一種羅茨泵和真空機(jī)械泵的減震機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種羅茨泵和真空機(jī)械泵的減震機(jī)構(gòu)，包括充氣墊鐵和氣墊支撐板，羅茨泵和真空機(jī)械泵均固定在氣墊支撐板上，羅茨泵的底部和真空機(jī)械泵的底部均安裝有橡膠減震墊，橡膠減震墊位于羅茨泵底部及真空機(jī)械泵底部與氣墊支撐板上表面之間；所述充氣墊鐵共多個(gè)，且均設(shè)置在氣墊支撐板下側(cè)，充氣墊鐵的底端固定連接激光器框架，頂端固定連接氣墊支撐板；該羅茨泵和真空機(jī)械泵的減震機(jī)構(gòu)，將激光器內(nèi)的振動(dòng)源與激光器框架分離，減震效果明顯，且通過二級減震消除羅茨泵和真空機(jī)械泵的絕大部分振動(dòng)，保證了激光器諧振腔體的運(yùn)行穩(wěn)定性。
【專利說明】
_種羅茨泵和真空機(jī)械泵的減震機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種減震機(jī)構(gòu)，具體是用于二氧化碳軸快流激光器的一種羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]二氧化碳軸快流激光器諧振腔的穩(wěn)定性，依賴于激光器框架結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定。二氧化碳軸快流激光器獲得真空和高速流動(dòng)激光氣體必須的核心部件為機(jī)械栗和羅茨栗，由于機(jī)械栗和羅茨栗均為機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生固定頻率的震動(dòng)。這種震動(dòng)通過激光器框架傳遞給諧振腔光橋，長時(shí)間運(yùn)行會(huì)破壞光橋穩(wěn)定?，F(xiàn)有的激光器結(jié)構(gòu)中，羅茨栗大多數(shù)只是添加了簡單的橡膠減震墊，減震效果不是很明顯，在長時(shí)間的運(yùn)行中，橡膠減震墊由于震動(dòng)而產(chǎn)生慢性蠕變，從而影響激光器的光橋穩(wěn)定、破壞光模。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:
[0005]—種羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，包括充氣墊鐵和氣墊支撐板，羅茨栗和真空機(jī)械栗均固定在氣墊支撐板上，羅茨栗的底部和真空機(jī)械栗的底部均安裝有橡膠減震墊，橡膠減震墊位于羅茨栗底部及真空機(jī)械栗底部與氣墊支撐板上表面之間；所述充氣墊鐵共多個(gè)，且均設(shè)置在氣墊支撐板下側(cè)，充氣墊鐵的底端固定連接激光器框架，頂端固定連接氣墊支撐板。
[0006]作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案:羅茨栗和真空機(jī)械栗均通過螺釘固定在氣墊支撐板上。
[0007]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述充氣墊鐵與氣墊支撐板之間通過螺釘連接固定。
[0008]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述充氣墊鐵共四個(gè)，且對稱設(shè)置在氣墊支撐板的四角。
[0009]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述充氣墊鐵的內(nèi)部氣壓為0.3-0.6MPa。
[0010]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:還包括應(yīng)急支撐座，應(yīng)急支撐座共多個(gè)，且均設(shè)置在氣墊支撐板下方，應(yīng)急支撐座底端固定在激光器框架上，應(yīng)急支撐座頂端與氣墊支撐板下表面之間留有空隙。
[0011]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述應(yīng)急支撐座共四個(gè)，對稱設(shè)置在氣墊支撐板四角的下方。
[0012]作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案:所述應(yīng)急支撐座頂端與氣墊支撐板下表面之間留有l(wèi)-2mm的空隙。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:1、羅茨栗和真空機(jī)械栗為激光器內(nèi)的振動(dòng)源，該羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，將激光器內(nèi)的振動(dòng)源與激光器框架分離，減震效果明顯；2、該羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，橡膠減震墊和充氣墊鐵構(gòu)成二級減震結(jié)構(gòu)，通過二級減震消除羅茨栗和真空機(jī)械栗的絕大部分振動(dòng)，保證了激光器諧振腔體的運(yùn)行穩(wěn)定性;3、該羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)的元器件大部分采用標(biāo)準(zhǔn)間，更換方便，維護(hù)成本低;4、該羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)加設(shè)應(yīng)急支撐座，避免了意外狀況造成的羅茨栗傾斜等問題。
【附圖說明】
[0014]圖1為羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中:1_充氣墊鐵、2-應(yīng)急支撐座、3-氣墊支撐板、4-橡膠減震墊、5-羅茨栗、6-真空機(jī)械栗。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0017]請參閱圖1，本實(shí)用新型實(shí)施例中，一種羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，包括充氣墊鐵I和氣墊支撐板3，羅茨栗5和真空機(jī)械栗6均固定在氣墊支撐板3上，優(yōu)選的，羅茨栗5和真空機(jī)械栗6均通過螺釘固定在氣墊支撐板3上，羅茨栗5的底部和真空機(jī)械栗6的底部均安裝有橡膠減震墊4，橡膠減震墊4位于羅茨栗5底部及真空機(jī)械栗6底部與氣墊支撐板3上表面之間；所述充氣墊鐵I共多個(gè)，且均設(shè)置在氣墊支撐板3下側(cè)，充氣墊鐵I的底端固定連接激光器框架，頂端固定連接氣墊支撐板3，優(yōu)選的，所述充氣墊鐵I與氣墊支撐板3之間通過螺釘連接固定，充氣墊鐵I共四個(gè)，且對稱設(shè)置在氣墊支撐板3的四角，充氣墊鐵I的內(nèi)部氣壓為0.3-0.6MPa，羅茨栗5和真空機(jī)械栗6在工作過程中產(chǎn)生的機(jī)械振動(dòng)，先被橡膠減震墊4吸收一部分，其余通過氣墊支撐板3傳遞到充氣墊鐵I上，通過充氣墊鐵I內(nèi)空氣的膨脹收縮，來消除振動(dòng)，橡膠減震墊4和充氣墊鐵I構(gòu)成二級減震結(jié)構(gòu)；
