專利名稱：可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散爐，尤指一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
一般生產(chǎn)CIGS薄膜太陽(yáng)電池，首先會(huì)將一個(gè)鉬(moly)基底電接觸層沉積于一個(gè) 基材上(例如玻璃、不銹鋼或其它功能性基材材料)。而后，將一個(gè)相關(guān)厚度的CIGS層沉 積于該鉬(moly)層上。于該技術(shù)中，首先會(huì)使用一種物理氣向沉積(PVD)制程(即揮發(fā)或 濺鍍)、化學(xué)鍍?cè)?、或電鍍制程，將這些金屬(Cu/In/Ga)沉積于基材上。接續(xù)地，于一擴(kuò)散爐 中，一種具有硒的氣體，會(huì)于一個(gè)高達(dá)大約500至600°C的溫度下，與該金屬層反應(yīng)，以此形 成最終的CIGS組成物。習(xí)知擴(kuò)散爐設(shè)置有內(nèi)爐膛，內(nèi)爐膛以耐火磚支撐固定的設(shè)置于外爐膛內(nèi)，內(nèi)爐膛 本身并無(wú)法進(jìn)行調(diào)整，因此只能利用設(shè)于外爐膛外部的金屬領(lǐng)圈來(lái)調(diào)整內(nèi)爐膛，造成內(nèi)爐 膛調(diào)整作業(yè)的不便，且內(nèi)爐膛一般需進(jìn)行X軸、Y軸、Z軸、傾角及旋轉(zhuǎn)等多種調(diào)整，全部依賴 金屬領(lǐng)圈來(lái)調(diào)整，難免造成作業(yè)上的不便。因此，本創(chuàng)作人提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改善上述缺陷的本實(shí)用新型。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例的目的在于提供一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，可便利于內(nèi)爐膛的調(diào) 整作業(yè)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，包括一外爐膛；一內(nèi)爐膛，該內(nèi) 爐膛設(shè)置于該外爐膛內(nèi)，該內(nèi)爐膛內(nèi)部形成有一爐腔；多個(gè)紅外線加熱器，所述多個(gè)紅外線 加熱器設(shè)置于該外爐膛上；以及兩個(gè)升降調(diào)整裝置，所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置設(shè)置于該外爐 膛內(nèi)，該內(nèi)爐膛以所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置支撐設(shè)置于該外爐膛內(nèi)。其中，所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置沿該外爐膛縱向間隔的設(shè)置于該外爐膛內(nèi)。其中，每一升降調(diào)整裝置具有一本體、一承載件及一螺桿，該本體固定于該外爐 膛，該螺桿上端連接于該承載件，該螺桿螺接于該本體，該螺桿上螺接有鎖固件，該內(nèi)爐膛 設(shè)置于該承載件上。其中，該承載件與該內(nèi)爐膛之間設(shè)置有墊體。其中，該內(nèi)爐膛為石英管。其中，該內(nèi)爐膛至少一端形成有開(kāi)口，該開(kāi)口配置有一金屬領(lǐng)圈。其中，所述多個(gè)紅外線加熱器分別以電熱絲設(shè)于石英管內(nèi)所構(gòu)成，該電熱絲連接 有電線。其中，所述多個(gè)紅外線加熱器分別具有加熱段及連接于該加熱段的固定段，所述 多個(gè)紅外線加熱器的加熱段位于該外爐膛內(nèi)，所述多個(gè)紅外線加熱器的固定段固定于該外 爐膛外。其中，所述多個(gè)紅外線加熱器的固定段分別以固定裝置予以固定。[0015]其中，所述多個(gè)紅外線加熱器區(qū)分為多個(gè)加熱組，所述多個(gè)加熱組分別電性連接 于一功率分配卡，所述多個(gè)加熱組設(shè)有控溫點(diǎn)，所述多個(gè)功率分配卡電性連接于一控制器， 以電控方式動(dòng)態(tài)的調(diào)整所述多個(gè)加熱組的功率分配。本實(shí)用新型實(shí)施例還提供一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，包括一外爐膛；一內(nèi)爐膛，該 內(nèi)爐膛設(shè)置于該外爐膛內(nèi)，該內(nèi)爐膛內(nèi)部形成有一爐腔；多個(gè)加熱器，所述多個(gè)加熱器設(shè)置 于該外爐膛上；以及兩個(gè)升降調(diào)整裝置，所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置設(shè)置于該外爐膛內(nèi)，該內(nèi)爐 膛以所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置支撐設(shè)置于該外爐膛內(nèi)。