本實(shí)用新型涉及一種基板移送裝置及包括其的基板處理系統(tǒng)，更為具體地涉及一種基板移送裝置及包括其的基板處理系統(tǒng)，所述基板移送裝置在基板以懸浮的狀態(tài)移動(dòng)的期間，能夠使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持平坦。

背景技術(shù)：

在制造LCD等平板顯示器的工藝中，伴隨著在由玻璃等制作的被處理基板的表面涂覆抗蝕劑液等藥液的涂布(coating)工藝。在LCD的尺寸小的現(xiàn)有技術(shù)中使用了旋轉(zhuǎn)涂布方法，所述旋轉(zhuǎn)涂布方法在被處理基板的中央部涂覆藥液的同時(shí)，使得被處理基板旋轉(zhuǎn)，據(jù)此將藥液涂覆于被處理基板的表面。

但是，隨著LCD畫面的尺寸大型化，旋轉(zhuǎn)涂布方式幾乎不被使用，并且正使用如下方式的涂布方法：使得具有與被處理基板的寬度相對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的狹縫(slit)形態(tài)的狹縫噴嘴和被處理基板相對(duì)移動(dòng)，同時(shí)從狹縫噴嘴將藥液涂覆于被處理基板的表面。

最近，作為一種在所規(guī)定的時(shí)間內(nèi)將藥液涂布于更多數(shù)量的被處理基板的表面的方法的部分，在日本公開專利公報(bào)第2005-243670號(hào)公開一種如下形式的技術(shù)：設(shè)置有懸浮平臺(tái)，所述懸浮平臺(tái)通過沿著基板被搬入并涂覆且搬出的方向噴出空氣來使得基板懸浮，在其兩側(cè)設(shè)置有由吸附墊等形成的基板排出裝置，通過停止?fàn)顟B(tài)的狹縫噴嘴來將藥液供給于連續(xù)被供給的被處理基板的表面并進(jìn)行涂布。

另外，在懸浮式基板涂層器(coater)裝置中，在基板被移送的期間，如果基板的懸浮高度不一致或者部分產(chǎn)生下垂，則問題在于，藥液難以以一致的高度涂覆于基板的表面，并且由于藥液的不均勻涂覆而產(chǎn)生污點(diǎn)，因此在基板被移送的期間，基板的懸浮高度應(yīng)該能夠保持一致且穩(wěn)定。

但是，在現(xiàn)有懸浮式基板涂層器裝置中，存在的問題在于，在懸浮力作用于基板的期間，難以使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定，并且由于基板的懸浮高度偏差而產(chǎn)生無法均勻地涂覆藥液的現(xiàn)象。

特別是，在現(xiàn)有技術(shù)中問題在于，如果在基板的懸浮高度和吸附于基板側(cè)邊的吸附墊的配置高度間產(chǎn)生高度偏差，則難以使得基板以一致的高度整體懸浮，據(jù)此存在的問題在于，在藥液被涂覆的地點(diǎn)(狹縫噴嘴的下部)狹縫噴嘴和基板之間的間距無法保持一致，從而藥液難以以均勻的厚度涂覆于基板的表面。

據(jù)此，最近進(jìn)行用于使得基板的懸浮高度保持一致并均勻地涂覆藥液的多種研究，但是仍然存在不足，從而要求對(duì)此的開發(fā)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于，提供一種基板移送裝置及包括其的基板處理系統(tǒng)，其能夠使得基板的懸浮高度保持一致，并且能夠以不晃動(dòng)的狀態(tài)使得基板穩(wěn)定地懸浮。

特別是，本實(shí)用新型的目的在于，對(duì)基板與使得基板移送的移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，從而能夠以一致的高度使得基板懸浮。

此外，本實(shí)用新型的目的在于，在不對(duì)結(jié)構(gòu)變更進(jìn)行變更或者不增加另外的設(shè)備的狀態(tài)下，可補(bǔ)償相對(duì)于基板的懸浮高度的移送部件的高度偏差。

此外，本實(shí)用新型的目的在于，可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，并且能夠有助于設(shè)備的小型化。

此外，本實(shí)用新型的目的在于，提供一種基板處理裝置，其在將藥液涂覆于基板的過程中，均勻地涂覆藥液，從而可抑制污點(diǎn)的產(chǎn)生。

此外，本實(shí)用新型的目的在于，可形成高品質(zhì)的藥液涂覆層，并且能夠提高收率。

根據(jù)用于實(shí)現(xiàn)如上所述的本實(shí)用新型的目的的本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，對(duì)進(jìn)行藥液涂覆工藝處理的基板進(jìn)行移送的基板移送裝置包括：振動(dòng)板，其利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來使得基板懸?。灰扑筒考?，其使得通過振動(dòng)板懸浮的基板移送；偏差補(bǔ)償部，其對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償。

其目的在于，當(dāng)基板以懸浮的狀態(tài)移動(dòng)的期間，使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持平坦。

特別是，本實(shí)用新型中，利用偏差補(bǔ)償部來對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，據(jù)此可得到的有利效果在于，使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定。

換句話說，如果懸浮的基板和移送部件之間產(chǎn)生高度偏差，例如，如果移送部件的上面(吸附基板的面)的高度比懸浮的基板的底面高，則問題在于，被移送部件抓握(吸附)的基板的邊緣部的高度部分地變高。相反，如果移送部件的上面高度比懸浮的基板的底面低，則問題在于，被移送部件抓握(吸附)的基板的邊緣部的高度部分地變低。

由此，本實(shí)用新型中，利用偏差補(bǔ)償部來對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，據(jù)此可得到的有利效果在于，在沒有基板的部分的高度變化的狀態(tài)下使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定。

