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基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件的制作方法

文檔序號(hào):12067592閱讀:395來(lái)源:國(guó)知局
基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件,屬于電力電子技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

碳化硅(Silicon Carbide,SiC)作為第三代半導(dǎo)體材料,具有高耐壓、高耐溫等一系列優(yōu)點(diǎn),得到了功率器件領(lǐng)域的廣泛關(guān)注。SiC器件歷經(jīng)了20多年的發(fā)展,到目前為止,只有1200V和1700V SiC MOSFET和SiC JFET已經(jīng)有一些商業(yè)化產(chǎn)品,更高電壓SiC器件還處于實(shí)驗(yàn)室研究階段,由于技術(shù)和成本原因,目前還未得到大規(guī)模使用。其中SiC MOSFET具有開(kāi)關(guān)頻率高、導(dǎo)通電阻小、輸入阻抗高、熱穩(wěn)定性能好、無(wú)二次擊穿問(wèn)題等優(yōu)點(diǎn),但電流反向流動(dòng)時(shí),其自身寄生二極管的導(dǎo)通壓降大。SiC JFET管具有高溫特性好、放大性能好、噪聲低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制備工藝成熟,可靠性高、價(jià)格低廉等優(yōu)點(diǎn),但其門(mén)極閥值常為負(fù)電壓,在未加驅(qū)動(dòng)負(fù)壓時(shí)為常開(kāi)器件,因此不能被工業(yè)界廣泛接受。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件。

為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:

基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件,包括MOSFET、N個(gè)JFET、N個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路、混合高壓器件的源極、混合高壓器件的柵極以及混合高壓器件的漏極;

MOSFET的源極與混合高壓器件的源極連接,MOSFET的柵極與混合高壓器件的柵極連接,N個(gè)JFET依次串聯(lián),第i個(gè)JFET的漏極與其相鄰的第i+1個(gè)JFET的源極連接,i為整數(shù),0<i<N,第1個(gè)JFET的源極與MOSFET的漏極連接,第N個(gè)JFET的漏極與混合高壓器件的漏極連接;

N個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路依次串聯(lián),第i個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端與其相鄰的第i+1個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸入端連接,第1個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸入端與混合高壓器件的柵極連接,N個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端分別與N個(gè)JFET的柵極連接。

還包括MOSFET驅(qū)動(dòng)電阻和N個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電阻;MOSFET驅(qū)動(dòng)電阻的一端與MOSFET的柵極連接,另一端與混合高壓器件的柵極連接,JFET驅(qū)動(dòng)電阻兩端分別與JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端以及該JFET驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)的JFET柵極連接。

JFET驅(qū)動(dòng)電路包括并聯(lián)的穩(wěn)壓管串、二極管以及電阻電容串聯(lián)回路,穩(wěn)壓管串的陽(yáng)極、二極管的陽(yáng)極以及電阻電容串聯(lián)回路的一端連接成第一節(jié)點(diǎn),第一節(jié)點(diǎn)為JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸入端,穩(wěn)壓管串的陰極、二極管的陰極以及電阻電容串聯(lián)回路的另一端連接成第二節(jié)點(diǎn),第二節(jié)點(diǎn)為JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端。

穩(wěn)壓管串包括若干個(gè)串聯(lián)的穩(wěn)壓管,第一個(gè)穩(wěn)壓管的陽(yáng)極作為穩(wěn)壓管串的陽(yáng)極,最后一個(gè)穩(wěn)壓管的陰極作為穩(wěn)壓管串的陰極,兩個(gè)相鄰穩(wěn)壓管的陽(yáng)極與陰極連接。

