引線框架浸泡設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體引線框架的處理設(shè)備，特別涉及一種引線框架浸泡設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路領(lǐng)域，一般需要采用半導(dǎo)體引線框作為集成電路芯片的載體。半導(dǎo)體引線框架采用諸如金絲、鋁絲、銅絲的鍵合材料實(shí)現(xiàn)芯片內(nèi)部電路引出端與外引線的電氣連接，形成電氣回路的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件，它起到了和外部導(dǎo)線連接的橋梁作用。由于集成芯片的高精度的生產(chǎn)要求，需要半導(dǎo)體引線框架光滑而沒(méi)有毛刺。因而，一般需要進(jìn)行化學(xué)浸泡，從而便于進(jìn)一步加工處理。現(xiàn)有技術(shù)中用于占用空間的限制，導(dǎo)致化學(xué)浸泡時(shí)間較短，從而影響浸泡效果?，F(xiàn)有的引線框架浸泡設(shè)備，引線框架部分浸泡在化學(xué)處理液中，不能完全浸入處理液內(nèi)，對(duì)有些引線框架不適用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供可對(duì)引線框架處理更全面的引線框架浸泡設(shè)備。
[0004]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]引線框架浸泡設(shè)備，其特征在于:包括放料裝置、處理槽，和取料裝置；
[0006]所述處理槽包括槽體、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和固持機(jī)構(gòu)，所述槽體具有槽腔，該槽體的槽腔用于灌裝化學(xué)處理液；所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述槽體的槽腔內(nèi)；所述固持機(jī)構(gòu)包括至少兩個(gè)限位件，該至少兩個(gè)限位件沿所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)方向依次排列設(shè)置，所有相鄰兩個(gè)限位件之間間隔設(shè)置且所述間隔大于或等于半導(dǎo)體引線框架的厚度；
[0007]所述放料裝置包括第一夾持機(jī)械手，所述第一夾持機(jī)械手設(shè)置在所述槽體上方，所述第一夾持機(jī)械手可升降并可水平移動(dòng)地設(shè)置；
[0008]所述取料裝置包括第二夾持機(jī)械手，所述第二夾持機(jī)械手設(shè)置在所述槽體上方，所述第二夾持機(jī)械手可升降并可水平移動(dòng)地設(shè)置。
[0009]優(yōu)選地，所述限位件為止檔柱或止檔壁。
[0010]優(yōu)選地，所述固持機(jī)構(gòu)還包括支撐件。所述支撐件設(shè)置在所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上。所述限位件設(shè)置在所述支撐件上。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述支撐件開設(shè)有缺口及突出部。所述支撐件的突出部及缺口在沿所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)方向上分別設(shè)置在所述支撐件的前端和尾端。所述缺口具有與所述突出部相同的形狀及尺寸。相鄰兩個(gè)支撐件中的一個(gè)支撐件的突出部設(shè)置為延伸至另一個(gè)支撐件的缺口內(nèi)。
[0012]優(yōu)選地，所述限位件包括主體、底端及頂端。所述限位件的底端設(shè)置在所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上。相鄰兩個(gè)限位件的頂端之間的間距設(shè)置為大于所述相鄰兩個(gè)限位件的主體之間的間距。
[0013]優(yōu)選地，所述限位件的主體為圓柱形，所述限位件的底端為圓錐形。
[0014]優(yōu)選地，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為鏈條或鋼帶；所述鏈條包括多個(gè)依次連接的鏈節(jié)。
[0015]優(yōu)選地，所述相鄰兩個(gè)限位件之間的間距與一個(gè)鏈節(jié)長(zhǎng)度相同。
[0016]優(yōu)選地，所述鏈條的鏈節(jié)上設(shè)置有安裝座，所述安裝座沿與所述鏈條的運(yùn)轉(zhuǎn)方向垂直的方向突出設(shè)置；
[0017]所述固持機(jī)構(gòu)還包括支撐件，所述支撐件設(shè)置在所述安裝座上；所述限位件設(shè)置在所述支撐件上。
[0018]優(yōu)選地，所述引線框架浸泡設(shè)備還包括動(dòng)力裝置。所述動(dòng)力裝置設(shè)置為輸出動(dòng)力以驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0019]優(yōu)選地，所述引線框架浸泡設(shè)備還包括上蓋。所述上蓋設(shè)置在所述槽體的槽腔的開口上。所述上蓋的前端開設(shè)有入料口。所述上蓋的尾端開設(shè)有取料口。
[0020]優(yōu)選地，還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一夾持機(jī)械手升降地設(shè)置；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第二夾持機(jī)械手水平移動(dòng)地設(shè)置。
[0021]優(yōu)選地，所述第一夾持機(jī)械手設(shè)置在第一安裝座上，所述第一安裝座可升降地設(shè)置在第二安裝座上；所述第二安裝座可水平移動(dòng)地設(shè)置在支架上。
