一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及支撐銷裝置領(lǐng)域，特別是一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的支撐銷不帶密封圈，請參考圖1、2，圖1為現(xiàn)有支撐銷結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為現(xiàn)有支撐銷安裝狀態(tài)圖，如圖所示，陶瓷支撐銷與安裝孔之間存在縫隙，承重臺在升降時，陶瓷支撐銷容易滑動，導(dǎo)致晶片滑出平臺，由于縫隙的存在，陶瓷支撐銷與安裝孔之間易產(chǎn)生磨擦，產(chǎn)生“微顆粒”(Particle);而且現(xiàn)有的支撐銷沒有排氣孔，當腔體從真空狀態(tài)恢復(fù)到常壓狀態(tài)時，承重臺在升降時，陶瓷支撐銷容易被所產(chǎn)生的氣流推出槽，導(dǎo)致晶片偏離位子；當薄圓片被機械手臂放在承載臺上方，承載臺上升從機械手臂頂出薄圓片時，由于支撐銷中心無小孔排氣，導(dǎo)致薄圓片與支撐銷之間存在空氣隔膜，造成薄圓片在接觸支撐銷時產(chǎn)生移動，使得薄圓片偏離其中心。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)不足，本實用新型提供了一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，可使晶片的破損率及支撐銷上“微顆?！钡臄?shù)量明顯下降，降低機器故障率，提高機器產(chǎn)會K。
[0004]本實用新型解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，包括陶瓷支撐銷、承重臺，所述承重臺上設(shè)置安裝孔用于安裝所述陶瓷支撐銷，陶瓷支撐銷用于支撐晶片，所述陶瓷支撐銷軸向設(shè)置有排氣通孔，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷下部設(shè)置有密封圈，用于限制陶瓷支撐銷在安裝孔內(nèi)的位置。
[0005]進一步地，所述陶瓷支撐銷為圓柱形。
[0006]進一步地，所述陶瓷支撐銷的數(shù)量為7個。
[0007]進一步地，所述陶瓷支撐銷呈正八邊形頂點排列，所空出的一個位置用于機械臂的進出，可以安放晶片。
[0008]進一步地，所述排氣通孔設(shè)置于陶瓷支撐銷軸向中心位置。
[0009]本實用新型具備的優(yōu)點:一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，通過在陶瓷支撐銷上添加密封圈及排氣通孔，有效穩(wěn)固了支撐銷，防止置于支撐銷上的晶片出現(xiàn)滑動，同時避免了支撐銷上因其與安裝孔之間因磨擦產(chǎn)生的“微顆粒”，以及真空腔從真空狀態(tài)恢復(fù)到常壓狀態(tài)時由于承重臺的升降，支撐銷因沒有排氣孔而被氣流推出槽而導(dǎo)致的晶片移位，從而降低晶片的破損率及機器的故障率，提高機器產(chǎn)能，延長陶瓷支撐銷的使用壽命。
【附圖說明】
[0010]圖1為現(xiàn)有支撐銷結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為現(xiàn)有支撐銷安裝狀態(tài)圖；
[0012]圖3為本實用新型陶瓷支撐銷結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖4、5為本實用新型使用狀態(tài)圖；
[0014]圖6為本實用新型使用狀態(tài)下的側(cè)視圖。
[0015]圖中，1、陶瓷支撐銷，2、承重臺，3、晶片，4、機械臂，5、排氣通孔，6、密封圈，11、安裝孔。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步的說明，如圖4、5及6所示，一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，包括陶瓷支撐銷1、承重臺2，所述承重臺上設(shè)置安裝孔11用于安裝所述陶瓷支撐銷1，陶瓷支撐銷I用于支撐晶片3 ;如圖3所示，所述陶瓷支撐銷I軸向設(shè)置排氣通孔5，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷I下部設(shè)置有密封圈6，用于限制陶瓷支撐銷I在安裝孔11內(nèi)的位置。
[0017]進一步地，所述陶瓷支撐銷I為圓柱形，所述陶瓷支撐銷的數(shù)量為7個，所述7個陶瓷支撐銷呈正八邊形頂點排列，所空出的一個位置用于機械臂4的進出，可以安放所述晶片3，所述排氣通孔5設(shè)置于陶瓷支撐銷I軸向中心位置。
【主權(quán)項】
1.一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，包括陶瓷支撐銷、承重臺，其特征在于，所述承重臺上設(shè)置安裝孔用于安裝所述陶瓷支撐銷，陶瓷支撐銷用于支撐晶片，所述陶瓷支撐銷軸向設(shè)置有排氣通孔，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷下部設(shè)置有密封圈，用于限制陶瓷支撐銷在安裝孔內(nèi)的位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，其特征在于:所述陶瓷支撐銷為圓柱形。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，其特征在于:所述陶瓷支撐銷的數(shù)量為7個。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，其特征在于:所述陶瓷支撐銷呈正八邊形頂點排列，所空出的一個位置用于安放晶片的機械臂的進出。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，其特征在于:所述排氣通孔設(shè)置于陶瓷支撐銷軸向中心位置。
【專利摘要】一種機器真空腔內(nèi)使用的陶瓷支撐銷裝置，包括陶瓷支撐銷、承重臺，所述承重臺上設(shè)置安裝孔用于安裝所述陶瓷支撐銷，陶瓷支撐銷用于支撐晶片，所述陶瓷支撐銷軸向設(shè)置有排氣通孔，用于導(dǎo)出氣流，所述陶瓷支撐銷下部設(shè)置有密封圈，用于限制陶瓷支撐銷在安裝孔內(nèi)的位置。本實用新型的裝置可使晶片的破損率及支撐銷上“微顆?！钡臄?shù)量明顯下降，降低晶片的破損率及機器的故障率，提高機器產(chǎn)能，延長陶瓷支撐銷的使用壽命。
【IPC分類】H01L21/683
【公開號】CN204760365
【申請?zhí)枴緾N201520338525
【發(fā)明人】黃金順, 林清華
【申請人】無錫易比達半導(dǎo)體科技有限公司
【公開日】2015年11月11日
【申請日】2015年5月25日