。在具體實(shí)施過(guò)程中，殼體6包括底座I。
[0026]本發(fā)明上述實(shí)施例的晶圓掃描清洗擺臂裝置的使用過(guò)程中，利用噴嘴對(duì)旋轉(zhuǎn)的晶圓進(jìn)行掃描清洗待清洗。由于噴嘴安裝在所述擺臂部件上，能夠繞擺臂部件轉(zhuǎn)動(dòng)，可以方便地調(diào)節(jié)噴嘴對(duì)晶圓的噴射角度。利用擺動(dòng)部件帶動(dòng)所述擺臂部件的擺臂軸轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)擺臂部件的掃描擺動(dòng)。利用升降部件帶動(dòng)所述擺臂部件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，解決傳統(tǒng)擺臂部件只有掃描擺動(dòng)一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，在清洗晶圓時(shí)清洗效果差，可能存在清洗死角的問(wèn)題。
[0027]在上述實(shí)施例晶圓掃描清洗擺臂裝置的具體實(shí)施過(guò)程中，如圖1和圖2所示，所述擺臂部件100還設(shè)置有:
擺臂橫桿23，所述擺臂橫桿23的一端與所述擺臂軸17垂直連接；
噴嘴安裝座20，所述噴嘴安裝座20安裝在所述擺臂橫桿23的另一端，并且能夠繞擺臂橫桿23轉(zhuǎn)動(dòng)；所述噴嘴19安裝在所述噴嘴安裝座20上，噴嘴19與輸送清洗液的接頭21連接。在具體實(shí)施過(guò)程中，噴嘴安裝座20與擺臂橫桿23通過(guò)卡箍22相連。在更有選的實(shí)施例中，擺臂軸17外部還安裝有具有保護(hù)作用的防護(hù)罩18。
[0028]在上述實(shí)施例晶圓掃描清洗擺臂裝置的具體實(shí)施過(guò)程中，如圖1和圖2所示，所述升降部件200包括:
升降電機(jī)4，所述升降電機(jī)4固定在所述殼體6內(nèi)；在具體的實(shí)施例中，升降電機(jī)4安裝在位于殼體內(nèi)的第一中間隔板7上。
[0029]絲杠12，所述絲杠12的一端與所述升降電機(jī)4的電機(jī)軸連接；在具體實(shí)施過(guò)程中，絲杠12與電機(jī)軸通過(guò)8聯(lián)軸器連接。
[0030]絲杠螺母13，所述絲杠螺母13與擺臂軸17連接，并且絲杠螺母13安裝在絲杠12內(nèi)；在具體實(shí)施過(guò)程中，擺臂軸17通過(guò)連接件14與絲杠螺母13相連。
[0031]第一控制件，用于控制所述升降電機(jī)4運(yùn)行或停止。
[0032]在具體實(shí)施過(guò)程中，所述殼體的上部設(shè)置有上撐板15，上撐板15安裝有滑套16，供擺臂軸17滑動(dòng)。
[0033]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述第一控制件包括:
擋環(huán)25，安裝在所述擺臂軸17上；或者安裝在連接件14上。
[0034]第一原點(diǎn)傳感器24，安裝在所述殼體6內(nèi)，位置與所述擋環(huán)25對(duì)應(yīng)，用于感應(yīng)擋環(huán)與第一原點(diǎn)傳感器的位置；第一原點(diǎn)傳感器24與第一驅(qū)動(dòng)板5信號(hào)連接；
第一驅(qū)動(dòng)板5，安裝在所述殼體6內(nèi)，接收第一原點(diǎn)傳感器24的信號(hào)并控制升降電機(jī)4運(yùn)行或停止。第一驅(qū)動(dòng)板5與升降電機(jī)4電連接。
[0035]在上述實(shí)施例晶圓掃描清洗擺臂裝置的具體實(shí)施過(guò)程中，如圖1和圖2所示，所述擺動(dòng)部件300包括:
護(hù)管11，所述護(hù)管11套在所述絲杠12外部，護(hù)管11的一端與絲杠螺母13連接；
減速部件，用于驅(qū)動(dòng)所述護(hù)管11沿護(hù)管軸轉(zhuǎn)動(dòng)；
擺動(dòng)電機(jī)3，所述擺動(dòng)電機(jī)3固定在所述殼體6內(nèi)，用于驅(qū)動(dòng)所述減速部件；在具體的實(shí)施例中，擺動(dòng)電機(jī)3安裝在位于殼體內(nèi)的第一中間隔板7上。