本實(shí)用新型具有以下有益的效果本實(shí)用新型內(nèi)爐膛以兩個(gè)升降調(diào)整裝置支撐設(shè)置于外爐膛內(nèi)，可利用兩個(gè)升降調(diào) 整裝置對(duì)內(nèi)爐膛進(jìn)行Z軸及傾角的調(diào)整，因此不需全部依賴金屬領(lǐng)圈來(lái)進(jìn)行內(nèi)爐膛的調(diào) 整，使得內(nèi)爐膛的調(diào)整作業(yè)較為方便。為使能更進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的特征及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本實(shí)用新型 的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明，并非用來(lái)對(duì)本實(shí)用新型加以限制。

[0020]圖1為本實(shí)用新型可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)的立體示意圖。[0021]圖2為本實(shí)用新型可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)局部構(gòu)造的立體示意圖。[0022]圖3本實(shí)用新型可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)的剖視示意圖。[0023]圖4為本實(shí)用新型紅外線加熱器的立體示意圖。[0024]圖5為本實(shí)用新型加熱組的控制方塊示意圖。[0025]圖6本實(shí)用新型升降調(diào)整裝置調(diào)整的示意圖。[0026]其中，附圖標(biāo)記說(shuō)明如下[0027]1外爐膛[0028]11腳架[0029]2內(nèi)爐膛[0030]21爐腔[0031]22開(kāi)口[0032]23金屬領(lǐng)圈[0033]M升降調(diào)整裝置[0034]241本體[0035]242承載件[0036]243螺桿[0037]M4鎖固件[0038]245墊體[0039]3紅外線加熱器[0040]31電熱絲[0041]32石英管[0042]33電線[0043]3a加熱段[0044]3b固定段4固定裝置41夾持件42固定件43 支架5冷卻管路6加熱組7功率分配卡8控制器
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖1至圖3，本實(shí)用新型提供一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，該擴(kuò)散爐可用于如 CIGS制程等，在擴(kuò)散的過(guò)程中，反應(yīng)氣體可經(jīng)由一反應(yīng)氣體入口(圖略)導(dǎo)入擴(kuò)散爐中，該 擴(kuò)散爐包括有一外爐膛1、一內(nèi)爐膛2及多個(gè)紅外線加熱器3，外爐膛1為一中空體，外爐膛 1的形狀并不限制，可為圓形、多邊形、方形或其它各種適當(dāng)?shù)男螤?，在本?shí)施例中外爐膛1 為多邊形。外爐膛1主要是以耐火材料(絕緣層)制成，外爐膛1至少一端形成開(kāi)口狀，以 便置入內(nèi)爐膛2。外爐膛1可連接有適當(dāng)?shù)哪_架11，可用以支撐及架高外爐膛1位于適當(dāng) 的高度，但腳架11的構(gòu)造并不限制。內(nèi)爐膛2為一中空體，可以石英管或其它材料制成，內(nèi)爐膛2設(shè)置于外爐膛1內(nèi)， 內(nèi)爐膛2內(nèi)部形成有一爐腔21。內(nèi)爐膛2至少一端形成有一開(kāi)口 22，開(kāi)口 22與爐腔21相 連通，以便經(jīng)由開(kāi)口 22將工件放置于爐腔21內(nèi)。開(kāi)口 22配置有一金屬領(lǐng)圈23，金屬領(lǐng)圈 23可設(shè)置適當(dāng)?shù)臓t門(mén)(圖略)，可用以開(kāi)放及封閉開(kāi)口 22。兩個(gè)升降調(diào)整裝置M設(shè)置于外爐膛1內(nèi)，使內(nèi)爐膛2得以兩個(gè)升降調(diào)整裝置M 支撐設(shè)置于外爐膛1內(nèi)，兩個(gè)升降調(diào)整裝置M沿外爐膛1縱向間隔的設(shè)置于外爐膛1內(nèi)。 