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用于多晶硅小方錠盛放的木托盤的制作方法

文檔序號:8149434閱讀:417來源:國知局
專利名稱:用于多晶硅小方錠盛放的木托盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域,具體為一種用于多晶硅小方錠盛放的木托盤。
背景技術(shù)
目前半導(dǎo)體在人們的生活中運(yùn)用非常廣泛,特別是在電子電力領(lǐng)域更是離不開半 導(dǎo)體。半導(dǎo)體生產(chǎn)中一般生產(chǎn)的是多晶硅小方錠,在多晶硅小方錠成型后需要用托盤將多 晶硅小方錠運(yùn)走。但傳統(tǒng)技術(shù)的托盤直接與地面接觸,導(dǎo)致多晶硅小方錠易碎裂,并且由于 多晶硅小方錠較重,放置在傳統(tǒng)的托盤中不易取出。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用于多晶硅小方錠盛放的木托盤,以解決傳統(tǒng)的托 盤易造成多晶硅小方錠碎裂,并且不易取出多晶硅小方錠的問題。為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為用于多晶硅小方錠盛放的木托盤,包括有方形的木質(zhì)托盤,其特征在于所述托盤 中開有多個(gè)成行列排列的方形槽,所述方形槽中設(shè)置有與多晶硅小方錠外壁形狀貼合的軟 套,行向相鄰的兩個(gè)方形槽之間的隔壁中間斷開為缺口。所述的用于多晶硅小方錠盛放的木托盤,其特征在于所述托盤底部設(shè)置有三個(gè) 相互平行的支撐棱。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,易于實(shí)現(xiàn),成本較低,結(jié)實(shí)耐用,大大減少了多晶硅小方錠 生產(chǎn)中出現(xiàn)的浪費(fèi)。通過托盤底部的支撐棱避免了托盤與地面直接接觸,也避免了由于熱 脹冷縮導(dǎo)致多晶硅小方錠碎裂的問題。通過行向相鄰的隔壁中間斷開的缺口,可以方便工 作人員或機(jī)器從缺口中取出多晶硅小方錠。并且木質(zhì)的托盤避免了托盤與多晶硅小方錠粘 在一起的問題。通過方形槽中的軟套還可以起到緩沖的作用。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示。用于多晶硅小方錠盛放的木托盤,包括有方形的木質(zhì)托盤1,托盤1 底部設(shè)置有三個(gè)相互平行的支撐棱2。托盤1中開有多個(gè)成行列排列的方形槽3,方形槽3 中設(shè)置有與多晶硅小方錠外壁形狀貼合的軟套4,行向相鄰的兩個(gè)方形槽3之間的隔壁中 間斷開為缺口 5。
權(quán)利要求用于多晶硅小方錠盛放的木托盤,包括有方形的木質(zhì)托盤,其特征在于所述托盤中開有多個(gè)成行列排列的方形槽,所述方形槽中設(shè)置有與多晶硅小方錠外壁形狀貼合的軟套,行向相鄰的兩個(gè)方形槽之間的隔壁中間斷開為缺口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅小方錠盛放的木托盤,其特征在于所述托盤底 部設(shè)置有三個(gè)相互平行的支撐棱。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于多晶硅小方錠盛放的木托盤,包括木質(zhì)托盤,其托盤中開有多個(gè)成行列排列的方形槽,方形槽之間的隔壁中間斷開為缺口。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,易于實(shí)現(xiàn),成本較低,結(jié)實(shí)耐用,大大減少了多晶硅小方錠生產(chǎn)中出現(xiàn)的浪費(fèi)。
文檔編號C30B35/00GK201713606SQ20102023172
公開日2011年1月19日 申請日期2010年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月17日
發(fā)明者朱景福, 錢新江 申請人:安徽日能中天半導(dǎo)體發(fā)展有限公司
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