N=5。

本發(fā)明所達(dá)到的有益效果:1、本發(fā)明電路功率部分通過(guò)碳化硅器件串聯(lián),并通過(guò)穩(wěn)壓管、二極管、電阻、電容等元件實(shí)現(xiàn)JFET驅(qū)動(dòng),最終的混合型高壓器件可實(shí)現(xiàn)至少6kV的高耐壓,相對(duì)其他高壓器件,本高壓器件成本低,可實(shí)現(xiàn)高頻率、高效率和高功率密度,適用中高壓電力電子變換器應(yīng)用領(lǐng)域;2、本發(fā)明開(kāi)關(guān)頻率較其他高壓器件高很多,因此其組成的換流器功率密度高;3、本發(fā)明僅有一個(gè)驅(qū)動(dòng)輸入端口,驅(qū)動(dòng)比較簡(jiǎn)單;4、穩(wěn)壓管串鉗位電路僅在靜態(tài)時(shí)有效,動(dòng)態(tài)運(yùn)行時(shí),功率器件分壓由電阻電容決定,穩(wěn)壓管無(wú)需擊穿運(yùn)行,因此,實(shí)際運(yùn)行的開(kāi)關(guān)損耗較小;5、本發(fā)明導(dǎo)通損耗相對(duì)較小,SiC MOSFET的正門(mén)極閥值具有很強(qiáng)的抗干擾能力;6、電路中電流反向流動(dòng)時(shí),通過(guò)對(duì)電容自動(dòng)放電,電流僅流過(guò)SiC JFET通道,既降低了導(dǎo)通損耗,又節(jié)省了反并聯(lián)二極管;7、利用SiC MOSFET的正電壓驅(qū)動(dòng),并配置合適的正電壓SiC JFET驅(qū)動(dòng)電路,加速混合型高壓器件的開(kāi)通過(guò)程。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的電路圖。

圖2為混合型高壓器件關(guān)斷時(shí)各器件電壓圖。

圖3為混合型高壓器件各器件電壓實(shí)測(cè)圖。

圖4為混合型高壓器件開(kāi)通時(shí)各器件電壓圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案,而不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。

如圖1所示,基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件,包括MOSFET、MOSFET驅(qū)動(dòng)電阻、5個(gè)JFET、5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路、5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電阻、混合高壓器件的源極、混合高壓器件的柵極以及混合高壓器件的漏極。

MOSFET的源極與混合高壓器件的源極連接,MOSFET的柵極通過(guò)MOSFET驅(qū)動(dòng)電阻與混合高壓器件的柵極連接,5個(gè)JFET依次串聯(lián),兩個(gè)相鄰JFET的漏極與源極連接,第1個(gè)JFET的源極與MOSFET的漏極連接,第5個(gè)JFET的漏極與混合高壓器件的漏極連接。

5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路依次串聯(lián),兩個(gè)相鄰JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端與輸入端連接,第1個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸入端與混合高壓器件的柵極連接,5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端分別通過(guò)5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電阻與5個(gè)JFET的柵極連接。

JFET驅(qū)動(dòng)電路包括并聯(lián)的穩(wěn)壓管串、二極管以及電阻電容串聯(lián)回路,穩(wěn)壓管串的陽(yáng)極、二極管的陽(yáng)極以及電阻電容串聯(lián)回路的一端連接成第一節(jié)點(diǎn),第一節(jié)點(diǎn)為JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸入端,穩(wěn)壓管串的陰極、二極管的陰極以及電阻電容串聯(lián)回路的另一端連接成第二節(jié)點(diǎn),第二節(jié)點(diǎn)為JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端。

穩(wěn)壓管串包括若干個(gè)串聯(lián)的穩(wěn)壓管,第一個(gè)穩(wěn)壓管的陽(yáng)極作為穩(wěn)壓管串的陽(yáng)極,最后一個(gè)穩(wěn)壓管的陰極作為穩(wěn)壓管串的陰極,相鄰兩個(gè)穩(wěn)壓管的陽(yáng)極與陰極連接。電阻電容串聯(lián)回路包括串聯(lián)的電阻和電容。

上述混合高壓器件的工作原理具體分為靜態(tài)工作、正常關(guān)斷過(guò)程、正常硬開(kāi)關(guān)開(kāi)通過(guò)程以及正常軟開(kāi)關(guān)開(kāi)通過(guò)程。

