對(duì)框架驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)64?？蚣懿考?2在其身前側(cè)可移動(dòng)地支承取出裝置6，在其后側(cè)可移動(dòng)地支承攝像機(jī) 8。而且，框架部件62中具備沿X軸方向延伸并螺合插入取出裝置6的螺母部件(圖示省略)的滾珠絲桿(圖示省略)；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)該滾珠絲桿的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)65 ；沿X軸方向延伸并螺合插入攝像機(jī)8的螺母部件(圖示省略)的滾珠絲桿(圖示省略)；以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)該滾珠絲桿的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)66。各框架驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)64使框架部件62沿著固定導(dǎo)軌61移動(dòng)，使取出裝置6和攝像機(jī)8 —體地在Y軸方向上移動(dòng)。另外，通過運(yùn)轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)65在框架部件62的Y方向身前側(cè)位置使取出裝置6在X軸方向上移動(dòng)，并且通過運(yùn)轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)66在框架部件62的 Y方向后側(cè)位置使攝像機(jī)8在X軸方向上移動(dòng)。據(jù)此取出裝置6和攝像機(jī)8在元件取出作業(yè)位置的上方位置能夠分別在水平方向(XY方向)上移動(dòng)?；_(tái)Ia上的取出裝置6在XY方向上的可動(dòng)區(qū)域與通過支承框架Ic在基臺(tái)Ia上方懸吊的第一頭單元41和第二頭單元42在XY方向上的可動(dòng)區(qū)域俯視來(lái)看部分重疊。據(jù)此，如后所述，能夠?qū)崿F(xiàn)從取出裝置6向第一頭單元41和第二頭單元42交付裸芯片。此外，由于第一頭單元41和第二頭單元42通過支承框架Ic設(shè)置在基臺(tái)Ia上的各部的上方位置，因此雖然取出裝置6等的可動(dòng)區(qū)域與第一頭單元41和第二頭單元42的各可動(dòng)區(qū)域如上所述部分重疊，但是取出裝置6與第一頭單元41和第二頭單元42不會(huì)相互干涉。攝像機(jī)8在從晶圓W取出裸芯片之前，拍攝作為取出對(duì)象的裸芯片。據(jù)此，能夠?qū)崿F(xiàn)作為取出對(duì)象的裸芯片的位置識(shí)別。接著參照?qǐng)D3、圖4和圖7，對(duì)該安裝機(jī)100的元件安裝動(dòng)作進(jìn)行說明。此外，以下的動(dòng)作通過未圖示的控制裝置控制安裝機(jī)100的各部而實(shí)施。首先，如圖3所示，通過控制傳送帶2，將印刷電路板P搬入安裝機(jī)100內(nèi)。然后， 通過控制傳送帶2，在設(shè)置于第一作業(yè)位置Sl和第二作業(yè)位置S2的狀態(tài)下固定印刷電路板 P。此后，使晶圓保持工作臺(tái)5移動(dòng)到晶圓接收位置(參照?qǐng)D7的雙點(diǎn)劃線)，通過未圖示的出入機(jī)構(gòu)從晶圓收納部170將晶圓W抽出到晶圓保持工作臺(tái)5上。而且，如圖7所示，將抽出的晶圓W固定在晶圓保持工作臺(tái)5上，并且將晶圓保持工作臺(tái)5設(shè)置于元件取出作業(yè)位置(參照?qǐng)D7的實(shí)線)。晶圓W設(shè)置在元件取出作業(yè)位置后，通過攝像機(jī)8進(jìn)行作為取出對(duì)象的裸芯片的拍攝。根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)求出裸芯片的位置(位置偏差)。這種情況下，安裝機(jī)100根據(jù)需要使攝像機(jī)8 —次或連續(xù)拍攝多個(gè)裸芯片。