[0036]第二控制件，用于控制所述擺動(dòng)電機(jī)3運(yùn)行或停止。
[0037]在上述實(shí)施例晶圓掃描清洗擺臂裝置一種實(shí)施例中，如圖1和圖2所示，所述減速部件包括:
第一帶輪34，安裝在所述擺動(dòng)電機(jī)3的轉(zhuǎn)軸上；
兩端分別連接第二帶輪32和第三帶輪27的傳動(dòng)件；所述傳動(dòng)件包括帶座軸承30和傳動(dòng)軸31 ;所述帶座軸承30固定在所述殼體6內(nèi)，所述傳動(dòng)軸31安裝在所述帶座軸承30。在具體的實(shí)施例中，帶座軸承30安裝在位于殼體6內(nèi)的第二中間隔板9上。第二中間隔板9位于第一中間隔板7的上方。
[0038]第四帶輪10，用于驅(qū)動(dòng)所述護(hù)管11轉(zhuǎn)動(dòng)；在一種具體實(shí)施過(guò)程中，護(hù)管11外壁設(shè)置有卡件，與第四帶輪10的卡槽對(duì)應(yīng)連接。
[0039]第一同步帶33，連接所述第一帶輪34和第二帶輪32 ；
第二同步帶26，連接所述第三帶輪27和第四帶輪10 ;
所述第一帶輪34的直徑小于第二帶輪32，第三帶輪27的直徑小于第四帶輪10。
[0040]在優(yōu)選的實(shí)施例中，所述第二控制件包括:
擋片28，安裝在所述護(hù)管11上；
第二原點(diǎn)傳感器29，安裝在所述殼體6內(nèi)，位置與所述擋片28對(duì)應(yīng)，用于感應(yīng)擋片與第二原點(diǎn)傳感器的位置；第二原點(diǎn)傳感器29與第二驅(qū)動(dòng)板2信號(hào)連接；
第二驅(qū)動(dòng)板2，安裝在所述殼體6內(nèi)，接收第二原點(diǎn)傳感器29的信號(hào)并控制擺動(dòng)電機(jī)3運(yùn)行或停止。第二驅(qū)動(dòng)板2與擺動(dòng)電機(jī)3電連接。
[0041]在上述實(shí)施例晶圓掃描清洗擺臂裝置的具體實(shí)施過(guò)程中，還包括外側(cè)護(hù)板35、36，所述外側(cè)護(hù)板安裝在所述殼體外。外側(cè)護(hù)板使掃描清洗擺臂裝置內(nèi)的升降部件、擺動(dòng)部件、電氣控制件等處在一個(gè)密閉的環(huán)境內(nèi)，起到保護(hù)的作用。
[0042]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，包括: 擺臂部件，所述擺臂部件設(shè)置有擺臂軸； 噴嘴，所述噴嘴安裝在所述擺臂部件上，能夠繞擺臂部件轉(zhuǎn)動(dòng)； 升降部件，用于帶動(dòng)所述擺臂部件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)； 擺動(dòng)部件，用于帶動(dòng)所述擺臂部件的擺臂軸轉(zhuǎn)動(dòng)； 殼體，用于安裝所述擺臂部件、升降部件和擺動(dòng)部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，所述擺臂部件還設(shè)置有: 擺臂橫桿，所述擺臂橫桿的一端與所述擺臂軸垂直連接； 噴嘴安裝座，所述噴嘴安裝座安裝在所述擺臂橫桿的另一端，并且能夠繞擺臂橫桿轉(zhuǎn)動(dòng)；所述噴嘴安裝在所述噴嘴安裝座上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，所述升降部件包括: 升降電機(jī)，所述升降電機(jī)固定在所述殼體內(nèi)； 絲杠，所述絲杠的一端與所述升降電機(jī)的電機(jī)軸連接； 絲杠螺母，所述絲杠螺母與擺臂軸連接，并且絲杠螺母安裝在絲杠內(nèi)； 第一控制件，用于控制所述升降電機(jī)運(yùn)行或停止。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，所述第一控制件包括: 擋環(huán)，安裝在所述擺臂軸上； 第一原點(diǎn)傳感器，安裝在所述殼體內(nèi)，位置與所述擋環(huán)對(duì)應(yīng)，用于感應(yīng)擋環(huán)與第一原點(diǎn)傳感器的位置； 第一驅(qū)動(dòng)板，安裝在所述殼體內(nèi)，接收第一原點(diǎn)傳感器的信號(hào)并控制升降電機(jī)運(yùn)行或停止。