尤其，當(dāng)基板以懸浮于振動(dòng)板的上部的狀態(tài)(以一致的高度懸浮的狀態(tài))被移送的期間，使得藥液涂覆于基板的表面，據(jù)此可得到的效果在于，以一致的厚度將藥液涂覆于基板的表面，當(dāng)基板以懸浮于振動(dòng)板的上部的狀態(tài)(以一致的高度懸浮的狀態(tài))被移送的期間，使得基板被加熱，并且使得涂覆于基板的藥液得到干燥，據(jù)此可得到的有利效果在于，均勻地對(duì)涂覆于基板的藥液進(jìn)行干燥。

偏差補(bǔ)償部可設(shè)置為能夠?qū)腋〉幕搴鸵扑筒考g的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償?shù)亩喾N結(jié)構(gòu)。

更為具體地，偏差補(bǔ)償部包括：測(cè)量部，其對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行測(cè)量；高度調(diào)節(jié)部，其根據(jù)在測(cè)量部測(cè)量的結(jié)果對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的相對(duì)高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

例如，偏差補(bǔ)償部包括：空氣軸承部件，其結(jié)合于移送部件，并且沿著移送軌道直線移動(dòng)，所述移送軌道沿著基板的移送路徑配置；氣體供給部，其供給用于在空氣軸承部件和移送軌道之間形成氣體潤(rùn)滑層的氣體，高度調(diào)節(jié)部對(duì)從氣體供給部供給的氣體的供給壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)相對(duì)于移送軌道的空氣軸承部件的懸浮高度，因此隨著相對(duì)于移送軌道的空氣軸承部件的懸浮高度變化，相對(duì)于基板的移送部件的高度得到調(diào)節(jié)。

如上所述，對(duì)向空氣軸承部件供給的氣體的供給壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)相對(duì)于基板的移送部件的高度，據(jù)此可得到的有利效果在于，準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于基板的移送部件的高度。

換句話說，也可以通過利用移送螺桿或者齒輪等的機(jī)械式調(diào)節(jié)來對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。但是，在機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)方式中，不可避免地產(chǎn)生由于間隙(BACKLASH)等而引起的誤差，因此存在的問題在于，難以準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于基板的移送部件的高度。特別是，在通過超聲波振動(dòng)能使得基板懸浮的方式中，基板以非常微小的高度(30～50μm)懸浮，并且相對(duì)于基板的移送部件的高度調(diào)節(jié)也在非常微小的范圍(例如，2～5μm)內(nèi)實(shí)現(xiàn)，但是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)方式存在的問題在于，難以微小地調(diào)節(jié)移送部件的高度。但是，本實(shí)用新型中，不是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)，而是通過可調(diào)節(jié)微小壓力的空氣壓力控制來對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利效果在于，更加準(zhǔn)確且微小地對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

并且，基板移送部包括：吸入孔，其形成于與基板相面對(duì)的移送部件(例如，移送部件的上面)；吸入壓形成部，其在吸入孔形成吸入壓，以便基板吸附固定于移送部件。如上所述，如果通過吸入壓形成部向吸入孔施加吸入壓，則基板可通過吸附基板表面的吸入壓(負(fù)壓)固定于移送部件。

作為另外的一個(gè)例子，偏差補(bǔ)償部包括：吸入孔，其形成于移送部件；吸入壓形成部，其在吸入孔形成吸入壓，以便基板吸附固定于移送部件，高度調(diào)節(jié)部對(duì)通過吸入壓形成部形成于吸入孔的吸入壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，并且根據(jù)吸入壓的變化來調(diào)節(jié)相對(duì)于移送部件的基板的吸附高度。

如上所述，不是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)，而是通過可調(diào)節(jié)微小壓力的空氣壓力控制(吸入壓控制)來對(duì)相對(duì)于移送部件的基板的吸附高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利效果在于，更加準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于移送部件的基板的高度。

根據(jù)本實(shí)用新型的優(yōu)選的其他領(lǐng)域，對(duì)被處理基板進(jìn)行藥液涂覆工藝處理的基板處理系統(tǒng)包括：基板移送部，其包括振動(dòng)板、移送部件、偏差補(bǔ)償部，所述振動(dòng)板利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來使得基板懸浮，所述移送部件使得通過振動(dòng)板懸浮的基板移送，所述偏差補(bǔ)償部對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償；藥液涂覆單元，其將藥液涂覆于基板的表面；加熱干燥單元，其通過加熱基板來使得藥液干燥。

如上所述，利用偏差補(bǔ)償部來對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，據(jù)此可得到的有利效果在于，在沒有基板的部分的高度變化的狀態(tài)下，使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定。

更為具體地，基板移送部包括：裝載移送部，基板裝載于所述裝載移送部；處理(processing)移送部，其用于在基板的表面涂覆藥液；卸載移送部，涂覆有藥液的基板卸載于所述卸載移送部，振動(dòng)板設(shè)置于裝載移送部、處理移送部、卸載移送部中至少任意一個(gè)。

優(yōu)選地，藥液涂覆單元配置于所述振動(dòng)板的上部，當(dāng)基板經(jīng)過振動(dòng)板和藥液涂覆單元之間的期間，使得藥液涂覆單元和基板的間距保持一定，據(jù)此可得到的有利效果在于，以一致的厚度將藥液涂覆于基板的表面。此外，加熱干燥單元配置于振動(dòng)板的上部，當(dāng)基板經(jīng)過振動(dòng)板和加熱干燥單元之間的期間，使得加熱干燥單元和基板的間距保持一定，據(jù)此可得到的有利效果在于，均勻地對(duì)涂覆于基板的藥液進(jìn)行干燥。

偏差補(bǔ)償部可設(shè)置為能夠?qū)腋〉幕搴鸵扑筒考g的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償?shù)亩喾N結(jié)構(gòu)。

更為具體地，偏差補(bǔ)償部包括：測(cè)量部，其對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行測(cè)量；高度調(diào)節(jié)部，其根據(jù)在測(cè)量部測(cè)量的結(jié)果來調(diào)節(jié)相對(duì)于基板的移送部件的相對(duì)高度。