接著，基于攝像機(jī)8的拍攝結(jié)果，驅(qū)動(dòng)上推裝置7、取出裝置6以及晶圓保持工作臺(tái) 5，使上推頭71的上推桿71a和71b、取出裝置6的晶圓頭部6a和6b的各噴嘴6c、以及作為取出對(duì)象的裸芯片移動(dòng)到XY平面上的同一位置。而且，通過上推桿71a或71b從下側(cè)上推該裸芯片。另一方面，使晶圓頭部6a或 6b運(yùn)轉(zhuǎn)，通過噴嘴6c的前端部的負(fù)壓使因上推而從晶圓薄片剝離的裸芯片吸附。據(jù)此，從晶圓W中取出裸芯片。以上的從晶圓W中取出裸芯片的動(dòng)作分別針對(duì)晶圓頭部6a和6b實(shí)施，通過各噴嘴6c分別吸附保持裸芯片。接著，從取出裝置6向頭單元交付裸芯片。接著，使第一頭單元41移動(dòng)到固定攝像機(jī)9 (第二頭單元42時(shí)為固定攝像機(jī)10) 上方，使固定攝像機(jī)拍攝吸附于各元件安裝用頭部的裸芯片，并且基于其圖像數(shù)據(jù)運(yùn)算裸芯片相對(duì)于各元件安裝用頭部的吸附偏差。接著，通過第一頭單元41 (第二頭單元4 的攝像機(jī)41b (42b)，識(shí)別固定在傳送帶 2上的印刷電路板P帶有的基準(zhǔn)標(biāo)識(shí)(未圖示)。據(jù)此，識(shí)別印刷電路板P相對(duì)于傳送帶2的位置偏差。而且，根據(jù)裸芯片的吸附偏差和印刷電路板P的位置偏差，使第一頭單元41 (第二頭單元4 移動(dòng)到印刷電路板P上方的修正后的位置。然后，在指定的安裝位置使元件安裝用頭部下降，從而將裸芯片安裝到印刷電路板P上。此后，繼續(xù)安裝動(dòng)作直到所有的裸芯片安裝完成。另外，所有的裸芯片安裝完成時(shí)，通過控制傳送帶2，解除印刷電路板P的固定，并且將印刷電路板P搬出安裝機(jī)100外。以上對(duì)安裝機(jī)100的元件安裝動(dòng)作進(jìn)行了說明，但上述動(dòng)作為僅安裝裸芯片時(shí)的最基本的元件安裝動(dòng)作的例子。也就是，實(shí)際生產(chǎn)印刷電路板P時(shí)，為了更高效地生產(chǎn)印刷電路板P，并行執(zhí)行利用晶圓保持工作臺(tái)5的晶圓W的出入動(dòng)作、利用取出裝置6和上推裝置7的裸芯片的取出動(dòng)作、以及頭單元的安裝動(dòng)作等多個(gè)動(dòng)作的一部分。在本實(shí)施方式中，如上所述，設(shè)置支承框架lc，該支承框架Ic設(shè)置在第一頭單元 41 (第二頭單元42)的上方，支承第一頭單元41 (第二頭單元4 ，并且以突出到支承框架 Ic的上面Ih的上方的方式設(shè)置使第一頭單元41 (第二頭單元4 沿著直線運(yùn)動(dòng)軸承43移動(dòng)的Y致動(dòng)器45。據(jù)此，在支承框架Ic從上方支承第一頭單元41 (第二頭單元4 的懸吊型結(jié)構(gòu)中，由于能夠使Y致動(dòng)器45突出到支承框架Ic的上面Ih的上方，因此無(wú)需在支承框架Ic與第一頭單元41 (第二頭單元42)之間設(shè)置用于收納Y致動(dòng)器45整體的空間。據(jù)此，由于能夠縮小從支承框架Ic到第一頭單元41 (第二頭單元42)的高度方向(Z方向) 的間隔，因此能夠縮小振動(dòng)發(fā)生時(shí)的第一頭單元41 (第二頭單元42)的振幅。其結(jié)果是能夠提高安裝位置精度。換言之，由于能夠由構(gòu)成構(gòu)造體的支承框架Ic直接支承直線運(yùn)動(dòng)軸承43，消除增加頭單元41、42的搖擺的部件，因此能夠盡可能縮小振動(dòng)發(fā)生時(shí)的頭單元41、 42的振幅。其結(jié)果是能夠提高安裝位置精度。另外，伴隨著能夠盡可能地降低頭單元41、 42的振動(dòng)發(fā)生時(shí)的振幅，能夠降低直線運(yùn)動(dòng)軸承43等受到的振動(dòng)等，除了提高精度以外， 還可以提高耐久性。另外，在本實(shí)施方式中，Y致動(dòng)器45安裝在支承框架Ic的上面。因此，在本實(shí)施方式中，Y致動(dòng)器45自身被支承框架Ic保持，從而能夠盡可能地避免來(lái)自于頭單元41、42 的振動(dòng)的影響。