本發(fā)明屬于壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)作為一種新型驅(qū)動(dòng)技術(shù)被廣泛應(yīng)用于超精密加工、定位等領(lǐng)域，得到了極大的發(fā)展。壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)，將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的一種驅(qū)動(dòng)技術(shù)。壓電驅(qū)動(dòng)器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，精度高，功率密度大，輸出力大，無(wú)電磁干擾，易于實(shí)現(xiàn)小型化等優(yōu)點(diǎn)，在航天，機(jī)器人，納米制造等超精密領(lǐng)域得到了極大的應(yīng)用。兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，以單個(gè)驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)多個(gè)驅(qū)動(dòng)功能，可以有效的縮小驅(qū)動(dòng)器的尺寸，得到了越來(lái)越多的關(guān)注。現(xiàn)有的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器主要是利用壓電疊堆驅(qū)動(dòng)的單自由度壓電驅(qū)動(dòng)器并聯(lián)或者串聯(lián)，來(lái)實(shí)現(xiàn)兩自由度驅(qū)動(dòng)，但是，采用并聯(lián)方式的驅(qū)動(dòng)器，由于疊堆的輸出位移有限，導(dǎo)致行程太小；采用串聯(lián)方式的驅(qū)動(dòng)器，可以有效地?cái)U(kuò)大行程，但精度有所損失，同時(shí)，壓電疊堆的價(jià)格十分昂貴，這些都極大地影響了兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的應(yīng)用。

本發(fā)明的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的激勵(lì)方法，控制驅(qū)動(dòng)器的兩自由度驅(qū)動(dòng)，相比于壓電疊堆，成本得到了極大的降低，利用驅(qū)動(dòng)足與動(dòng)子間的摩擦力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，擴(kuò)大了其行程。同時(shí)，所驅(qū)動(dòng)的動(dòng)子可以是平面，用于實(shí)現(xiàn)兩自由度移動(dòng)；動(dòng)子也可以是筒型，用于實(shí)現(xiàn)一個(gè)自由度的移動(dòng)和一個(gè)自由度的轉(zhuǎn)動(dòng)；動(dòng)子還可以是球型，用于實(shí)現(xiàn)兩自由度的轉(zhuǎn)動(dòng)。由于動(dòng)子形狀的多樣性，極大的拓展了該兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的應(yīng)用范圍，有著良好的應(yīng)用前景。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高和行程小的問(wèn)題。本發(fā)明提供了一種彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器及采用該驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法。

彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，它包括基座、壓電振子和動(dòng)子；

所述壓電振子包括彎曲壓電陶瓷組、變幅桿和驅(qū)動(dòng)足，彎曲壓電陶瓷組設(shè)置于基座和變幅桿之間，變幅桿細(xì)端設(shè)置驅(qū)動(dòng)足，驅(qū)動(dòng)足與動(dòng)子接觸；

所述彎曲壓電陶瓷組劃分為兩部分，分別為第一組彎曲壓電陶瓷組和第二組彎曲壓電陶瓷組。

所述的第一組彎曲壓電陶瓷組和第二組彎曲壓電陶瓷組中相鄰的兩片壓電陶瓷片之間設(shè)有通電電極片。

采用所述的彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法，該兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法可驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸和y軸兩個(gè)兩自由度運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)；

其中，x軸和y軸所指向的方向?yàn)閺澢鷫弘娬褡訌较蚱矫鎯?nèi)兩個(gè)相互垂直的方向，且二者所指的方向均為正向；

(一)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸正向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟一一、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，壓電振子沿x軸正向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸正向產(chǎn)生位移輸出；

步驟一二、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子產(chǎn)生沿x軸負(fù)向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子由于慣性保持靜止；

步驟一三、重復(fù)步驟一一至步驟一二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子沿x軸正向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出；

(二)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸負(fù)向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟二一、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，壓電振子沿x軸負(fù)向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸負(fù)向產(chǎn)生位移輸出；

步驟二二、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子產(chǎn)生沿x軸正向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子由于慣性保持靜止；