例如，偏差補(bǔ)償部包括：空氣軸承部件，其結(jié)合于移送部件，并且沿著移送軌道進(jìn)行直線移動(dòng)，所述移送軌道沿著基板的移送路徑配置；氣體供給部，其供給用于在空氣軸承部件和移送軌道之間形成氣體潤(rùn)滑層的氣體，高度調(diào)節(jié)部對(duì)從氣體供給部供給的氣體的供給壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)相對(duì)于移送軌道的空氣軸承部件的懸浮高度，因此隨著相對(duì)于移送軌道的空氣軸承部件的懸浮高度變化，相對(duì)于基板的移送部件的高度得到調(diào)節(jié)。

如上所述，對(duì)向空氣軸承部件供給的氣體的供給壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)相對(duì)于基板的移送部件的高度，據(jù)此可得到的有利效果在于，準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于基板的移送部件的高度。

作為另外的一個(gè)例子，偏差補(bǔ)償部包括：吸入孔，其形成于移送部件；吸入壓形成部，其在吸入孔形成吸入壓，以便基板吸附固定于移送部件，高度調(diào)節(jié)部對(duì)通過吸入壓形成部形成于吸入孔的吸入壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，并且根據(jù)吸入壓的變化來調(diào)節(jié)相對(duì)于移送部件的基板的吸附高度。

如上所述，不是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)，而是通過可調(diào)節(jié)微小壓力的空氣壓力控制(吸入壓控制)來對(duì)相對(duì)于移送部件的基板的吸附高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利效果在于，更加準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于移送部件的基板的高度。

本說明書及專利權(quán)利要求書中記載的懸浮的基板和移送部件之間的“高度偏差”或者與此類似的術(shù)語定義為，在移送部件與基板相接觸(固定)的接觸面和懸浮的基板之間的高度差異。更為具體地，在基板吸附于移送部件的上面的結(jié)構(gòu)中，懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差定義為，移送部件的上面和懸浮的基板的底面之間的距離(高度)差異。

本說明書及專利權(quán)利要求書中記載的所謂的對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的相對(duì)高度進(jìn)行調(diào)節(jié)指的是，高度調(diào)節(jié)部相對(duì)于基板對(duì)移送部件的高度調(diào)節(jié)，或定義為將相對(duì)于基板對(duì)移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)的方式全部包括在內(nèi)。

如上所述，根據(jù)本實(shí)用新型可得到的效果在于，當(dāng)基板以懸浮的狀態(tài)移動(dòng)的期間，使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持平坦。

特別是，根據(jù)本實(shí)用新型，利用偏差補(bǔ)償部來對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，據(jù)此可得到的有利效果在于，使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定。

換句話說，如果懸浮的基板和移送部件之間產(chǎn)生高度偏差，例如，如果移送部件的上面(吸附基板的面)的高度比懸浮的基板的底面高，則存在的問題在于，被移送部件抓握(吸附)的基板的邊緣部的高度部分地變高。相反，如果移送部件的上面高度比懸浮的基板的底面低，則存在的問題在于，被移送部件抓握(吸附)的基板的邊緣部的高度部分地變低。

但是，根據(jù)本實(shí)用新型，利用偏差補(bǔ)償部來對(duì)懸浮的基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，據(jù)此可得到的有利效果在于，在沒有基板的部分的高度變化的狀態(tài)下使得基板的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定。

尤其，根據(jù)本實(shí)用新型，當(dāng)基板以懸浮于振動(dòng)板的上部的狀態(tài)(以一致的高度懸浮的狀態(tài))被移送的期間，使得藥液涂覆于基板的表面，據(jù)此可得到的有利效果在于，以一致的厚度將藥液涂覆于基板的表面，當(dāng)基板以懸浮于振動(dòng)板的上部的狀態(tài)(以一致的高度懸浮的狀態(tài))被移送的期間，使得基板被加熱，并且使得涂覆于基板的藥液得到干燥，據(jù)此可得到的有利效果在于，均勻地對(duì)涂覆于基板的藥液進(jìn)行干燥。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，不是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)，而是通過可調(diào)節(jié)微小壓力的空氣壓力控制來對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利效果在于，更加準(zhǔn)確且微小地對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

換句話說，也可以通過利用移送螺桿或者齒輪等的機(jī)械式調(diào)節(jié)來對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。但是，在機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)方式中，不可避免地產(chǎn)生由于間隙(BACKLASH)等而引起的誤差，因此存在的問題在于，難以準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于基板的移送部件的高度。特別是，在通過超聲波振動(dòng)能使得基板懸浮的方式中，基板以非常微小的高度(30～50μm)懸浮，并且相對(duì)于基板的移送部件的高度調(diào)節(jié)也在非常微小的范圍(例如，2～5μm)內(nèi)實(shí)現(xiàn)，但是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)方式存在的問題在于，難以微小地調(diào)節(jié)移送部件的高度。但是，本實(shí)用新型中，不是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)，而是通過可調(diào)節(jié)微小壓力的空氣壓力控制來對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利效果在于，更加準(zhǔn)確且微小地對(duì)相對(duì)于基板的移送部件的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型，為了對(duì)基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，不對(duì)結(jié)構(gòu)變更進(jìn)行變更或者不增加另外的復(fù)雜設(shè)備，并且為了使得基板移送而對(duì)已設(shè)置的吸入壓形成部及氣體供給部進(jìn)行控制，據(jù)此可得到的有利效果在于，對(duì)相對(duì)于基板的懸浮高度的移送部件的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償。由此，可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，并且能夠有助于設(shè)備的小型化。