為了更好的說(shuō)明上述工作原理,對(duì)圖1中的各符號(hào)進(jìn)行說(shuō)明:J1~J5分別代表5個(gè)JFET,M1代表MOSFET,R1~R5分別代表5個(gè)電阻電容串聯(lián)回路中的電阻,C1~C5分別代表5個(gè)電阻電容串聯(lián)回路中的電容,DZ1~DZ5分別代表5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路中的穩(wěn)壓管串,DF1~DF5分別代表5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路中的二極管,MGD1代表MOSFET驅(qū)動(dòng)電阻,JGD1~JGD5代表5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電阻,CJS代表混合高壓器件源極,CJD代表混合高壓器件漏極,CJG代表混合高壓器件柵極,CJS1~CJS5分別代表J1~J5的源極,CJG1~CJG5分別代表J1~J5的驅(qū)動(dòng)節(jié)點(diǎn),即5個(gè)JFET驅(qū)動(dòng)電路的輸出端,PGS代表驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)。

A、靜態(tài)工作(即沒(méi)有開(kāi)關(guān)動(dòng)作):此時(shí)加在CJG的驅(qū)動(dòng)電路輸出信號(hào)為-5V或0V(0V即驅(qū)動(dòng)電路不工作),此值小于M1的門(mén)極閾值,因此M1是關(guān)斷態(tài)。當(dāng)高壓直流電壓接入混合型高壓器件的CJD和CJS之間時(shí),M1漏極和源極兩端電壓會(huì)逐步上升;此時(shí)R1C1串聯(lián)回路兩端電壓也隨之上升,而DZ1和DF1必然反向截止;雖然M1漏極和源極兩端電壓以及R1C1串聯(lián)回路兩端電壓的上升率不同,但在該模式下,最終的運(yùn)行狀態(tài)是,當(dāng)CJG1和CJG兩端電壓等于DZ1的數(shù)值時(shí),DZ1被擊穿,此后M1漏極和源極以及R1C1串聯(lián)回路兩端電壓被DZ1鉗位到固定數(shù)值,即M1的耐壓由DZ1擊穿電壓決定。如果高壓直流電壓很高,DZ2~DZ5會(huì)陸續(xù)被擊穿,即CJG2~CJG5也將會(huì)繼續(xù)被鉗位,該過(guò)程可以保證SiC MOSFET和各SiC JFET的承受耐壓在器件額定值范圍內(nèi),不會(huì)損壞功率器件。當(dāng)然,實(shí)際電路使用會(huì)考慮電壓余量,一般CJG5不會(huì)被鉗位,即J5一直為導(dǎo)通狀態(tài),高壓直流電壓由SiC MOSFET和4個(gè)SiC JFET(J1~J4)分擔(dān)承受。

B、正常關(guān)斷過(guò)程:此時(shí)加在CJG的驅(qū)動(dòng)電路輸出信號(hào)由正電壓轉(zhuǎn)為-5V,此值小于M1的門(mén)極閾值,因此M1進(jìn)入關(guān)斷過(guò)程。實(shí)際電路關(guān)斷過(guò)程開(kāi)始后,混合高壓器件的CJD和CJS之間必然承受一定高壓直流電壓,因此M1漏極和源極兩端電壓將會(huì)首先上升;此時(shí)M1通道部分電流轉(zhuǎn)移至J1的驅(qū)動(dòng)電路流通,R1C1串聯(lián)回路兩端電壓必然也隨之上升,而DZ1和二極管DF1必然反向截止;由于M1漏極和源極兩端電壓的上升率小于R1C1串聯(lián)回路兩端電壓的上升率(M1漏極和源極的輸出電容值比C1值大),因此,此后M1漏極和源極兩端電壓上升至一定數(shù)值時(shí),R1C1串聯(lián)回路兩端電壓被上升至M1漏極和源極兩端電壓與JFET閾值電壓之和,即J1柵極和源極兩端電壓差變?yōu)樾∮贘FET的門(mén)極閥值電壓,J1開(kāi)始關(guān)斷過(guò)程,隨后J1漏極和源極兩端電壓開(kāi)始上升,R2C2串聯(lián)回路兩端電壓也同步上升;相同原理,由于J1漏極和源極兩端電壓的上升率小于R2C2串聯(lián)回路兩端電壓的上升率(J1漏極和源極的輸出電容值比C2值大),當(dāng)J1漏極和源極兩端電壓上升至一定數(shù)值時(shí),J2也開(kāi)始關(guān)斷過(guò)程;J3~J5的關(guān)斷過(guò)程類(lèi)似,如圖2所示,各碳化硅器件關(guān)斷是個(gè)漸進(jìn)過(guò)程。此外,如圖3所示,各個(gè)功率器件分擔(dān)的電壓都在DZ1~DZ5擊穿電壓之下,整個(gè)關(guān)斷過(guò)程無(wú)需DZ1~DZ5擊穿。因?yàn)檎G闆r下的開(kāi)關(guān)頻率比較高,在每個(gè)開(kāi)關(guān)周期很短的時(shí)間內(nèi),CJG1~CJG5各節(jié)點(diǎn)的電勢(shì)不會(huì)變化很大,即正常關(guān)斷過(guò)程不需要通過(guò)DZ1~DZ5來(lái)維持CJG1~CJG5各節(jié)點(diǎn)的電勢(shì),此時(shí)其電勢(shì)由合理設(shè)置C1~C5數(shù)值來(lái)控制的電壓上升率維持。

