一種小尺寸掩膜板固定裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種小尺寸掩膜板固定裝置，用于掩膜版的清洗中，所述小尺寸掩膜板固定裝置包括一外框及一用于固定所述小尺寸掩膜板的固定槽，所述固定槽設(shè)置在所述外框內(nèi)，所述外框可卡入一掩膜板清洗裝置的掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具內(nèi)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：在不改變清洗裝置硬件結(jié)構(gòu)的前提下，解決兼容大小掩膜板清洗的需求，不影響自動清洗機(jī)的自動運(yùn)營方式。
【專利說明】
一種小尺寸掩膜板固定裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ] 本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光技術(shù)(Organic Light Emitting D1de，0LED)領(lǐng)域，尤其涉及一種小尺寸掩膜板固定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)電致發(fā)光技術(shù)(Organic Light Emitting D1de，0LED)是一種新型的顯示、照明技術(shù)。
[0003]一般采用真空蒸鍍技術(shù)制備OLED薄膜，S卩:在真空環(huán)境(?10_5Pa)中加熱有機(jī)/金屬材料，材料受熱升華，通過具有特殊圖案的掩膜板(mask)，在基板表面形成具有一定形狀的有機(jī)\金屬薄膜。經(jīng)歷多種材料的連續(xù)沉積成膜，即可形成具有多層薄膜的OLED結(jié)構(gòu)。
[0004]如上所述過程中，大部分材料(有機(jī)或金屬材料)沉積在蒸發(fā)腔內(nèi)壁和掩膜板的表面。當(dāng)掩膜板表面的有機(jī)或金屬材料層達(dá)到一定的厚度，就需要對掩膜板進(jìn)行清洗，否則材料層或脫落、或材料堵塞掩膜板孔隙，影響制程。
[0005]目前掩膜板清洗機(jī)一般采用化學(xué)藥液清洗的方法。清洗機(jī)內(nèi)配置多個(gè)藥液槽，清洗機(jī)內(nèi)的機(jī)械機(jī)構(gòu)將掩膜板垂直懸掛，掩膜板垂直地浸泡在化學(xué)藥液內(nèi)藥液溶解掩膜板表面的有機(jī)或金屬薄膜層，達(dá)到清洗掩膜板的目的。
[0006]清洗機(jī)內(nèi)的機(jī)械機(jī)構(gòu)移動掩膜板采用以下方法:
[0007]將掩膜板裝載到掩膜板固定治具內(nèi)，機(jī)械機(jī)構(gòu)的機(jī)械掛鉤垂直懸掛掩膜板固定治具本體(機(jī)械掛鉤不接觸掩膜板本體)。將掩膜板固定治具和掩膜板的組合體垂直地放入藥液槽內(nèi)，浸泡掩膜板一定時(shí)間后，機(jī)械掛鉤將組合體垂直拉出，并再次垂直地向下放置于另外一個(gè)藥液槽內(nèi)進(jìn)行清洗，依此類推。
[0008]自動化掩膜板清洗機(jī)用CST(caSSette，卡匣)裝載數(shù)片大尺寸掩膜板，利用MGV(manual guided vehicle，手推車)將CST放置入料端口，清洗機(jī)內(nèi)部的機(jī)械機(jī)構(gòu)逐一取走掩膜板，自動將掩膜板裝載到掩膜板固定治具內(nèi)。如圖1所示的大尺寸掩膜板，其與清洗機(jī)治具固定后的示意圖參見圖3和圖4，固定后的組合體浸入藥液槽內(nèi)浸泡，進(jìn)行清洗。清洗完畢，掩膜板固定治具2和掩膜板I自動分離，將掩膜板I退回到下料端口的CST內(nèi)。一般情況，清洗機(jī)只對應(yīng)一種尺寸框架的掩膜板，但是當(dāng)工廠內(nèi)需要運(yùn)營兩條基板尺寸不同條OLED蒸鍍線，各產(chǎn)線均需要清洗金屬掩膜板，這樣有兩種不同尺寸的掩膜板待清洗，圖1所示為大尺寸掩膜板，大尺寸掩膜板的長為LI，寬為Wl，圖2所示為小尺寸掩膜板，小尺寸掩膜板的長為1^，寬為￥2，其中兒2〈1^1，￥2<胃1。兩種掩膜板尺寸不同，而清洗機(jī)臺的掩膜板固定治具只有一種尺寸，顯然不能滿足需求。
[0009]面對上述問題，有如下兩種解決方法:
[0010]1、面板廠商購買掩膜板清洗機(jī)時(shí)，只購買針對大尺寸掩膜板的清洗機(jī)，用于清洗工廠內(nèi)大尺寸的掩膜板，小尺寸的掩膜板采用委外清洗方案。該方案的缺點(diǎn)在于，委外清洗小尺寸掩膜板，需要額外付費(fèi)給清洗廠商，增加運(yùn)營成本;委外清洗小尺寸掩膜板，必然涉及包裝、工廠內(nèi)搬運(yùn)、工廠外運(yùn)輸、拆包等一系列操作。這樣增加掩膜板受損的風(fēng)險(xiǎn);工廠內(nèi)有具有清洗能力，但是將小尺寸掩膜板委外清洗，一定程度上浪費(fèi)工廠內(nèi)清洗機(jī)資源。