此外，根據(jù)本實(shí)用新型可得到的有利效果在于，可形成高品質(zhì)的藥液涂覆層，并且能夠提高收率。

附圖說明

圖1是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的基板處理系統(tǒng)的圖，

圖2及圖3是用于說明圖1的基板移送部的圖，

圖4及圖5是用于說明通過圖1的高度調(diào)節(jié)部對(duì)高度進(jìn)行調(diào)節(jié)的過程的圖，

圖6至圖8是作為根據(jù)本實(shí)用新型的基板處理系統(tǒng)，用于對(duì)偏差補(bǔ)償部的變形例進(jìn)行說明的圖，

圖9是用于說明設(shè)置于圖1的加熱干燥單元上的基板移送部的圖，

圖10是用于說明圖1的基板移送部的變形例的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型并非受到實(shí)施例的限制或限定。作為參考，在本說明中相同的標(biāo)號(hào)實(shí)質(zhì)上指稱相同的要素，在所述的規(guī)則下，可以引用記載于其他圖的內(nèi)容來進(jìn)行說明，并且可省略判斷為對(duì)于從業(yè)者顯而易見的或反復(fù)的內(nèi)容。

圖1是用于說明根據(jù)本實(shí)用新型的基板處理系統(tǒng)的圖，圖2及圖3是用于說明圖1的基板移送部的圖，圖4及圖5是用于說明通過圖1的高度調(diào)節(jié)部對(duì)高度進(jìn)行調(diào)節(jié)的過程的圖。此外，圖6至圖8是作為根據(jù)本實(shí)用新型的基板處理系統(tǒng)，用于對(duì)偏差補(bǔ)償部的變形例進(jìn)行說明的圖，圖9是用于說明設(shè)置于圖1的加熱干燥單元上的基板移送部的圖。并且，圖10是用于說明圖1的基板移送部的變形例的圖。

參照?qǐng)D1至圖9，根據(jù)本實(shí)用新型的對(duì)被處理基板10進(jìn)行藥液涂覆工藝處理的基板處理系統(tǒng)1包括：基板移送部100，其包括振動(dòng)板110、移送部件120、120’、偏差補(bǔ)償部130，所述振動(dòng)板110利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來使得基板10懸浮，所述移送部件120、120’使得通過振動(dòng)板110懸浮的基板10移送，所述偏差補(bǔ)償部130對(duì)懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差(圖4的H1)進(jìn)行補(bǔ)償；藥液涂覆單元300，其將藥液涂覆于基板10的表面；加熱干燥單元，其通過加熱基板10來使得藥液干燥。

基板移送部100包括：振動(dòng)板110，其利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來使得基板10懸??；移送部件120、120’，其使得通過振動(dòng)板110懸浮的基板10移送。

例如，基板移送部100包括多個(gè)振動(dòng)板110，所述多個(gè)振動(dòng)板110以相互隔開地配置的形式獨(dú)立地被分割。

在此，所謂的多個(gè)振動(dòng)板110獨(dú)立地被分割指的是，多個(gè)振動(dòng)板110相互隔開地配置，通過多個(gè)振動(dòng)板110而產(chǎn)生的懸浮力分別個(gè)別地作用于基板10。

以下，舉例說明如下構(gòu)成：基板移送部100包括裝載移送部102、處理移送部104、卸載移送部106，基板10裝載于所述裝載移送部102，所述處理移送部104用于在基板10的表面涂覆藥液，涂覆有藥液的基板10卸載于所述卸載移送部106。

作為參考，在清洗處理單元完成清洗工藝的基板10沿著裝載移送部102向處理移送部104移送，并且在移送至處理移送部104的基板10的表面涂覆藥液。此后，在涂覆有藥液的基板10沿著卸載移送部106被移送的期間，隨著通過加熱干燥單元進(jìn)行的加熱，藥液得到干燥。

更為具體地，參照?qǐng)D1及圖2，裝載移送部102包括相互隔開地配置的多個(gè)振動(dòng)板110。

例如，多個(gè)振動(dòng)板110沿著基板10的移送路徑以間隔規(guī)定間距的形式相互隔開地配置，利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來相互協(xié)助地使得基板10懸浮。

在此，所謂的基板10懸浮指的是，基板10在振動(dòng)板110的上部以間隔規(guī)定間距的形式懸浮于空中的狀態(tài)。

并且，所謂的多個(gè)振動(dòng)板110相互協(xié)助地使得基板10懸浮指的是，通過至少兩個(gè)以上的振動(dòng)板110而產(chǎn)生的懸浮力同時(shí)作用于基板10。根據(jù)情況的不同，裝載移送部也可以僅由一個(gè)振動(dòng)板構(gòu)成。

振動(dòng)板110可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式形成為多種形態(tài)及尺寸，本實(shí)用新型并非受到振動(dòng)板110的形態(tài)及尺寸的限制或限定。

例如，多個(gè)振動(dòng)板110以相互相同的四角板形狀及尺寸形成，并且以間隔規(guī)定間距的形式隔開地配置，在每個(gè)振動(dòng)板110的底面安裝有一個(gè)振動(dòng)器，所述振動(dòng)器通過產(chǎn)生超聲波來使得振動(dòng)板110振動(dòng)。

如上所述，各個(gè)振動(dòng)板110分別僅通過一個(gè)振動(dòng)器個(gè)別地得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利效果在于，準(zhǔn)確地控制各個(gè)振動(dòng)板110的懸浮力。當(dāng)然，雖也可以將多個(gè)振動(dòng)器安裝于一個(gè)振動(dòng)板110，但是具有如下問題：若多個(gè)振動(dòng)信號(hào)被輸入至一個(gè)振動(dòng)板110，則因?yàn)橄嗷ゲ煌恼駝?dòng)信號(hào)間的干涉，所以難以準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)通過振動(dòng)板110而產(chǎn)生的懸浮力。但是，在本實(shí)用新型中，各個(gè)振動(dòng)板110僅通過一個(gè)振動(dòng)器來得到振動(dòng)，據(jù)此，可得到的有利的效果在于，在振動(dòng)信號(hào)不被歪曲及干擾的狀態(tài)下，準(zhǔn)確地控制懸浮力。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中舉例說明了多個(gè)振動(dòng)板110以相互相同的形態(tài)及尺寸形成，但是，根據(jù)不同的情況，也可將多個(gè)振動(dòng)板形成為相互不同的形態(tài)及尺寸。

