用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)及方法
【專利說明】用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)及方法
[0001 ] 相關(guān)申請(qǐng)案的交叉參考
[0002]本申請(qǐng)案涉及且主張來自以下列出的申請(qǐng)案(“相關(guān)申請(qǐng)案”)的最早可用有效申請(qǐng)日期的權(quán)益(舉例來說，主張除臨時(shí)專利申請(qǐng)案以外的最早可用優(yōu)先權(quán)日期或根據(jù)35USC§119(e)主張對(duì)于臨時(shí)專利申請(qǐng)案、對(duì)于相關(guān)申請(qǐng)案的任何及全部上一代(parent)、上兩代(grandparents)、上三代(great-grandparents)等等申請(qǐng)案的權(quán)益)。
[0003]相關(guān)申請(qǐng)案:
[0004]出于USPT0非法定要求的目的，本申請(qǐng)案構(gòu)成2013年6月26日申請(qǐng)的命名羅曼.薩珮(ROMAIN SAPPEY)為發(fā)明者的題為“光致發(fā)光及缺陷檢查系統(tǒng)及方法(PHOTOLUMINESCENCE AND DEFECT INSPECT1N SYSTEMS AND METHODS)” 的申請(qǐng)序列號(hào)為
61/839，494的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案的正式(非臨時(shí))專利申請(qǐng)案。
技術(shù)領(lǐng)域
[0005]本發(fā)明大體上涉及缺陷的檢測(cè)及分類，且更特定來說，本發(fā)明涉及光致發(fā)光缺陷及散射缺陷的檢測(cè)及分類。
【背景技術(shù)】
[0006]隨著對(duì)于不斷縮小的半導(dǎo)體裝置的需求持續(xù)增加，因此對(duì)于用于缺陷識(shí)別及分類的經(jīng)改進(jìn)檢查工具的需求也將增加。影響所制造裝置的品質(zhì)的缺陷可包含(舉例來說)堆垛層錯(cuò)缺陷及基面位錯(cuò)(basal plane dislocat1n)缺陷。堆垛層錯(cuò)缺陷及基面位錯(cuò)在當(dāng)使用紫外光刺激時(shí)顯示弱光致發(fā)光符號(hào)。當(dāng)前檢查工具并不能有效地測(cè)量光致發(fā)光缺陷連同散射類型缺陷。因而，期望提供用以消除先前技術(shù)的缺陷的經(jīng)改進(jìn)方法及系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]揭示一種用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)。在一個(gè)方面中，所述遮罩可包含(但不限于):斜入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著相對(duì)于樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL(zhǎng)的光束引導(dǎo)到樣本的一部分上;法線入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒉煌谛闭彰鞑ㄩL(zhǎng)的法線照明波長(zhǎng)的光束引導(dǎo)到樣本的一部分上，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;樣本臺(tái)組合件，其經(jīng)配置以緊固樣本且選擇性致動(dòng)樣本以便使用至少斜入射輻射源及法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程;一組收集光學(xué)器件，其經(jīng)配置以收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;濾波器子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以接收由所述組收集光學(xué)器件收集的輻射的至少一部分，其中所述濾波器子系統(tǒng)經(jīng)配置以將來自樣本的輻射分離成包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光相關(guān)聯(lián)的可見光譜或近紅外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的第一部分、包含法線照明波長(zhǎng)的輻射的第二部分、及包含斜照明波長(zhǎng)的輻射的至少第三部分;檢測(cè)子系統(tǒng)，其包含用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡谝徊糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的第一傳感器、用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡诙糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的第二傳感器及用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡谌糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的至少第三傳感器；以及控制器，其以通信方式耦合到第一傳感器、第二傳感器及第三傳感器，所述控制器經(jīng)配置以:基于由第二傳感器及第三傳感器測(cè)量的一或多個(gè)特性中的至少一者來檢測(cè)一或多個(gè)散射缺陷；以及基于由第一傳感器測(cè)量的一或多個(gè)特性、由第二傳感器測(cè)量的一或多個(gè)特性及由第三傳感器測(cè)量的一或多個(gè)特性中的至少一者來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷。