[0011]2、掩膜板的清洗機(jī)的掩膜板固定治具兼容裝載兩種掩膜板，可采用雙層式掩膜板固定治具，第I層可裝載大尺寸掩膜板，第2層可裝載小尺寸掩膜板。該方案的缺點(diǎn)在于，雙層式掩膜板固定治具厚度大，清洗機(jī)廠商需要適當(dāng)變大藥液槽，來匹配該新型的雙層式掩膜板固定治具，為了達(dá)到相同的藥液高度，新型雙層式掩膜板固定治具對應(yīng)清洗機(jī)的藥液用量大于使用普通單層掩膜板固定治具的清洗機(jī);增加廠商設(shè)計(jì)難度。采用雙層式掩膜板固定治具，要求設(shè)備廠商重新構(gòu)建清洗機(jī)機(jī)構(gòu)，包括清洗機(jī)上下料端口(LoadAmload)、內(nèi)部掩膜板和治具的裝載機(jī)構(gòu)、直立機(jī)構(gòu)、懸掛機(jī)構(gòu)等。這樣將導(dǎo)致設(shè)備復(fù)雜，增加未知的技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)，且改進(jìn)造成的成本增加，必然將體現(xiàn)在設(shè)備價(jià)格內(nèi)，將由設(shè)備購買商承擔(dān);設(shè)備購買商后續(xù)再需要兼容清洗其他規(guī)格掩膜板，必然要對設(shè)備進(jìn)行更大規(guī)模的改造，難度大，改造費(fèi)用尚。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種小尺寸掩膜板固定裝置，其能夠在不改變清洗裝置硬件結(jié)構(gòu)的前提下，解決兼容大小掩膜板清洗的需求，不影響自動清洗機(jī)的自動運(yùn)營方式。
[0013]為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種小尺寸掩膜板固定裝置，包括一外框及一用于固定所述小尺寸掩膜板的固定槽，所述固定槽設(shè)置在所述外框內(nèi)，所述外框可卡入一掩膜板清洗裝置的掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具內(nèi)。
[0014]進(jìn)一步，所述固定槽設(shè)置在所述外框中間。
[0015]進(jìn)一步，所述小尺寸掩膜板采用螺絲固定在所述固定槽內(nèi)。
[0016]進(jìn)一步，所述小尺寸掩膜板采用卡扣固定在所述固定槽內(nèi)。
[0017]進(jìn)一步，所述固定槽形狀與所述小尺寸掩膜板形狀相同。
[0018]進(jìn)一步，所述固定槽內(nèi)部邊緣至所述小尺寸掩膜板邊緣具有一距離。
[0019]進(jìn)一步，沿所述外框長度方向，在所述固定槽與所述外框邊緣之間設(shè)置有至少一個(gè)開口。
[0020]進(jìn)一步，所述開口為矩形開口。
[0021]進(jìn)一步，在所述外框上圍繞所述固定槽設(shè)置有多個(gè)開口。
[0022]進(jìn)一步，所述外框?yàn)榫匦涡螤?，而且外框形?長，寬和厚)和大尺寸掩膜板相同
[0023]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:在不改變清洗裝置硬件結(jié)構(gòu)的前提下，解決兼容大小掩膜板清洗的需求，不影響自動清洗機(jī)的自動運(yùn)營方式。
【附圖說明】
[0024]圖1是大尺寸掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2是小尺寸掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3和圖4是大尺寸掩膜板裝載在清洗機(jī)治具內(nèi)的結(jié)構(gòu)圖，該結(jié)構(gòu)被垂直放置入藥液槽內(nèi)；
[0027]圖5是本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖6是本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置裝載小尺寸掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖7是本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置裝入CST的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的一種小尺寸掩膜板固定裝置的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)說明。