并且，多個(gè)振動(dòng)板110可以沿著基板10的移送路徑以一維(one-dimension)或二維(two dimension)的形式隔開地配置。

具體地，多個(gè)振動(dòng)板110能夠以具有1*n₁(在此n₁是自然數(shù))的一維排列的形式配置，或者以具有(n₂+1)*(n₂+1)(在此，n₂是1以上(n₂≥1)的自然數(shù))的二維排列的形式配置。此時(shí)，多個(gè)振動(dòng)板110的行(基板被移送的方向)與列(與基板被移送的方向垂直的方向)的個(gè)數(shù)可根據(jù)振動(dòng)板110的尺寸以及設(shè)計(jì)樣式進(jìn)行多種變更。根據(jù)不同的情況，多個(gè)振動(dòng)板可配置為其他不同的排列，并且本實(shí)用新型并非受到振動(dòng)板的排列的限制或限定。

再次，參照?qǐng)D1及圖2，處理移送部104包括至少一個(gè)以上的振動(dòng)板110。

振動(dòng)板110配置于藥液涂覆單元300的下部，并且利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來使得基板10懸浮。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中舉例說明了處理移送部104僅由一個(gè)振動(dòng)板110構(gòu)成，但是根據(jù)不同的情況，處理移送部也可以構(gòu)成為包括多個(gè)振動(dòng)板，所述多個(gè)振動(dòng)板以間隔規(guī)定間距的形式相互隔開地被分割。

振動(dòng)板110可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式形成為具有多種形態(tài)及尺寸，本實(shí)用新型并非受到振動(dòng)板110的形態(tài)及尺寸的限制或限定。

例如，振動(dòng)板110以四角板形狀形成，在振動(dòng)板110的底面安裝有振動(dòng)器，所述振動(dòng)器通過產(chǎn)生超聲波來使得振動(dòng)板110振動(dòng)。

此外，參照?qǐng)D9，卸載移送部106包括相互隔開地配置的多個(gè)振動(dòng)板110。

例如，多個(gè)振動(dòng)板110沿著基板10的移送路徑以間隔規(guī)定間距的形式相互隔開地配置，并且利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來相互協(xié)助地使得基板10懸浮。懸浮于振動(dòng)板110上部的基板10通過移送部件120、120’被移送，所述移送部件120、120’沿著移送軌道120a直線移動(dòng)。

并且，所謂的多個(gè)振動(dòng)板110相互協(xié)助地使得基板10懸浮指的是，通過至少兩個(gè)以上的振動(dòng)板110而產(chǎn)生的懸浮力同時(shí)作用于基板10。

振動(dòng)板110可根據(jù)所需的條件及設(shè)計(jì)樣式形成為具有多種形態(tài)及尺寸，本實(shí)用新型并非受到振動(dòng)板110的形態(tài)及尺寸的限制或限定。

例如，多個(gè)振動(dòng)板110以相互相同的四角板形狀及尺寸形成，并且以間隔規(guī)定間距的形式隔開地配置，在每個(gè)振動(dòng)板110的底面安裝有一個(gè)振動(dòng)器，所述振動(dòng)器通過產(chǎn)生超聲波來使得振動(dòng)板110振動(dòng)。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中舉例說明了多個(gè)振動(dòng)板110以相互相同的形態(tài)及尺寸形成，但是，根據(jù)不同的情況，也可將多個(gè)振動(dòng)板形成為相互不同的形態(tài)及尺寸。

并且，多個(gè)振動(dòng)板110可以沿著基板10的移送路徑以一維(one-dimension)或二維(two dimension)的形式隔開地配置。

具體地，多個(gè)振動(dòng)板110能夠以具有1*n₁(在此n₁是自然數(shù))的一維排列的形式配置，或者以具有(n₂+1)*(n₂+1)(在此，n₂是1以上(n₂≥1)的自然數(shù))的二維排列的形式配置。此時(shí)，多個(gè)振動(dòng)板110的行(基板被移送的方向)與列(與基板被移送的方向垂直的方向)的個(gè)數(shù)可根據(jù)振動(dòng)板110的尺寸以及設(shè)計(jì)樣式進(jìn)行多種變更。根據(jù)不同的情況，多個(gè)振動(dòng)板可配置為其他不同的排列，并且本實(shí)用新型并非受到振動(dòng)板的排列的限制或限定。

移送部件120、120’是為了使得通過振動(dòng)板110而懸浮的基板10沿著預(yù)先設(shè)定的移送路徑移送而設(shè)置的。

在此，所謂的移送部件120、120’使得基板10移送指的是，移送部件120、120’沿著預(yù)先設(shè)定的基板10的移送路徑移動(dòng)，據(jù)此連接(固定或者附著)于移送部件120、120’的基板10與移送部件120、120’一起移動(dòng)。

例如，懸浮于振動(dòng)板110上部的基板10以吸附于沿著移送軌道120a直線移動(dòng)的移送部件120、120’的狀態(tài)被移送。此時(shí)，移送軌道120a以交替的形式排列有N極與S極的永久磁鐵，并且可用通過施加于移送部件120、120’的線圈的電流控制而可進(jìn)行精確的位置控制的線性馬達(dá)的原理來使得移送部件120、120’移動(dòng)。

更為具體地，基板移送部100包括：吸入孔126，其形成于與基板10相面對(duì)的移送部件120、120’(例如，移送部件的上面)；吸入壓形成部128，其在吸入孔126形成吸入壓，以便基板10吸附固定于移送部件120、120’。如上所述，如果通過吸入壓形成部128向吸入孔126施加吸入壓，則基板10可通過吸附基板10表面的吸入壓(負(fù)壓)固定于移送部件120、120’。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中舉例說明了基板10吸附固定于移送部件120、120’，但是根據(jù)不同的情況下，也可以通過不是吸附的方式而是其他不同的方式(例如，機(jī)械式的約束及摩擦等)使得基板固定于移送部件，本實(shí)用新型并非受到相對(duì)于基板的移送部件的固定結(jié)構(gòu)及方式的限制或限定。