升降調(diào)整裝置M的構(gòu)造并不限制，在本實(shí)施例中每一升降調(diào)整裝置M具有一本體Ml、一 承載件242及一螺桿M3 (如圖6所示)，本體241適當(dāng)?shù)墓潭ㄓ谕鉅t膛1內(nèi)壁，承載件242 位于本體241上方，螺桿243上端連接于承載件242底部，螺桿243螺接于本體M1，因此可 利用螺桿M3的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整承載件M2的高度，在調(diào)整完成時(shí)再以一螺接于螺桿243上的鎖 固件(如螺帽)244予以鎖固。內(nèi)爐膛2設(shè)置于承載件242上，也可于承載件242與內(nèi)爐膛 2之間設(shè)置有以耐火材料制成的墊體M5，以具有較佳的耐熱效果。紅外線加熱器3的構(gòu)造及形狀并不限制，在本實(shí)施例中紅外線加熱器3分別以電 熱絲(如鎢絲)31設(shè)于石英管32內(nèi)所構(gòu)成(如圖4所示)，電熱絲31連接有適當(dāng)?shù)碾娋€ 33，于電熱絲31通電后石英管32即可發(fā)出含有熱能的紅外線。每一紅外線加熱器3具有 加熱段3a及連接于加熱段3a的固定段北，在本實(shí)施例中紅外線加熱器3彎折成U形，其具 有一加熱段3a及連接于加熱段3a兩端的固定段北。所述多個(gè)紅外線加熱器3設(shè)置于外爐膛1上，并予以適當(dāng)?shù)墓潭?，所述多個(gè)紅外線 加熱器3的加熱段3a位于外爐膛1內(nèi)，且加熱段3a與外爐膛1內(nèi)壁間隔有適當(dāng)?shù)木嚯x，所 述多個(gè)紅外線加熱器3的兩固定段北固定于外爐膛1外。所述多個(gè)紅外線加熱器3的兩 固定段北伸出于外爐膛1外，并利用多個(gè)固定裝置4予以固定，所述多個(gè)固定裝置4的構(gòu)造并不限制，在本實(shí)施例中，每一固定裝置4包含有一夾持件41及一固定件42，夾持件41 一端固定于設(shè)置在外爐膛1外壁的支架43上，夾持件41另一端可作張開(kāi)及夾合的動(dòng)作，用 以?shī)A持紅外線加熱器3的固定段北，并利用穿設(shè)于夾持件41另一端的固定件(如螺絲)42 予以鎖固，使每一紅外線加熱器3的兩固定段北得以固定于相對(duì)應(yīng)的固定裝置4，以便利用 所述多個(gè)固定裝置4將所述多個(gè)紅外線加熱器3固定設(shè)置于外爐膛1上。外爐膛1外部可 進(jìn)一步的設(shè)置有冷卻管路5，冷卻管路5內(nèi)部循環(huán)有冷卻水，可用以協(xié)助降溫。當(dāng)紅外線加熱器3通電后可發(fā)出含有熱能的紅外線，可利用紅外線對(duì)內(nèi)爐膛2及 置于內(nèi)爐膛2的爐腔21內(nèi)的工件加熱，并將反應(yīng)氣體導(dǎo)入擴(kuò)散爐中進(jìn)行預(yù)定的制程。另， 本實(shí)用新型的紅外線加熱器3也可以其它型式的加熱器取代。本實(shí)用新型內(nèi)爐膛2以兩個(gè)升降調(diào)整裝置M支撐設(shè)置于外爐膛1內(nèi)，因此可利用 兩個(gè)升降調(diào)整裝置M對(duì)內(nèi)爐膛2進(jìn)行Z軸(即高度)的調(diào)整，且兩個(gè)升降調(diào)整裝置M也 可對(duì)內(nèi)爐膛2進(jìn)行傾角的調(diào)整，使得內(nèi)爐膛2本身即可進(jìn)行Z軸及傾角的調(diào)整(微調(diào))。另 外，可搭配金屬領(lǐng)圈23進(jìn)行內(nèi)爐膛2的X軸、Y軸及旋轉(zhuǎn)的調(diào)整(微調(diào))，因此不需全部依 賴金屬領(lǐng)圈23來(lái)進(jìn)行內(nèi)爐膛2的調(diào)整，使得內(nèi)爐膛2的調(diào)整作業(yè)較為方便。另，請(qǐng)參閱圖5，本實(shí)用新型亦可將所述多個(gè)紅外線加熱器3區(qū)分為多個(gè)加熱組6， 所述多個(gè)加熱組6分別電性連接于一功率分配卡7，所述多個(gè)加熱組6并設(shè)有適當(dāng)?shù)目販?點(diǎn)(圖略)，可多個(gè)加熱組6共享一控溫點(diǎn)。所述多個(gè)功率分配卡7電性連接于一控制器 8，從而可利用電控方式動(dòng)態(tài)的調(diào)整所述多個(gè)加熱組6的功率分配，以此構(gòu)成一動(dòng)態(tài)調(diào)溫裝 置。所述多個(gè)加熱組6各自獨(dú)立、可各自調(diào)整，所述多個(gè)加熱組6可利用電控方式動(dòng)態(tài)的調(diào) 整，制造者及使用者皆可因應(yīng)需求調(diào)整功率分配，達(dá)到爐腔21較佳的均溫性。