[0031]參見圖5及圖6，本發(fā)明一種小尺寸掩膜板固定裝置包括一外框20及一用于固定所述小尺寸掩膜板22的固定槽21。所述外框20可卡入一掩膜板清洗裝置的掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具內(nèi)(CST內(nèi))。
[0032]所述小尺寸掩膜板固定裝置用于固定小尺寸掩膜板22，所述小尺寸掩膜板22的結(jié)構(gòu)參見圖2.且所述小尺寸掩膜板固定裝置可卡入掩膜板清洗裝置的掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具內(nèi)(CST)，以便于對固定在所述小尺寸掩膜板固定裝置上的小尺寸掩膜板22進(jìn)行清洗，如圖6所示。本發(fā)明所述的掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具是指該標(biāo)準(zhǔn)固定治具的尺寸不會隨掩膜板的尺寸變化而變化，即對于大尺寸掩膜板，其可直接卡入所述掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具內(nèi)，對于小尺寸掩膜板，其可固定在所述小尺寸掩膜板固定裝置上之后再卡入所述掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具內(nèi)(CST)，所述小尺寸固定裝置的外框20的尺寸與大尺寸掩膜板的尺寸相同，從而可不必改變掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具的尺寸即可實(shí)現(xiàn)清洗不同尺寸的掩膜板的目的。
[0033]參考圖5，所述固定槽21設(shè)置在所述外框20內(nèi)，優(yōu)選地，為了使所述小尺寸掩膜板22充分浸入清洗液中，所述固定槽21設(shè)置在所述外框20中間。參考圖6，所述小尺寸掩膜板22采用螺絲23或卡扣(附圖中未標(biāo)示)固定在所述固定槽21內(nèi)，在本發(fā)明其他【具體實(shí)施方式】中，也可以采用本領(lǐng)域技術(shù)人員樹熟知的其他方式固定所述小尺寸掩膜板22。所述固定槽21的形狀與所述小尺寸掩膜板22的形狀相同。優(yōu)選地，所述固定槽21內(nèi)部邊緣至所述小尺寸掩膜板22邊緣具有一距離，以便于所述小尺寸掩膜板22順利地嵌入所述固定槽21內(nèi)。
[0034]進(jìn)一步，所述外框22為矩形形狀，其與大尺寸掩膜板的形狀及尺寸相同。優(yōu)選地，沿所述外框20長度方向，在所述固定槽21與所述外框20邊緣之間設(shè)置有至少一個(gè)開口 24，在本【具體實(shí)施方式】中，在所述固定槽21的兩端均設(shè)置有開口 24，所述開口 24的形狀為矩形。所述開口 24的設(shè)置可減輕固定裝置本身的重量，減小清洗機(jī)內(nèi)部搬送機(jī)構(gòu)的負(fù)荷。
[0035]本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置可裝載小尺寸掩膜板。由于所述小尺寸掩膜板固定裝置和與常規(guī)大尺寸掩膜板的外形相同，所以小尺寸掩膜板和小尺寸掩膜板固定裝置的組合體能夠裝載到大尺寸掩膜板配套的CST(cassette，卡匣)。這樣使用MGV(manual guidedvehicle，手推車)將裝載組合體的CST放置在入料口(Load port)，自動化掩膜板清洗機(jī)自動地將組合體投入到清洗機(jī)內(nèi)，清洗完畢，將小尺寸掩膜板和小尺寸掩膜板固定裝置的組合體退入下料(unload)端口的CST內(nèi)部，完成清洗。采用該小尺寸掩膜板固定裝置后，既能保持大尺寸掩膜板自動清洗的功能，又實(shí)現(xiàn)兼容清洗小尺寸掩膜板。
[0036]采用本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置后，所述小尺寸掩膜板的清洗制程詳見下:
[0037]人工將小尺寸掩膜板裝入小尺寸掩膜板固定裝置，然后將裝載有小尺寸掩膜板的小尺寸掩膜板固定裝置放入清洗機(jī)的CST30，圖7是本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置裝入CST30的結(jié)構(gòu)示意圖。用MGV移動CST30到自動清洗機(jī)入料端口內(nèi)，掩膜板清洗機(jī)自動獲取裝載有小尺寸掩膜板的小尺寸掩膜板固定裝置，裝載入機(jī)臺內(nèi)部治具，進(jìn)行清洗。
