彈性波濾波器裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及將多個(gè)彈性波諧振器連接而成的彈性波濾波器裝置，尤其涉及具有串 聯(lián)臂和并聯(lián)臂的彈性波濾波器裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 過去，提出了各種具有由彈性表面波諧振器構(gòu)成的串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振 器的濾波器裝置。例如在下述的專利文獻(xiàn)1、2中公開了與IDT電極中的電極指交叉部的聲 速相比降低了電極指前端側(cè)部分的聲速的結(jié)構(gòu)。由此，通過形成活塞模式（piston mode)， 從而能夠?qū)崿F(xiàn)基于橫向模式（transverse modes)的紋波的抑制。
[0003] 在專利文獻(xiàn)1中，還公開了使串聯(lián)臂諧振器中的開口寬度、聲速不同的區(qū)域與并 聯(lián)臂諧振器中的開口寬度、聲速不同的區(qū)域相異。
[0004] 在下述的專利文獻(xiàn)3中，公開了將并聯(lián)臂諧振器中的交叉寬度設(shè)得比串聯(lián)臂諧振 器的交叉寬度大的梯型濾波器。由此，實(shí)現(xiàn)了橫向模式所引起的寄生信號(hào)的抑制以及小型 化。通過增大并聯(lián)臂諧振器的交叉寬度，從而橫向模式的高次諧波增加。通過該橫向模式 的高次諧波的增加，從而使橫向模式寄生信號(hào)分散。
[0005] 在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn) 1 :W02011/088904A1
[0008] 專利文獻(xiàn)2 :JP特開2011-101350號(hào)公報(bào)
[0009] 專利文獻(xiàn)3 :JP特開2011-205625號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 發(fā)明要解決的課題
[0011] 在專利文獻(xiàn)1、2中，公開了通過形成活塞模式來實(shí)現(xiàn)橫向模式紋波的抑制的構(gòu) 成。此外，在專利文獻(xiàn)1中，特別記載了在串聯(lián)臂諧振器和并聯(lián)臂諧振器中使IDT電極的開 口寬度、聲速不同的區(qū)域的形狀相異。但是，僅僅在串聯(lián)臂諧振器和并聯(lián)臂諧振器中使開口 寬度、聲速不同的區(qū)域相異，是無法可靠地抑制橫向模式紋波的。
[0012] 此外，如專利文獻(xiàn)3所記載的那樣，僅僅改變交叉寬度，是難以充分地抑制橫向模 式紋波的。
[0013] 本發(fā)明的目的在于提供一種能夠可靠地抑制橫向模式紋波的彈性波濾波器裝置。
[0014] 用于解決課題的手段
[0015] 本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置具有將輸入端子和輸出端子連結(jié)的串聯(lián)臂、以 及將串聯(lián)臂和接地電位連結(jié)的并聯(lián)臂，并具有多個(gè)彈性波諧振器。在本發(fā)明中，各彈性波諧 振器具有壓電基板和形成在壓電基板上的IDT電極。
[0016] 在本發(fā)明中，所述IDT電極具有：第1匯流條；第2匯流條，與第1匯流條隔開配 置；多根第1電極指，基端與第1匯流條電連接且向第2匯流條側(cè)延伸；和多根第2電極指， 基端與所述第2匯流條連接且向所述第1匯流條側(cè)延伸，并與多根所述第1電極指相互插 入其間。
[0017] 而且，在所述IDT電極的所述第1電極指、第2電極指延伸的方向中央設(shè)置有中央 區(qū)域，在所述中央?yún)^(qū)域的所述電極指延伸的方向外側(cè)設(shè)置有與中央?yún)^(qū)域相比聲速相對(duì)低的 低聲速區(qū)域，在所述低聲速區(qū)域延伸的方向外側(cè)設(shè)置有與中央?yún)^(qū)域相比彈性波傳播速度高 的高聲速區(qū)域。在本發(fā)明中，在將與彈性波傳播方向正交的方向設(shè)為寬度方向時(shí)，至少一個(gè) 彈性波諧振器的低聲速區(qū)域的寬度方向尺寸與其余彈性波諧振器的低聲速區(qū)域的寬度方 向尺寸不同。
[0018] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的某一特定的方面中，所述第1匯流條、第2 匯流條具有沿著所述彈性波傳播方向分散配置的多個(gè)開口，將與該開口相比IDT電極的寬 度方向內(nèi)側(cè)部分設(shè)為內(nèi)側(cè)匯流條部，將設(shè)置有所述多個(gè)開口部的部分設(shè)為中央?yún)R流條部， 將中央?yún)R流條部的外側(cè)部分設(shè)為外側(cè)匯流條部，所述內(nèi)側(cè)匯流條部具有在彈性波傳播方向 上延伸的帶狀的形狀，所述中央?yún)R流條部構(gòu)成了所述高聲速區(qū)域。
[0019] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的另一特定的方面中，包含所述內(nèi)側(cè)匯流條 寬度以及/或者與所述中央?yún)^(qū)域相比設(shè)置于基端側(cè)的寬幅部，所述內(nèi)側(cè)匯流條寬度以及/ 或者所述寬幅部的寬度在所述至少一個(gè)彈性波諧振器和其余彈性波諧振器中不同。
[0020] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的其他特定的方面中，所述多個(gè)彈性波諧振 器構(gòu)成了具有設(shè)置于串聯(lián)臂的串聯(lián)臂諧振器、和設(shè)置于并聯(lián)臂的并聯(lián)臂諧振器的梯型濾波 器，所述至少一個(gè)彈性波諧振器是所述串聯(lián)臂諧振器，所述其余彈性波諧振器是所述并聯(lián) 臂諧振器。