步驟二三、重復(fù)步驟二一至步驟二二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子沿x軸負(fù)向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出；

(三)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿y軸正向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟三一、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，壓電振子沿y軸正向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿y軸正向產(chǎn)生位移輸出；

步驟三二、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸下降的電壓激勵(lì)信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子產(chǎn)生沿y軸負(fù)向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子由于慣性保持靜止；

步驟三三、重復(fù)步驟三一至步驟三二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子沿y軸正向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出；

(四)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿y軸負(fù)向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟四一、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，壓電振子沿y軸負(fù)向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿y軸負(fù)向產(chǎn)生位移輸出；

步驟四二、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子產(chǎn)生沿y軸正向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子由于慣性保持靜止；

步驟四三、重復(fù)步驟四一至步驟四二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子沿y軸負(fù)向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出。

采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法，該方法中所施加的電壓激勵(lì)信號(hào)的波形為非對(duì)稱三角波或非對(duì)稱梯形波。

所述的動(dòng)子為筒型動(dòng)子、球型動(dòng)子或平面型動(dòng)子。

當(dāng)動(dòng)子為平面型動(dòng)子時(shí)，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：在平面型動(dòng)子所在平面內(nèi)，驅(qū)動(dòng)平面型動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)。

當(dāng)動(dòng)子為筒型動(dòng)子時(shí)，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)筒型動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向移動(dòng)，以及繞x軸順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。

當(dāng)動(dòng)子為球型動(dòng)子時(shí)，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子繞x軸順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，以及繞y軸順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明帶來(lái)的有益效果是，本發(fā)明提供了一種彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器及采用該驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法，工作中，可以實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向的驅(qū)動(dòng)，配合起來(lái)可以實(shí)現(xiàn)多種功能。本發(fā)明的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，成本低，驅(qū)動(dòng)行程大。同時(shí)，動(dòng)子結(jié)構(gòu)可為平面、圓筒、球等形狀，驅(qū)動(dòng)對(duì)象多樣化，應(yīng)用范圍廣。

具體工作過(guò)程中，通過(guò)控制施加激勵(lì)電壓的幅值，可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)子單次步進(jìn)步距的精確調(diào)整；通過(guò)控制施加激勵(lì)電壓的頻率，可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)速度的精確控制。在超精密驅(qū)動(dòng)、定位、加工等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。

附圖說(shuō)明

圖1為當(dāng)動(dòng)子為平面型動(dòng)子時(shí)，彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的主剖視圖；

圖2為彎曲壓電振子的三維結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為當(dāng)動(dòng)子為平面型動(dòng)子時(shí)，彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的三維結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為當(dāng)動(dòng)子為筒型動(dòng)子時(shí)，彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的三維結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為當(dāng)動(dòng)子為球型動(dòng)子時(shí)，彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的三維結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為平面型動(dòng)子沿x軸正向移動(dòng)時(shí)，所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的波形圖；其中，vmax為正向電壓幅值的極大值，-vmax為負(fù)向電壓幅值的極大值，t0為初始時(shí)間，t為周期；

圖7和圖8均為在圖6所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，平面型動(dòng)子沿x軸正向移動(dòng)的狀態(tài)圖；

圖9為平面型動(dòng)子沿x軸負(fù)向移動(dòng)時(shí)，所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的波形圖；其中，vmax為正向電壓幅值的極大值，-vmax為負(fù)向電壓幅值的極大值，t0為初始時(shí)間，t為周期；圖10和圖11均為在圖9所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，平面型動(dòng)子沿x軸負(fù)向移動(dòng)的狀態(tài)圖；

圖12為平面型動(dòng)子沿y軸正向移動(dòng)時(shí)，所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的波形圖；其中，vmax為正向電壓幅值的極大值，-vmax為負(fù)向電壓幅值的極大值，t0為初始時(shí)間，t為周期；

圖13和圖14均為在圖12所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，平面型動(dòng)子沿y軸正向移動(dòng)的狀態(tài)圖；