[0038]由于所述小尺寸掩膜板固定裝置屬于非消耗性材料，可根據(jù)實(shí)際使用情況，適當(dāng)定制若干個(gè)即可永久使用，節(jié)約成本。
[0039]本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置可帶來如下優(yōu)點(diǎn):
[0040]1、對于已經(jīng)具有大OLED蒸鍍線和配套掩膜板清洗機(jī)的面板生產(chǎn)商，當(dāng)需要增加小OLED研發(fā)線時(shí)，直接設(shè)計(jì)和采購該治具，操作性和可行性更優(yōu)。
[0041]2、對于需要同時(shí)購置大OLED蒸鍍線和OLED蒸鍍研發(fā)線廠商，評估掩膜板清洗機(jī)時(shí)，可以考慮購置大型自動上下料的掩膜板清洗機(jī)。采用本發(fā)明小尺寸掩膜板固定裝置解決兼容大小掩膜板清洗需求，不影響自動清洗機(jī)的自動運(yùn)營方式。
[0042]3、清洗機(jī)制程菜單切換更方便。具體地，當(dāng)清洗機(jī)清洗大尺寸掩膜板，采用大尺寸掩膜板清洗制程。當(dāng)產(chǎn)線需要清洗小尺寸掩膜板，采用小尺寸掩膜板清洗制程，清洗機(jī)切換制程菜單時(shí)，清洗機(jī)硬件無任何變動，只需調(diào)整設(shè)備軟體設(shè)置，更加方便。
[0043]4、所述小尺寸掩膜板固定裝置可以和現(xiàn)有清洗機(jī)技術(shù)良好的匹配。具體地，增加所述小尺寸掩膜板固定裝置，清洗機(jī)廠商無須改動內(nèi)置(內(nèi)部移動機(jī)構(gòu))。同時(shí)，清洗機(jī)的藥液槽也無須改動。消除清洗設(shè)備改進(jìn)帶來的未知風(fēng)險(xiǎn)。
[0044]5、相比要求清洗機(jī)廠商研發(fā)新結(jié)構(gòu)的清洗設(shè)備，來滿足兼容清洗大尺寸掩膜板和小尺寸掩膜板的需求。新增所述小尺寸掩膜板固定裝置，來解決清洗大小掩膜板兼容問題，具有難度小和成本低的優(yōu)勢。
[0045]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，包括一外框及一用于固定所述小尺寸掩膜板的固定槽，所述固定槽設(shè)置在所述外框內(nèi)，所述外框可卡入一掩膜板清洗裝置的掩膜板標(biāo)準(zhǔn)固定治具內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，所述固定槽設(shè)置在所述外框中間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，所述小尺寸掩膜板采用螺絲固定在所述固定槽內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，所述小尺寸掩膜板采用卡扣固定在所述固定槽內(nèi)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，所述固定槽形狀與所述小尺寸掩膜板形狀相同。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，所述固定槽內(nèi)部邊緣至所述小尺寸掩膜板邊緣具有一距離。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，沿所述外框長度方向，在所述固定槽與所述外框邊緣之間設(shè)置有至少一個(gè)開口。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，所述開口為矩形開□ O9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小尺寸掩膜板固定裝置，其特征在于，所述外框?yàn)榫匦涡螤睢?br>【文檔編號】B08B3/10GK106057726SQ201610595920
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年7月26日 公開號201610595920.1, CN 106057726 A, CN 106057726A, CN 201610595920, CN-A-106057726, CN106057726 A, CN106057726A, CN201610595920, CN201610595920.1
【發(fā)明人】蔣謙
【申請人】武漢華星光電技術(shù)有限公司