[0018]所述羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)還包括應(yīng)急支撐座2，應(yīng)急支撐座2共多個(gè)，且均設(shè)置在氣墊支撐板3下方，優(yōu)選的，所述應(yīng)急支撐座2共四個(gè)，對稱設(shè)置在氣墊支撐板3四角的下方，且位于充氣墊鐵I旁，應(yīng)急支撐座2底端固定在激光器框架上，應(yīng)急支撐座2頂端與氣墊支撐板3下表面之間留有空隙，優(yōu)選的，所述應(yīng)急支撐座2頂端與氣墊支撐板3下表面之間留有1-2_的空隙，充氣墊鐵I需要定期檢查內(nèi)部氣壓，當(dāng)氣壓不足時(shí)需要充氣，當(dāng)充氣墊鐵I內(nèi)部氣壓較小時(shí)，應(yīng)急支撐座2能夠短時(shí)間的為氣墊支撐板3提供支撐，給維護(hù)人員足夠的時(shí)間和空間為充氣墊鐵I補(bǔ)足氣壓，另外，還能防止在意外情況下由于充氣墊鐵I受力不均勻崩裂而造成的氣墊支撐板3傾斜。
[0019]本實(shí)用新型的工作原理是:所述羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，羅茨栗5和真空機(jī)械栗6在工作過程中產(chǎn)生的機(jī)械振動(dòng)，先被橡膠減震墊4吸收一部分，其余通過氣墊支撐板3傳遞到充氣墊鐵I上，通過充氣墊鐵I內(nèi)空氣的膨脹收縮，來消除振動(dòng)。充氣墊鐵I需要定期檢查內(nèi)部氣壓，當(dāng)氣壓不足時(shí)需要充氣，當(dāng)充氣墊鐵I內(nèi)部氣壓較小時(shí)，應(yīng)急支撐座2能夠短時(shí)間的為氣墊支撐板3提供支撐，給維護(hù)人員足夠的時(shí)間和空間為充氣墊鐵I補(bǔ)足氣壓，另外，還能防止在意外情況下由于充氣墊鐵I受力不均勻崩裂而造成的氣墊支撐板3傾斜。
[0020]羅茨栗和真空機(jī)械栗為激光器內(nèi)的振動(dòng)源，所述羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，將激光器內(nèi)的振動(dòng)源與激光器框架分離，減震效果明顯;所述羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，橡膠減震墊4和充氣墊鐵I構(gòu)成二級減震結(jié)構(gòu)，通過二級減震消除羅茨栗和真空機(jī)械栗的絕大部分振動(dòng)，保證了激光器諧振腔體的運(yùn)行穩(wěn)定性;所述羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)的元器件大部分采用標(biāo)準(zhǔn)間，更換方便，維護(hù)成本低;所述羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)加設(shè)應(yīng)急支撐座2，避免了意外狀況造成的羅茨栗傾斜等問題。
[0021]對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0022]此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括充氣墊鐵(I)和氣墊支撐板(3)，羅茨栗(5)和真空機(jī)械栗(6)均固定在氣墊支撐板(3)上，羅茨栗(5)的底部和真空機(jī)械栗(6)的底部均安裝有橡膠減震墊(4)，橡膠減震墊(4)位于羅茨栗(5)底部及真空機(jī)械栗(6)底部與氣墊支撐板(3)上表面之間；所述充氣墊鐵(I)共多個(gè)，且均設(shè)置在氣墊支撐板(3)下側(cè)，充氣墊鐵(I)的底端固定連接激光器框架，頂端固定連接氣墊支撐板(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，羅茨栗(5)和真空機(jī)械栗(6)均通過螺釘固定在氣墊支撐板(3)上。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述充氣墊鐵(I)與氣墊支撐板(3)之間通過螺釘連接固定。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述充氣墊鐵(I)共四個(gè)，且對稱設(shè)置在氣墊支撐板(3)的四角。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述充氣墊鐵(1)的內(nèi)部氣壓為0.3-0.6MPa。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或4或5所述的羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括應(yīng)急支撐座(2)，應(yīng)急支撐座(2)共多個(gè)，且均設(shè)置在氣墊支撐板(3)下方，應(yīng)急支撐座(2)底端固定在激光器框架上，應(yīng)急支撐座(2)頂端與氣墊支撐板(3)下表面之間留有空隙。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述應(yīng)急支撐座(2)共四個(gè)，對稱設(shè)置在氣墊支撐板(3)四角的下方。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的羅茨栗和真空機(jī)械栗的減震機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述應(yīng)急支撐座(2)頂端與氣墊支撐板(3)下表面之間留有1-2_的空隙。
【文檔編號】H01S3/03GK205429406SQ201620195280
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2016年3月15日
【發(fā)明人】武志強(qiáng)
【申請人】鐳神東方激光技術(shù)（北京）有限公司