圖15為平面型動(dòng)子沿y軸負(fù)向移動(dòng)時(shí)，所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的波形圖；其中，vmax為正向電壓幅值的極大值，-vmax為負(fù)向電壓幅值的極大值，t0為初始時(shí)間，t為周期；

圖16和圖17均為在圖15所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)的條件下，平面型動(dòng)子沿y軸負(fù)向移動(dòng)的狀態(tài)圖。

具體實(shí)施方式

具體實(shí)施方式一：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述的彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，它包括基座1、壓電振子2和動(dòng)子3；

所述壓電振子2包括彎曲壓電陶瓷組2-1、變幅桿2-2和驅(qū)動(dòng)足2-3，彎曲壓電陶瓷組2-1設(shè)置于基座1和變幅桿2-2之間，變幅桿2-2細(xì)端設(shè)置驅(qū)動(dòng)足2-3，驅(qū)動(dòng)足2-3與動(dòng)子3接觸；

所述彎曲壓電陶瓷組2-1劃分為兩部分，分別為第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1和第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2。

本實(shí)施方式中，本發(fā)明的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器，成本低，驅(qū)動(dòng)行程大。具體工作過(guò)程中，通過(guò)控制施加到彎曲壓電陶瓷組2-1激勵(lì)電壓的幅值，可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)子單次步進(jìn)步距的精確調(diào)整；通過(guò)控制施加到彎曲壓電陶瓷組2-1激勵(lì)電壓的頻率，可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)速度的精確控制。

具體實(shí)施方式二：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一所述的彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的區(qū)別在于，所述的動(dòng)子3為筒型動(dòng)子、球型動(dòng)子或平面型動(dòng)子。

具體實(shí)施方式三：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式一所述的彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器的區(qū)別在于，所述的第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1和第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2中相鄰的兩片壓電陶瓷片之間設(shè)有通電電極片2-4。

具體實(shí)施方式四：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，采用具體實(shí)施方式一所述的彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法，該兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法可驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸和y軸兩個(gè)兩自由度運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)；

其中，x軸和y軸所指向的方向?yàn)閺澢鷫弘娬褡訌较蚱矫鎯?nèi)兩個(gè)相互垂直的方向，且二者所指的方向均為正向；

(一)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸正向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟一一、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，壓電振子2沿x軸正向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足2-3驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸正向產(chǎn)生位移輸出；

步驟一二、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子2產(chǎn)生沿x軸負(fù)向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子3由于慣性保持靜止；

步驟一三、重復(fù)步驟一一至步驟一二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子3沿x軸正向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出；

(二)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸負(fù)向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟二一、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，壓電振子2沿x軸負(fù)向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足2-3驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸負(fù)向產(chǎn)生位移輸出；

步驟二二、對(duì)第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子2產(chǎn)生沿x軸正向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子3由于慣性保持靜止；

步驟二三、重復(fù)步驟二一至步驟二二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子3沿x軸負(fù)向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出；

(三)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿y軸正向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟三一、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，上升時(shí)間為t1，壓電振子2沿y軸正向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足2-3驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿y軸正向產(chǎn)生位移輸出；

步驟三二、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2施加幅值逐漸下降的電壓激勵(lì)信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子2產(chǎn)生沿y軸負(fù)向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子3由于慣性保持靜止；

步驟三三、重復(fù)步驟三一至步驟三二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子3沿y軸正向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出；

(四)驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿y軸負(fù)向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程為：

步驟四一、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2施加幅值逐漸下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t1，壓電振子2沿y軸負(fù)向產(chǎn)生彎曲變形至極限位置，在靜摩擦力作用下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)足2-3驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿y軸負(fù)向產(chǎn)生位移輸出；

步驟四二、對(duì)第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2施加幅值逐漸上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，下降時(shí)間為t2，且t2<<t1，壓電振子2產(chǎn)生沿y軸正向的彎曲變形至初始位置，動(dòng)子3由于慣性保持靜止；