C、正常硬開(kāi)關(guān)開(kāi)通過(guò)程:

(1)當(dāng)開(kāi)通信號(hào)剛加到CJG時(shí),R1C1串聯(lián)回路的C1還未開(kāi)始放電,DF1、DZ1都是逆向截止,此時(shí)所有SiC JFET截止?fàn)顟B(tài)不受影響;由于M1的柵極接受驅(qū)動(dòng)正脈沖,因此,M1的輸出電容開(kāi)始通過(guò)M1通道放電,M1漏極和源極兩端電壓開(kāi)始下降。由于R1C1串聯(lián)回路的C1電容仍未放電,即節(jié)點(diǎn)CJG1的相對(duì)電勢(shì)保持不變,隨著M1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點(diǎn)CJS1的電勢(shì)下降,J1柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門(mén)極閥值電壓,J1開(kāi)始緩慢導(dǎo)通,即J1漏極和源極兩端電壓開(kāi)始下降,此時(shí)R1C1串聯(lián)回路的C1電容通過(guò)J1的柵極放電,即相當(dāng)于輸出J1驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)。

(2)隨著J1開(kāi)通,J1的輸出電容開(kāi)始通過(guò)J1通道放電,J1漏極和源極兩端電壓開(kāi)始下降。由于R2C2串聯(lián)回路的C2電容仍未放電,即節(jié)點(diǎn)CJG2的相對(duì)電勢(shì)保持不變,隨著J1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點(diǎn)CJS2的電勢(shì)下降,J2柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門(mén)極閥值電壓,J2開(kāi)始緩慢導(dǎo)通,此時(shí)R2C2串聯(lián)回路的C2電容通過(guò)J2的柵極放電,即相當(dāng)于輸出J2驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)。

(3)J3,J4,J5采用完全類(lèi)似的開(kāi)通過(guò)程,所有器件的整體過(guò)程是相關(guān)交叉,僅是依次相差一個(gè)小的延時(shí)(大約20~50ns),如圖4所示,其依次開(kāi)通的先后延時(shí)由電阻電容串聯(lián)回路的電容控制。

(4)等所有器件都開(kāi)通后,加到CJG的驅(qū)動(dòng)信號(hào)通過(guò)DF1~DF5鉗位各SiC JFET的柵極電壓,保證SiC MOSFET和所有SiC JFET的柵極都處于門(mén)極閾值電壓以上,都能完全導(dǎo)通,并以此來(lái)減少導(dǎo)通電阻。