另外，在本實(shí)施方式中，還包括沿著與Y方向正交的X方向驅(qū)動(dòng)頭單元41、42的X 框架46、X致動(dòng)器49等構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，作為引導(dǎo)部包括設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度方向兩端上部，經(jīng)由該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)引導(dǎo)該頭單元41、42的一對(duì)直線運(yùn)動(dòng)軸承43。因此，在本實(shí)施方式中，即使頭單元41、42振動(dòng)時(shí)，也能夠通過一對(duì)直線運(yùn)動(dòng)軸承43盡可能地降低驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)受到的影響，能夠限制頭單元41、42的振動(dòng)增幅。另外，由于各直線運(yùn)動(dòng)軸承43設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度方向兩端上部，因此不用擔(dān)心引導(dǎo)部向上述水平方向突出，設(shè)備寬度無(wú)謂地增大。另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，以突出到支承框架Ic的上面Ih側(cè)的方式設(shè)置 Y致動(dòng)器45，并且經(jīng)由開口部If與支承框架Ic的下面Ii側(cè)的第一頭單元41 (第二頭單元 42)連接。通過如此構(gòu)成，即使用于使第一頭單元41 (第二頭單元42)移動(dòng)的Y致動(dòng)器45 露出于支承框架Ic的上面Ih側(cè)時(shí)，也能夠經(jīng)由支承框架Ic的開口部If容易地進(jìn)行Y致動(dòng)器45與第一頭單元41 (第二頭單元42)的連接。另外，在本實(shí)施方式中，通過將Y致動(dòng)器45設(shè)置在支承框架Ic的上面lh，并且經(jīng)由設(shè)置在開口部If內(nèi)的連接導(dǎo)軌47連接支承框架Ic的下面Ii側(cè)的第一頭單元41 (第二頭單元42)與Y致動(dòng)器45，從而能夠容易地設(shè)置Y致動(dòng)器45。另外，由于完全無(wú)需在支承框架Ic的下面Ii側(cè)設(shè)置用于收納Y致動(dòng)器45的空間，因此能夠在支承框架Ic的下面Ii 附近的位置支承第一頭單元41 (第二頭單元42)。其結(jié)果是由于能夠縮小從支承框架Ic到可動(dòng)工作臺(tái)44 (第一頭單元41和第二頭單元42)的高度方向(Z方向)的間隔D，因此能夠進(jìn)一步提高安裝位置精度。 另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，將支承框架Ic形成為下面Ii為平坦面狀的平板形狀，并且將直線運(yùn)動(dòng)軸承43安裝在平坦面狀的下面li。這里，如果去除第一頭單元41 (第二頭單元42)的振動(dòng)的影響，則直線運(yùn)動(dòng)軸承43的安裝位置精度對(duì)第一頭單元 41(第二頭單元4 的位置精度造成的影響最大。為了提高直線運(yùn)動(dòng)軸承43的安裝位置精度，需要高精度地制作直線運(yùn)動(dòng)軸承43的安裝面。在本發(fā)明中，通過將支承框架Ic設(shè)為易于加工的平板形狀，從而能夠容易且高精度地制作直線運(yùn)動(dòng)軸承43的安裝面(支承框架Ic 的下面Ii)。另外，如以往所示，經(jīng)由間隔部件將直線運(yùn)動(dòng)軸承安裝到裝置頂棚上時(shí)，間隔部件與裝置頂棚的下面(間隔部件的安裝面)這兩者需要高精度的加工，而根據(jù)上述實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，只要高精度地制作平板形狀的支承框架Ic的下面Ii即可，因此這一點(diǎn)也能夠容易地提高直線運(yùn)動(dòng)軸承43的安裝位置精度。其結(jié)果是能夠容易地提高第一頭單元41 (第二頭單元42)的安裝位置精度。 