偏差補(bǔ)償部130是為了對(duì)懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差H1進(jìn)行補(bǔ)償而設(shè)置的。

在此，所謂的懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差H1指的是，在移送部件120、120’與基板10相接觸(固定)的接觸面和懸浮的基板10之間的高度差異。更為具體地，在基板10吸附于移送部件120、120’的上面的結(jié)構(gòu)中，懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差定義為，移送部件120、120’的上面和懸浮的基板10的底面之間的距離(高度)差異。

如上所述，利用偏差補(bǔ)償部130來對(duì)懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，據(jù)此可得到的有利效果在于，使得基板10的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定。

換句話說，如果懸浮的基板10和移送部件120、120’之間產(chǎn)生高度偏差，例如，如果移送部件120、120’的上面(吸附基板10的面)的高度比懸浮的基板10的底面高，則存在的問題在于，被移送部件120、120’抓握(吸附)的基板10的邊緣部的高度部分地變高。相反，如圖4所示，如果移送部件120、120’的上面高度比懸浮的基板10的底面低，則存在的問題在于，被移送部件120、120’抓握(吸附)的基板10的邊緣部的高度部分地變低。

由此，本實(shí)用新型中，利用偏差補(bǔ)償部130來對(duì)懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，據(jù)此可得到的有利效果在于，在沒有基板10的部分的高度變化的狀態(tài)下使得基板10的懸浮高度及懸浮姿勢(shì)保持一定。

尤其，當(dāng)基板10以懸浮于振動(dòng)板110的上部的狀態(tài)(以一致的高度懸浮的狀態(tài))被移送的期間，使得藥液涂覆于基板10的表面，據(jù)此可得到的有利效果在于，以一致的厚度將藥液涂覆于基板10的表面。此外，當(dāng)基板10以懸浮于振動(dòng)板110的上部的狀態(tài)(以一致的高度懸浮的狀態(tài))被移送的期間，使得基板10被加熱，并且使得涂覆于基板10的藥液得到干燥，據(jù)此可得到的有利效果在于，均勻地對(duì)涂覆于基板10的藥液進(jìn)行干燥。

偏差補(bǔ)償部130可設(shè)置為能夠?qū)腋〉幕?0和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償?shù)亩喾N結(jié)構(gòu)。

更為具體地，偏差補(bǔ)償部130包括：測(cè)量部140，其對(duì)懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行測(cè)量；高度調(diào)節(jié)部150，其根據(jù)在測(cè)量部140測(cè)量的結(jié)果對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的相對(duì)高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

測(cè)量部140對(duì)相對(duì)于移送部件120、120’的基板10的相對(duì)高度進(jìn)行測(cè)量，或者對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的相對(duì)高度進(jìn)行測(cè)量，從而可對(duì)基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行測(cè)量。根據(jù)不同的情況，測(cè)量部也可以分別對(duì)基板10和移送部件的高度進(jìn)行測(cè)量，從而對(duì)基板和移送部件之間的高度偏差進(jìn)行測(cè)量。

作為測(cè)量部140，可使用能夠?qū)?0和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行測(cè)量的常用的測(cè)量傳感器等，本實(shí)用新型并非受到測(cè)量部140的種類及特性的限制或限定。

高度調(diào)節(jié)部150是為了以基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差程度對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的相對(duì)高度進(jìn)行調(diào)節(jié)而設(shè)置的。

在此，所謂的高度調(diào)節(jié)部150對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的相對(duì)高度進(jìn)行調(diào)節(jié)指的是，高度調(diào)節(jié)部150相對(duì)于基板10對(duì)移送部件120、120’的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，或定義為將相對(duì)于基板10對(duì)移送部件120、120’的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)的方式全部包括在內(nèi)。

例如，高度調(diào)節(jié)部150構(gòu)成為對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。具體地，參照?qǐng)D3至圖5，基板移送部100包括：空氣軸承部件122，其結(jié)合于移送部件120、120’，并且沿著移送軌道120a直線移動(dòng)，所述移送軌道120a沿著基板10的移送路徑配置；氣體供給部124，其供給用于在空氣軸承部件122和移送軌道120a之間形成氣體潤(rùn)滑層的氣體，高度調(diào)節(jié)部150對(duì)從氣體供給部124供給的氣體的供給壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)相對(duì)于移送軌道120a的空氣軸承部件122的懸浮高度，因此隨著相對(duì)于移送軌道120a的空氣軸承部件122的懸浮高度變化，相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度得到調(diào)節(jié)。

空氣軸承部件122在空氣軸承部件122和移送軌道之間形成一定的氣體潤(rùn)滑層(空氣膜層)，從而能夠以相對(duì)于移送軌道120a沒有摩擦的形式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，并且不需要附加的潤(rùn)滑。具體地，在空氣軸承部件122形成有與氣體供給部124相連接的至少一個(gè)以上的氣體供給孔122a，并且由于通過氣體供給孔122a供給的氣體而在空氣軸承部件122和移送軌道120a之間形成有氣體潤(rùn)滑層。

氣體供給部124可使用能夠向氣體供給孔122a供給氣體的常用的氣體供給裝置，本實(shí)用新型并非受到從氣體供給部124供給的氣體的種類及特性的限制或限定。

根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，高度調(diào)節(jié)部150可對(duì)從氣體供給部124向空氣軸承部件122供給的氣體的供給壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)相對(duì)于移送軌道120a的空氣軸承部件122的懸浮高度，并且使得相對(duì)于移送軌道120a的空氣軸承部件122的懸浮高度發(fā)生變化，從而可調(diào)節(jié)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度。

例如，如圖4所示，如果被測(cè)量為移送部件120、120’的高度相對(duì)于懸浮的基板10低，則如圖5所示，高度調(diào)節(jié)部150提高從氣體供給部124向空氣軸承部件122供給的氣體的供給壓力(P2〉P1)，從而使得相對(duì)于移送軌道120a的空氣軸承部件122的懸浮高度FH2上升(FH2〉FH1)，隨著相對(duì)于移送軌道120a的空氣軸承部件122的懸浮高度的上升，相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度可得到上升。