[0008]在另一方面中，所述系統(tǒng)包含(但不限于):斜入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著相對(duì)于樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL(zhǎng)的光束引導(dǎo)到樣本的一部分上;法線入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒉煌谛闭彰鞑ㄩL(zhǎng)的法線照明波長(zhǎng)的光束引導(dǎo)到樣本的一部分上，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;樣本臺(tái)組合件，其經(jīng)配置以緊固樣本且選擇性致動(dòng)樣本以便使用至少斜入射輻射源及法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程;一組收集光學(xué)器件，其經(jīng)配置以收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;濾波器子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以接收由所述組收集光學(xué)器件收集的輻射的至少一部分，其中所述濾波器子系統(tǒng)經(jīng)配置以將來自樣本的輻射分離成包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光相關(guān)聯(lián)的可見光譜或近紅外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的第一部分、包含法線照明波長(zhǎng)的輻射的第二部分、包含斜照明波長(zhǎng)的輻射的第三部分、及包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光的光相關(guān)聯(lián)的紫外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的至少第四部分;檢測(cè)子系統(tǒng)，其包含用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡谝徊糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的第一傳感器、用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡诙糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的第二傳感器、用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡谌糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的第三傳感器、及用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡谒牟糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的至少第四傳感器；以及控制器，其以通信方式耦合到第一傳感器、第二傳感器及第三傳感器，所述控制器經(jīng)配置以:基于由第二傳感器及第三傳感器中的至少一者測(cè)量的光來檢測(cè)一或多個(gè)散射缺陷；以及通過將在樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域中來自第一傳感器、第二傳感器、第三傳感器及第四傳感器中的至少一者的信號(hào)與從樣本的經(jīng)測(cè)量區(qū)域獲取的來自第一傳感器、第二傳感器、第三傳感器及第四傳感器中的至少一者的信號(hào)進(jìn)行比較，基于由第一傳感器、第二傳感器、第三傳感器及第四傳感器中的至少一者檢測(cè)的光來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷。
[0009]在另一方面中，所述系統(tǒng)包含(但不限于):法線入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒎ň€照明波長(zhǎng)的光束引導(dǎo)到樣本的一部分上，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;樣本臺(tái)組合件，其經(jīng)配置以緊固樣本且選擇性致動(dòng)樣本以便使用至少斜入射輻射源及法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程;一組收集光學(xué)器件，其經(jīng)配置以收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;濾波器子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以接收由所述組收集光學(xué)器件收集的輻射的至少一部分，其中所述濾波器子系統(tǒng)經(jīng)配置以將來自樣本的輻射分離成包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光相關(guān)聯(lián)的可見光譜或近紅外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的第一部分、包含法線照明波長(zhǎng)的輻射的第二部分、及包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光相關(guān)聯(lián)的紫外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的至少第三部分;檢測(cè)子系統(tǒng)，其包含用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡谝徊糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的第一傳感器、用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡诙糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的第二傳感器、及用于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)妮椛涞牡谌糠值囊换蚨鄠€(gè)特性的至少第三傳感器；以及控制器，其以通信方式耦合到第一傳感器、第二傳感器及第三傳感器，所述控制器經(jīng)配置以:基于由第二傳感器測(cè)量的光來檢測(cè)一或多個(gè)散射缺陷;及通過將在樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域中來自第一傳感器及第三傳感器中的至少一者的信號(hào)與從樣本的經(jīng)測(cè)量區(qū)域獲取的來自第一傳感器及第三傳感器中的至少一者的信號(hào)進(jìn)行比較，基于由第一傳感器及第三傳感器中的至少一者檢測(cè)的光來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷。