另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，經(jīng)由可動(dòng)工作臺(tái)44將第一頭單元41 (第二頭單元42)安裝在直線運(yùn)動(dòng)軸承43的下面，并且使直線運(yùn)動(dòng)軸承43的下面(可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a)與支承框架Ic的下面Ii之間的上下方向的距離D小于Y致動(dòng)器45的上下方向的長(zhǎng)度(高度尺寸Hl)。通過如此構(gòu)成，與現(xiàn)有的將致動(dòng)器整體設(shè)置在頂棚與頭單元之間的高度位置的結(jié)構(gòu)相比較，能夠確實(shí)地縮小從支承框架Ic到第一頭單元41 (第二頭單元42) 的高度方向的間隔(從支承框架Ic的下面Ii到可動(dòng)工作臺(tái)44的上面4 的距離D)，因此能夠容易地提高第一頭單元41 (第二頭單元42)的安裝位置精度。另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，Y致動(dòng)器45包括線性電動(dòng)機(jī)，該線性電動(dòng)機(jī)包括包括以相互對(duì)置的方式設(shè)置的永久磁鐵的一對(duì)定子45a、以及具有設(shè)置在一對(duì)定子4 之間的線圈的動(dòng)子45b的。通過如此構(gòu)成，由于作為發(fā)熱源的線圈位于動(dòng)子4 側(cè)，因此通過第一頭單元41 (第二頭單元4 移動(dòng)時(shí)的動(dòng)子45b的移動(dòng)，動(dòng)子4 與空氣接觸，從而能夠冷卻動(dòng)子45b的線圈。其結(jié)果是能夠得到包括線性電動(dòng)機(jī)的Y致動(dòng)器45(動(dòng)子45b)的冷卻效果。另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，在Y致動(dòng)器45的動(dòng)子4 的上面設(shè)置有具有多個(gè)散熱翅片48a的散熱部48。通過如此構(gòu)成，伴隨著第一頭單元41 (第二頭單元4 移動(dòng)時(shí)的動(dòng)子45b的移動(dòng)，散熱部48也移動(dòng)，還能夠從散熱部48放出由線圈產(chǎn)生的熱。其結(jié)果是能夠通過動(dòng)子4 上的散熱部48有效地冷卻Y致動(dòng)器45 (動(dòng)子45b的線圈)。另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，以從支承框架Ic的上面Ih向上方延伸的方式設(shè)置一對(duì)安裝壁部45c，并且在一對(duì)安裝壁部45c的相互對(duì)置的側(cè)面上安裝Y致動(dòng)器45的一對(duì)定子45a。通過如此構(gòu)成，由于能夠在設(shè)置于支承框架Ic的上面Ih的安裝壁部45c上安裝Y致動(dòng)器45的定子45a，因此在以?shī)A入動(dòng)子4 的方式設(shè)置一對(duì)定子4 的結(jié)構(gòu)中，能夠容易地進(jìn)行在支承框架Ic上的Y致動(dòng)器45的安裝。
另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，設(shè)置以跨越動(dòng)子45b的上方的方式連結(jié)并固定一對(duì)安裝壁部45c的連結(jié)部件45d。通過如此構(gòu)成，不會(huì)妨礙動(dòng)子45b的移動(dòng)，能夠通過連結(jié)部件45d牢固地固定一對(duì)安裝壁部45c (定子45a)。這里，由于在設(shè)置于一對(duì)安裝壁部 45c的一對(duì)定子45a之間作用永久磁鐵的強(qiáng)力的磁引力，因此能夠通過該連接部件45d防止因磁引力導(dǎo)致的安裝壁部45c的倒塌和支承框架Ic的歪斜。(第一變形例)在上述實(shí)施方式中，示出了設(shè)置在支承框架Ic的上面Ih的Y 致動(dòng)器45包括具有定子45a和動(dòng)子45b的線性電動(dòng)機(jī)的例子，但如圖8所示的第一變形例所示，Y致動(dòng)器140 也可以包括具有旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)141和滾珠絲杠142的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，Y致動(dòng)器140為本發(fā)明的“致動(dòng)器”的一例。