專利名稱：單晶爐硅料真空裝料裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種單晶爐硅料真空裝料裝置。
背景技術(shù)：
在單晶硅生產(chǎn)過程中，需要將高純度多晶硅裝入石英坩堝中，由于拉制單晶尺寸 越來越大，坩堝尺寸相應增大，裝入的多晶硅原料也越來越多，單純用人工已經(jīng)無法搬動裝 滿多晶硅料的坩堝，由于單晶爐結(jié)構(gòu)的限制，借助一般機械移動也有困難，目前做法是人工 首先將石英坩堝裝入單晶爐內(nèi)，然后再將高純度多晶硅裝入石英坩堝中，因為多晶裝料對 環(huán)境潔凈度要求很高，現(xiàn)場裝料容易導致多晶硅料的污染，同時，現(xiàn)場裝料需要時間，降低 了單晶爐的開爐利用率。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種操作簡便，生產(chǎn)效率高，大大提高了單晶爐的開爐 利用率的單晶爐硅料真空裝料裝置。本實用新型為實現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是一種單晶爐硅料真空裝料裝 置，包括坩堝體，坩堝體上安裝有坩堝上蓋，坩堝上蓋上設(shè)有坩堝進氣口，坩堝體通過管路 與真空泵的泵吸氣口連接。所述坩堝上蓋上設(shè)有與坩堝體連通的管接頭。所述坩堝進氣口處設(shè)有手動閥門。所述坩堝體與坩堝上蓋之間設(shè)有密封圈。本實用新型單晶爐硅料真空裝料裝置，結(jié)束了現(xiàn)場單晶爐內(nèi)人工裝料的方式，操 作簡便，提高了生產(chǎn)效率，增大了單晶爐的開爐利用率。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明。

圖1是本實用新型單晶爐硅料真空裝料裝置整體結(jié)構(gòu)圖。圖中1、坩堝體；2、坩堝上蓋；3、坩堝進氣口 ；4、手動閥門；5、管路；6、管接頭；7、 真空泵；8、泵吸氣口 ；9、密封圈；10、晶硅粉；11、空氣。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型單晶爐硅料真空裝料裝置，包括坩堝體1、坩堝上蓋2、坩 堝進氣口 3、手動閥門4、管路5、管接頭6、真空泵7、泵吸氣口 8、密封圈9，坩堝上蓋2安裝 在坩堝體1上，坩堝上蓋2與坩堝體1結(jié)合為一個整體，坩堝進氣口 3設(shè)置在坩堝上蓋2上， 坩堝體1通過管路5與真空泵7的泵吸氣口 8連接，管接頭6設(shè)置在坩堝上蓋2上，并與坩 堝體1相連通，手動閥門4設(shè)置在坩堝進氣口 3處，密封圈9設(shè)置在坩堝體1與坩堝上蓋2 之間，工作時，可在潔凈室或者專用裝料空間，將晶硅粉10裝入坩堝體1中，將專用的坩堝
3上蓋2蓋在坩堝體1上，然后用真空泵7抽掉坩堝體1內(nèi)的空氣11形成真空，利用大氣壓 力，使坩堝上蓋2和坩堝體1結(jié)合為一個整體，通過坩堝蓋上2的吊環(huán)將坩堝體吊起，移動 入單晶爐內(nèi)，將石英坩堝的位置安放合適后，手動閥門4使坩堝體內(nèi)與大氣連通，同時將坩 堝上蓋2調(diào)出單晶爐，即完成硅材料及坩堝裝入單晶爐的工作。
權(quán)利要求1.一種單晶爐硅料真空裝料裝置，其特征在于包括坩堝體，坩堝體上安裝有坩堝上 蓋，坩堝上蓋上設(shè)有坩堝進氣口，坩堝體通過管路與真空泵的泵吸氣口連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料真空裝料裝置，其特征在于所述坩堝上蓋 上設(shè)有與坩堝體連通的管接頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料真空裝料裝置，其特征在于所述坩堝進氣 口處設(shè)有手動閥門。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料真空裝料裝置，其特征在于所述坩堝體與 坩堝上蓋之間設(shè)有密封圈。
專利摘要本實用新型公開一種單晶爐硅料真空裝料裝置，包括坩堝體，坩堝體上安裝有坩堝上蓋，坩堝上蓋上設(shè)有坩堝進氣口，坩堝體通過管路與真空泵的泵吸氣口連接。本實用新型單晶爐硅料真空裝料裝置，結(jié)束了現(xiàn)場單晶爐內(nèi)人工裝料的方式，操作簡便，提高了生產(chǎn)效率，增大了單晶爐的開爐利用率。
文檔編號C30B29/06GK201785545SQ20102051755
公開日2011年4月6日 申請日期2010年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月31日
發(fā)明者樊治平 申請人:大連連城數(shù)控機器有限公司