[0010]在另一方面中，所述系統(tǒng)包含(但不限于):法線入射輻射源，其經(jīng)配置以沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒎ň€照明波長(zhǎng)的光束引導(dǎo)到樣本的一部分上，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;樣本臺(tái)組合件，其經(jīng)配置以緊固樣本且選擇性致動(dòng)樣本以便使用至少斜入射輻射源及法線入射輻射源執(zhí)行掃描過程;一組收集光學(xué)器件，其經(jīng)配置以收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;濾波器子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以接收由所述組收集光學(xué)器件收集的輻射的至少一部分，其中所述濾波器子系統(tǒng)經(jīng)配置以將來自樣本的輻射分離成光致發(fā)光輻射的多個(gè)部分，每一部分包含由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的輻射的不同光譜范圍中的一或多個(gè)波長(zhǎng);檢測(cè)子系統(tǒng)，其包含多個(gè)傳感器，每一傳感器適于測(cè)量由濾波器子系統(tǒng)傳輸?shù)墓庵掳l(fā)光輻射的所述多個(gè)部分中的一者的一或多個(gè)特性；以及控制器，其以通信方式耦合到所述多個(gè)傳感器中的每一者，所述控制器經(jīng)配置以:通過將在樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域中來自所述多個(gè)傳感器中的至少一者的信號(hào)與從樣本的經(jīng)測(cè)量區(qū)域獲取的來自所述多個(gè)傳感器中的至少一者的信號(hào)進(jìn)行比較，基于由所述多個(gè)傳感器中的每一者檢測(cè)的光來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷;及基于由所述多個(gè)傳感器中的每一者測(cè)量的一或多個(gè)信號(hào)對(duì)一或多個(gè)經(jīng)檢測(cè)光致發(fā)光缺陷進(jìn)行分類。
[0011]揭不一種用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的方法。在一個(gè)實(shí)施例中，所述方法可包含(但不限于):沿著相對(duì)于樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL(zhǎng)光束引導(dǎo)到樣本的一部分上;沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒎ň€照明波長(zhǎng)光束引導(dǎo)到樣本的一部分上，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;將來自樣本的輻射分離成包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光相關(guān)聯(lián)的可見光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的第一部分、包含法線照明波長(zhǎng)光的輻射的第二部分、及包含斜照明波長(zhǎng)光的輻射的至少第三部分;測(cè)量輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的一或多個(gè)特性;基于輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)散射缺陷;及通過將從樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的一或多個(gè)特性與從樣本的經(jīng)測(cè)量區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的一或多個(gè)特性進(jìn)行比較，基于輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷。
[0012]在另一方面中，所述方法可包含(但不限于):沿著相對(duì)于樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL(zhǎng)光束引導(dǎo)到樣本的一部分上;沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向引導(dǎo)法線照明波長(zhǎng)光束，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;將來自樣本的輻射分離成包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光相關(guān)聯(lián)的可見光譜或近紅外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的第一部分、包含法線照明波長(zhǎng)的輻射的第二部分、包含斜照明波長(zhǎng)的輻射的第三部分、及包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光的光相關(guān)聯(lián)的紫外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的至少第四部分;測(cè)量輻射的第一部分的至少一者的一或多個(gè)特性、輻射的第二部分的一或多個(gè)特性、輻射的第三部分的一或多個(gè)特性及輻射的第四部分的一或多個(gè)特性;基于輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)散射缺陷;及通過將從樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分、輻射的第三部分及輻射的第四部分中的至少一者的一或多個(gè)特性與從樣本的經(jīng)測(cè)量區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分、輻射的第三部分及輻射的第四部分中的至少一者的一或多個(gè)特性進(jìn)行比較，基于輻射的第一部分、輻射的第二部分、輻射的第三部分及輻射的第四部分中的至少一者的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷。
[0013]在另一方面中，所述方法可包含(但不限于):沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向引導(dǎo)法線照明波長(zhǎng)光束，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;將來自樣本的輻射分離成包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光相關(guān)聯(lián)的可見光譜或近紅外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的第一部分、包含法線照明波長(zhǎng)的輻射的第二部分、及包含與由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光的光相關(guān)聯(lián)的紫外光譜中的一或多個(gè)波長(zhǎng)的輻射的至少第三部分;測(cè)量輻射的第一部分中的至少一者的一或多個(gè)特性、輻射的第二部分的一或多個(gè)特性及輻射的第三部分的一或多個(gè)特性;基于輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)散射缺陷；及通過將從樣本的不存在光致發(fā)光缺陷的區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的一或多個(gè)特性與從樣本的經(jīng)測(cè)量區(qū)域獲取的輻射的第一部分、輻射的第二部分及輻射的第三部分中的至少一者的一或多個(gè)特性進(jìn)行比較，基于輻射的第一部分、輻射的第二部分、輻射的第三部分及輻射的第四部分中的至少一者的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷。