如圖8所示，該第一變形例的安裝機(jī)200的Y致動(dòng)器140以突出到支承框架Ic的上面Ih的上方的方式設(shè)置，并且經(jīng)由連接部件144與可動(dòng)工作臺(tái)44 (第一頭單元41)連接。 Y致動(dòng)器140包括與引導(dǎo)導(dǎo)軌43a平行延伸的滾珠絲杠142、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠142的旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)141、以及螺合于滾珠絲杠142的滾珠螺母143。滾珠絲杠142在支承框架Ic的開口部If的上方的位置被未圖示的軸承部件可旋轉(zhuǎn)地支承，并且一端與旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)141的輸出軸連接。另外，旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)141設(shè)置在支承框架Ic的上面lh。螺合于滾珠絲杠142的滾珠螺母143不能旋轉(zhuǎn)地安裝于連接部件144，該連接部件144經(jīng)由開口部If連結(jié)于支承框架Ic下側(cè)的可動(dòng)工作臺(tái)44。據(jù)此，通過運(yùn)轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)141以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠142，從而能夠經(jīng)由設(shè)置有滾珠螺母143的連接部件144使可動(dòng)工作臺(tái)44 (第一頭單元41)沿著引導(dǎo)導(dǎo)軌43a移動(dòng)。此夕卜，第一頭單元41的直線運(yùn)動(dòng)軸承43的下面(可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a)與支承框架Ic 的下面Ii之間的上下方向的距離D小于Y致動(dòng)器140的高度尺寸(上下方向的長(zhǎng)度)H2。在該第一變形例的結(jié)構(gòu)中，由于無(wú)需設(shè)置用于對(duì)動(dòng)子側(cè)(滾珠螺母143)進(jìn)行電力供應(yīng)的配線，因此能夠簡(jiǎn)化裝置結(jié)構(gòu)。另外，由于不需要用于安裝定子的安裝壁部、以及冷卻動(dòng)子的散熱部等，因此Y致動(dòng)器140的設(shè)置容易。(第二變形例)另外，在上述實(shí)施方式中，示出了 Y致動(dòng)器45包括線性電動(dòng)機(jī)，該線性電動(dòng)機(jī)包括對(duì)置的一對(duì)定子45a與設(shè)置在一對(duì)定子45a之間的動(dòng)子45b的例子，但如圖9所示的第二變形例所示，Y致動(dòng)器240也可以包括具有單一的定子241以及與定子241對(duì)置的動(dòng)子242 的線性電動(dòng)機(jī)。此外，Y致動(dòng)器240為本發(fā)明的“致動(dòng)器”的一例。如圖9所示，該第二變形例的安裝機(jī)300的Y致動(dòng)器240包括以覆蓋支承框架Ic 的開口部If的方式設(shè)置的定子241、以及以相對(duì)于定子241上下對(duì)置的方式設(shè)置的動(dòng)子 242。定子241安裝在跨越開口部If而設(shè)置于支承框架Ic的上面Ih的平板狀的安裝部件243的下面，設(shè)置在開口部If內(nèi)部的位置。該定子241包括以與引導(dǎo)導(dǎo)軌43a平行延伸的方式設(shè)置的多個(gè)永久磁鐵。另外，動(dòng)子242通過安裝部件244固定于可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a且開口部If下方的位置(定子241的正下方的位置)。