本發(fā)明涉及離子注入機(jī)電源短路保護(hù)及報(bào)警功能，涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

離子注入機(jī)是半導(dǎo)體器件制造中重要的摻雜設(shè)備，該設(shè)備通過引導(dǎo)雜質(zhì)離子注入半導(dǎo)體晶片，從而改變晶片傳導(dǎo)率。但是，由于離子注入機(jī)結(jié)構(gòu)和電氣線路非常復(fù)雜，以及大量電源的使用，短路現(xiàn)象多次發(fā)生。短路首先會(huì)造成電源的損壞，進(jìn)而影響束流的穩(wěn)定性，產(chǎn)品的合格率。嚴(yán)重時(shí)可能造成設(shè)備損壞。為提高設(shè)備的穩(wěn)定性及產(chǎn)品合格率，對(duì)電源短路保護(hù)報(bào)警電路的應(yīng)用極為重要。

本發(fā)明提供了一種電源短路保護(hù)報(bào)警電路，該電路實(shí)現(xiàn)方便，功能齊全，實(shí)踐表明該電路對(duì)電源短路保護(hù)效果良好。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明涉及一種電源短路保護(hù)報(bào)警電路。該發(fā)明應(yīng)用于離子注入機(jī)，該電路適用于離子注入機(jī)中所有直流電源。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

電源短路保護(hù)報(bào)警電路基本框圖如圖1所示，它包括四個(gè)主要功能單元：電源輸出電路(1)，電源短路自動(dòng)斷開/閉合電路(2)，電源信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(3)和報(bào)警電路(4)。各功能單元的實(shí)現(xiàn)電路及作用如下：

電源輸出電路：各型號(hào)電源輸出的直流可調(diào)電壓，以及各電源電流監(jiān)控輸 出端口0～10V的反饋電壓信號(hào)。

電源短路自動(dòng)斷開/閉合電路：當(dāng)電源發(fā)生短路時(shí)，電源自動(dòng)斷開，排除故障后能自動(dòng)恢復(fù)。該電路采用繼電器來完成，控制繼電器工作的信號(hào)為電源信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(3)的觸發(fā)電平。

電源信號(hào)轉(zhuǎn)換電路：運(yùn)算放大器的同相輸入端為電源電流監(jiān)控輸出端口0～10V的反饋電壓信號(hào)，反相輸入端為預(yù)設(shè)電壓，該電路通過設(shè)定電壓值與電源監(jiān)控輸出電壓值相比較，當(dāng)高于設(shè)定值時(shí)觸發(fā)電平信號(hào)。

報(bào)警電路：報(bào)警采集信號(hào)即為電源信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(3)的觸發(fā)電平，當(dāng)發(fā)生短路時(shí)，該電路使發(fā)光二極管亮，蜂鳴器發(fā)音報(bào)警。

將四個(gè)單元模塊組合得到總的電路如圖2所示，該電路的元器件通過電源的輸出電壓/電流值進(jìn)行選型。

本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)：

1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性好。

2、功能齊全、應(yīng)用廣泛。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明專利的限定。

圖1是電源短路保護(hù)報(bào)警電路的結(jié)構(gòu)框圖。

圖2是電源短路保護(hù)報(bào)警電路。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的介紹，但不作為本發(fā)明的 限定。

如圖1、圖2，一種電源短路保護(hù)報(bào)警電路，由于電源的電流監(jiān)控輸出端口(Ui)輸出0至10V電壓信號(hào)，因此，當(dāng)電源電流突然升高時(shí)，電源電流輸出端口的輸出電壓(Ui)也突然升高。當(dāng)監(jiān)控端口的電壓升高到一定數(shù)值時(shí)，即可認(rèn)為發(fā)生了短路。電源信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(3)運(yùn)算放大器(U1)將電源監(jiān)控輸出電壓值(Ui)與設(shè)定值相比較，當(dāng)高于設(shè)定值時(shí)觸發(fā)電平信號(hào)。電源短路自動(dòng)斷開/閉合電路(2)接通電源后，不工作，電源輸出電路(1)正常時(shí)，觸發(fā)電平信號(hào)為低電平，經(jīng)過反相器(U2)后為高電平，致使三極管導(dǎo)通，繼電器(K1)產(chǎn)生閉路；當(dāng)電源輸出電路(1)發(fā)生短路時(shí)，三極管(Q1)截止，繼電器(K1)斷開，實(shí)現(xiàn)電路短路自動(dòng)斷開工能。同時(shí)，報(bào)警電路(4)采集電平信號(hào)為高電平，發(fā)光二極管(D2)亮，觸發(fā)蜂(LS1)鳴器報(bào)警。排除故障后，電路自動(dòng)恢復(fù)。

本發(fā)明專利的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。