[0021] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的又一特定的方面中，所述串聯(lián)臂諧振器的 低聲速區(qū)域的寬度方向尺寸小于所述并聯(lián)臂諧振器的低聲速區(qū)域的寬度方向尺寸。
[0022] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的又一特定的方面中，所述串聯(lián)臂諧振器以 及所述并聯(lián)臂諧振器分別具有多個(gè)諧振器，所述多個(gè)串聯(lián)臂諧振器的低聲速區(qū)域的寬度方 向尺寸小于所述多個(gè)并聯(lián)臂諧振器的低聲速區(qū)域的寬度方向尺寸。
[0023] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的又一特定的方面中，所述多個(gè)串聯(lián)臂諧振 器之中的至少一個(gè)串聯(lián)臂諧振器的低聲速區(qū)域的寬度方向尺寸與其余串聯(lián)臂諧振器的低 聲速區(qū)域的寬度方向尺寸不同。
[0024] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的又一特定的方面中，所述多個(gè)并聯(lián)臂諧振 器之中的至少一個(gè)并聯(lián)臂諧振器的低聲速區(qū)域的寬度方向尺寸與其余并聯(lián)臂諧振器的低 聲速區(qū)域的寬度方向尺寸不同。
[0025] 在本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置的又一特定的方面中，所述低聲速區(qū)域包含 所述內(nèi)側(cè)匯流條寬度以及/或者與所述中央?yún)^(qū)域相比設(shè)置于基端側(cè)的寬幅部，與并聯(lián)臂諧 振器相比串聯(lián)臂諧振器的所述內(nèi)側(cè)匯流條寬度以及/或者所述寬幅部的寬度小。
[0026] 發(fā)明效果
[0027] 根據(jù)本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器裝置，由于至少一個(gè)彈性波諧振器的低聲速區(qū) 域的寬度與其余彈性波諧振器的低聲速區(qū)域的寬度不同，因此能夠有效地抑制橫向模式紋 波。
【附圖說明】
[0028] 圖1 (a)以及圖1 (b)是將本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的彈性波濾波器裝置的一 個(gè)串聯(lián)臂諧振器以及一個(gè)并聯(lián)臂諧振器的IDT電極的重要部分進(jìn)行放大來表示的局部剖 開俯視圖。
[0029] 圖2是本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的彈性波濾波器裝置的電路圖。
[0030] 圖3(a)以及圖3(b)是本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的彈性波濾波器裝置中的串 聯(lián)臂諧振器S1-1的示意性俯視圖以及表示其電極結(jié)構(gòu)的放大剖面圖。
[0031 ]圖4是表示本發(fā)明的第1、第2實(shí)施方式所涉及的彈性波濾波器裝置以及比較例的 彈性波濾波器裝置的各濾波器特性的圖。
[0032] 圖5是表示在本發(fā)明的彈性波濾波器裝置所使用的彈性波諧振器中使用的彈性 波諧振器的IDT電極的平面形狀的變形例的局部剖開俯視圖。
[0033] 圖6是表示在本發(fā)明的彈性波濾波器裝置所使用的彈性波諧振器中使用的彈性 波諧振器的IDT電極的平面形狀的其他變形例的局部剖開俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034] 以下，通過參照附圖來說明本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，從而使本發(fā)明清楚明了。
[0035] 圖2是本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的彈性波濾波器裝置的電路圖。彈性波濾波 器裝置1是梯型濾波器。但是，如后所述，本發(fā)明并不限定于梯型濾波器。
[0036] 彈性波濾波器裝置1具有將輸入端子2和輸出端子3連結(jié)的串聯(lián)臂4。設(shè)置有將 串聯(lián)臂4和接地電位連結(jié)的第1~第3并聯(lián)臂5、6、7。在串聯(lián)臂4上，配置有多個(gè)串聯(lián)臂諧 振器S1-1~Sl-3、S2-1~S2-3、S3-1~S3-3。電容器C1與串聯(lián)臂諧振器S2-2、S2-3并 聯(lián)連接。
[0037] 并聯(lián)臂5將串聯(lián)臂諧振器S1-3和串聯(lián)臂諧振器S2-1之間的連接點(diǎn)與接地電位連 結(jié)。在并聯(lián)臂5上，串聯(lián)連接有并聯(lián)臂諧振器P1和電感L1。
[0038] 第2并聯(lián)臂6連接于串聯(lián)臂諧振器S2-3和串聯(lián)臂諧振器S3-1之間的連接點(diǎn)。第 3并聯(lián)臂7連接于輸出端子3。
[0039] 在第2并聯(lián)臂6以及第3并聯(lián)臂7上，分別配置有并聯(lián)臂諧振器P2、P3。第2并 聯(lián)臂6和第3并聯(lián)臂7通過公共連接點(diǎn)8來進(jìn)行公共連接，在公共連接點(diǎn)8和接地電位之 間連接有電感L2。
[0040] 在彈性波濾波器裝置1中，上述串聯(lián)臂諧振器S1-1~S3-3以及并聯(lián)臂諧振器 P1~P3分別由彈性表面波諧振器構(gòu)成。
[0041] 眾所周知，彈性表面波諧振器具有在壓電基板上形成IDT電極的結(jié)構(gòu)。
[0042] 圖3(a)以及（b)是串聯(lián)臂諧振器S1-1的示意性俯視圖以及表示其電極結(jié)構(gòu)的放 大剖面圖。
[0043] 如圖3(a)所示，