D、正常ZVS軟開(kāi)關(guān)開(kāi)通過(guò)程:ZVS軟開(kāi)關(guān)開(kāi)通過(guò)程和硬開(kāi)關(guān)開(kāi)通過(guò)程的區(qū)別在于,此時(shí)CJG沒(méi)有驅(qū)動(dòng)信號(hào),且此時(shí)電流的方向相反。具體的原理如下:

(1)此時(shí)CJG無(wú)驅(qū)動(dòng)信號(hào),R1C1串聯(lián)回路的C1電容還未開(kāi)始放電,DF1、DZ1都是逆向截止,此時(shí)SiC MOSFET和所有SiC JFET截止?fàn)顟B(tài)不受影響;由于電流的方向相反,因此,該反向電流對(duì)M1的輸出電容放電,M1漏極和源極兩端電壓開(kāi)始下降。由于R1C1串聯(lián)回路的C1電容仍未放電,即節(jié)點(diǎn)CJG1的相對(duì)電勢(shì)保持不變,隨著M1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點(diǎn)CJS1的電勢(shì)下降,J1柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門(mén)極閥值電壓,J1開(kāi)始緩慢導(dǎo)通,J1漏極和源極兩端電壓開(kāi)始下降,此時(shí)R1C1串聯(lián)回路的C1電容通過(guò)J1的柵極放電,即相當(dāng)于輸出J1驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)。

(2)隨著J1開(kāi)通,J1的輸出電容開(kāi)始通過(guò)J1通道放電,同時(shí)反向電流也對(duì)J1的輸出電容放電,J1漏極和源極兩端電壓開(kāi)始下降。由于R2C2串聯(lián)回路的C2電容仍未放電,即節(jié)點(diǎn)CJG2的相對(duì)電勢(shì)保持不變,隨著J1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點(diǎn)CJS2的電勢(shì)下降,J2柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門(mén)極閥值電壓,J2開(kāi)始緩慢導(dǎo)通,此時(shí)R2C2串聯(lián)回路的C2電容通過(guò)J2的柵極放電,即相當(dāng)于輸出J2驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)。

(3)J3,J4,J5采用完全類(lèi)似的開(kāi)通過(guò)程,所有器件的整體過(guò)程是相關(guān)交叉,僅是依次相差一個(gè)小的延時(shí),其依次開(kāi)通的先后延時(shí)由電阻電容串聯(lián)回路的電容和反向電流大小控制。

(4)等所有器件都開(kāi)通后,雖然M1的柵極沒(méi)有驅(qū)動(dòng)信號(hào),但反向電流可以走M(jìn)OSFET相應(yīng)的寄生二極管,而所有JFET的柵極都處于“0”電位,因此所有JFET的柵極電壓都在門(mén)極閾值電壓以上,都能完全導(dǎo)通,該過(guò)程中所有JFET無(wú)需相應(yīng)的并聯(lián)二極管參與導(dǎo)通。如果此過(guò)程之后,M1柵極加驅(qū)動(dòng)信號(hào),即SiC MOSFET實(shí)現(xiàn)同步整流模式,反向電流可以由SiC MOSFET寄生二極管轉(zhuǎn)入SiC MOSFET的通道,以此來(lái)減少導(dǎo)通壓降。

上述實(shí)施例是取N=5時(shí)的情況,當(dāng)然N也可為其他正整數(shù),具體數(shù)字根據(jù)實(shí)際的情況而定。

上述混合高壓器件的電路功率部分通過(guò)碳化硅器件串聯(lián),并通過(guò)穩(wěn)壓管、二極管、電阻、電容等元件實(shí)現(xiàn)JFET驅(qū)動(dòng),最終的混合型高壓器件可實(shí)現(xiàn)至少6kV的高耐壓,相對(duì)其他高壓器件,本高壓器件驅(qū)動(dòng)比較簡(jiǎn)單,開(kāi)關(guān)損耗較小,導(dǎo)通損耗相對(duì)較小,抗干擾能力強(qiáng),成本低,其組成的換流器功率密度高,可實(shí)現(xiàn)高頻率、高效率和高功率密度,適用中高壓電力電子變換器應(yīng)用領(lǐng)域。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和變形,這些改進(jìn)和變形也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。

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