如上所述，本實(shí)用新型中，對(duì)向空氣軸承部件122供給的氣體的供給壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度，據(jù)此可得到的有利效果在于，準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度。

換句話說，也可以通過利用移送螺桿或者齒輪的機(jī)械式調(diào)節(jié)來對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。但是，在機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)方式中，不可避免地產(chǎn)生由于間隙(BACKLASH)等而引起的誤差，因此存在的問題在于，難以準(zhǔn)確且微小地調(diào)節(jié)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度。特別是，在通過超聲波振動(dòng)能使得基板10懸浮的方式中，基板10以非常微小的高度(30～50μm)懸浮，并且相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度調(diào)節(jié)也在非常微小的范圍(例如，2～5μm)內(nèi)實(shí)現(xiàn)，但是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)方式存在的問題在于，難以微小地調(diào)節(jié)移送部件120、120’的高度。但是，本實(shí)用新型中，不是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)，而是通過可調(diào)節(jié)微小壓力的空氣壓力控制來對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利效果在于，更加準(zhǔn)確且微小地對(duì)相對(duì)于基板10的移送部件120、120’的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

作為另一個(gè)的例子，高度調(diào)節(jié)部150構(gòu)成為對(duì)相對(duì)于移送部件120、120’的基板10的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。具體地，參照?qǐng)D6至圖8，基板移送部100包括：吸入孔126，其形成于移送部件120、120’；吸入壓形成部128，其在吸入孔126形成吸入壓，以便基板10吸附固定于移送部件120、120’，高度調(diào)節(jié)部150對(duì)通過吸入壓形成部128形成于吸入孔126的吸入壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，并且隨著吸入壓的變化，相對(duì)于移送部件120、120’的基板10的吸附高度得到調(diào)節(jié)。

吸入壓形成部128可使用能夠?qū)⑽雺菏┘佑谖肟?26的常用的負(fù)壓裝置，本實(shí)用新型并非受到吸入壓形成部128的種類及特性的限制或限定。

根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，高度調(diào)節(jié)部150可對(duì)形成于吸入孔126的吸入壓的強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而對(duì)吸附于移送部件120、120’的基板10的吸附高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

例如，如圖7所示，如果被測(cè)量為吸附于移送部件120、120’的基板10的吸附高度低，則如圖8所示，高度調(diào)節(jié)部150降低通過吸入壓形成部128而產(chǎn)生的吸入壓P2’的強(qiáng)度(P2’〉P1’)，從而能夠使得相對(duì)于移送部件120、120’的基板10的吸附高度上升。此時(shí)，即使在移送部件120、120’和基板10之間產(chǎn)生微小的間隙(例如，2～5μm)，也可以通過形成于吸入孔126的吸入壓使得基板10相對(duì)于移送部件120、120’得到固定(以能夠一起移動(dòng)的形式支撐)。

如上所述，本實(shí)用新型中，不是通過機(jī)械式的高度調(diào)節(jié)，而是通過可調(diào)節(jié)微小壓力的空氣壓力控制(吸入壓控制)來對(duì)相對(duì)于移送部件120、120’的基板10的吸附高度進(jìn)行調(diào)節(jié)，據(jù)此可得到的有利效果在于，更加準(zhǔn)確且微小地對(duì)相對(duì)于移送部件120、120’的基板10的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

再次，參照?qǐng)D1及圖2，藥液涂覆單元300在基板10以懸浮于基板移送部100的上部的狀態(tài)移動(dòng)的期間，以將藥液(PR)涂覆于基板10的表面的形式設(shè)置。

在此，通過藥液涂覆單元300藥液被涂覆的區(qū)域既可以是被處理基板10的整體表面，也可以是分割為多個(gè)單元區(qū)域的部分。

更為具體地，在藥液涂覆單元300的底端部形成有與基板10的寬度相對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的狹縫噴嘴，狹縫噴嘴的噴嘴邊緣(lip)310配置于振動(dòng)板110的上部，并且向基板10的表面涂覆藥液。

并且，在藥液涂覆單元300設(shè)置有預(yù)備排放裝置(未示出)，預(yù)備排放裝置在通過狹縫噴嘴將藥液涂覆于基板10上之前使得殘留于狹縫噴嘴排放口側(cè)的涂覆液脫落，同時(shí)為了以后良好的涂覆而沿著排放口可預(yù)先形成藥液珠層。

加熱干燥單元400是為了對(duì)從藥液涂覆單元300以涂覆有藥液的狀態(tài)排出的基板10進(jìn)行加熱并使得藥液干燥而設(shè)置的。

加熱干燥單元400可設(shè)置為能夠使得基板10加熱的多種結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，使得加熱干燥單元和基板10的間距保持一致(使得基板10平坦地懸浮)，據(jù)此可得到的效果在于，使得藥液的干燥特性在基板10表面整體上保持一致。

例如，加熱干燥單元400包括：第一加熱部402，其以第一溫度范圍對(duì)涂覆有藥液的基板10進(jìn)行加熱；第二加熱部404，其以與第一溫度范圍不同的第二溫度范圍(例如，比第一溫度范圍高的第二溫度范圍)對(duì)經(jīng)過第一加熱部402的基板10進(jìn)行加熱。

第一加熱部402構(gòu)成為包括至少一個(gè)以上的第一加熱板，所述至少一個(gè)以上的第一加熱板沿著基板10被移送的移送路徑配置，第二加熱部404構(gòu)成為包括至少一個(gè)以上的第二加熱板，所述至少一個(gè)以上的第二加熱板沿著基板10被移送的移送路徑配置。

如上所述，本實(shí)用新型中，在加熱干燥單元400分階段地(不同的溫度條件)使得涂覆于基板10的表面的藥液干燥，據(jù)此可得到的有利效果在于，抑制由于藥液內(nèi)的溶劑成分而留下污點(diǎn)的現(xiàn)象，因此使得在比大氣壓低的減壓狀態(tài)下干燥的工藝排除。