該動(dòng)子242內(nèi)置線圈，以與定子241隔開少許間隔對(duì)置的方式設(shè)置。而且，Y致動(dòng)器240通過向動(dòng)子242的線圈供應(yīng)電力使動(dòng)子242相對(duì)于定子241移動(dòng)。據(jù)此，Y致動(dòng)器240使第 一頭單元41 (可動(dòng)工作臺(tái)44、X框架46)沿著引導(dǎo)導(dǎo)軌43a直線移動(dòng)。此外，第一頭單元41的直線運(yùn)動(dòng)軸承43的下面(可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a)與支承框架Ic的下面Ii之間的上下方向的距離D小于Y致動(dòng)器240的高度尺寸(上下方向的長(zhǎng)度)H3。該第二變形例的結(jié)構(gòu)與上述實(shí)施方式不同，由于無(wú)需在從支承框架Ic的上面Ih 向上方突出的一對(duì)安裝壁部45c上使一對(duì)定子45a相互在X方向上對(duì)置安裝，因此Y致動(dòng)器240的設(shè)置容易。(第三變形例)另外，在上述實(shí)施方式中，示出了將Y致動(dòng)器45設(shè)置在支承框架Ic的上面lh，通過連接導(dǎo)軌47經(jīng)由開口部If連接Y致動(dòng)器45與可動(dòng)工作臺(tái)44 (第一頭單元41)的例子， 但如圖10所示的第三變形例所示，也可以將Y致動(dòng)器340以突出到支承框架Ic的上面Ih 的上方的方式設(shè)置在可動(dòng)工作臺(tái)44上，不使用連接部件而直接連接Y致動(dòng)器340與可動(dòng)工作臺(tái)44 (第一頭單元41)。此外，Y致動(dòng)器340為本發(fā)明的“致動(dòng)器”的一例。如圖10所示，該第三變形例的安裝機(jī)400的Y致動(dòng)器340設(shè)置在可動(dòng)工作臺(tái)44 的上面44a。另外，Y致動(dòng)器340經(jīng)由開口部If以突出到支承框架Ic的上面Ih的上方的方式設(shè)置。因此，Y致動(dòng)器340的固定側(cè)(定子)和可動(dòng)側(cè)(動(dòng)子)設(shè)置在開口部If的內(nèi)側(cè)的區(qū)域。這里，Y致動(dòng)器340可以包括如上述實(shí)施方式或上述第二變形例的線性電動(dòng)機(jī)，也可以包括如上述第一變形例的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(滾珠絲杠和旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī))。Y致動(dòng)器340的固定側(cè)(定子)固定于支承框架Ic的上面lh、下面Ii或形成有開口部If的側(cè)端面的任一部分。而且，Y致動(dòng)器340的可動(dòng)側(cè)(動(dòng)子)在相對(duì)于固定側(cè)(定子)可相對(duì)地移動(dòng)的狀態(tài)下，不使用連接部件而直接固定在可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a。據(jù)此，通過驅(qū)動(dòng)Y致動(dòng)器340使可動(dòng)側(cè)(動(dòng)子)相對(duì)于固定側(cè)(定子)移動(dòng)，從而使第一頭單元41 (可動(dòng)工作臺(tái)44、X框架46)沿著引導(dǎo)導(dǎo)軌43a直線移動(dòng)。此外，第一頭單元41的直線運(yùn)動(dòng)軸承43的下面(可動(dòng)工作臺(tái)44的上面44a)與支承框架Ic的下面Ii之間的上下方向的距離D小于Y致動(dòng)器340的高度尺寸(上下方向的長(zhǎng)度)H4。由于該第三變形例的結(jié)構(gòu)不使用連接部件，能夠直接在第一頭單元41的可動(dòng)工作臺(tái)44上安裝Y致動(dòng)器340，因此能夠抑制元件數(shù)量并簡(jiǎn)化構(gòu)造。另外，應(yīng)認(rèn)為本次披露的實(shí)施方式和變形例的所有的點(diǎn)都只是例舉，而非限制。本發(fā)明的范圍并不是由上述的實(shí)施方式和變形例的說明所表示，而是由權(quán)利要求書的范圍表示，進(jìn)一步含有與權(quán)利要求書均等的意義及范圍內(nèi)的所有的變更。