專利名稱：一種擴(kuò)散爐的tc盲堵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種擴(kuò)散爐的TC盲堵。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散爐是集成電路生產(chǎn)過(guò)程中重要工藝設(shè)備之一，它的主要作用是對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。擴(kuò)散爐爐管局部的結(jié)構(gòu)如圖I所示，包括爐管I、TC套管(溫度控制器套管，圖中未示出)和尾氣管(圖中未示出)，其中，爐管I上設(shè)置有工藝氣體口 11、TC套管安裝口 12和尾氣管安裝口 13 ;TC套管和尾氣管分別通過(guò)TC套管安裝口 12和尾氣管安裝口 13伸入爐管I內(nèi)部，為了增強(qiáng)尾氣管與爐管以及TC套管與爐管之間的密封性能，TC套管安裝口 12 和尾氣管安裝口 13末端設(shè)置有凸半球接頭10，而尾氣管和TC套管設(shè)置有與之相配合的凹半球接頭。TC套管中放置有用于監(jiān)控爐管內(nèi)部溫度的管內(nèi)熱電偶(Paddle熱電偶)。同時(shí)，爐管、TC套管和尾氣管均為石英材質(zhì)。擴(kuò)散爐在工作時(shí)，爐管內(nèi)部的溫度很高，在高溫和重力的作用下，伸入爐管內(nèi)部的TC套管和尾氣管會(huì)發(fā)生不同程度的變形，變形嚴(yán)重時(shí)，TC套管和尾氣管會(huì)與爐管內(nèi)壁發(fā)生接觸。由于目前多數(shù)公司使用液態(tài)硼作為生產(chǎn)單晶N型組件時(shí)的硼源，在大批量生產(chǎn)過(guò)程中，爐管內(nèi)部會(huì)生成硼硅玻璃，而硼硅玻璃對(duì)石英有腐蝕性，會(huì)使尾氣管、TC套管和爐管之間發(fā)生粘連。當(dāng)尾氣管或TC套管與爐管發(fā)生粘連后，如果強(qiáng)行從爐管內(nèi)部拔出尾氣管或TC套管，會(huì)造成爐管破碎。也就是說(shuō)，在現(xiàn)有的擴(kuò)散爐中，如果尾氣管或TC套管與爐管發(fā)生粘連，則只能更換爐管，這加大了擴(kuò)散爐的維護(hù)成本。由以上所述，如何解決因尾氣管、TC套管與爐管發(fā)生粘連就必須整體更換爐管，而導(dǎo)致維護(hù)成本加大的問(wèn)題，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種擴(kuò)散爐的TC盲堵，在保證現(xiàn)有擴(kuò)散爐正常工作的前提下，解決因尾氣管、TC套管與爐管發(fā)生粘連就必須整體更換爐管，而導(dǎo)致維護(hù)成本加大的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種擴(kuò)散爐的TC盲堵，用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐，包括接頭部，接頭部為與太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的凸半球接頭相配合的凹半球接頭；和盲管部，盲管部為一端與接頭部相連通且另一端密閉的直管，盲管部的內(nèi)徑不小于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的尾氣管的外徑，盲管部還設(shè)置有與外界相連通的測(cè)壓管。優(yōu)選地，上述的測(cè)壓管設(shè)置在盲管部的側(cè)壁上。本實(shí)用新型提供了一種擴(kuò)散爐的TC盲堵，用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐中，該TC盲堵包括接頭部和盲管部，其中，接頭部為凹半球接頭，能夠與太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐上的凸半球接頭相配合；盲管部為一端與接頭部相連通，而另一端密閉的直管，盲管部的內(nèi)徑不小于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的尾氣管的外徑，同時(shí)，盲管部還設(shè)置有與外界相連通的測(cè)壓管。在使用本實(shí)用新型所提供的TC盲堵時(shí)，利用TC盲堵替代TC套管，安裝在爐管的TC套管安裝口上。由于TC盲堵不需要伸入爐管的內(nèi)部，這就避免了在高溫條件下變形而與爐管發(fā)生粘連的現(xiàn)象，也就解決了需要更換爐管而造成的擴(kuò)散爐維護(hù)成本加大的問(wèn)題；同時(shí)，當(dāng)尾氣管與爐管發(fā)生粘連而無(wú)法使用時(shí)，可以將尾氣管在接頭附近折斷，將TC盲堵安裝至原尾氣管安裝口處，折斷處殘留的尾氣管伸入TC盲堵的盲管部，而在原TC套管安裝口處安裝新的尾氣管，可以看出，此時(shí)將爐管的壽命得到了延長(zhǎng)，也就降低了因尾氣管與爐管發(fā)生粘連導(dǎo)致需要更換爐管而造成的擴(kuò)散爐維護(hù)成本加大的問(wèn)題。由以上所述，通過(guò)使用本實(shí)用新型所提供的TC盲堵，解決了因TC套管或尾氣管與爐管發(fā)生粘連導(dǎo)致需要更換爐管而造成的擴(kuò)散爐維護(hù)成本加大的問(wèn)題。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有技術(shù)中太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐爐管的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的TC盲堵的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種擴(kuò)散爐的TC盲堵，在保證現(xiàn)有擴(kuò)散爐正常工作的前提下，解決因尾氣管、TC套管與爐管發(fā)生粘連就必須整體更換爐管，而導(dǎo)致維護(hù)成本加大的問(wèn)題。如圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的TC盲堵包括接頭部21和盲管部22。接頭部21為凹半球接頭，并能夠與太陽(yáng)能擴(kuò)散爐的凸半球接頭相配合，以形成更好的密封效果；盲管部22為一端與接頭部相連通，而另一端密閉的直管，且盲管部的內(nèi)徑不小于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的尾氣管的外徑，盲管部還設(shè)置有與外界相連通的測(cè)壓管221。