多層線路板對準(zhǔn)度檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及印制線路板的層間對準(zhǔn)度檢測領(lǐng)域，特別是涉及一種多層線路板對準(zhǔn) 度檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著社會的發(fā)展和科技的進(jìn)步，集成電路封裝密度逐漸增加，導(dǎo)致了互連線的高 度集中，從而使得多層線路板的使用日益廣泛。目前，通常使用MassLam(無銷釘定位層壓 工藝）制作L1到Ln共η層的多層板，其方法如下：先制作L2/L3,L4/L5,…Ln-2/Ln-l的 多個(gè)內(nèi)層芯板，將多個(gè)內(nèi)層芯板配套相應(yīng)規(guī)格及數(shù)量的半固化片進(jìn)行熔合固定，然后利用 MassLam壓機(jī)施加一定的溫度及壓力固化多層板。采用上述方法制作的多層板由多個(gè)線路 層壓制而成，其多個(gè)線路層有不同厚度、線路分布、殘銅率以及結(jié)構(gòu)，因而具備不同的漲縮 率，從而在壓合時(shí)，各線路層之間會產(chǎn)生一定的錯(cuò)位。
[0003]目前，在多層線路板制作中，一般使用垂直切片來檢測層間對準(zhǔn)度。制作切片需要 報(bào)廢生產(chǎn)單元，并且耗費(fèi)較長時(shí)間，從而增加了生產(chǎn)成本及流程時(shí)間，為多層線路板的生產(chǎn) 帶來了極大的不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 基于此，有必要針對多層線路板的層間對準(zhǔn)度檢測難度較大的問題，提供一種可 方便檢測層間對準(zhǔn)度的多層線路板對準(zhǔn)度檢測方法。
[0005] -種多層線路板對準(zhǔn)度檢測方法，用于檢測多層線路板的對準(zhǔn)度，所述多層線路 板包括層疊設(shè)置的多個(gè)線路板，所述多層線路板對準(zhǔn)度檢測包括如下步驟：
[0006] 將所述多個(gè)線路板之一設(shè)為基準(zhǔn)板，所述基準(zhǔn)板上設(shè)有第一檢測圖案，并將所述 多個(gè)線路板之另一設(shè)為檢測板，所述檢測板上設(shè)有第二檢測圖案；
[0007]用X射線檢測所述檢測板上的所述第二檢測圖案相對所述基準(zhǔn)板上的所述第一 檢測圖案的偏移量，得到層間對準(zhǔn)度。
[0008] 上述多層線路板對準(zhǔn)度檢測方法，通過X射線直接檢測層疊設(shè)置的基準(zhǔn)板與檢測 板上對應(yīng)的部分重疊的第一檢測圖案與第二檢測圖案，即可得到第一檢測圖案相對第二檢 測圖案的偏移量，從而得到層間對準(zhǔn)度，而無需對多層線路板進(jìn)行切片等操作，從而縮短了 檢測時(shí)間，具有$父尚的檢測效率。
[0009] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一檢測圖案包括多個(gè)間隔設(shè)置的第一條紋，所述第 二檢測圖案包括多個(gè)間隔設(shè)置的第二條紋，對應(yīng)的所述第一檢測圖案的所述第一條紋與所 述第二檢測圖案的所述第二條紋相互平行，所述第一條紋的寬度與所述第二條紋的寬度相 同，相鄰所述第一條紋之間的間隙大于相鄰所述第二條紋之間的間隙。
[0010] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，用X射線檢測所述檢測板上的所述第二檢測圖案相對所述 基準(zhǔn)板上的所述第一檢測圖案的偏移量，得到層間對準(zhǔn)度包括如下步驟：
[0011] 將位于所述第一檢測圖案中間的所述第一條紋作為檢測基準(zhǔn)；
[0012] 逐一判斷所述第一檢測圖案上的第一條紋是否與所述第二檢測圖案上的任意一 條第二條紋重合；
[0013]當(dāng)其中一個(gè)所述第一條紋與其中一個(gè)所述第二條紋重合時(shí)，得到所述第二檢測圖 案相對所述第一檢測圖案的偏移量。
[0014] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)位于所述第一檢測圖案中間的第一條紋與位于所述第二 檢測圖案中間的第二條紋重合時(shí)，所述第二檢測圖案相對所述第一檢測圖案的偏移量為 零；當(dāng)位于所述第一檢測圖案中間的第一條紋與位于所述第二檢測圖案中間的第二條紋不 重合時(shí)，所述第二圖案相對所述第一檢測圖案的偏移量為非零的其他數(shù)值。
[0015] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一檢測圖案包括第一橫向檢測圖案與第一縱向檢測 圖案，所述第一條紋包括構(gòu)成所述第一橫向檢測圖案的第一橫向條紋與構(gòu)成所述第一縱向 檢測圖案的第一縱向條紋，所述第一橫向條紋與所述第一縱向條紋相互垂直；所述第二檢 測圖案包括第二橫向檢測圖案與第二縱向檢測圖案，所述第二條紋包括構(gòu)成所述第二橫向 檢測圖案的第二橫向條紋與構(gòu)成所述第二縱向檢測圖案的第二縱向條紋，所述第二橫向條 紋與所述第二縱向條紋相互垂直。