步驟四三、重復(fù)步驟四一至步驟四二，可實(shí)現(xiàn)動(dòng)子3沿y軸負(fù)向的連續(xù)運(yùn)動(dòng)輸出。

本實(shí)施方式中，步驟一一、步驟二一、步驟三一和步驟四一中動(dòng)子3產(chǎn)生的位移十分微小。

具體實(shí)施方式五：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式四所述的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法的區(qū)別在于，所述的動(dòng)子3為筒型動(dòng)子、球型動(dòng)子或平面型動(dòng)子。

具體實(shí)施方式六：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式四所述的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法的區(qū)別在于，該方法中所施加的電壓激勵(lì)信號(hào)的波形為非對(duì)稱三角波或非對(duì)稱梯形波。

具體實(shí)施方式七：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式五所述的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法的區(qū)別在于，當(dāng)動(dòng)子3為平面型動(dòng)子時(shí)，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：在平面型動(dòng)子所在平面內(nèi)，驅(qū)動(dòng)平面型動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)。

本實(shí)施方式中，平面型動(dòng)子實(shí)現(xiàn)沿x軸正向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程結(jié)合圖6至圖8加以說(shuō)明，其中，附圖7和附圖8分別對(duì)應(yīng)步驟一一和步驟一二；步驟一一中，第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1施加幅值緩慢上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，對(duì)應(yīng)圖7中電壓激勵(lì)信號(hào)的t1段，步驟一二中，第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)幅值快速下降，對(duì)應(yīng)圖8中電壓激勵(lì)信號(hào)的t2段。

平面型動(dòng)子實(shí)現(xiàn)沿x軸負(fù)向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程結(jié)合圖9至圖11加以說(shuō)明，其中，附圖10和附圖11分別對(duì)應(yīng)步驟二一和步驟二二；步驟二一中，第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1施加幅值緩慢下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，對(duì)應(yīng)圖10中電壓激勵(lì)信號(hào)的t1段；步驟二二中，第一組彎曲壓電陶瓷組2-1-1所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)幅值快速上升，對(duì)應(yīng)圖11中電壓激勵(lì)信號(hào)的t2段。

平面型動(dòng)子實(shí)現(xiàn)沿y軸正向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程結(jié)合圖12至圖14加以說(shuō)明，其中，附圖13和附圖14分別對(duì)應(yīng)步驟三一和步驟三二；步驟三一中，第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2施加幅值緩慢上升的激勵(lì)電壓信號(hào)，對(duì)應(yīng)圖13中電壓激勵(lì)信號(hào)的t1段；步驟三二中，第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)幅值快速下降，對(duì)應(yīng)圖14中電壓激勵(lì)信號(hào)的t2段。

平面型動(dòng)子實(shí)現(xiàn)沿y軸負(fù)向運(yùn)動(dòng)的具體過(guò)程結(jié)合圖15至圖17加以說(shuō)明，其中，附圖16和附圖17分別對(duì)應(yīng)步驟四一和步驟四二；步驟四一中，第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2施加幅值緩慢下降的激勵(lì)電壓信號(hào)，對(duì)應(yīng)圖16中電壓激勵(lì)信號(hào)的t1段；步驟四二中，第二組彎曲壓電陶瓷組2-1-2所施加的激勵(lì)電壓信號(hào)幅值快速下降，對(duì)應(yīng)圖17中電壓激勵(lì)信號(hào)的t2段。

具體實(shí)施方式八：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式五所述的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法的區(qū)別在于，當(dāng)動(dòng)子3為筒型動(dòng)子時(shí)，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)筒型動(dòng)子沿x軸正向或負(fù)向移動(dòng)，以及繞x軸順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。

具體實(shí)施方式九：參見(jiàn)圖1至圖5說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式五所述的采用彎曲壓電振子的兩自由度壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)的兩自由度運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)方法的區(qū)別在于，當(dāng)動(dòng)子3為球型動(dòng)子時(shí)，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子3沿x軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，以及沿y軸正向或負(fù)向運(yùn)動(dòng)，具體表現(xiàn)為：驅(qū)動(dòng)球型動(dòng)子繞x軸順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，以及繞y軸順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的兩個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)。