一種紫紅外變像管的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光電變像管，具體是一種集紫外紅外為一體的紫紅外變像管。作為核心部件裝配在夜視儀、探測器、分辨儀上，用于紫外線探測、紅外線探測、指紋鑒別、夜間觀察、科研及刑事案件偵察等。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的紅外變像管(見圖1) 一般由陰極盤1、陰極玻片2、銀氧銫(Ag-O2-Cs)光電陰極3、陰極外筒4、陰極內(nèi)筒5、玻筒6、屏蔽筒7、電極帽8、錐電極9、陽極外筒10、陽極盤U、陽極玻片12、熒光屏13及排氣支管A等組成。其工作原理:當(dāng)紅外(波長760?1200nm)圖像入射到銀氧銫光電陰極面3時，光電陰極將紅外圖像變成電子圖像，經(jīng)過電子光學(xué)系統(tǒng)(電極帽8、錐電極9)，將電子圖像在高壓12KV的電場作用下，進行增強后傳遞到熒光屏13上，熒光屏再將電子圖像轉(zhuǎn)變成光學(xué)圖像，供人眼觀察。
[0003]由于紅外變像管只能對波長為760?1200nm的紅外輻射有響應(yīng)，紫外變像管只能對波長為18(T400nm的紫外輻射有響應(yīng)，它們所裝配的夜視儀器，分別有紅外夜視儀和紫外夜視儀。實際工作中，根據(jù)不同的環(huán)境條件，有時需要使用紫外夜視儀，有時需要使用紅外夜視儀，兩種儀器功能單一，工作時總要帶上兩種儀器。這樣增加了工作人員的負(fù)重，交替使用很不方便，同時兩種儀器的使用成本也高，不符合現(xiàn)代工作的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的主要技術(shù)問題和目的是:根據(jù)紅外變像管存在著不能滿足實際需求的缺陷。在其基礎(chǔ)上進行改進，設(shè)計一種紫外紅外復(fù)合型變像管，從根本上克服紅外變像管功能單一的現(xiàn)象，達(dá)到在不同的環(huán)境條件下，都能滿足使用需求。
[0005]本發(fā)明的主要技術(shù)方案:紫紅外變像管包含陰極盤、陰極外筒、陰極內(nèi)筒、玻筒、屏蔽筒、陽極外筒、陽極盤、陽極玻片、熒光屏、排氣支管，其特征在于:陰極玻片為透紫紅外陰極玻片，電子光學(xué)系統(tǒng)為整體式錐電極，光電陰極為二氧化硅銀氧銫光電陰極，陰極結(jié)構(gòu)由二氧化硅、銀、氧、銫、銀組成，分別蒸鍍在透紫紅外陰極玻片上，制作二氧化硅銀氧銫光電陰極的具體操作:a、安裝陰極玻片，將清洗好的透紫紅外陰極玻片安裝在夾具上，而后連同夾具一起擺放在真空鍍膜機真空腔內(nèi)的蒸鍍位置上，關(guān)閉真空腔；b、鍍制S12膜層，開始抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到1.3?4Pa時,開啟設(shè)備旋轉(zhuǎn)按鈕,使透紫紅外陰極玻片轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速約6?10轉(zhuǎn)/分鐘，開啟蒸發(fā)S12電流按鈕，緩慢調(diào)節(jié)電流，待電流達(dá)到8?1A時，保持2分鐘后，S12膜層厚度達(dá)到90-110nm，停止蒸發(fā)；C、取出陰極玻片，關(guān)閉電流開關(guān)和真空閥門，打開進氣閥門，待真空度為零時，再打開鍍膜機真空腔，取出透紫紅外陰極玻片，進行S12膜層厚度檢測；d、去除陰極盤薄膜，用棉球沾取冰乙酸溶液，將透紫紅外陰極玻片的陰極盤邊緣的薄膜擦去，注意保護好透紫紅外陰極玻片內(nèi)的薄膜第一次蒸銀，將已封接透紫紅外陰極玻片的變像管，通過排氣支管接在真空排氣臺上進行排氣，當(dāng)真空度達(dá)到1.3?4X 