在使用本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的TC盲堵時(shí)，利用TC盲堵替代原有的TC套管，安裝于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的TC套管安裝口。在太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐中設(shè)置TC套管有兩重作用，一是利用TC套管分支上的壓差計(jì)來(lái)檢測(cè)爐管內(nèi)部壓力，二是通過(guò)設(shè)置在TC套管中的管內(nèi)熱電偶監(jiān)控爐管內(nèi)部的溫度。下面從這兩方面來(lái)分別說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的TC盲堵能夠替代原有的TC套管。首先，在TC盲堵上，設(shè)置有用于連接壓差計(jì)的測(cè)壓管，能夠?qū)崿F(xiàn)原TC套管測(cè)量爐管內(nèi)部壓力的功能。同時(shí)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐中一般同時(shí)具有管內(nèi)溫控和管外溫控(Paddle溫控和Spike溫控)兩套設(shè)備，其中，管內(nèi)溫控是通過(guò)設(shè)置在TC套管內(nèi)的管內(nèi)熱電偶控制爐管內(nèi)的溫度，而管外溫控是通過(guò)設(shè)置在爐管加熱絲處的熱電偶控制爐壁的溫度。在管內(nèi)溫控與管外溫控兩種模式之間，存在著一定的代數(shù)關(guān)系，也就是說(shuō)可以利用其中一種溫控模式測(cè)得的溫度去計(jì)算另一溫控模式的待測(cè)溫度。因此，可以在擴(kuò)散爐校溫時(shí)，安裝TC套管以實(shí)現(xiàn)利用管內(nèi)溫控設(shè)備校對(duì)管外溫控設(shè)備，使二者測(cè)得的溫度能夠一一對(duì)應(yīng)，然后在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，取出TC套管，利用管外熱電偶來(lái)檢測(cè)溫度，進(jìn)而保證工藝要求，實(shí)現(xiàn)了在安裝TC盲堵時(shí)監(jiān)控爐管內(nèi)部的溫度的目的。通過(guò)使用TC盲堵，可以在太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐運(yùn)行時(shí)不將TC套管插入爐管中，這就避免了在TC套管在高溫爐管內(nèi)變形后與爐管內(nèi)壁發(fā)生粘連的問(wèn)題，從而保護(hù)了爐管，降低了太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的維護(hù)成本。同時(shí)，在尾氣管與爐管發(fā)生粘連而無(wú)法使用時(shí)，可以將TC盲堵安裝至原尾氣管末端，由于尾氣管與爐管內(nèi)部聯(lián)通，仍然可以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)內(nèi)部壓力的作用。而在原來(lái)TC套管安裝口處安裝新的尾氣管，可以看出，此時(shí)將爐管的壽命得到了延長(zhǎng)，也就降低了因尾氣管與爐管發(fā)生粘連導(dǎo)致需要更換爐管而造成的擴(kuò)散爐維護(hù)成本加大的問(wèn)題。 由以上所述，通過(guò)使用本實(shí)用新型所提供的TC盲堵，解決了因TC套管或尾氣管與爐管發(fā)生粘連導(dǎo)致需要更換爐管而造成的擴(kuò)散爐維護(hù)成本加大的問(wèn)題。優(yōu)選地，在上述實(shí)施例所提供的TC盲堵中，測(cè)壓管設(shè)置在盲管部的側(cè)壁上。通過(guò)將測(cè)壓管設(shè)置在盲管部的側(cè)壁上，使得爐管內(nèi)的氣體在流入測(cè)壓管時(shí)，其運(yùn)動(dòng)方向發(fā)生了 90度的變化，這就降低了氣體的流動(dòng)速度，避免了在爐管內(nèi)壓力發(fā)生突然變化時(shí)，氣流沖擊與測(cè)壓管相連的壓差表，起到保護(hù)設(shè)備的目的。本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐的TC盲堵，用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐，其特征在于，所述TC盲堵包括 接頭部(21)，所述接頭部為與所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的凸半球接頭相配合的凹半球接頭；和 盲管部(22)，所述盲管部為一端與所述接頭部相連通且另一端密閉的直管，所述盲管部的內(nèi)徑不小于所述太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的尾氣管的外徑，所述盲管部還設(shè)置有與外界相連通的測(cè)壓管(221)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的TC盲堵，其特征在于，所述測(cè)壓管(221)設(shè)置在所述盲管部(22)的側(cè)壁上。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種擴(kuò)散爐的TC盲堵，用于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐中，該TC盲堵包括接頭部和盲管部，其中，接頭部為凹半球接頭，能夠與太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐上的凸半球接頭相配合；盲管部為一端與接頭部相連通，而另一端密閉的直管，盲管部的內(nèi)徑不小于太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐的尾氣管的外徑，同時(shí)，盲管部還設(shè)置有與外界相連通的測(cè)壓管。在使用本實(shí)用新型所提供的TC盲堵時(shí)，將TC盲堵安裝于爐管的TC套管安裝口處，用于替代TC套管。通過(guò)使用本實(shí)用新型所提供的TC盲堵，解決了因TC套管或尾氣管與爐管發(fā)生粘連導(dǎo)致需要更換爐管而造成的擴(kuò)散爐維護(hù)成本加大的問(wèn)題。
文檔編號(hào)C30B31/16GK202558974SQ201220182378
公開(kāi)日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2012年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月26日
發(fā)明者張波寧, 胡亞男, 曹錦鵬, 張紅妹 申請(qǐng)人:英利能源(中國(guó))有限公司