例如，在上述實(shí)施方式中，示出了設(shè)置兩個(gè)頭單元的例子，但本發(fā)明并不限于此。 在本發(fā)明中，可以設(shè)置一個(gè)或三個(gè)以上的頭單元。另外，在上述實(shí)施方式中，示出了取出裸芯片并安裝(裝配)，并且可安裝芯片元件的所謂復(fù)合型安裝機(jī)中適用本發(fā)明的例子，但本發(fā)明并不限于此。即，也可以在僅進(jìn)行裸芯片或芯片元件中的任一種的安裝的安裝機(jī)中適用本發(fā)明。另外，在上述實(shí)施方式和上述第一至第三變形例中，示出了將Y致動(dòng)器經(jīng)由可動(dòng)工作臺(tái)與頭單元連接的例子，但本發(fā)明并不限于此。例如，也可以不設(shè)置可動(dòng)工作臺(tái)，將Y 致動(dòng)器與X框架連接。另外，也可以將Y致動(dòng)器與頭單元直接連接。
另外，在上述實(shí)施方式和上述第一至第三變形例中，示出了設(shè)置平板形狀的支承框架的例子，但本發(fā)明并不限于此。在本發(fā)明中，也可以將支承框架形成為平板形狀以外的形狀。另外，在上述實(shí)施方式中，示出了將支承框架的開口部形成為貫穿孔的例子，但本發(fā)明并不限于此。例如，也可以設(shè)置從支承框架的外周端部連續(xù)形成的缺口狀的開口部。另外，在上述實(shí)施方式中，示出了經(jīng)由支承框架的開口部連接Y致動(dòng)器與頭單元的例子，但本發(fā)明并不限于此。在本發(fā)明中，也可以不經(jīng)由開口部連接致動(dòng)器與頭單元。另外，在上述實(shí)施方式和上述第一至第三變形例中，示出了使頭單元的直線運(yùn)動(dòng)軸承的下面(滑塊43b的下面)與支承框架的下面之間的上下方向的距離D實(shí)質(zhì)上等于直線運(yùn)動(dòng)軸承的高度尺寸(厚度)的結(jié)構(gòu)的例子，但本發(fā)明并不限于此。直線運(yùn)動(dòng)軸承的下面與支承框架的下面之間的上下方向的距離D也可以為與直線運(yùn)動(dòng)軸承的高度尺寸(厚度) 不同的大小。但是，如上所述，由于越縮小該距離D的大小越能夠縮小振動(dòng)發(fā)生時(shí)的頭單元的振幅，因此能夠提高安裝位置精度。另外，滑塊43b的個(gè)數(shù)也不限于三個(gè)，可以設(shè)定為任意數(shù)量(單個(gè)或多個(gè))。另外，在上述實(shí)施方式和上述第二變形例中示出了 Y致動(dòng)器包括線性電動(dòng)機(jī)的例子，在上述第一變形例中示出了Y致動(dòng)器包括具有旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu) (螺桿輸送機(jī)構(gòu))的例子，但本發(fā)明并不限于此。在本發(fā)明中，Y致動(dòng)器也可以包括線性電動(dòng)機(jī)和螺桿輸送機(jī)構(gòu)以外的機(jī)構(gòu)。另外，在上述實(shí)施方式和上述第一變形例中，示出了將Y致動(dòng)器設(shè)置在支承框架的上面的例子，但本發(fā)明并不限于此。在本發(fā)明中，也可以將Y致動(dòng)器設(shè)置在支承框架的上面的上方的位置。 另外，在上述實(shí)施方式和上述第一至第三變形例中，示出了將本發(fā)明的致動(dòng)器適用于安裝機(jī)的進(jìn)深方向(Y方向)的Y致動(dòng)器的例子，但本發(fā)明并不限于此。也可以將安裝機(jī)的寬度方向即X方向設(shè)為指定的方向，將Y方向設(shè)為與指定的方向正交的水平方向來(lái)適用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種安裝機(jī)，其特征在于包括頭單元，將電子元件安裝到基板上；支承部，設(shè)置在所述頭單元的上方，支承所述頭單元；引導(dǎo)部，安裝在所述支承部的下面，引導(dǎo)所述頭單元的移動(dòng)；以及致動(dòng)器，以突出到所述支承部的上面的上方的方式設(shè)置，使所述頭單元沿著所述引導(dǎo)部移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝機(jī)，其特征在于還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，沿著與所述引導(dǎo)部引導(dǎo)所述頭單元移動(dòng)的方向正交的水平方向驅(qū)動(dòng)所述頭單元，其中，所述引導(dǎo)部包括設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的長(zhǎng)度方向兩端上部，借助所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)引導(dǎo)所述頭單元的一對(duì)直線運(yùn)動(dòng)軸承。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝機(jī)，其特征在于所述致動(dòng)器安裝在所述支承部的上面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的安裝機(jī)，其特征在于所述致動(dòng)器經(jīng)由形成在所述支承部上的開口部與所述頭單元連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的安裝機(jī)，其特征在于所述致動(dòng)器經(jīng)由設(shè)置在所述開口部?jī)?nèi)的連接部件與位于所述支承部下面一側(cè)的所述頭單元連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝機(jī)，其特征在于所述支承部的下面為平坦面狀，所述引導(dǎo)部安裝于所述支承部的平坦面狀的下面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝機(jī)，其特征在于所述引導(dǎo)部的下面與所述支承部的下面之間的上下方向的距離小于所述致動(dòng)器在上下方向的長(zhǎng)度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝機(jī)，其特征在于所述致動(dòng)器為具備一對(duì)定子和設(shè)置在所述一對(duì)定子之間的動(dòng)子的線性電動(dòng)機(jī)，所述一對(duì)定子為以相互對(duì)置的方式設(shè)置并分別固定在所述支承部上的一對(duì)永久磁鐵，所述動(dòng)子內(nèi)置有線圈并被安裝在位于所述頭單元側(cè)的可動(dòng)部件上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的安裝機(jī)，其特征在于所述致動(dòng)器還包括設(shè)置在所述動(dòng)子的上面的散熱部。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的安裝機(jī)，其特征在于還包括一對(duì)安裝壁部，以從所述支承部的上面向上方延伸的方式設(shè)置，并且所述致動(dòng)器的所述一對(duì)定子被分別設(shè)置在該一對(duì)安裝壁部相互對(duì)置的側(cè)面上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的安裝機(jī)，其特征在于還包括連結(jié)部件，以跨越所述動(dòng)子的上方的方式連結(jié)并固定所述一對(duì)安裝壁部。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠提高懸吊型頭單元(41)的安裝位置精度的安裝機(jī)。該安裝機(jī)(100)包括引導(dǎo)部(43)，安裝在構(gòu)成構(gòu)造體的支承部(1c)的下面，引導(dǎo)頭單元(41)沿著指定的方向X移動(dòng)；以及致動(dòng)器(45)，設(shè)置在支承部(1c)上，使頭單元(41)沿著指定的方向X移動(dòng)。
文檔編號(hào)H05K13/04GK102348374SQ20111022300
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月30日
發(fā)明者佐久間巧 申請(qǐng)人:雅馬哈發(fā)動(dòng)機(jī)株式會(huì)社