然而以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，非意欲局限本實(shí)用新型的專利保護(hù) 范圍，故凡運(yùn)用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所為的等效變化，均同理皆包含于本實(shí)用新 型的權(quán)利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括一外爐膛；一內(nèi)爐膛，該內(nèi)爐膛設(shè)置于該外爐膛內(nèi)，該內(nèi)爐膛內(nèi)部形成有一爐腔；多個(gè)紅外線加熱器，所述多個(gè)紅外線加熱器設(shè)置于該外爐膛上；以及兩個(gè)升降調(diào)整裝置，所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置設(shè)置于該外爐膛內(nèi)，該內(nèi)爐膛以所述兩個(gè) 升降調(diào)整裝置支撐設(shè)置于該外爐膛內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置沿該 外爐膛縱向間隔的設(shè)置于該外爐膛內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，每一升降調(diào)整裝置具有一本 體、一承載件及一螺桿，該本體固定于該外爐膛，該螺桿上端連接于該承載件，該螺桿螺接 于該本體，該螺桿上螺接有鎖固件，該內(nèi)爐膛設(shè)置于該承載件上。
4.如權(quán)利要求3所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，該承載件與該內(nèi)爐膛之間設(shè) 置有墊體。
5.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，該內(nèi)爐膛為石英管。
6.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，該內(nèi)爐膛至少一端形成有開(kāi) 口，該開(kāi)口配置有一金屬領(lǐng)圈。
7.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)紅外線加熱器分別 以電熱絲設(shè)于石英管內(nèi)所構(gòu)成，該電熱絲連接有電線。
8.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)紅外線加熱器分別 具有加熱段及連接于該加熱段的固定段，所述多個(gè)紅外線加熱器的加熱段位于該外爐膛 內(nèi)，所述多個(gè)紅外線加熱器的固定段固定于該外爐膛外。
9.如權(quán)利要求8所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)紅外線加熱器的固 定段分別以固定裝置予以固定。
10.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)紅外線加熱器區(qū)分 為多個(gè)加熱組，所述多個(gè)加熱組分別電性連接于一功率分配卡，所述多個(gè)加熱組設(shè)有控溫 點(diǎn)，所述多個(gè)功率分配卡電性連接于一控制器，以電控方式動(dòng)態(tài)的調(diào)整所述多個(gè)加熱組的 功率分配。
11.一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括一外爐膛；一內(nèi)爐膛，該內(nèi)爐膛設(shè)置于該外爐膛內(nèi)，該內(nèi)爐膛內(nèi)部形成有一爐腔；多個(gè)加熱器，所述多個(gè)加熱器設(shè)置于該外爐膛上；以及兩個(gè)升降調(diào)整裝置，所述兩個(gè)升降調(diào)整裝置設(shè)置于該外爐膛內(nèi)，該內(nèi)爐膛以所述兩個(gè) 升降調(diào)整裝置支撐設(shè)置于該外爐膛內(nèi)。
專利摘要一種可調(diào)式擴(kuò)散爐結(jié)構(gòu)，包括一外爐膛、一內(nèi)爐膛、多個(gè)紅外線加熱器及兩個(gè)升降調(diào)整裝置，內(nèi)爐膛設(shè)置于外爐膛內(nèi)，所述多個(gè)紅外線加熱器設(shè)置于外爐膛上，兩個(gè)升降調(diào)整裝置設(shè)置于外爐膛內(nèi)，內(nèi)爐膛以兩個(gè)升降調(diào)整裝置支撐設(shè)置于外爐膛內(nèi)；以此，可便利于內(nèi)爐膛的調(diào)整(微調(diào))作業(yè)。
文檔編號(hào)C30B31/18GK201896206SQ20102060967
公開(kāi)日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2010年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月12日
發(fā)明者梁望遵, 游明輝, 陳長(zhǎng)發(fā), 陳阿賜, 高家榮 申請(qǐng)人:臺(tái)技工業(yè)設(shè)備股份有限公司