換句話說，加熱干燥單元400以沿著被處理基板10的進(jìn)行路徑使得加熱溫度逐漸上升的方式構(gòu)成，從而可以使得涂覆于被處理基板10的藥液所含有的溶劑成分逐漸地從藥液中蒸發(fā)的同時(shí)干燥，因此可解決含在藥液內(nèi)的溶劑成分急劇被干燥的同時(shí)由于藥液的流動(dòng)而產(chǎn)生的污點(diǎn)的問題。

由此，加熱干燥單元400分階段地提高加熱溫度的同時(shí)，使得被處理基板10的藥液加熱干燥，據(jù)此可替代在現(xiàn)有技術(shù)中為了去除藥液內(nèi)的部分溶劑而在真空狀態(tài)下干燥的真空減壓干燥工藝。由此，可對(duì)在密封的腔體內(nèi)以比大氣壓低的狀態(tài)干燥從而去除藥液內(nèi)的溶劑的一部分的工藝進(jìn)行排除，因此不僅能夠去除使得被處理基板10位于密封腔體的機(jī)械臂和頂針，而且以懸浮的狀態(tài)在被處理基板10的表面涂覆藥液后，立即以懸浮的狀態(tài)向加熱干燥單元400移送，因此可得到的有利效果在于，提高被處理基板10的移送效率，并且縮短整體工藝所需的時(shí)間。

優(yōu)選地，被處理基板10根據(jù)在相互不同的加熱部(第一加熱部至第二加熱部)進(jìn)行調(diào)節(jié)的加熱溫度范圍以停止的狀態(tài)以一定的加熱溫度在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)被加熱。根據(jù)不同的情況，基板也可以在經(jīng)過加熱干燥單元的各個(gè)加熱部期間不停止而是在慢慢地移動(dòng)的同時(shí)被加熱。

作為參考，與被處理基板最先被加熱干燥的第一加熱部402的第一加熱板的溫度相比，接下來被加熱干燥的第二加熱部404的第二加熱板的溫度規(guī)定得更高。例如，在藥液涂覆單元300進(jìn)行藥液涂覆工藝后，在最初被加熱的第一加熱部402規(guī)定為將藥液內(nèi)的溶劑去除5％至30％的溫度和時(shí)間。例如，第一加熱部402的加熱溫度可規(guī)定為40℃～70℃，并且加熱時(shí)間可規(guī)定為20秒至70秒。并且，在第一加熱部402之后被加熱干燥的第二加熱部404的加熱溫度可分別規(guī)定為60℃～85℃(或者70℃～105℃)，并且加熱時(shí)間可規(guī)定為與在第一加熱部402的加熱時(shí)間存在10秒左右的較小的時(shí)間差異或者規(guī)定為相同的加熱時(shí)間。

并且，加熱干燥單元400的各個(gè)加熱部(第一加熱部至第二加熱部)可配置于基板10的上部，但是根據(jù)不同的情況，也可以將加熱干燥單元的各個(gè)加熱部配置于基板的下部。

如上所述，本實(shí)用新型中，對(duì)基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，從而在基板10平坦地懸浮的狀態(tài)下，使得藥液涂覆于基板10的表面，據(jù)此可得到的效果在于，提高藥液的涂覆均勻性，防止由于藥液涂覆得不均勻而產(chǎn)生污點(diǎn)的現(xiàn)象。此外，對(duì)基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，從而在基板10平坦地懸浮的狀態(tài)下，實(shí)現(xiàn)涂覆于基板10表面的藥液的干燥，據(jù)此可得到的有利效果在于，提高藥液的干燥均勻性，形成高品質(zhì)的藥液涂覆層。

另外，圖10是用于說明圖1的基板移送部的變形例的圖。并且，對(duì)與前述的構(gòu)成相同及相當(dāng)于相同的部分賦予相同或者相當(dāng)于相同的參照標(biāo)號(hào)，并且省略對(duì)此的詳細(xì)說明。

參照?qǐng)D10，根據(jù)本實(shí)用新型的其他實(shí)施例的基板10移送裝置，包括：振動(dòng)板110，其利用通過超聲波產(chǎn)生的振動(dòng)能來使得基板10懸??；移送部件120、120’，其使得通過振動(dòng)板110懸浮的所述基板10移送；偏差補(bǔ)償部130，其對(duì)懸浮的基板10和移送部件120、120’之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償，并且移送部件120、120’包括：第一移送部件120，其固定于沿著基板10的移送方向的基板10的一側(cè)邊；第二移送部件120’，其固定于沿著基板10的移送方向的基板10的其他側(cè)邊，并且偏差補(bǔ)償部130分別對(duì)第一移送部件120和基板10之間的高度偏差及第二移送部件120’和基板10之間的高度偏差進(jìn)行補(bǔ)償。

作為參考，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中雖然舉例說明了第一移送部件120和第二移送部件120’在相互不同的線上對(duì)基板10的邊緣進(jìn)行抓握，但是根據(jù)不同的情況，也可以構(gòu)成為第一移送部件和第二移送部件在相互相同的線上對(duì)基板進(jìn)行抓握。

如上所述，參照本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說明，但是如果是所屬技術(shù)領(lǐng)域的熟練的從業(yè)者，則可理解為在不超出以下專利權(quán)利要求書中記載的本實(shí)用新型的思想及領(lǐng)域的范圍內(nèi)可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種修改及變更。

標(biāo)號(hào)說明

1：基板處理裝置 10：基板

100：基板移送部 102：裝載移送部

104：處理移送部 106：卸載移送部

110：振動(dòng)板 120、120’：移送部件

122：空氣軸承部件 122a：氣體供給孔

124：氣體供給部 126：吸入孔

128：吸入壓形成部 130：偏差補(bǔ)償部

140：測(cè)量部 150：高度調(diào)節(jié)部

300：藥液涂覆單元 400：加熱干燥單元