1-4Pa時，開始蒸發(fā)銀球，形成覆蓋S12的銀層，待銀層顏色變?yōu)榻瘘S色時，停止蒸銀，通過排氣支管將氧通入一變像管進行高頻氧化；f、第二次蒸銀，接著進行第二次蒸銀，待銀層呈灰黑色時，停止蒸銀，然后通入一銫，當(dāng)光電流不再增大時，停止蒸銫；g、高溫處理，將小烘箱套住變像管，溫度達(dá)到210°C為止，取下小烘箱；h、第三次蒸銀，接著進行第三次蒸銀，當(dāng)光電流達(dá)到第二次蒸銀的約7-8%時，停止蒸銀；1、低溫處理，將小烘箱套住變像管，溫度達(dá)到130°C時，保溫15分鐘，當(dāng)光電流大于5uA時，取下小烘箱，封下變像管。
[0006]本發(fā)明通過實際試用證明:完全達(dá)到研制目的，成功地把波長為180?1400nm的紫紅外輻射圖像轉(zhuǎn)變?yōu)榭梢姷墓鈱W(xué)圖像，將紅外變像管、紫外變像管的功能合二為一，形成了一種紫紅外變像管。主要技術(shù)指標(biāo):光電靈敏度> 4μ A ;中心分辨力> 42.2Lp/mm ;亮度增益彡5 ;背景照度彡12X 1-3LX ;發(fā)現(xiàn)目標(biāo)150m ;識別目標(biāo)10m ;放大率0.74 ;畸變< 10%。本發(fā)明實用性強，達(dá)到國內(nèi)先進水平，相信推廣應(yīng)用后，將會產(chǎn)生較好的經(jīng)濟社會效
Mo
【附圖說明】
[0007]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細(xì)地描述。
[0008]圖1，是紅外變像管的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2，是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖3，是本發(fā)明制作二氧化硅銀氧銫光電陰極的工藝流程圖。
[0011]圖4，是本發(fā)明的透紫紅外陰極玻片鍍制S12膜層的示意圖。
[0012]圖5，是本發(fā)明的制作二氧化硅銀氧銫光電陰極的示意圖。
[0013]圖6，是圖2的二氧化硅銀氧銫光電陰極的結(jié)構(gòu)B放大圖。
【具體實施方式】
[0014]參照圖1、2，本發(fā)明是在紅外變像管的基礎(chǔ)上進行改進完成的，與紅外變像管的結(jié)構(gòu)相比，除銀氧銫光電陰極3、電子光學(xué)系統(tǒng)的電極帽8、錐電極9外完全相同，在加工工藝上，除陰極玻片2的材料和光電陰極的制作外完全相同。
[0015]參照圖1、2，對本發(fā)明的主要技術(shù)方案進行說明:本發(fā)明包含陰極盤1、陰極外筒4、陰極內(nèi)筒5、玻筒6、屏蔽筒7、陽極外筒10、陽極盤11、陽極玻片12、熒光屏13、排氣支管A。所不同的是:陰極玻片為透紫紅外陰極玻片15 (市場購置，牌號TZW，可透過180?1400nm紫紅外輻射)，電子光學(xué)系統(tǒng)為整體式錐電極16，將電極帽8、錐電極9合并為一個零件(見圖2)，光電陰極為二氧化硅銀氧銫(S12-Ag-O2-Cs)光電陰極14，陰極結(jié)構(gòu)(見圖6)由二氧化硅20、銀21、氧22、銫23、銀21組成，分別蒸鍍在透紫紅外陰極玻片15上，制作二氧化硅銀氧銫光電陰極的具體操作(見圖3、4、5):
a、安裝陰極玻片，將清洗好的透紫紅外陰極玻片15安裝在夾具18上，而
后連同夾具一起擺放在真空鍍膜機真空腔內(nèi)的蒸鍍位置上，關(guān)閉真空腔(見圖4)；
設(shè)備:普通真空鍍膜機工具:自制夾具
b、鍍制S12膜層，開始抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到1.3?4Pa時，開