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，所述擺動(dòng)部件包括: 護(hù)管，所述護(hù)管套在所述絲杠外部，護(hù)管的一端與絲杠螺母連接； 減速部件，用于驅(qū)動(dòng)所述護(hù)管沿護(hù)管軸轉(zhuǎn)動(dòng)； 擺動(dòng)電機(jī)，所述擺動(dòng)電機(jī)固定在所述殼體內(nèi)，用于驅(qū)動(dòng)所述減速部件； 第二控制件，用于控制所述擺動(dòng)電機(jī)運(yùn)行或停止。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，所述減速部件包括: 第一帶輪，安裝在所述擺動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上； 兩端分別連接第二帶輪和第三帶輪的傳動(dòng)件； 第四帶輪，用于驅(qū)動(dòng)所述護(hù)管轉(zhuǎn)動(dòng)； 第一同步帶，連接所述第一帶輪和第二帶輪； 第二同步帶，連接所述第三帶輪和第四帶輪； 所述第一帶輪的直徑小于第二帶輪，第三帶輪的直徑小于第四帶輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)件包括帶座軸承和傳動(dòng)軸；所述帶座軸承固定在所述殼體內(nèi)，所述傳動(dòng)軸安裝在所述帶座軸承。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，所述第二控制件包括: 擋片，安裝在所述護(hù)管上； 第二原點(diǎn)傳感器，安裝在所述殼體內(nèi)，位置與所述擋片對(duì)應(yīng)，用于感應(yīng)擋片與第二原點(diǎn)傳感器的位置； 第二驅(qū)動(dòng)板，安裝在所述殼體內(nèi)，接收第二原點(diǎn)傳感器的信號(hào)并控制擺動(dòng)電機(jī)運(yùn)行或停止。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓掃描清洗擺臂裝置，其特征在于，還包括外側(cè)護(hù)板，所述外側(cè)護(hù)板安裝在所述殼體外。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種晶圓掃描清洗擺臂裝置，該晶圓掃描清洗擺臂裝置包括：擺臂部件，所述擺臂部件設(shè)置有擺臂軸；噴嘴，所述噴嘴安裝在所述擺臂部件上，能夠繞擺臂部件轉(zhuǎn)動(dòng)；升降部件，用于帶動(dòng)所述擺臂部件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)；擺動(dòng)部件，用于帶動(dòng)所述擺臂部件的擺臂軸轉(zhuǎn)動(dòng)；殼體，用于安裝所述擺臂部件、升降部件和擺動(dòng)部件。由于噴嘴安裝在所述擺臂部件上，能夠繞擺臂部件轉(zhuǎn)動(dòng)，可以方便地調(diào)節(jié)噴嘴對(duì)晶圓的噴射角度。利用擺動(dòng)部件帶動(dòng)所述擺臂部件的擺臂軸轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)擺臂部件的掃描擺動(dòng)。利用升降部件帶動(dòng)所述擺臂部件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，不具有傳統(tǒng)擺臂部件只有掃描擺動(dòng)一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，在清洗晶圓時(shí)清洗效果差，可能存在清洗死角的問(wèn)題。
【IPC分類】H01L21-02, H01L21-67
【公開(kāi)號(hào)】CN104810310
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510207442
【發(fā)明人】劉永進(jìn), 宋文超, 劉玉倩, 陳仲武, 姚立新
【申請(qǐng)人】中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所
【公開(kāi)日】2015年7月29日
【申請(qǐng)日】2015年4月28日