[0014]在另一方面中，所述方法可包含(但不限于):沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒎ň€照明波長(zhǎng)光束引導(dǎo)到樣本的一部分上，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;將來自樣本的輻射分離成光致發(fā)光輻射的多個(gè)部分，每一部分包含由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光的不同光譜范圍中的一或多個(gè)波長(zhǎng);測(cè)量光致發(fā)光輻射的所述多個(gè)部分中的每一者的一或多個(gè)特性;基于光致發(fā)光輻射的所述多個(gè)部分中的每一者的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷;及基于與光致發(fā)光輻射的所述多個(gè)部分中的每一者相關(guān)聯(lián)的一或多個(gè)信號(hào)對(duì)一或多個(gè)經(jīng)檢測(cè)光致發(fā)光缺陷進(jìn)行分類。
[0015]在另一方面中，所述方法可包含(但不限于):沿著實(shí)質(zhì)上垂直于樣本的表面的方向?qū)⒎ň€照明波長(zhǎng)光束引導(dǎo)到樣本的一部分上，其中所述法線照明波長(zhǎng)的光束適于引起樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射光致發(fā)光的光;沿著相對(duì)于樣本的表面傾斜的方向?qū)⑿闭彰鞑ㄩL(zhǎng)光束引導(dǎo)到樣本的一部分上;收集來自樣本的輻射，來自樣本的輻射包含由樣本的一或多個(gè)缺陷彈性散射的輻射或由樣本的一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷發(fā)射的光致發(fā)光輻射中的至少一者;將來自樣本的輻射分離成光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的近紫外(NUV)部分;測(cè)量光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的NUV部分的一或多個(gè)特性;基于光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的NUV部分的經(jīng)測(cè)量的一或多個(gè)特性來檢測(cè)一或多個(gè)光致發(fā)光缺陷；及基于與光致發(fā)光輻射的可見部分及光致發(fā)光輻射的NUV部分相關(guān)聯(lián)的一或多個(gè)信號(hào)對(duì)一或多個(gè)經(jīng)檢測(cè)光致發(fā)光缺陷進(jìn)行分類。
[0016]應(yīng)理解，前述一般描述及以下詳細(xì)描述兩者均僅為示范性及闡釋性的，且未必如所主張般限制本發(fā)明。并入本說明書中且構(gòu)成本說明書的一部分的【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施例且連同所述一般描述用以闡釋本發(fā)明的原理。
【附圖說明】
[0017]所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員通過參考附圖可更好地理解本發(fā)明的眾多優(yōu)點(diǎn)，其中；
[0018]圖1A說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)的簡(jiǎn)化示意圖。
[0019]圖1B說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的疊加于光致發(fā)光光譜上的一組光譜集成頻格(bin)ο
[0020]圖1C說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的螺旋掃描檢查系統(tǒng)的檢查路徑的概念視圖。
[0021]圖1D說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)的簡(jiǎn)化示意圖。
[0022]圖1Ε說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的疊加于光致發(fā)光光譜上的一組光譜集成頻格。
[0023]圖1F說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的在暗對(duì)比模式及亮對(duì)比模式中獲取的堆垛層錯(cuò)缺陷及基面錯(cuò)位的成像數(shù)據(jù)。
[0024]圖1G說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)的簡(jiǎn)化示意圖。
[0025]圖1Η說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)的簡(jiǎn)化示意圖。
[0026]圖1I說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的系統(tǒng)的簡(jiǎn)化示意圖。
[0027]圖1J說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的疊加于光致發(fā)光光譜上的一組光譜集成頻格。
[0028]圖2為說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的在用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的方法中執(zhí)行的步驟的過程流程圖。
[0029]圖3為說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的在用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的方法中執(zhí)行的步驟的過程流程圖。
[0030]圖4為說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的在用于樣本的缺陷檢測(cè)及光致發(fā)光測(cè)量的方法中執(zhí)行的步驟的過程流程圖。
[0031]圖5為說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的在用于樣本的缺陷檢測(cè)及