[0022]優(yōu)選地，所述第一安裝座上設(shè)置有第一導(dǎo)軌，所述第二安裝座套裝在所述第一導(dǎo)軌上，所述第二安裝座可沿所述第一導(dǎo)軌升降地設(shè)置在所述第一導(dǎo)軌上；所述支架上設(shè)置有第二導(dǎo)軌，所述第二安裝座可沿所述第二導(dǎo)軌滑動(dòng)地設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌上；所述第一導(dǎo)軌豎直設(shè)置；所述第二導(dǎo)軌水平設(shè)置。
[0023]優(yōu)選地，所述第二夾持機(jī)械手與所述第一夾持機(jī)械手以相同的方式可升降并可水平移動(dòng)地設(shè)置。
[0024]本發(fā)明提供的引線框架浸泡設(shè)備的固持機(jī)構(gòu)將半導(dǎo)體引線框架維持在豎直位置，也即是半導(dǎo)體引線框架的厚度方向即為化學(xué)浸泡槽的長(zhǎng)度方向或運(yùn)轉(zhuǎn)方向，使得半導(dǎo)體引線框架占用空間小且浸泡時(shí)間長(zhǎng)，從而獲得了較佳的處理效果。使用本發(fā)明，可將引線框架全部浸入化學(xué)處理液內(nèi)，處理效果更好。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1為本發(fā)明的引線框架浸泡設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖2為圖1的第一夾持機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖3為圖1的處理槽的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖4為圖3的引處理槽包括上蓋時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]圖5為圖3中的A處的放大示意圖。
[0030]圖6為圖5中的部分第一限位件設(shè)置在支撐件、鏈節(jié)上的結(jié)構(gòu)示意圖之一。
[0031]圖7為圖6的部分第一限位件設(shè)置在支撐件、鏈節(jié)上的結(jié)構(gòu)示意圖之二。
[0032]圖8為圖6的部分第一限位件設(shè)置在支撐件、鏈節(jié)上的立體分解圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述:
[0034]如圖1至4所示，其為本發(fā)明提供的一種引線框架浸泡設(shè)備100。所述引線框架浸泡設(shè)備100包括所述放料裝置、所述取料裝置及處理槽103。所述引線框架浸泡設(shè)備100包括槽體101、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)110、固持機(jī)構(gòu)120及動(dòng)力裝置130。所述放料裝置包括第一夾持機(jī)械手105。所述第一夾持機(jī)械手105設(shè)置在所述槽體101上方。所述第一夾持機(jī)械手105可升降并可水平移動(dòng)地設(shè)置。所述取料裝置包括第二夾持機(jī)械手107。所述第二夾持機(jī)械手107設(shè)置在所述槽體101上方。所述第二夾持機(jī)械手107可升降并可水平移動(dòng)地設(shè)置。
[0035]如圖2所示，本發(fā)明還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置1051，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置1051驅(qū)動(dòng)所述第一夾持機(jī)械手105升降地設(shè)置。所述第一夾持機(jī)械手105設(shè)置在第一安裝座1052上，所述第一安裝座1052可升降地設(shè)置在第二安裝座1053上。第一驅(qū)動(dòng)裝置1051為氣缸，驅(qū)動(dòng)第一安裝座1052上升及下降。所述第二安裝座1053可水平移動(dòng)地設(shè)置在支架1054上。所述第一安裝座1052上設(shè)置有第一導(dǎo)軌1055，所述第二安裝座1051套裝在所述第一導(dǎo)軌1055上。所述第二安裝座1053可沿所述第一導(dǎo)軌1055升降地設(shè)置在第一導(dǎo)軌1055上。所述支架1054上設(shè)置有第二導(dǎo)軌1056，所述第二安裝座1051可沿所述第二導(dǎo)軌1056滑動(dòng)地設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌1056上；所述第一導(dǎo)軌1055豎直設(shè)置；所述第二導(dǎo)軌1056水平設(shè)置。由于第一夾持機(jī)械手105與第二夾持機(jī)械手107結(jié)構(gòu)可以相同，第二機(jī)械手107可使用相同的結(jié)構(gòu)可升降并可水平移動(dòng)地設(shè)置，在此就不再贅述。
[0036]所述槽體101具有槽腔。所述槽體101的槽腔用于灌裝化學(xué)處理液。在本實(shí)施例中，半導(dǎo)體引線框架通過(guò)化學(xué)處理液的處理能夠便于去除毛刺。所述槽體101可以設(shè)置在長(zhǎng)方體槽?？梢韵氲降氖牵霾垠w101的上方具有開口。
[0037]請(qǐng)一并參閱圖5、圖6及圖7，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)110設(shè)置在所述槽體101內(nèi)。所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)110用于帶動(dòng)引線框架。所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)110可以為鋼帶、皮帶等傳輸帶。在本實(shí)施例中，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)110采用鏈條實(shí)現(xiàn)傳動(dòng)。所述鏈條的數(shù)量只要滿足傳輸要求即可。在本實(shí)施例中，為了平衡受力以便于傳輸，所述鏈條為兩條，且該兩條鏈條平行設(shè)置?？梢韵氲降?