[0016] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，用X射線檢測所述檢測板上的所述第二檢測圖案相對所述 基準(zhǔn)板上的所述第一檢測圖案的偏移量，得到層間對準(zhǔn)度包括如下步驟：
[0017] 逐一判斷所述第一橫向檢測圖案上的所述第一橫向條紋是否與所述第二橫向檢 測圖案上的任意一條所述第二橫向條紋重合；
[0018]當(dāng)其中一個(gè)所述第一橫向條紋與其中一個(gè)所述第二橫向條紋重合時(shí)，得到所述第 二橫向檢測圖案相對所述第一橫向檢測圖案的橫向偏移量；
[0019] 逐一判斷所述第一縱向檢測圖案上的第一縱向條紋與所述第二縱向檢測圖案上 的任意一條所述第二縱向條紋是否重合；
[0020] 當(dāng)其中一個(gè)所述第一縱向條紋與其中一個(gè)所述第二縱向條紋重合時(shí)，得到所述第 二縱向檢測圖案相對所述第一縱向檢測圖案的縱向偏移量。
[0021] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述檢測板包括第一檢測板與第二檢測板，所述基準(zhǔn)板上 設(shè)有多個(gè)所述第一檢測圖案，所述第一檢測板的所述第二檢測圖案及所述第二檢測板的所 述第二檢測圖案分別與對應(yīng)的所述第一檢測圖案形成的兩個(gè)檢測區(qū)域間隔設(shè)置。
[0022] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，用X射線檢測所述檢測板上的所述基準(zhǔn)板上的第二檢測圖 案相對所述第一檢測圖案的偏移量，得到層間對準(zhǔn)度包括以下步驟：
[0023] 判斷所述第一檢測板與所述第二檢測板的橫向偏移方向；
[0024]當(dāng)所述第一檢測板與所述第二檢測板的橫向偏移方向相同時(shí)，所述第一檢測板的 所述橫向偏移量與所述第二檢測板的所述橫向偏移量的較大值為橫向總偏移量；
[0025]當(dāng)所述第一檢測板與所述第二檢測板的橫向偏移方向相反時(shí)，所述第一檢測板的 橫向偏移量與所述第二檢測板的橫向偏移量之和為橫向總偏移量；
[0026]當(dāng)所述第一檢測板與所述第二檢測板的縱向偏移方向相同時(shí)，所述第一檢測板的 縱向偏移量與所述第二檢測板的縱向偏移量的較大值為縱向總偏移量；
[0027]當(dāng)所述第一檢測板與所述第二檢測板的縱向偏移方向相反時(shí)，所述第一檢測板的 縱向偏移量與所述第二檢測板的縱向偏移量之和為縱向總偏移量；
[0028] 根據(jù)所述橫向總偏移量與所述縱向總偏移量得到所述層間對準(zhǔn)度；
[0029]所述層間對準(zhǔn)度的公式為：
丨其中，A為層間對準(zhǔn)度，X為橫向總偏移 量，Y為縱向總偏移量。
[0030]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述基準(zhǔn)板位于層疊設(shè)置的所述線路板的第二層，所述第 一檢測板與所述第二檢測板分別位于層疊設(shè)置的所述線路板的第五層與第七層。
[0031]在其中一個(gè)實(shí)施例中，其特征在于，所述第一條紋與所述第二條紋的數(shù)量均為15條，且寬度均為9毫英寸，相鄰所述第一條紋之間的距離為10毫英寸，相鄰所述第二條紋之 間的距離為9毫英寸。
【附圖說明】
[0032]圖1為一實(shí)施方式的第一橫向檢測圖案與第二橫向檢測圖案的示意圖；
[0033]圖2為一實(shí)施方式的第一縱向檢測圖案與第二縱向檢測圖案的示意圖；
[0034]圖3為一實(shí)施方式的多層線路板對準(zhǔn)度檢測方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中 給出了本發(fā)明的較佳的實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文 所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對本發(fā)明的公開內(nèi)容的理解更加透 徹全面。
[0036]需要說明的是，當(dāng)元件被稱為"固定于"另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上 或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是"連接"另一個(gè)元件，它可以是直接連接 到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。本文所使用的術(shù)語"垂直的"、"水平的"、"左"、 "右"以及類似的表述只是為了說明的目的。
[0037]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本